JP5695690B2 - 複数のチャンバーからガスの真空引きを行うためのポンプシステム及びポンプシステムを制御するための方法 - Google Patents
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Description
2 チャンバー
3 ターボ分子ポンプ
4 ターボ分子ポンプ
5 プリポンプ
6 プリポンプ
7 ガスインレット
8 配管区分
9 絞り
10 チャンバー
11 分流ポンプ
12 インレット
13 インレット
14 チャンバー
15 チャンバー
16 ガスインレット
17 ガスインレット
18 ガスインレット
19 分流ポンプ
20 ターボ分子ポンプ
21 プリポンプ
22 配管区分
23 絞り
24 ターボ分子ポンプ
25 ターボ分子ポンプ
26 真空圧計測の為の装置
27 真空圧計測の為の装置
28 ガス流量計測の為の装置
29 配管区分
30 ガス流量計測の為の装置
Q ガスフロー
Claims (15)
- 少なくとも三つのバキュームポンプを有する複数のチャンバーからガスを排出する為のポンプシステムであって、少なくとも二つのプリポンプと少なくとも一つのターボ分子ポンプが設けられているものにおいて、
少なくとも二つのプリポンプ(5,6,21)の間の少なくとも一つの接続配管(8)内に、ガス流の調整及び/又は減少のための少なくとも一つの断面縮小部(9)が設けられていること、および全てのターボ分子ポンプ(3,4,20,24,25)が、同構造に形成されていることを特徴とするポンプシステム。 - 断面縮小部(9)が、調節可能な断面縮小部(9)として形成されていることを特徴とする請求項1に記載のポンプシステム。
- 少なくとも二つの同構造のターボ分子ポンプ(3,4,20,24,25)が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のポンプシステム。
- 断面縮小部(9)として、絞り、スロットルバルブ、又はガスフロー調整器が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 断面縮小部(9)として、調整される又は切り替えられるバルブが設けられることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 複数の断面縮小部(9)が、シリアルまたはパラレルに接続されて設けられることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 少なくとも一つの断面縮小部を調整するための、上位配置されたプロセス制御部が設けられることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 少なくとも一つのチャンバー(1,2,10,13,14,15)内及び/又は少なくとも一つの配管区分(8,29)内少なくとも一か所に及び/又はポンプ(3,4,20,24,25)のこれらに対して設けられた接続箇所に、ガス流量の計測又は現在の真空圧の計測のための装置(26,27,28,30)が設けられていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- ポンプ(3,4,20,24,25)として、そのポンプの排出圧に依存するポンプが設けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 少なくとも二つのチャンバー(1,2,10,13,14,15)が、互いに接続されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 少なくとも一つのチャンバー(1)に、直接一つのプリポンプが設けられていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 少なくとも一つのターボ分子ポンプ(3,4,20,24,25)に少なくとも一つのプリポンプ(5,6,21)が前設置されていることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 一部のターボ分子ポンプ(3,4,20,24,25)、又は全てのターボ分子ポンプ(3,4,20,24,25)に、共通の及び/又は別々のプリポンプ(5,6,21)が前設置されていることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 少なくとも一つのターボ分子ポンプ(11,19)が、すくなくとも二つのポンプインレットを有することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載のポンプシステム。
- 請求項1に記載の特徴を有するポンプシステムの制御のための方法であって、少なくとも一つのチャンバー(1,2,10,13,14,15)内及び/又は少なくとも一つの配管区分(8,29)内の少なくとも一か所に、又は、これらに対して設けられるポンプの接続箇所において、現実の真空圧又はガス流量が計測されること、および、この少なくとも一つの計測値が、断面縮小部(9)の調整のために使用されることを特徴とする方法。
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