JP5703359B2 - 熱音響装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 158
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 127
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 90
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 89
- 239000002238 carbon nanotube film Substances 0.000 description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 9
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 6
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 4
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 4
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002079 double walled nanotube Substances 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002048 multi walled nanotube Substances 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000009172 bursting Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 229910021404 metallic carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
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Description
図1及び図2を参照すると、本実施例の熱音響装置10は、第一基板100と、第二基板120と、音波発生ユニットと、を含み、この音波発生ユニットは、音波発生素子110と、第一電極130と、第二電極140と、を含む。第一電極130と第二電極140とは、相互に間隔をあけて電気的に絶縁して設置され、それぞれ音波発生素子110と電気的に接続される。音波発生ユニットは第一基板100と第二基板120との間に設置されている。つまり、音波発生ユニットは第一基板100と第二基板120とに挟まれている。
図6、図7を参照すると、本発明の実施例2は熱音響装置20を提供する。本実施例の熱音響装置20は、第一基板100と、第二基板120と、音波発生ユニットと、を含み、該音波発生ユニットは、音波発生素子110と、複数の第一電極130と、複数の第二電極140と、を含む。複数の第一電極130と複数の第二電極140とは、相互に間隔をあけて設置され、音波発生素子110と電気的に接続される。音波発生ユニットは第一基板100と第二基板120との間に設置されている。つまり、第一基板100と第二基板120とに挟まれている。
図8、図9を参照すると、本発明の実施例3は熱音響装置30を提供する。本実施例の熱音響装置30は、第一基板100と、第二基板120と、複数の音波発生ユニットと、を含む。各音波発生ユニットは、音波発生素子110と、複数の第一電極130と、複数の第二電極140と、を含む。複数の音波発生ユニットは、第一基板100の第一表面101に相互に独立して設置され、第一基板100と第二基板120との間に設置されている。つまり、この複数の音波発生ユニットは第一基板100と第二基板120とに挟まれている。各音波発生ユニットにおいて、複数の第一電極130と複数の第二電極140とは、相互に間隔をあけて電気的に絶縁して設置され、それぞれ音波発生素子110と電気的に接続される。第一基板100の第一表面101は、複数の凹部102を有し、第二基板120は複数の通孔122を有し、該複数の通孔122の少なくとも一部は複数の凹部102と対応する。
100 第一基板
101 第一表面
102 凹部
104 突起
108 切線
110 音波発生素子
112 第一区域
114 第二区域
120 第二基板
121 第二表面
122 通孔
130 第一電極
140 第二電極
150 第一連接部
160 第二連接部
Claims (2)
- 第一基板と、複数の音波発生ユニットと、第二基板と、を含む熱音響装置であって、
前記第一基板は、第一表面を有し、前記第一表面に複数のユニット格子を定義し、
各前記ユニット格子に、間隔をあけて平行する複数の凹部を有し、
各前記音波発生ユニットは第一基板の第一表面に相互に絶縁して設置され、且つ各前記ユニット格子と一対一で対応し、
各前記音波発生ユニットは、音波発生素子と、少なくとも一つの第一電極と、少なくとも一つの第二電極と、を含み、
前記音波発生素子は、カーボンナノチューブ構造体を含み、前記第一基板の第一表面に設置され、
前記少なくとも一つの第一電極及び前記少なくとも一つの第二電極は、間隔をあけて設置され、前記音波発生素子と電気的に接続され、
前記カーボンナノチューブ構造体の前記凹部と対応する部分は、懸架して設置され、
前記音波発生ユニットは前記第一基板と前記第二基板との間に設置され、つまり、前記音波発生ユニットは、前記第一基板と前記第二基板とに挟まれ、
前記第二基板は複数の通孔を有し、前記複数の通孔の少なくとも一部は前記凹部と対応し、
前記凹部の深さは100μm〜200μmであることを特徴とする熱音響装置。 - 前記第一基板及び前記第二基板は、プリント基板(PCB)であることを特徴とする請求項1に記載の熱音響装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210582215.XA CN103905963B (zh) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 热致发声装置 |
CN201210582215.X | 2012-12-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014131260A JP2014131260A (ja) | 2014-07-10 |
JP5703359B2 true JP5703359B2 (ja) | 2015-04-15 |
Family
ID=50997076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013215321A Active JP5703359B2 (ja) | 2012-12-28 | 2013-10-16 | 熱音響装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9061906B2 (ja) |
JP (1) | JP5703359B2 (ja) |
CN (1) | CN103905963B (ja) |
TW (1) | TWI547939B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105338460B (zh) * | 2014-07-21 | 2018-05-01 | 清华大学 | 热致发声装置及其制备方法 |
US9781520B1 (en) | 2016-09-20 | 2017-10-03 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Passive mode carbon nanotube underwater acoustic transducer |
US10582310B1 (en) | 2017-08-14 | 2020-03-03 | Raytheon Company | Thermoacoustic transducer and methods for resonant generation and amplification of sound emission |
CN110389496A (zh) * | 2018-04-20 | 2019-10-29 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 透声幕及其制造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1135686A (en) * | 1911-08-15 | 1915-04-13 | Bronislaw Gwozdz | Thermo-telephone. |
JP2940159B2 (ja) | 1990-11-30 | 1999-08-25 | 株式会社村田製作所 | 封止型圧電部品の製造方法 |
JPH05304697A (ja) * | 1992-04-25 | 1993-11-16 | Tdk Corp | 振動子応用部品及びその製造方法 |
JP3705926B2 (ja) * | 1998-04-23 | 2005-10-12 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 圧力波発生装置 |
EP1761104A4 (en) | 2004-06-03 | 2016-12-28 | Olympus Corp | ULTRASONIC VIBRATOR OF THE ELECTROSTATIC CAPABILITY TYPE, METHOD OF MANUFACTURE, AND ELECTROSTATIC CAPACITY-TYPE ULTRASONIC PROBE |
CN101656906B (zh) * | 2008-08-20 | 2013-01-23 | 财团法人工业技术研究院 | 扬声器单体结构 |
FI20086138A0 (fi) * | 2008-11-27 | 2008-11-27 | Valtion Teknillinen | Menetelmä äänen tuottamiseksi |
US8300855B2 (en) * | 2008-12-30 | 2012-10-30 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic module, thermoacoustic device, and method for making the same |
CN101771914B (zh) * | 2008-12-30 | 2014-04-30 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 发声模组及使用该发声模组的发声装置 |
CN101771920A (zh) * | 2008-12-30 | 2010-07-07 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 发声装置 |
CN102056064B (zh) * | 2009-11-06 | 2013-11-06 | 清华大学 | 扬声器 |
TWI429296B (zh) * | 2010-01-05 | 2014-03-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 揚聲器 |
CN102223589A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-10-19 | 北京富纳特创新科技有限公司 | 投音机 |
TWI500331B (zh) * | 2010-05-18 | 2015-09-11 | Beijing Funate Innovation Tech | 熱致發聲裝置 |
US8811632B2 (en) | 2011-03-29 | 2014-08-19 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
CN102724619A (zh) | 2011-03-29 | 2012-10-10 | 清华大学 | 热致发声装置及电子装置 |
-
2012
- 2012-12-28 CN CN201210582215.XA patent/CN103905963B/zh active Active
-
2013
- 2013-01-11 TW TW102101232A patent/TWI547939B/zh active
- 2013-06-27 US US13/928,978 patent/US9061906B2/en active Active
- 2013-10-16 JP JP2013215321A patent/JP5703359B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103905963B (zh) | 2018-05-01 |
CN103905963A (zh) | 2014-07-02 |
US9061906B2 (en) | 2015-06-23 |
TW201426728A (zh) | 2014-07-01 |
TWI547939B (zh) | 2016-09-01 |
JP2014131260A (ja) | 2014-07-10 |
US20140185841A1 (en) | 2014-07-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140630 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
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