JP5677315B2 - 有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置 - Google Patents

有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置 Download PDF

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Description

本発明は、有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置に関する。
近年、有機材料の電界発光現象を利用した表示装置の研究・開発が進められている。この表示装置では、各画素部が、アノード電極およびカソード電極と、その間に介挿された有機発光層とを有し構成されている。そして、表示装置の駆動においては、アノード電極からホール注入し、カソード電極から電子注入し、有機発光層内でホールと電子とが再結合することにより発光する。
隣接する画素部の有機発光層同士の間は、絶縁材料から構成された隔壁（バンク）により区画されている。有機発光層の形成は、例えば、隔壁で区画された領域ごとに、有機発光材料を含むインクを滴下し、これを乾燥させることによりなされる。
ところで、上記のとおり形成された有機発光層の膜厚は、均一にすることが困難であるという問題がある。
ここで、有機発光層の膜厚を均一にするため、例えば、特許文献１では、隔壁の面部に凸状部を設け、これにより隔壁の面部に対するインクのピンニング位置を制御するという技術が記載されている。即ち、特許文献１で提案されている技術を採用することにより、一の画素部におけるインクを滴下した際のピンニング位置を、面部に形成した凸状部にピンニングすることができ、これにより、ある程度の膜厚均一性を確保することができる。
特開２００７−３１１２３５号公報
ところで、表示装置における有機発光パネルについて、上記特許文献１により提案された技術を採用し、予め有機発光層の膜厚の偏りを把握し、これに基づいて領域毎、あるいは隔壁の対応面部毎に高い精度で微細な凸状部を形成することは、困難と考えられる。このため、有機発光パネルの領域全体において、有機発光層の膜厚を均一にすることは容易ではない。
本発明は、上記課題の解決を図ろうとなされたものであって、パネル全面での有機発光層の膜厚の均一化を図り、面内における輝度ムラの少ない表示装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
そこで、本発明の一態様に係る有機発光パネルは、次の構成を採用することを特徴とする。
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、第１画素部と、第２画素部と、非画素部と、第１隔壁と、第２隔壁と、を備える。
第１画素部は、互いに発光色が異なる、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とが順に配列された複数の発光部を有し、各発光部が、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して下地層と反対側に設けられる第２電極と、下地層に対向して設けられ、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁とを備える。
第２画素部は、互いに発光色が異なる、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とが順に配列された複数の発光部を有し、各発光部が、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して下地層と反対側に設けられる第２電極と、下地層に対向して設けられ、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁とを備え、第１画素部とは異なる。
非画素部は、第１画素部と第２画素部との間に介挿され、有機発光層を含むことなく、第１電極とは分離された第３電極と、第２電極とを含み、第２電極と第３電極とが電気的に接続されている。
第１隔壁は、第１画素部と非画素部との間に配設され、第１画素部の第３発光部と、非画素部とを区画するものであって、上記第１画素部および上記第２画素部の各々における複数の隔壁とは異なる。
第２隔壁は、第２画素部と非画素部との間に配設され、第２画素部の第１発光部と、非画素部とを区画するものであって、上記第１画素部および上記第２画素部の各々における複数の隔壁とは異なる。
上記構成において、第１隔壁は、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きく、且つ、第２隔壁は、第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しい、ことを特徴とする。
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１隔壁において、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きい、という構成を採用する。このため、有機発光層を形成するためのインクの塗布に際して、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部に対するインクのピンニング位置を、他の隔壁の面部に対するインクのピンニング位置よりも高くすることができる。よって、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、有機発光層を形成するためのインクの塗布時における蒸気濃度の分布により、第１画素部の第３発光部における第１隔壁側部分の膜厚が相対的に厚くなろうとする傾向があるのに対して、上記のように、ピンニング位置を高くすることにより、第１画素部の第３発光部での有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。
また、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第２隔壁において、第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しい、という構成も採用する。第２画素部の第１発光部について、有機発光層を形成するためのインクを塗布する際には、一方が非画素部に隣り合い、他方が第２画素部の第２発光部に隣り合う。このため、第２画素部の第１発光部へのインク塗布においては、両側にインクが存在せず、このため、蒸気濃度分布に大きな偏りは存在しない。よって、第２隔壁における第２画素部の第１発光部側に面する面部の傾斜角度を、非画素部側に面する面部の傾斜角度と等しくすることによって、第２隔壁の第２画素部の第１発光部側に面する面部に対するインクのピンニング位置を、他の箇所でのインクのピンニング位置と同じ高さとすることができる。これより、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第２画素部の第１発光部についても、有機発光層の膜厚の偏りを防ぐことができる。
従って、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１画素部の第３発光部と第２画素部の第１発光部を含む、パネル前面での有機発光層の膜厚の偏りを抑制することができ、良好な発光特性が得られる。
実施の形態に係る有機表示装置１の概略構成を示すブロック図である。 表示パネル１０における一部のサブピクセル１００を示す模式断面図である。 表示パネル１０におけるバンク１０５を示す模式平面図である。 表示パネル１０の画素部１００ａ，１００ｂにおけるサブピクセル１００ａ１〜１００ａ３，１００ｂ１と、非画素部１００ｃおよびバンク１０５ａ〜１０５ｆの構成を示す模式断面図である。 （ａ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｂ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｃ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図であり、（ｄ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図である。 バンクの面部における傾斜角度（テーパ角）θと、ピンニング位置の高さＨおよび有機発光層の膜厚Ｔとの関係を纏めて示す図である。 サンプル１〜３における有機発光層の膜厚分布を示す図である。 サンプル４，５における有機発光層の膜厚分布を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。 （ａ），（ｂ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、表示パネル１０の製造方法におけるインクの塗布工程を工程順に示す模式断面図である。 （ａ）は、インク１０６０ａ１〜１０６０ａ３の塗布および乾燥に係る工程順を示す模式フロー図であり、（ｂ）は、インク１０６０ａ１〜１０６０ａ３の塗布および乾燥に係る別の工程順を示す模式フロー図である。 変形例１に係る製造方法における要部工程を示す模式断面図である。 （ａ），（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。 （ａ），（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。 （ａ）は、露光・現像処理とバンクのテーパ角との関係を示す図であり、（ｂ）は、形成されたバンクの形状を示すＡＦＭである。 （ａ），（ｂ）は、テーパ角の定義を説明するための模式断面図である。 表示パネル１０における領域１０ａ１，１０ａ２，１０ｂを説明するための模式平面図である。 有機表示装置１を含むセットの外観の一例を示す外観斜視図である。 変形例３に係る表示パネル８０が備えるバンク８０５の構成を示す模式平面図である。 表示パネルにおける画素部９０ａ，９０ｂの各サブピクセル毎での有機発光層の膜厚分布の偏り状態を示す模式断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、有機発光層の形成時における蒸気濃度分布と、インク乾燥工程での膜形状の偏りの状態を示す模式断面図である。
[本発明の一態様の概要]
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、第１画素部と、第２画素部と、非画素部と、第１隔壁と、第２隔壁と、を備える。
第１画素部は、互いに発光色が異なる、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とが順に配列された複数の発光部を有し、各発光部が、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して下地層と反対側に設けられる第２電極と、下地層に対向して設けられ、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁とを備える。
第２画素部は、互いに発光色が異なる、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とが順に配列された複数の発光部を有し、各発光部が、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して下地層と反対側に設けられる第２電極と、下地層に対向して設けられ、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁とを備え、第１画素部とは異なる。
非画素部は、第１画素部と第２画素部との間に介挿され、有機発光層を含むことなく、第１電極とは分離された第３電極と、第２電極とを含み、第２電極と第３電極とが電気的に接続されている。
第１隔壁は、第１画素部と非画素部との間に配設され、第１画素部の第３発光部と、非画素部とを区画するものであって、上記第１画素部および上記第２画素部の各々における複数の隔壁とは異なる。
第２隔壁は、第２画素部と非画素部との間に配設され、第２画素部の第１発光部と、非画素部とを区画するものであって、上記第１画素部および上記第２画素部の各々における複数の隔壁とは異なる。
上記構成において、第１隔壁は、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きく、且つ、第２隔壁は、第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しい、ことを特徴とする。
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１隔壁において、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きい、という構成を採用する。このため、有機発光層を形成するためのインクの塗布に際して、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部に対するインクのピンニング位置を、他の隔壁の面部に対するインクのピンニング位置よりも高くすることができる。よって、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、有機発光層を形成するためのインクの塗布時における蒸気濃度の分布により、第１画素部の第３発光部における第１隔壁側部分の膜厚が相対的に厚くなろうとする傾向があるのに対して、上記のように、ピンニング位置を高くすることにより、第１画素部の第３発光部での有機発光層の膜厚の偏りを抑えることができる。
また、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第２隔壁において、第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しい、という構成も採用する。第２画素部の第１発光部について、有機発光層を形成するためのインクを塗布する際には、一方が非画素部に隣り合い、他方が第２画素部の第２発光部に隣り合う。このため、第２画素部の第１発光部へのインク塗布においては、両側にインクが存在せず、このため、蒸気濃度分布に大きな偏りは存在しない。よって、第２隔壁における第２画素部の第１発光部側に面する面部の傾斜角度を、非画素部側に面する面部の傾斜角度と等しくすることによって、第２隔壁の第２画素部の第１発光部側に面する面部に対するインクのピンニング位置を、他の箇所でのインクのピンニング位置と同じ高さとすることができる。これより、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第２画素部の第１発光部についても、有機発光層の膜厚の偏りを防ぐことができる。
従って、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１画素部の第３発光部と第２画素部の第１発光部を含む、パネル前面での有機発光層の膜厚の偏りを抑制することができ、良好な発光特性が得られる。
なお、上記における「等しい」とは、必ずしも数値面で完全に等しいことを意味するのではなく、有機発光パネルの製造における寸法誤差などを考慮したものである。具体的には、パネルの中央部と外周部とにおいて、それぞれに属する画素部の発光効率の差異（輝度ムラ）が実用上許容できる範囲で、傾斜角度を等しくするということを意味する。これについては、以下においても、同じである。
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、上記構成において、第１画素部の第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁に関し、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、第１画素部の第２発光部側に位置する隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度よりも大きく、且つ、第２画素部の第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁に関し、第２隔壁における第２画素部の第１発光部側に面する面部の傾斜角度が、第２画素部の第２発光部側に位置する隔壁における第２画素部の第１発光部側に面する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用することができる。
第１画素部の第３発光部に関し、有機発光層を形成するためのインクを塗布する際には、一方に隣り合う第１画素部の第２発光部には、既にインクが塗布されているのに対して、他方に隣り合う非画素部には、有機発光層を形成せず、インクの塗布もなされない。このため、第１画素部の第３発光部にインク塗布の際には、蒸気濃度分布に偏りを生じ、第２発光部側よりも非画素部側で有機発光層の膜厚が厚くなろうとする傾向にある。
これに対して、上記のように、第１画素部の第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁に関し、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、第１画素部の第２発光部側に位置する隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度よりも大きい、という構成を採用することにより、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部に対するインクのピンニング位置を、第１画素部の第２発光部と第３発光部との間に設けられた隔壁の該当面部に対するインクのピンニング位置よりも高くすることができる。よって、第１画素部における第３発光部における有機発光層の膜厚の偏りが防止される。
また、第２画素部の第１発光部については、有機発光層を形成するためのインクを塗布する際、一方に隣り合う非画素部には、有機発光層を形成せず、このため、インクも塗布されない。また、他方に隣り合う第２画素部の第２発光部には、第１発光部にインクを塗布する時点では、未だインクは塗布されていない。このため、第２画素部の第１発光部について、インクの塗布の際に蒸気濃度分布に偏りはなく、このため、上記のように面部の傾斜角度を互いに等しくすることで、第２画素部の第１発光部の有機発光層の膜厚の偏りを防止することができる。
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、上記構成において、第１画素部および第２画素部の各々で、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、且つ、第３発光部側に位置する隔壁における第２発光部側に面する面部の傾斜角度が、第１発光部側に位置する隔壁における第２発光部側に面する面部の傾斜角度よりも大きい、という構成を採用することができる。
第１画素部および第２画素部の各々において、第２発光部の有機発光層を形成するためにインクを塗布する際には、各第１発光部には既にインク塗布がなされているのに対して、第３発光部には未だインク塗布がなされていない。このため、第２発光部のインク塗布時においては、蒸気濃度分布の偏りがある。
これに対して、インク塗布時において、蒸気濃度が相対的に低い第３発光部側に位置する隔壁の面部について、その傾斜角度を大きくすることで、当該面部に対するインクのピンニング位置を他方の面部に対するインクのピンニング位置よりも相対的に高くしている。よって、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成を採用することにより、第１画素部および第２画素部の各々における第２発光部の有機発光層の膜厚の偏りを防止することができる。
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、上記構成において、第１隔壁における非画素部側に面する面部の傾斜角度と、第２隔壁における非画素部側に面する面部における傾斜角度とは、等しい、という構成を採用することができる。
この構成を採用する場合には、非画素部における第１隔壁および第２隔壁との境界部分で第２電極の段切れやリーク電流の発生を防止することができる。即ち、第１隔壁および第２隔壁においては、非画素部側に面する面部の傾斜角度を、第１画素部の第３発光部および第２画素部の第１発光部の各側に面する面部の傾斜角度よりも相対的に緩やかなものとしているので、これらの隔壁の上部にも連続的に形成される第２電極に段切れやリーク電流が発生することを防止することができ、第２電極と第３電極との間の確実な電気的な接続を図ることができる。また、第１隔壁における非画素部側に面する面部の傾斜角度と、第２隔壁における非画素部側に面する面部における傾斜角度とを等しくすることにより、非画素部に対する第１隔壁および第２隔壁の両側での形態を同一とすることができる。よって、電気抵抗などの電気的特性のバラツキを抑えることができる。
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、上記構成において、第１画素部および第２画素部の各々で、第１発光部、第２発光部、第３発光部の順番に、各発光色に対応するインクが塗布されて有機発光層が形成されてなる、という構成を採用することができる。
このようにインクを第１発光部から第２発光部、第３発光部の順番に塗布する場合には、第１画素部および第２画素部の各々において、２巡目にインク塗布される第２発光部と、３巡目にインク塗布される第３発光部とで、蒸気濃度分布の偏りに起因して、有機発光層の膜厚に偏りを生じる傾向にある。
これに対して、第１隔壁および第２隔壁、さらには、他の隔壁について、その面部の傾斜角度を上記のように規定することにより、第１画素部および第２画素部の各々における第１発光部、第２発光部、および第３発光部における各有機発光層の膜厚の偏りを抑制することができる。
よって、このような構成を採用する場合には、第１画素部および第２画素部の各発光部において、有機発光層の膜厚の偏りを防止でき、良好な発光特性が得られる。
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、「傾斜角度」が、隔壁における上記対向する各面部と、隔壁が形成されている下地層（第１電極あるいはホール注入層、さらにはホール注入輸送層がこれに該当する。）の上面と、がなす角度である、と規定することができる。
本発明の一態様に係る有機表示装置は、上記の何れかの本発明の一態様に係る有機発光パネルを備えたことを特徴とする。よって、本発明の一態様に係る有機表示装置は、上記本発明の一態様に係る有機発光パネルが有する効果、即ち、有機発光層の膜厚の偏りを防止することにより、良好な発光特性が得られる。
本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法は、各々が複数の発光部を有する第１画素部および第２画素部が、間に非画素部を挟んだ状態で設けられてなる有機発光パネルを製造するための方法であって、以下の工程を有する。
（第１工程） 基板上に、第１の電極を含む下地層を形成する。
（第２工程） 下地層の上に、感光性レジスト材料を積層する。
（第３工程） 積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、第１画素部として、第１発光部に対応する第１開口、第２発光部に対応する第２開口、第３発光部に対応する第３開口を形成し、隣り合う発光部を区画して各発光部を規定する複数の隔壁を形成し、第２画素部として、第１発光部に対応する第１開口、第２発光部に対応する第２開口、第３発光部に対応する第３開口を形成し、隣り合う発光部を区画して各発光部を規定する複数の隔壁を形成し、第１画素部と第２画素部との間に非画素部に対応する開口を形成し、第１画素部と非画素部を区画する第１隔壁と、第２画素部と非画素部を区画する第２隔壁を形成する。
（第４工程） 第１画素部および第２画素部における、第１開口から第３開口のそれぞれに対して、有機発光材料を含むインクを滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する。
（第５工程） 有機発光層の上方に、第２の電極を形成する。
本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第３工程において、第１隔壁を、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する。また、上記第３工程においては、第２隔壁を、第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しくなるように形成する。
さらに、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第４工程において、各発光色に対応するインクを、第１画素部および第２画素部における、第１開口、第２開口、第３開口のそれぞれに対して順番に滴下し、有機発光層を形成する、ことを特徴とする。
このような製造方法を用いることにより、第１隔壁は、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きく、且つ、第２隔壁は、第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しい、という特徴を有する有機発光パネルを製造することができ、上記のように、インク塗布時における蒸気濃度の分布に起因する有機発光層の膜厚の偏りを効果的に防止することができる。
よって、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。
本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記構成において、隔壁（第１隔壁および第２隔壁を含む）における該当する面部の傾斜角度を大きくする具体的な方法として、例えば、次のような方法を採用することができる。
本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第３工程において、感光性レジスト材料の露光について、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部に相当する部分への露光量を、第１隔壁における非画素部側に面する面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、第１隔壁を、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する、という構成を採用することができる。
このように、複数のマスクを用い、箇所に応じて露光量を変化させることにより、隔壁における該当面部の傾斜角度を相対的に変えることができる。
また、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第３工程において、感光性レジスト材料の露光に関し、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部に相当する部分への光の透過率を、第１隔壁における非画素部側に面する面部に相当する部分への光の透過率よりも小さくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、第１隔壁を、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する、という構成を採用することもできる。
このように、一枚のマスクにおいて、箇所に応じて光の透過率を変化させることにより、隔壁における該当面部の傾斜角度を相対的に変えることができる。
また、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第３工程において、感光性レジスト材料を露光して現像した後、第１隔壁における第１画素部の第３発光部側に面する面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、第１隔壁を、第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する、こともできる。
このように、露光の実行回数を箇所ごとに変化させることにより、隔壁における該当面部の傾斜角度を相対的に大きくすることができる。
［本発明に係る実施の形態を得るに至った経緯］
本発明者は、［背景技術］において記載した有機発光パネルおよびこれを備える有機表示装置に関し、鋭意研究の結果、次のような知見を得た。
図２１に示すように、Ｘ軸方向において、画素部９０ａと画素部９０ｂとが、間に非画素部９０ｃを介挿した状態で配されている。画素部９０ａおよび画素部９０ｂには、各々に赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の３つの発光色に対応したサブピクセル９０ａ１，９０ａ２，９０ａ３，９０ｂ１，９０ｂ２，９０ｂ３が含まれる。各サブピクセル９０ａ１，９０ａ２，９０ａ３，９０ｂ１，９０ｂ２，９０ｂ３では、基板９０１の上に、アノード電極９０２およびこれを覆う電極被覆層９０３が設けられており、さらに、電極被覆層９０２および基板９０１の表面を覆うように、ホール注入層９０４が形成され、ホール注入層９０４の上に、対応する発光色毎に有機発光層９０６ａ１，９０６ａ２，９０６ａ３，９０６ｂ１，９０６ｂ２，９０６ｂ３が積層形成されている。有機発光層９０６ａ１，９０６ａ２，９０６ａ３，９０６ｂ１，９０６ｂ２，９０６ｂ３は、ホール注入層９０４の上に立設されたバンク９０５ａ〜９０５ｄ，９０５ｅ〜９０５ｈにより区画されている。
一方、非画素部９０ｃでは、バスバー９３２およびこれを覆う電極被覆層９３３を有するが、有機発光層は有さない。
図２１に示すように、従来技術に係る有機発光パネルでは、画素部９０ａ，９０ｂにおける非画素部９０ｃにそれぞれ隣接するサブピクセル９０ａ２，９０ａ３，９０ｂ２，９０ｂ３の各有機発光層９０６ａ２，９０６ａ３，９０６ｂ２，９０６ｂ３において、膜厚に偏りを生じてしまうことがある。具体的には、サブピクセル９０ａ２における有機発光層９０６ａ２のバンク９０５ｃ側での箇所Ｃ4の高さが、バンク９０５ｂ側での箇所Ｃ3の高さよりも高くなり、サブピクセル９０ａ２における有機発光層９０６ａ２のバンク９０５ｃ側での箇所Ｃ4の高さが、バンク９０５ｂ側での箇所Ｃ3の高さよりも高くなる。
同様に、サブピクセル９０ｂ２における有機発光層９０６ｂ２のバンク９０５ｇ側での箇所Ｃ10の高さが、バンク９０５ｆ側での箇所Ｃ9の高さよりも高くなり、サブピクセル９０ａ３における有機発光層９０６ａ３のバンク９０５ｈ側での箇所Ｃ12の高さが、バンク９０５ｇ側での箇所Ｃ11の高さよりも高くなる。
一方、画素部９０ａにおけるサブピクセル９０ａ１においては、有機発光層９０６ａ１のバンク９０５ａ側での箇所Ｃ1とバンク９０５ｂ側での箇所Ｃ2とが互いに等しい高さであり、画素部９０ｂにおけるサブピクセル９０ｂ１においても、有機発光層９０６ｂ１のバンク９０５ｅ側での箇所Ｃ7とバンク９０５ｆ側での箇所Ｃ8とが互いに等しい高さである。
上記現象に関し、本発明者は検討を重ねた末、有機発光層における膜厚の均一性の低下は、以下に説明するように、インク乾燥時における蒸気濃度分布の不均一に起因するものと推定した。具体的には、図２２（ａ）に示すように、バンク９０５ｃとバンク９０５ｄとの間に規定される領域に、有機発光層を形成するためのインク９０６０ａ３を塗布した状態を想定し、その際の蒸気濃度分布が、二点鎖線で示すように、図２２（ａ）の左側に比べて右側で低いとしたときに、次のような関係で有機発光層の膜厚に偏りを生じると考えられる。ここで、図２２（ａ）の左側に比べて右側での蒸気濃度分布が低いのは、バンク９０５ｃの左側のサブピクセル９０ａ２には既にインクが塗布されているのに対して（図示を省略）、バンク９０５ｄの右側には、非画素部９０ｃが存在し（図２１を参照）、インクの塗布がなされないことに起因するものと考えられる。
図２２（ａ）に示すように、インク９０６０ａ３の滴下直後において、インク９０６０ａ３の表面プロファイルＬ90は、サブピクセルの中央部分が盛り上がった形状となっている。これを乾燥させる場合には、上記のような蒸気濃度の分布に起因して、蒸気濃度の低い側で蒸発速度が速く、蒸気濃度の高い側で遅くなるので、表面プロファイルＬ91へと変化すると形式的には考えられる。
しかし、図２２（ｂ）に示すように、乾燥途中のインク９０６１ａ３の内部では、破線矢印Ｌ92で示すような溶剤の移動を生じる。これは、蒸発した分を補うように溶剤が移動する（表面自由エネルギを最小にするように移動する）ものであり、溶剤の移動に伴い溶質（有機発光材料）も移動する。このため、図２２（ｃ）に示すように、蒸気濃度分布に偏りを有する場合には、表面プロファイルＬ93が右側ほど盛り上がった（箇所Ｃ5の高さよりも、箇所Ｃ6の高さが高い）有機発光層９０６ａ３が形成されることになる。
以上のようにして、本発明者は、有機発光パネルに関し、インク乾燥時の蒸気濃度分布の不均一に起因し、形成された有機発光層の膜厚の均一性が低下するという推論を得た。
そして、本発明者は、パネル面内において、バンクにおける面部の傾斜角度を異ならせることにより、インクのバンク側面部におけるピンニング位置を異ならせ、この結果、有機発光層の膜厚の均一化を図るという技術的特徴を見出した。
［実施の形態］
以下では、本発明を実施するための形態の一例について、図面を参酌しながら説明する。
なお、以下の説明で用いる形態は、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために用いる例であって、本発明は、その本質的な特徴部分以外に何ら以下の形態に限定を受けるものではない。
１．表示装置１の概略構成
本実施の形態に係る表示装置１の全体構成について、図１を用い説明する。
図１に示すように、表示装置（有機表示装置）１は、表示パネル部１０と、これに接続された駆動制御部２０とを有し構成されている。表示パネル部１０は、有機材料の電界発光現象を利用した有機発光パネルであり、複数の画素部がＸ−Ｙ面方向に２次元配列されている。
また、駆動制御部２０は、４つの駆動回路２１〜２４と制御回路２５とから構成されている。
なお、実際の表示装置１では、表示パネル部１０に対する駆動制御部２０の配置については、これに限られない。
２．表示パネル１０の構成
表示パネル１０の構成について、図２を用い説明する。なお、本実施の形態に係る表示パネル１０は、一例として、トップエミッション型の有機発光パネルを採用し、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れか発光色を有する有機発光層を備える複数の画素部がマトリクス状に配置され構成されているが、図２では、一の画素部における一つのサブピクセル１００を抜き出して描いている。
図２に示すように、表示パネル１０は、ＴＦＴ基板（以下では、単に「基板」と記載する。）１０１上には、アノード電極１０２が形成されており、アノード電極１０２上に、電極被覆層１０３およびホール注入輸送層１０４が順に積層形成されている。なお、アノード電極１０２および電極被覆層１０３は、サブピクセル１００毎に分離された状態で形成されている。
ホール注入輸送層１０４の上には、絶縁材料からなり、サブピクセル１００同士の間を区画するバンク（隔壁）１０５が立設されている。各サブピクセル１００におけるバンク１０５で区画された領域には、有機発光層１０６が形成され、その上には、電子注入層１０７、カソード電極１０８、および封止層１０９が、順に積層形成されている。
ａ）基板１０１
基板１０１は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料をベースとして形成されている。そして、基板１０１には、図示を省略しているが、ＴＦＴ層およびパッシベーション膜、さらには、層間絶縁膜などが積層形成されている。
ｂ）アノード電極１０２
アノード電極１０２は、導電性材料からなる単層、あるいは複数の層が積層されてなる積層体から構成されており、例えば、Ａｌ（アルミニウム）やこれを含む合金、Ａｇ（銀）、ＡＰＣ（銀、パラジウム、銅の合金）、ＡＲＡ（銀、ルビジウム、金の合金）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）などを用い形成されている。なお、本実施の形態のように、トップエミッション型の場合には、高反射性の材料で形成されていることが好ましい。
ｃ）電極被覆層１０３
電極被覆層１０３は、例えば、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を用い形成されており、アノード電極１０２のＺ軸方向上部の表面の少なくとも一部を被覆する。
ｄ）ホール注入輸送層１０４
ホール注入輸送層１０４は、例えば、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、イリジウム（Ｉｒ）などの酸化物、あるいは、ＰＥＤＯＴ（ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物）などの導電性ポリマー材料からなる層である。上記の内、酸化金属からなるホール注入輸送層１０４は、ホールを安定的に、またはホールの生成を補助して、有機発光層１０６に対しホールを注入および輸送する機能を有し、大きな仕事関数を有する。
ここで、ホール注入輸送層１０４を遷移金属の酸化物から構成する場合には、複数の酸化数をとるためこれにより複数の準位をとることができ、その結果、ホール注入が容易になり駆動電圧を低減することができる。
ｅ）バンク１０５
バンク（隔壁）１０５は、樹脂等の有機材料で形成されており絶縁性を有する。バンク１０５の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。そして、バンク１０５は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。
さらに、バンク１０５の形成においては、エッチング処理およびベーク処理などが施されるので、それらの処理に対して過度に変形、変質などをしないような耐性の高い材料で形成されることが好ましい。また、撥水性をもたせるために、側面部をフッ素処理することもできる。
なお、バンク１０５の形成に用いる絶縁材料については、上記の各材料をはじめ、特に抵抗率が１０5［Ω・ｃｍ］以上であって、撥水性を有する材料を用いることができる。これは、抵抗率が１０5［Ω・ｃｍ］以下の材料を用いた場合には、アノード電極１０２とカソード電極１０８との間でのリーク電流、あるいは隣接サブピクセル１００間でのリーク電流の発生の原因となり、消費電力の増加などの種々の問題を生じることになるためである。
また、バンク１０５を親水性の材料を用い形成した場合には、バンク１０５の側面部とホール注入輸送層１０４の表面との親液性／撥液性の差異が小さくなり、有機発光層１０６を形成するために有機物質を含んだインクを、バンク１０５の開口部に選択的に保持させることが困難となってしまうためである。
さらに、バンク１０５の構造については、図２に示すような一層構造だけでなく、二層以上の多層構造を採用することもできる。この場合には、層毎に上記材料を組み合わせることもできるし、層毎に無機材料と有機材料とを用いることもできる。
ｆ）有機発光層１０６
有機発光層１０６は、アノード電極１０２から注入されたホールと、カソード電極１０８から注入された電子とが再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機発光層１０６の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料を用いることが必要である。
具体的には、例えば、特許公開公報（特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、アンスラセン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体などの蛍光物質で形成されることが好ましい。
ｇ）電子注入層１０７
電子注入層１０７は、カソード電極１０８から注入された電子を有機発光層１０６へ輸送する機能を有し、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、あるいはこれらの組み合わせで形成されることが好ましい。
ｈ）カソード電極１０８
カソード電極１０８は、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）などで形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。光透過性については、透過率が８０［％］以上とすることが好ましい。
カソード電極１０８の形成に用いる材料としては、上記の他に、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらのハロゲン化物を含む層と銀を含む層とをこの順で積層した構造を用いることもできる。上記において、銀を含む層は、銀単独で形成されていてもよいし、銀合金で形成されていてもよい。また、光取出し効率の向上を図るためには、当該銀を含む層の上から透明度の高い屈折率調整層を設けることもできる。
ｉ）封止層１０９
封止層１０９は、有機発光層１０６などが水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する機能を有し、例えば、ＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）などの材料を用い形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。
３．バンク１０５の構成
図３に示すように、本実施の形態に係る表示パネル１０では、一例としてライン状のバンク１０５を採用している。具体的には、バンク１０５は、各々がＹ軸方向に延伸形成され、Ｘ軸方向において隣接する画素部の各サブピクセル間を区画し、また、画素部と非画素部との間を区画している（図３では、非画素部については、図示を省略）。そして、各画素部におけるサブピクセル１００は、バンク１０５により区画された領域ごとに、発光色が異なるように形成されており、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各発光色の３つのサブピクセルの組み合わせを以って、一つの画素部が構成されている。
４．表示パネル１０における一部領域での構成
表示パネル１０における一部領域での構成について、図４を用い説明する。なお、図４は、図１における表示パネル１０をＡ−Ａ'断面で切断し、その一部を模式化した断面端面図である。
図４に示すように、表示パネル１０は、ＴＦＴ基板（以下では、単に「基板」と記載する。）１０１をベースとして、画素部１００ａと画素部１００ｂとが、間に非画素部１００ｃを介挿した状態で配されている。画素部１００ａ，１００ｂの各々は、サブピクセル１００ａ１，１００ａ２，１００ａ３，１００ｂ１，・・の各々に対応して、アノード電極１０２が形成されており、アノード電極１０２上に、電極被覆層１０３およびホール注入輸送層１０４が順に積層形成されている。
ホール注入輸送層１０４の上には、絶縁材料からなり、サブピクセル１００ａ１，１００ａ２，１００ａ３，１００ｂ１，・・をそれぞれ規定するバンク１０５ａ〜１０５ｆが立設されている。なお、各サブピクセル１００ａ１，１００ａ２，１００ａ３，１００ｂ１，・・におけるバンク１０５ａ〜１０５ｆで区画された各領域には、有機発光層、電子注入層、カソード電極、および封止層が、順に積層形成されている（図４では、図示を省略）。
本実施の形態に係る表示パネル１０では、画素部１００ａがサブピクセル１００ａ１〜１００ａ３の組み合わせを以って構成され、画素部１００ｂがサブピクセル１００ｂ１，・・（画素部１００ａと同様に３つのサブピクセルで構成）の組み合わせを以って構成されている。そして、上記のように、画素部１００ａと画素部１００ｂとの間に非画素部１００ｃが介挿されている。画素部１００ａのサブピクセル１００ａ３と非画素部１００ｃの間は、バンク１０５ｄで区画され、画素部１００ｂと非画素部１００ｃとの間は、バンク１０５ｅで区画されている。
図４に示すように、非画素部１００ｃでは、アノード電極１０２と同じ材料から構成され、アノード電極１０２とは分離された電極（バスバー）３０２と、これを被覆する電極被覆層３０３が設けられ、電極被覆層３０３の上には、ホール注入輸送層１０４が延設されている。そして、図示を省略しているが、この上にカソード電極が形成されて、バスバー３０２とカソード電極１０８が電気的に接続される。
なお、非画素部１００ｃでは、有機発光層は形成されない。このような構成をとることにより、ＩＴＯなどからなるカソード電極１０８（図２を参照）の電気抵抗の低減を図ることができ、電圧降下を抑えることが可能となる。
図４に示すように、本実施の形態に係る表示パネル１０では、バンク１０５ｂ〜１０５ｆの各々の面部１０５ｂ２，１０５ｃ２，１０５ｃ３，１０５ｄ３，１０５ｄｃ，１０５ｅｃ，１０５ｅ１，１０５ｆ１と下地層であるホール注入輸送層１０４の表面とが、それぞれ角度θｂ２，θｃ２，θｃ３，θｄ３，θｄｃ，θｅｃ，θｅ１，θｆ１をなす。
ここで、本実施の形態において、角度θｂ２，θｃ２，θｃ３，θｄ３，θｄｃ，θｅｃ，θｅ１，θｆ１は、次の各式で示す関係を満足する。
［数１］ θｄ３＞θｄｃ
［数２］ θｅｃ＝θｅ１
［数３］ θｄ３＞θｃ３
［数４］ θｅ１＝θｆ１
［数５］ θｃ２＞θｂ２
［数６］ θｄｃ＝θｅｃ
なお、本実施の形態では、それぞれの角度θｂ２，θｃ２，θｃ３，θｄ３，θｄｃ，θｅｃ，θｅ１，θｆ１を、例えば、次のような範囲で設定することができる。
［数７］ ２５［°］＜θｂ２＝θｃ３＝θｄｃ＝θｅｃ＝θｅ１＝θｆ１＜３５［°］
［数８］ ３５［°］＜θｄ３＜４５［°］
［数９］ ３５［°］＜θｃ２＜４５［°］
上記［数１］〜［数９］の関係でバンク１０５ａ〜１０５ｆの各々の面部１０５ｂ２，１０５ｃ２，１０５ｃ３，１０５ｄ３，１０５ｄｃ，１０５ｅｃ，１０５ｅ１，１０５ｆ１の傾斜角度θｂ２，θｃ２，θｃ３，θｄ３，θｄｃ，θｅｃ，θｅ１，θｆ１を規定するのは、隣り合う画素部１００ａと画素部１００ｂとの間に非画素部１００ｃを配することと、後述するインク１０６０ａ１〜１０６０ａ３，１０６０ｂ１，・・の塗布形態によるものである。
５．バンク１０５における側面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係
バンク１０５における面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係について、図５および図６を用い説明する。なお、図５では、一つのサブピクセルの構造を模式的に描いている。
図５（ａ）に示すように、バンク１０５ｘの面部の傾斜角度（バンク１０５ｘの面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｘであり、図５（ｂ）に示すように、バンク１０５ｙの面部の傾斜角度（バンク１０５ｙの面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｙである。角度θｘと角度θｙとは、次の関係を満たす。
［数１０］ θｙ＞θｘ
各バンク１０５ｘ，１０５ｙで区画された開口部に有機発光材料を含むインク１０６０ｘ，１０６０ｙを滴下（塗布）すると、各ピンニング位置Ｐｘ，Ｐｙの高さＨｘ，Ｈｙが次のような関係となる。
［数１１］ Ｈｙ＞Ｈｘ
図５（ｃ）に示すように、インク１０６０ｘを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｘの高さＨｘが相対的に低いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｘでは、サブピクセルの中央部分が盛り上がり、その膜厚が厚みＴｘとなる。
一方、図５（ｄ）に示すように、インク１０６０ｙを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｙの高さＨｙが相対的に高いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｙでは、サブピクセルの中央部分が凹み、その膜厚が厚みＴｙとなる。
厚みＴｘと厚みＴｙとは、次の関係を満たす。
［数１２］ Ｔｘ＞Ｔｙ
上記の関係を図６に纏めて示す。図６に示すように、バンク１０５の面部における傾斜角度（テーパ角）θを小さくすれば、ピンニング位置の高さＨが低くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが厚くなる。逆に、バンク１０５の面部における傾斜角度（テーパ角）θを大きくすれば、ピンニング位置の高さＨが高くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが薄くなる。
以上の事項について、５つのサンプルを作成して評価した。結果を図７および図８に示す。
図７および図８に示すように、サンプル２の膜厚分布に対し、テーパ角を大きくしたサンプル３およびサンプル４では、ピンニング位置が高くなっている。なお、図７および図８では、横軸が横方向を示し、縦軸が高さ方向を示す。
ただし、バンクのテーパ角（傾斜角度）を５０［°］まで大きくしたサンプル５では、サンプル２よりも膜厚の均一性が低下した。
６．表示パネル１０の製造方法
本実施の形態に係る表示パネル１０の製造方法について、図９、図１０および図１１を用い、特徴となる部分を説明する。なお、以下で説明を省略する製造工程については、従来技術として提案されている種々の工程を採用することが可能である。
先ず、図９（ａ）に示すように、基板１０１におけるＺ軸方向上面に、画素部予定領域１０００ａ，１０００ｂにおける各サブピクセル予定領域１０００ａ１〜１０００ａ３，１０００ｂ１，・・の各々に対応して、アノード電極１０２と電極被覆層１０３とを順に積層形成する。また、非画素予定領域１０００ｃに対応して、バスバー３０２と電極被覆層３０３を順に積層形成する。そして、電極被覆層１０３，３０３の上から、表面全体を覆うように、ホール注入輸送層１０４を積層形成する。アノード電極１０２およびバスバー３０２の形成は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法を用いＡｌ若しくはその合金からなる薄膜、あるいは、Ａｇ薄膜を製膜した後、当該薄膜を、フォトリソグラフィ法を用いパターニングすることによりなされる。
また、電極被覆層１０３，３０３の形成は、例えば、アノード電極１０２およびバスバー３０２の各表面に対し、スパッタリング法などを用いＩＴＯ薄膜を製膜し、当該ＩＴＯ薄膜をフォトリソグラフィ法などを用いパターニングすることでなされる。そして、ホール注入輸送層１０４の形成では、先ず、電極被覆層１０３，３０３の各表面を含む基板１０１の表面に対し、スパッタリング法などを用い金属膜を製膜する。その後、形成された金属膜を酸化し、ホール注入輸送層１０４が形成される。
次に、図９（ｂ）に示すように、例えば、スピンコート法などを用い、ホール注入輸送層１０４の上を覆うように、バンク材料層１０５０を形成する。バンク材料層１０５０の形成には、感光性レジスト材料を用い、具体的には、上述のように、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などの絶縁性を有する有機材料を用いることができる。
次に、図９（ｃ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンクを形成しようとする箇所に開口５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃが設けられたマスク５０１を配する。この状態でマスク５０１の開口５０１，５０１ｂ，５０１ｃを通して、露光を実行する。
なお、図９（ｃ）に示すように、マスク５０１の開口５０１ｃは、その幅Ｗｅが、形成しようとするバンク１０５ｅの面部１０５ｅｃ，１０５ｅ１（図４を参照）の下端のポイントＰｅ１，Ｐｅ２により規定されている。
一方、サブピクセル予定領域１０００ａ２とサブピクセル予定領域１０００ａ３との間、およびサブピクセル予定領域１０００ａ３と非画素予定領域１０００ｃとの間に位置するマスク５０１の開口５０１ａ，５０１ｂは、その幅Ｗｃ１，Ｗｄ１が、形成しようとするバンク１０５ｃ，１０５ｄの面部１０５ｃ２，１０５ｄ３（図４を参照）の各上端のポイントＰｃ１，Ｐｄ１と、面部１０５ｃ３，１０５ｄｃ（図４を参照）の各裾部分のポイントＰｃ２，Ｐｄ２とにより規定されている。
次に、図１０（ａ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンク１０５ｃ，１０５ｄの面部１０５ｃ２，１０５ｄ３（図４を参照）に対応する箇所に開口５０２ａ，５０２ｂが設けられたマスク５０２を配する。そして、この状態でマスク５０２の開口５０２ａ，５０２ｂを通して、２回目の露光を実行する。
なお、図１０（ａ）に示すように、マスク５０２における開口５０２ａ，５０２ｂの各幅Ｗｃ２，Ｗｄ２は、形成しようとするバンク１０５ｃ，１０５ｄの各面部１０５ｃ２，１０５ｄ３の各下端のポイントＰｃ３，Ｐｄ３と各上端のポイントＰｃ１，Ｐｄ１とにより規定されている。
次に、図１０（ｂ）に示すように、現像およびベークを施すことによって、バンク１０５ｂ〜１０５ｆが形成される。バンク１０５ｃにおけるサブピクセル予定領域１０００ａ２側の面部１０５ｃ２、およびバンク１０５ｄにおけるサブピクセル予定領域１０００ａ３側の面部１０５ｄ３は、上述のように、バンク１０５ｂの面部１０５ｂ２、バンク１０５ｃの面部１０５ｃ３、バンク１０５ｄの面部１０５ｄｃ、バンク１０５ｅの面部１０５ｅｃ，１０５ｅ１、およびバンク１０５ｆの面部１０５ｆ１よりも傾斜角度が大きくなる。
その後、図１１（ａ）に示すように、インクジェット法などを用い、バンク１０５ａとバンク１０５ｂで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ａ１）に対し、有機発光材料を含むインク１０６０ａ１を滴下し、同様に、バンク１０５ｅとバンク１０５ｆで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ａ２）に対し、有機発光材料を含むインク１０６０ｂ１を滴下する。このとき、各サブピクセル予定領域１０００ａ１，１０００ｂ１の両側では、未だインクの塗布がなされていないので、特にバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｅ，１０５ｆの各面部１０５ａ１，１０５ｂ１，１０５ｅ１，１０５ｆ１の傾斜角度を他と相違させなくても（大きくしなくても）、各ピンニング位置Ｑａ１，Ｑｂ１，Ｑｅ１，Ｑｆ１が等しくなる。
次に、図１１（ｂ）に示すように、同じくインクジェット法などを用い、バンク１０５ｂとバンク１０５ｃで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ａ２）に対し、有機発光材料を含むインク１０６０ａ２を滴下する。このとき、サブピクセル予定領域１０００ａ１には、既にインク１０６０ａ１が塗布されており、サブピクセル予定領域１０００ａ３には、未だインクが塗布されていないので、蒸気濃度分布に偏りが生じている。よって、バンク１０５ｃの面部１０５ｃ２の傾斜角度を大きくすることで、当該面部１０５ｃ２に対するインク１０６０ａ２のピンニング位置Ｑｃ２を、バンク１０５ｂの面部１０５ｂ２に対するインク１０６０ａ２のピンニング位置Ｑｂ２よりも高くしている。
なお、図１１（ｂ）では、画素予定領域１０００ｂについて、サブピクセル予定領域１０００ｂ１よりもＸ軸方向右側のサブピクセル予定領域を図示していないが、インクの塗布およびピンニング位置の関係などに関しては、画素予定領域１０００ａと同様である。
次に、図１１（ｃ）に示すように、インクジェット法などを用い、バンク１０５ｃとバンク１０５ｄで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ａ３）に対し、有機発光材料を含むインク１０６０ａ３を滴下する。このとき、サブピクセル予定領域１０００ａ２には、既にインク１０６０ａ２が塗布されており、非画素予定領域１０００ｃには、インクが塗布されないので、蒸気濃度分布に偏りを生じる。よって、バンク１０５ｄの面部１０５ｄ３の傾斜角度を大きくすることで、当該面部１０５ｄ３に対するインク１０６０ａ３のピンニング位置Ｑｄ３を、バンク１０５ｃの面部１０５ｃ３に対するインク１０６０ａ３のピンニング位置Ｑｃ３よりも高くしている。
なお、図１１（ｃ）では、画素予定領域１０００ｂについて、サブピクセル予定領域１０００ｂ１よりもＸ軸方向右側のサブピクセル予定領域を図示していないが、インクの塗布およびピンニング位置の関係などに関しては、画素予定領域１０００ａと同様である。
上記のようにピンニング位置Ｑｃ２，Ｑｄ３の高さを、他のピンニング位置Ｑａ１，Ｑ１２，Ｑｂ２，Ｑｃ３，Ｑｅ１，Ｑｆ１の高さよりも高い位置とすることにより、形成された有機発光層１０６の膜厚の偏りを防止することができる。即ち、サブピクセル予定領域１０００ａ１，１０００ａ２，１０００ａ３の順に、インク１０６０ａ１，１０６０ａ２，１０６０ａ３を順次塗布する形態を採用する場合、各インク１０６０ａ２，１０６０ａ３の塗布時において、サブピクセル予定領域１０００ａ２，１０００ａ３では、バンク１０５ｂ，１０５ｃを各々挟んだＸ軸方向左側で、既にインク塗布が塗布され、Ｘ軸方向右側でインクが塗布されていない。このため、サブピクセル１０００ａ２，１０００ａ３へのインク１０６０ａ２，１０６０ａ３の塗布に際しては、蒸気濃度分布に偏りを生じる。これに対して、バンク１０５ｃ，１０５ｄの各面部１０５ｃ２，１０５ｄ３の傾斜角度θｃ２，θｄ３を他よりも大きくすることによって、形成された有機発光層１０６の膜厚の偏りを防止することができる。
なお、画素予定領域１０００ｂについても同様である。また、図示を省略しているが、この後に、インクの乾燥を実行し、その後、電子注入層１０７，カソード電極１０８および封止層１０９などを順に積層形成することで表示パネル１０が形成される。
７．インクの塗布工程と乾燥工程
インクの塗布工程と乾燥工程との関係について、図１２を用い説明する。
図１２（ａ）に示すように、本実施の形態では、赤色インク（インク１０６０ａ１）を塗布し（ステップＳ１）、続いて、緑色インク（インク１０６０ａ２）を塗布（ステップＳ２）、青色インク（インク１０６０ａ３）の塗布（ステップＳ３）を実行した後、纏めてインク乾燥工程（ステップＳ４）を実行することとした。
これに対して、図１２（ｂ）に示すように、赤色インク（インク１０６０ａ１）の塗布（ステップＳ１１）とその乾燥（ステップＳ１２）とを実行し、続いて、緑色インク（インク１０６０ａ２）の塗布（ステップＳ２１）とその乾燥（ステップＳ２２）の実行、および青色インク（インク１０６０ａ３）の塗布（ステップＳ３１）とその乾燥（ステップＳ３２）の実行を順次行うこととすることもできる。この場合においても、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄ，１０５ｅ，１０５ｆの各面部１０５ｂ２，１０５ｃ２，１０５ｃ３，１０５ｄ３，１０５ｄｃ，１０５ｅｃ，１０５ｅ１，１０５ｆ１の各傾斜角度の関係は上記同様とすることができる。この場合にも、形成された有機発光層１０６の膜厚の偏りを抑えることができる。
８．効果
図４に示すように、本実施の形態に係る表示装置１の表示パネル１０では、バンク１０５ｃにおけるサブピクセル１００ａ２側の面部１０５ｃ２の傾斜角度θｃ２、およびバンク１０５ｄにおけるサブピクセル１００ａ３側の面部１０５ｄ３の傾斜角度θｄ３を、他の面部１０５ｂ２，１０５ｃ３，１０５ｄｃ，１０５ｅｃ，１０５ｅ１，１０５ｆ１の傾斜角度θｂ２，θｃ３，θｄｃ，θｅｃ，θｅ１，θｆ１よりも大きく設定されている。このため、図１１（ａ）〜図１１（ｃ）に順に示すように、インク１０６０ａ１，１０６０ａ２，１０６０ａ３，１０６０ｂ１，・・の塗布時において、ピンニング位置Ｑｃ２，Ｑｄ３が、他のピンニング位置Ｑａ１，Ｑｂ１，Ｑｂ２，Ｑｃ３，Ｑｅ１，Ｑｆ１よりも高くなる。
加えて、面部１０５ａ１，１０５ｂ１，１０５ｂ２，１０５ｃ３，１０５ｄｅ，１０５ｅｃ，１０５ｅ１，１０５ｆ１の各傾斜角度θｂ２，θｃ３，θｄｃ，θｅｃ，θｅ１，θｆ１，・・（図４では、面部１０５ａ１の傾斜角度に関する符号を省略）は、互いに等しくなっている。
従って、表示パネル１０では、乾燥後における有機発光層１０６の膜厚が、サブピクセル１００ａ１，１００ａ２，１００ａ３，１００ｂ１を含む全てのサブピクセルで偏りなく均一となり、輝度ムラが小さいという効果を有する。
なお、図９、図１０および図１１を用い説明した本実施の形態に係る表示装置１の製造方法を用いれば、上記効果を有する表示装置１の製造が可能である。
また、上記のように、「等しく」とは、数値面で完全に等しくするということを意味するのではなく、表示装置１の製造における寸法誤差などを考慮したものである。具体的には、表示パネル１０において、それぞれに属するサブピクセル１００ａ１，１００ａ２，１００ａ３，１００ｂ１，・・の発光効率の差異（輝度ムラ）が実用上許容できる範囲で、傾斜角度を等しくするということを意味する。
さらに、バンク１０５ｄ，１０５ｅにおいては、非画素部１００ｃ側に面する面部１０５ｄｃ，１０５ｅｃの傾斜角度θｄｃ，θｅｃを、バンク１０５ｃの面部１０５ｃ２、およびバンク１０５ｄの面部１０５ｄ３の各傾斜角度θｃ２，θｄ３よりも相対的に緩やかなものとしているので、これらのバンク１０５ｄ，１０５ｅの上部にも連続的に形成されるカソード電極１０８に段切れやリーク電流が発生することを防止することができ、カソード電極１０とバスバー３０２との間での確実な電気的な接続を図ることができる。
［変形例１］
次に、図１３を用い、表示装置１の製造方法の変形例１について説明する。図１３は、図９（ｃ）から図１０（ａ）に示す工程に対応する工程を示す。
図１３に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０３を配する。マスク５０３には、光透過部５０３ａ１，５０３ａ２，５０３ｂ１，５０３ｂ２，５０３ｃが設けられている。各光透過部５０３ｃは、バンク１０５ｅを形成しようとする箇所に対応して設けられ、光透過部５０３ａ１，５０３ａ２は、バンク１０５ｃを形成しようとする箇所に対応し、光透過部５０３ｂ１，５０３ｂ２は、バンク１０５ｄを形成しようとする箇所に対応して設けられている。
本変形例１に係る表示装置１の製造方法では、非画素予定領域１０００ｃとサブピクセル予定領域１０００ｂ１との間に対応した領域の光透過部５０３ｃの幅Ｗｅが、形成しようとするバンク１０５ｅの面部１０５ｅｃ，１０５ｅ１（図４を参照。）の各下端のポイントＰｅ１，Ｐｅ２により規定されている。
一方、サブピクセル予定領域１０００ａ２とサブピクセル予定領域１０００ａ３との間、およびサブピクセル予定領域１０００ａ３と非画素予定領域１０００ｃとの間のそれぞれに対応した領域の光透過部５０３ａ１，５０３ｂ１の幅Ｗｃ１，Ｗｄ１は、形成しようとするバンク１０５ｃ，１０５ｄの面部１０５ｃ３，１０５ｄｃ（図４を参照。）の各下端のポイントＰｃ２，Ｐｄ２と、面部１０５ｃ２，１０５ｄ３の各上端のポイントＰｃ１，Ｐｄ１により規定され、光透過部５０３ａ２，５０３ｂ２の幅Ｗｃ２，Ｗｄ２は、バンク１０５ｃ，１０５ｄの面部１０５ｃ２，１０５ｄ３（図４を参照。）の各上端のポイントＰｃ１，Ｐｄ１および各下端のポイントＰｃ３，Ｐｄ３により規定されている。
ここで、マスク５０３は、ハーフトーンなどのマスクを用い構成されており、光透過部５０３ａ１，５０３ｂ１，５０３ｃと光透過部５０３ａ２，５０３ｂ２との光の透過率が異なっている。具体的には、光透過部５０３ａ２，５０３ｂ２の光の透過率は、光透過部５０３ａ１，５０３ｂ１，５０３ｃの光の透過率よりも大きい。
以上のような構成を有するマスク５０３を配した状態で、露光・現像を実行した後、ベークすることにより、図１０（ｂ）に示すような、バンク１０５ｂ〜１０５ｆを形成することができる。即ち、光の透過率が大きく設定された光透過部５０３ａ２，５０３ｂ２を通して露光された箇所では、他の光透過部５０３ａ１，５０３ｂ１，５０３ｃを通して露光された箇所よりも、上記［数１］〜［数４］で示す関係のように、側壁面の傾斜角度が大きくなる。
なお、この後の工程は、上記実施の形態などと同様である。
以上のような製造方法によっても、表示装置１を製造することができる。
［変形例２］
次に、図１４および図１５を用い、表示装置１の製造方法の変形例２について説明する。図１４および図１５は、図９（ｃ）から図１０（ｂ）に示す工程に対応する工程を示す。
図１４（ａ）に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０４を配する。マスク５０４には、バンク１０５を形成しようとする各箇所に対応して、開口５０４ａ，５０４ｂ，５０４ｃが設けられている。
開口５０４ｃは、上記実施の形態の製造方法で用いたマスク５０１の開口５０１ｃと同じ幅を以って形成されている。
一方、サブピクセル予定領域１０００ａ２とサブピクセル予定領域１０００ａ３との間、およびサブピクセル予定領域１０００ａ３と非画素予定領域１０００ｃとの間の、それぞれに形成しようとするバンク１０５ｃ，１０５ｄ（図４を参照。）を形成しようとする箇所に設けられた開口５０４ａ，５０４ｂの幅Ｗｃ３，Ｗｄ３は、図１４（ａ）の二点鎖線で囲んだ部分に示すように、バンク１０５ｃ，１０５ｄ（図４を参照）の面部１０５ｃ２，１０５ｃ３，１０５ｄ３，１０５ｄｃの各下端のポイントＰｃ２，Ｐｃ３，Ｐｄ２，Ｐｄ３で規定される幅よりも大きくなるように設定されている。具体的には、傾斜角度を大きくしようとする箇所で、幅を大きくしている。
図１４（ａ）に示す形態のマスク５０４を配した状態で、１回目の露光・現像を実行する。これにより、図１４（ｂ）に示すように、開口５０４ａ〜５０４ｃのそれぞれに対応する箇所にバンク材料層１０５１ｂ〜１０５１ｆが残る。
なお、図１３（ｂ）に示すように、１回目の露光・現像を実行した状態では、バンク材料層１０５１ｂ〜１０５１ｆの各面部の傾斜角度は、均一である。ただし、バンク材料層１０５１ｃ，１０５１ｄのＸ軸方向での幅は、バンク材料層１０５１ｂ，１０５１ｅ，１０５１ｆのＸ軸方向での幅よりも広くなる。
本変形例２においては、この時点でのベークを行わない。
次に、図１５（ａ）に示すように、バンク材料層１０５１ｂ〜１０５１ｆが形成された状態で、その上方に、マスク５０５を配する。マスク５０５には、形成しようとするバンク１０５ｂ〜１０５ｆの面部に対応する箇所の内、傾斜角度を大きくしようとする箇所（バンク１０５ｃの面部１０５ｃ２、およびバンク１０５ｄの面部１０５ｄ３）に限定して開口５０５ａ，５０５ｂが設けられている。
マスク５０５を配した状態で、２回目の露光・現像を行った後、ベークをすることにより、図１５（ｂ）に示すようなバンク１０５ｂ〜１０５ｆが形成できる。これにより、バンク１０５ｃの面部１０５ｃ２、およびバンク１０５ｄの面部１０５ｄ３の傾斜角度が、他の面部１０５ｂ２，１０５ｃ３，１０５ｄｃ，１０５ｅｃ，１０５ｅ１，１０５ｆ１の傾斜角度よりも大きくなる。
この後、上記実施の形態などと同様の工程を実行することにより、表示装置１を製造することができる。
［製造方法の検証］
上記実施の形態および変形例１，２に係る各製造方法について、具体例を以って形成後のバンク形状について検証を行った。その結果について、図１６を用い説明する。
図１６（ａ）に示すように、露光量を増やすほど、形成されるバンク側面部の傾斜角度が大きくなる。具体的には、露光量を２００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、２３［°］であるのに対して、露光量を３００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、３８［°］である。この結果については、図１６（ｂ）に示すＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）にも示されている。
さらに、図１６（ａ）および図１６（ｂ）に示すように、露光量を２００［ｍＪ］として１回目の露光・現像を行った後、露光量を１００［ｍＪ］として２回目の露光・現像を行った場合には、形成されるバンク側面部の傾斜角度が５０［°］となる。これは、上記変形例２に係る製造方法に対応するものであり、バンク側面部の傾斜角度を大きくするのに有効であると考えられる。
なお、図１６（ｂ）において、横軸は横方向を示し、縦軸は高さ方向を示す。
［その他の事項］
先ず、上記実施の形態および変形例１，２では、バンク１０５，１０５ａ〜１０５ｆ，１０５ｘ，１０５ｙの各面部が平面であると模式的に示したが、バンクの面部については、必ずしも平面でなくてもよい。例えば、図１７（ａ）に示すように、バンク６０５の場合には、ポイントＰ61からポイントＰ62までの間の面と、ポイントＰ62からポイントＰ63までの間の面とが、交差することになる。この場合、インク塗布時におけるピンニング位置Ｑｙ１は、ポイントＰ62からポイントＰ63までの間の面に存する。そして、ポイントＰ62を通る仮想直線Ｌ1を引いたときに形成される面部の傾斜角度θｙ２が、ピンニング位置との関係で重要となる。
しかし、バンク６０５の形成においては、下地層であるホール注入輸送層１０４とバンク６０５のポイントＰ61からポイントＰ62までの間の面とがなす角度θｙ１を制御することにより、角度θｙ２も制御されることになるので、実質的に、傾斜角度θｙ１を制御することで、上記のような効果を得ることが可能である。即ち、図１７（ａ）に示す角度θｙ１に対して、ポイントＰ71からポイントＰ72までの間の面の角度θｙ１１が大きいバンク７０５を形成した場合には（図１７（ｂ））、図１７（ｂ）に示すように、ポイントＰ72からポイントＰ73までの間の面が仮想直線Ｌ2に対してなす角度θｙ１２も、図１７（ａ）の角度θｙ２に対して大きくなる。
次に、上記実施の形態および変形例１，２では、表示パネル１０における上記構成の適用領域を限定しなかったが、表示パネルにおける全領域に対して上記構成を適用することもできるし、一部の領域に限定して上記構成を適用することもできる。図１８に示すように、表示パネル１０を、その面に沿った方向において、形式的に、中央部に配された領域１０ａと、その周辺に配された領域１０ｂとに区分けすることができる。ここで、領域１０ａは、アノード電極がその下部に形成されたＴＦＴ層のソース電極またはドレイン電極に接続されており、発光に寄与する領域であり、対して、領域１０ｂは、アノード電極がその下部に形成されたＴＦＴ層のソース電極およびレイン電極の何れにも接続されておらず、発光に寄与しない領域である。そして、領域１０ａを、さらに中央領域１０ａ１と周辺領域１０ａ２とに形成期的に分けた場合、インク塗布時における蒸気濃度の分布状態から、周辺領域１０ａ２でサブピクセル内における有機発光層の膜厚の偏りが、より顕著に生ずるものと考えられる。
なお、周辺領域１０ａ２と領域１０ｂとを合わせた領域は、パネルにおける外周部の０．５［％］〜数［％］程度（例えば、１［％］）の画素部とすることが考えられる。これは、バンクの面部における傾斜角度の調整を行わない場合における有機発光層の膜厚バラツキを考慮することによるものである。
上記実施の形態および変形例１，２では、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために一例としての各構成を採用するものであり、本発明は、本質的な部分を除き、上記形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、図２に示すように、有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にアノード電極１０２が配されている構成を一例として採用したが、本発明は、これに限らず有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８が配されているような構成を採用することもできる。
有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８を配する構成とする場合には、トップエミッション構造となるので、カソード電極１０８を反射電極層とし、その上に電極被覆層１０３を形成する構成を採用することになる。
また、上記実施の形態などでは、表示装置１の具体的な外観形状を示さなかったが、例えば、図１９に示すようなシステム一部とすることができる。なお、有機ＥＬ表示装置は、液晶表示装置のようなバックライトを必要としないので、薄型化に適しており、システムデザインという観点から優れた特性を発揮する。
また、上記実施の形態および変形例１，２では、バンク１０５，１０５ａ〜１０５ｆ，１０５ｘ，１０５ｙ，６０５，７０５の形態として、図３に示すような、所謂、ラインバンク構造を採用したが、図２０に示すような、Ｙ軸方向に延伸するバンク要素８０５ａとＸ軸方向に延伸するバンク要素８０５ｂとからなるピクセルバンク８０５を採用して表示パネル８０を構成することもできる。
図２０に示すように、ピクセルバンク８０５を採用する場合には、各サブピクセル８００ａ，８００ｂ，８００ｃを規定するバンク８０５に対し、そのＸ軸方向およびＹ軸方向の各外側となる側壁部の傾斜角度を大きくすることで、上記同様の効果を得ることができる。具体的には、矢印Ｂ1，Ｂ2，Ｂ3，Ｂ4で指し示す面部の傾斜角度を、適宜調整することで上記効果を得ることが可能である。
また、上記実施の形態および変形例１，２で採用したバンクの面部の傾斜角度の調整は、製造時の有機発光層の形成に係るインク塗布工程および乾燥工程での蒸気濃度分布に個別的に応じて適宜変更することができる。例えば、乾燥装置の構造などで、インクの乾燥時における蒸気の流れが、パネル外周部からパネル中央部に向けた方向であるような場合には、有機発光層の膜厚が厚くなる箇所に対応して、バンク側面部の傾斜角度を大きくすればよい。これにより、有機発光層の膜厚を均一化することができ、パネル全体における輝度ムラを低減することができる。
また、上記実施の形態および変形例１，２では、発光色（赤色、緑色、青色）毎で、バンクの面部における傾斜角度（テーパー角）の設定に区別はないが、発光色に応じて有機発光材料を含むインクの特性が変化することが考えられるので、この場合、各発光色のインク特性に応じて、対応するバンクの面部の傾斜角度を規定することができる。
さらに、上記実施の形態および変形例１，２では、バスバー３０２とアノード電極１０２とが同じ材料から構成されていることとしたが、必ずしも同じ材料から構成されている必要はない。ただし、同じ材料で構成する場合、同一の工程での形成が可能となり、製造コストの低減という観点から優れる。
本発明は、輝度ムラが少なく、高い画質性能を有する有機発光パネルおよび有機表示装置を実現するに有用である。
１．表示装置
１０，８０．表示パネル
１０ａ１．発光中央領域
１０ａ２．発光周辺領域
１０ｂ．ダミー領域
２０．駆動制御部
２１〜２４．駆動回路
２５．制御回路
１００ａ，１００ｂ．画素部
１００ａ１〜１００ａ３，１００ｂ１．サブピクセル
１００ｃ．非画素部
１０１．基板
１０２．アノード電極
１０３，３０３．電極被覆層
１０４．ホール注入層
１０５，１０５ａ〜１０５ｆ，１０５ｘ，１０５ｙ，６０５，７０５，８０５．バンク
１０６，１０６ｘ，１０６ｙ．有機発光層
１０７．電子注入層
１０８．カソード電極
１０９．封止層
３０２．バスバー
５０１〜５０５．マスク
１０００ａ，１０００ｂ．画素予定領域
１０００ａ１〜１０００ａ２，１０００ｂ１．サブピクセル予定領域
１０００ｃ．非画素予定領域
１０５０，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄ，１０５１ｅ，１０５１ｆ．バンク材料層
１０６０ａ１〜１０６０ａ３，１０６０ｂ１，１０６０ｘ，１０６０ｙ．インク

Claims (12)

  1. 互いに発光色が異なる、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とが順に配列された複数の発光部を有し、各発光部が、第１電極を含む下地層と、前記下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、前記有機発光層に対して前記下地層と反対側に設けられる第２電極と、前記下地層に対向して設けられ、前記複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁とを備える、第１画素部と、
    互いに発光色が異なる、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とが順に配列された複数の発光部を有し、各発光部が、第１電極を含む下地層と、前記下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、前記有機発光層に対して前記下地層と反対側に設けられる第２電極と、前記下地層に対向して設けられ、前記複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁とを備え、前記第１画素部とは異なる第２画素部と、
    前記第１画素部と前記第２画素部との間に介挿され、有機発光層を含むことなく、前記第１電極とは分離された第３電極と、前記第２電極とを含み、前記第２電極と前記第３電極とが電気的に接続されている非画素部と、
    前記第１画素部と前記非画素部との間に配設され、前記第１画素部の前記第３発光部と、前記非画素部とを区画する、前記複数の隔壁とは異なる第１隔壁と、
    前記第２画素部と前記非画素部との間に配設され、前記第２画素部の前記第１発光部と、前記非画素部とを区画する前記複数の隔壁とは異なる第２隔壁と、
    を有し、
    前記第１隔壁は、前記第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、前記非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きく、
    且つ、
    前記第２隔壁は、前記第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、前記非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しい、
    ことを特徴とする有機発光パネル。
  2. 前記第１画素部の第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁に関し、前記第１隔壁における前記第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度は、前記第１画素部の第２発光部側に位置する隔壁における前記第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度よりも大きく、
    且つ、
    前記第２画素部の第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁に関し、前記第２隔壁における前記第２画素部の第１発光部側に面する面部の傾斜角度は、前記第２画素部の第２発光部側に位置する隔壁における前記第２画素部の第１発光部側に面する面部の傾斜角度と等しい、
    請求項１記載の有機発光パネル。
  3. 前記第１画素部および前記第２画素部の各々では、
    前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が異なり、且つ、前記第３発光部側に位置する隔壁における前記第２発光部側に面する面部の傾斜角度が、前記第１発光部側に位置する隔壁における前記第２発光部側に面する面部の傾斜角度よりも大きい、
    請求項１記載の有機発光パネル。
  4. 前記前記第１隔壁における前記非画素部側に面する面部の傾斜角度と、
    前記第２隔壁における前記非画素部側に面する面部における傾斜角度とは、
    等しい、
    請求項１記載の有機発光パネル。
  5. 前記第１画素部および前記第２画素部の各々では、
    前記第１発光部、前記第２発光部、前記第３発光部の順番に、各発光色に対応するインクが塗布されて前記有機発光層が形成されてなる、
    請求項１記載の有機発光パネル。
  6. 前記傾斜角度は、前記隔壁における各面部と、前記隔壁が形成されている前記下地層の上面とがなす角度である、
    請求項１記載の有機発光パネル。
  7. 請求項１から請求項６の何れかに記載の有機発光パネルを備えた有機表示装置。
  8. 各々が複数の発光部を有する第１画素部および第２画素部と、当該第１画素部と第２画素部との間に介挿された非画素部とを有する有機発光パネルの製造方法であって、
    基板上に、第１の電極を含む下地層を形成する第１工程と、
    前記下地層の上に、感光性レジスト材料を積層する第２工程と、
    前記積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、前記第１画素部として、第１発光部に対応する第１開口、第２発光部に対応する第２開口、第３発光部に対応する第３開口を形成し、隣り合う発光部を区画して各発光部を規定する複数の隔壁を形成し、前記第２画素部として、第１発光部に対応する第１開口、第２発光部に対応する第２開口、第３発光部に対応する第３開口を形成し、隣り合う発光部を区画して各発光部を規定する複数の隔壁を形成し、前記第１画素部と前記第２画素部との間に非画素部に対応する開口を形成し、前記第１画素部と前記非画素部を区画する第１隔壁と、前記第２画素部と前記非画素部を区画する第２隔壁を形成する第３工程と、
    前記第１画素部および第２画素部における，前記第１開口から前記第３開口のそれぞれに対して、有機発光材料を含むインクを滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する第４工程と、
    前記有機発光層の上方に、第２の電極を形成する第５工程と、
    を有し、
    前記第３工程では、
    前記第１隔壁を、前記第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、前記非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成し、
    且つ、
    前記第２隔壁を、前記第２画素部の第１発光部側に面する面部における傾斜角度が、前記非画素部側に面する面部における傾斜角度と等しくなるように形成し、
    前記第４工程では、
    各発光色に対応する前記インクを、前記第１画素部および第２画素部における、前記第１開口、前記第２開口、前記第３開口のそれぞれに対して順番に滴下し、前記有機発光層を形成する、
    ことを特徴とする有機発光パネルの製造方法。
  9. 前記第３工程では、
    前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第１隔壁における前記第１画素部の第３発光部側に面する面部に相当する部分への露光量を、前記第１隔壁における非画素部側に面する面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、
    前記第１隔壁を、前記第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、前記非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する、
    請求項８記載の有機発光パネルの製造方法。
  10. 前記第３工程では、
    前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第１隔壁における前記第１画素部の第３発光部側に面する面部に相当する部分への光の透過率を、前記第１隔壁における非画素部側に面する面部に相当する部分への光の透過率よりも大きくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、
    前記第１隔壁を、前記第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、前記非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する、
    請求項８記載の有機発光パネルの製造方法。
  11. 前記第３工程では、
    前記感光性レジスト材料を露光して現像した後、
    前記第１隔壁における前記第１画素部の第３発光部側に面する面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、
    前記第１隔壁を、前記第１画素部の第３発光部側に面する面部の傾斜角度が、前記非画素部側に面する面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する、
    請求項８記載の有機発光パネルの製造方法。
  12. 請求項８から請求項１１の何れかに記載の製造方法により得られた有機発光パネルを備えた有機表示装置。
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