JP5699461B2 - ナノインプリント用モールド - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係るナノインプリント用モールドの斜視図であり、図2は、図1のII−II線に沿ったナノインプリント用モールドの断面図である。
次に、第2実施形態に係るナノインプリント用モールドについて、説明する。図12は、本実施形態に係るナノインプリント用モールドの斜視図であり、図13は、図12のXIII−XIII線に沿ったナノインプリント用モールドの断面図である。
Claims (2)
- モールド基体部と、
第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有するモールド本体部と、
前記モールド基体部の表面と、前記モールド本体部の前記第1面との間に固定された弾性体部と、
前記モールド基体部の前記表面に設けられた突出部と、
を備え、
前記モールド本体部の前記第2面には、ナノインプリント用のパターンが形成されており、
前記弾性体部の体積弾性率は、前記モールド本体部の体積弾性率よりも小さく、
前記突出部の高さは、前記モールド基体部の前記表面から前記モールド本体部の前記第2面までの距離よりも低く、かつ、前記モールド基体部の前記表面から前記モールド本体部の前記第1面までの距離よりも高く、
前記突出部は、前記モールド基体部の厚さ方向から見て、前記モールド本体部及び前記弾性体部と離間し、かつ、前記モールド本体部及び前記弾性体部を取り囲むように前記モールド基体部の外縁に沿って設けられていることを特徴とするナノインプリント用モールド。 - 前記モールド本体部の前記第1面から前記第2面までの厚さは、0.1mm以上、0.5mm以下であることを特徴とする請求項1に記載のナノインプリント用モールド。
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