JP5703266B2 - インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1ないし図20を参照して説明する。
この後、図11に示すように、振動板4および圧電体層22の上に白金又はチタンの薄膜45を例えばCVD法又はスパッタリング法により形成する。引き続いて、薄膜45に例えばフォトリソグラフィーおよびドライエッチングを施すことで、振動板4および圧電体層22の上にリング状の第2の電極24を形成する。この結果、振動板4の上にアクチュエータ20が形成される。(図12を参照)
この後、図13に示すように振動板4の上に電極保護膜46を形成する。これにより、アクチュエータ20が電極保護膜46で被覆された中間成形物47が形成される。
図21ないし図23は、第2の実施形態を開示している。第2の実施形態は、アクチュエータ20の第1の電極23と第2の電極24との相対的な位置関係が第1の実施形態と相違している。これ以外の第1のインクジェットヘッド1Aの構成は、第1の実施形態と同様である。そのため、第2の実施形態において、第1の実施形態と同一の構成部分には同一の参照符号を付して、その説明を省略する。
図24は、第3の実施形態を開示している。第3の実施形態は、一つのアクチュエータ列21を構成するアクチュエータ20の数および第1の通電パターン30に関する事項が第1の実施形態と相違している。これ以外のインクジェットヘッド1の構成は、基本的に第1の実施形態と同様である。そのため、第3の実施形態において、第1の実施形態と同一の構成部分には同一の参照符号を付して、その説明を省略する。
Claims (7)
- 間隔を存して配列された複数のノズルと、
前記ノズル毎に設けられ、インクを加圧して前記ノズルから吐出させる複数のアクチュエータと、を具備し、
前記アクチュエータは、
絶縁層の上に設けられた圧電素子と、前記圧電素子に電気的に接続された共通電極と、前記圧電素子に電気的に接続されるとともに前記共通電極と協働して前記圧電素子を挟み込んだ個別電極と、を含み、
全てのアクチュエータの前記共通電極は、前記絶縁層に設けられた共通した第1の通電パターンに電気的に接続されているとともに、全てのアクチュエータの前記個別電極は、前記絶縁層に設けられた複数の第2の通電パターンに個別に電気的に接続され、
前記第1の通電パターンおよび前記第2の通電パターンは、前記絶縁層の上で互いに重なり合うことなく離れているとともに、
前記ノズルは、前記絶縁層を有するノズルプレートに形成され、前記アクチュエータは、前記ノズルを取り囲むように前記ノズルプレートに内蔵され、
前記ノズルの配列方向に隣り合う前記アクチュエータの前記共通電極は、前記圧電素子の外周部の間に跨る配線部を介して電気的に接続されているとともに、前記配線部が前記絶縁層の上で前記第1の通電パターンに電気的に接続され、
前記個別電極は、前記圧電素子の外周部から前記共通電極の前記配線部とは異なる方向を向くように前記絶縁層の上に導かれた配線部を有し、前記個別電極の前記配線部が前記絶縁層の上で前記第2の通電パターンに電気的に接続されたインクジェットヘッド。 - 複数のノズルと、
前記ノズル毎に設けられ、インクを加圧して前記ノズルから吐出させる複数のアクチュエータと、を具備し、
前記アクチュエータは、
絶縁層の上に設けられた圧電素子と、前記圧電素子に電気的に接続された第1の電極と、前記圧電素子に電気的に接続されるとともに前記第1の電極と協働して前記圧電素子を挟み込んだ第2の電極と、を含み、
前記アクチュエータの前記第1の電極は、前記絶縁層に設けられた第1の通電パターンに電気的に接続されているとともに、前記アクチュエータの前記第2の電極は、前記絶縁層に設けられた第2の通電パターンに電気的に接続され、
前記第1の通電パターンおよび前記第2の通電パターンは、前記絶縁層の上で互いに重なり合うことなく離れているとともに、
前記ノズルは、前記絶縁層を有するノズルプレートに形成され、前記アクチュエータは、前記ノズルを取り囲むように前記ノズルプレートに内蔵され、
前記ノズルの配列方向に隣り合う前記アクチュエータの前記第1の電極は、前記圧電素子の外周部の間に跨る配線部を介して電気的に接続されているとともに、前記配線部が前記絶縁層の上で前記第1の通電パターンに電気的に接続され、
前記第2の電極は、前記圧電素子の外周部から前記第1の電極の前記配線部とは異なる方向を向くように前記絶縁層の上に導かれた配線部を有し、前記第2の電極の前記配線部が前記絶縁層の上で前記第2の通電パターンに電気的に接続されたインクジェットヘッド。 - 請求項1または請求項2のいずれか一項の記載において、前記ノズルプレートは、前記複数のノズルを一組とする複数のノズル列を備えており、各ノズル列は、前記ノズルから吐出されたインクにより画像が形成される記録媒体の搬送方向に延びているとともに、前記記録媒体の搬送方向と直交する方向に互いに間隔を存して配列されたインクジェットヘッド。
- 請求項3の記載において、前記第1の通電パターンは、前記ノズル列の長手方向に沿う中央部で隣り合う二つのノズルの間を通して配線されているとともに、前記第1の電極の前記配線部は、前記第1の通電パターンと交差するように前記ノズル列に沿って延びているインクジェットヘッド。
- 請求項4の記載において、前記第2の通電パターンは、前記第1の通電パターンから離れた位置で前記ノズル列が延びる方向に沿って互いに間隔を存して並んでいるインクジェットヘッド。
- 請求項1または請求項2のいずれか一項の記載において、
前記ノズルプレートは、前記インクジェットヘッドの長手方向に間隔を存して複数のノズル列が形成され、
前記各ノズル列は、複数個のノズルが前記インクジェットヘッドの長手方向と直交する方向に対し一定の角度を有する斜めの方向に互いに間隔を存して直線状に規則的に配列され、
前記第1の通電パターンは、共通した一本の基幹配線を備え、
前記基幹配線は、前記各アクチュエータの列の長手方向に沿う中央部を通って前記ノズルプレートの長手方向に延び、
前記第2の通電パターンは、前記基幹配線を境として第1のパターン群と第2のパターン群とに分けられているインクジェットヘッド。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載されたインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置。
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