JP5674025B2 - めっき前処理装置及びめっき前処理方法 - Google Patents
めっき前処理装置及びめっき前処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5674025B2 JP5674025B2 JP2011043818A JP2011043818A JP5674025B2 JP 5674025 B2 JP5674025 B2 JP 5674025B2 JP 2011043818 A JP2011043818 A JP 2011043818A JP 2011043818 A JP2011043818 A JP 2011043818A JP 5674025 B2 JP5674025 B2 JP 5674025B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- multilayer wiring
- tank
- soft etching
- plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims description 97
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 122
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 92
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 63
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 50
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims description 48
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 37
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 25
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 14
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 claims description 13
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 12
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 claims description 6
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 17
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 9
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 8
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 7
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VAZSKTXWXKYQJF-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)OOS([O-])=O VAZSKTXWXKYQJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- XEMZLVDIUVCKGL-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;sulfuric acid Chemical compound OO.OS(O)(=O)=O XEMZLVDIUVCKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Description
(1) 多層配線基板の表層から内層に到る有底ビアを電気的に接続するためのめっき用の前処理を行うめっき前処理装置であって、被めっき体である前記多層配線基板の脱脂を行う脱脂槽と、脱脂に用いた脱脂液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗槽Aと、前記多層配線板の有底ビアの底部に露出した内層表面に対してエッチングを行うソフトエッチング槽と、前記エッチングに用いたソフトエッチング液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗槽Bと、を備え、前記水洗槽Aの水洗水の実際の温度が、前記ソフトエッチング槽のソフトエッチング液の設定温度に対して、−5〜0℃の範囲に制御されるめっき前処理装置。
(2) (1)において、水洗槽Aの水洗水の設定温度が、ソフトエッチング槽のソフトエッチング液の設定温度と連動して制御されるめっき前処理装置。
(3) (1)または(2)において、水洗槽Aが、複数の槽に分けられ、この複数の槽が、最後尾の槽からめっき前処理装置の前方に向かうにつれて、液面が低くなるように形成されるめっき前処理装置。
(4) (1)〜(3)の何れかにおいて、被めっき体である多層配線基板が、水平方向に搬送されるめっき前処理装置。
(5) (1)〜(4)の何れかにおいて、ソフトエッチング槽のソフトエッチング液が、過硫酸アンモニウム水溶液、過硫酸ナトリウム水溶液、硫酸−過酸化水素水溶液の何れかであるめっき前処理装置。
(6) 多層配線基板の表層から内層に到る有底ビアを電気的に接続するためのめっき用の前処理を行うめっき前処理方法であって、被めっき体である前記多層配線基板の脱脂を行う脱脂工程と、脱脂に用いた脱脂液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗A工程と、前記多層配線板の有底ビアの底部に露出した内層表面に対してエッチングを行うソフトエッチング工程と、前記エッチングに用いたソフトエッチング液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗B工程と、を備え、前記水洗工程Aの水洗水の実際の温度が、前記ソフトエッチング工程のソフトエッチング液の設定温度に対して、−5〜0℃の範囲に制御されるめっき前処理方法。
図3に示すようにして、エッチングによって表層15の銅箔にコンフォーマルマスクとなる窓孔18を設け、この窓孔18にレーザ光19を照射して表層と内層の間に配置された絶縁樹脂を除去することで、表層から内層に到る有底ビア(非貫通穴)を形成した後、この有底ビア23内に対して、レーザの加工残渣20であるスミアを除去するデスミア処理を行った多層配線基板14を、48枚準備した。この多層配線基板14は、板厚が0.6mm、サイズが500mm×600mm、配線層が6層である。
実施例1と同様の多層配線基板を準備し、実施例1と同様のめっき前処理装置を用いて、めっき前処理を行った。めっき前処理のうち、脱脂は15℃、5分の条件で行った。これ以外は、実施例1と同様である。
実施例1と同様の多層配線基板を準備し、実施例1と同様のめっき前処理装置を用いて、めっき前処理を行った。めっき前処理のうち、脱脂は45℃、5分の条件で行った。これ以外は、実施例1と同様である。
実施例1と同様の多層配線基板を準備し、実施例1と同様のめっき前処理装置を用いて、めっき前処理を行った。めっき前処理のうち、ソフトエッチング液は、100g/lのAPSを用い、設定温度40℃、1分の条件でソフトエッチングを行った。これ以外は、実施例1と同様である。
実施例1と同様の多層配線基板を準備し、実施例1と同様のめっき前処理装置を用いて、めっき前処理を行った。めっき前処理のうち、ソフトエッチング液は、硫酸の濃度が100g/l、過酸化水素の濃度が100g/lの硫酸/過水を用い、設定温度40℃、1分の条件でソフトエッチングを行った。これ以外は、実施例1と同様である。
実施例1と同様の多層配線基板を準備し、実施例1と同様のめっき前処理装置を用いて、めっき前処理を行った。めっき前処理のうち、水洗槽Aの水洗水の温度は、ソフトエッチング液の設定温度(40℃)に対して、第3水洗の水洗水の実際の温度が、常に、−11〜−9℃の範囲となるように、第3水洗の水洗水の設定温度を30℃とした。これ以外は、実施例1と同様である。
実施例1と同様の多層配線基板を準備し、実施例1と同様のめっき前処理装置を用いて、めっき前処理を行った。めっき前処理のうち、水洗槽Aの水洗水の温度は、ソフトエッチング液の設定温度(40℃)に対して、第3水洗の水洗水の実際の温度が、常に、+2〜+5℃の範囲となるように、第3水洗の水洗水の設定温度を45℃とした。これ以外は、実施例1と同様である。
2…投入部
3…脱脂槽
4…水洗槽A、41…第1水洗、42…第2水洗、43…第3水洗
5…ソフトエッチング槽
6…水洗槽B、61…第1水洗、62…第2水洗、63…第3水洗
7…搬送ロール
8…スプレーノズル
10…液面
11…脱脂液
12…水洗水
13…ソフトエッチング液
14…多層配線基板
15…銅箔(表層)
16…絶縁層
17…銅箔(内層)
18…窓孔
19…レーザ光
20…加工残渣
21…有底ビア底部
22…めっきまたは無電解めっきまたは電気めっき
23…有底ビア
24…(内層の)ソフトエッチング面
25…循環ポンプ
26…ヒータ及びチラーの熱交換器
Claims (6)
- 多層配線基板の表層から内層に到る有底ビアを電気的に接続するためのめっき用の前処理を行うめっき前処理装置であって、
被めっき体である前記多層配線基板の脱脂を行う脱脂槽と、
脱脂に用いた脱脂液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗槽Aと、
前記多層配線板の有底ビアの底部に露出した内層表面に対してエッチングを行うソフトエッチング槽と、
前記エッチングに用いたソフトエッチング液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗槽Bと、を備え、
前記水洗槽Aの水洗水の実際の温度が、前記ソフトエッチング槽のソフトエッチング液の設定温度に対して、−5〜0℃の範囲に制御されるめっき前処理装置。 - 請求項1において、水洗槽Aの水洗水の設定温度が、ソフトエッチング槽のソフトエッチング液の設定温度と連動して制御されるめっき前処理装置。
- 請求項1または2において、水洗槽Aが、複数の槽に分けられ、この複数の槽が、最後尾の槽からめっき前処理装置の前方に向かうにつれて、液面が低くなるように形成されるめっき前処理装置。
- 請求項1〜3の何れかにおいて、被めっき体である多層配線基板が、水平方向に搬送されるめっき前処理装置。
- 請求項1〜4の何れかにおいて、ソフトエッチング槽のソフトエッチング液が、過硫酸アンモニウム水溶液、過硫酸ナトリウム水溶液、硫酸−過酸化水素水溶液の何れかであるめっき前処理装置。
- 多層配線基板の表層から内層に到る有底ビアを電気的に接続するためのめっき用の前処理を行うめっき前処理方法であって、
被めっき体である前記多層配線基板の脱脂を行う脱脂工程と、
脱脂に用いた脱脂液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗A工程と、
前記多層配線板の有底ビアの底部に露出した内層表面に対してエッチングを行うソフトエッチング工程と、
前記エッチングに用いたソフトエッチング液を前記多層配線基板から洗浄除去する水洗B工程と、を備え、
前記水洗工程Aの水洗水の実際の温度が、前記ソフトエッチング工程のソフトエッチング液の設定温度に対して、−5〜0℃の範囲に制御されるめっき前処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011043818A JP5674025B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | めっき前処理装置及びめっき前処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011043818A JP5674025B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | めっき前処理装置及びめっき前処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012182284A JP2012182284A (ja) | 2012-09-20 |
JP5674025B2 true JP5674025B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=47013240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011043818A Active JP5674025B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | めっき前処理装置及びめっき前処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5674025B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103409752B (zh) * | 2013-07-18 | 2015-10-14 | 新奥光伏能源有限公司 | 一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 |
CN107068802A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-08-18 | 中建材浚鑫科技股份有限公司 | 提高多晶硅片刻蚀绒面均匀性的预处理装置及其处理方法 |
JP7447632B2 (ja) * | 2020-03-31 | 2024-03-12 | 味の素株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6225496A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-03 | 株式会社 アズマ | プリント配線基板導通孔の連続化学めつき方法とその装置 |
JPH0823164A (ja) * | 1994-07-05 | 1996-01-23 | Ebara Densan:Kk | プリント基板のめっき方法 |
JP3220350B2 (ja) * | 1995-05-15 | 2001-10-22 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
JP2001274549A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Okuno Chem Ind Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
-
2011
- 2011-03-01 JP JP2011043818A patent/JP5674025B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012182284A (ja) | 2012-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5428667B2 (ja) | 半導体チップ搭載用基板の製造方法 | |
JP4477098B2 (ja) | 金属被覆ポリイミド複合体、同複合体の製造方法及び同複合体の製造装置 | |
US20050178669A1 (en) | Method of electroplating aluminum | |
JP4831783B2 (ja) | 導電層及びこれを用いた積層体と、これらの製造方法 | |
JP2002047583A (ja) | 銅または銅合金のマイクロエッチング剤およびそれを用いるマイクロエッチング法 | |
JP5674025B2 (ja) | めっき前処理装置及びめっき前処理方法 | |
US20130175238A1 (en) | Etching solution and method of manufacturing printed wiring substrate using the same | |
JP5794740B2 (ja) | プリント配線板の製造方法及びそのプリント配線板の製造方法を用いて得られたプリント配線板 | |
JP2005256159A (ja) | 銅めっき皮膜の成膜方法、半導体パッケージ用樹脂フィルム基板の連続銅めっき装置ならびにフレキシブル銅張り積層板 | |
JP5281788B2 (ja) | 銅又は銅合金表面への電気銅めっきの前処理に用いる酸性脱脂剤及びその酸性脱脂剤を用いて前処理した銅又は銅合金表面への電気銅めっき方法 | |
JP5647967B2 (ja) | プリント配線基板の製造方法、プリント配線基板 | |
JP5938948B2 (ja) | 半導体チップ搭載用基板及びその製造方法 | |
US20130186764A1 (en) | Low Etch Process for Direct Metallization | |
JP5317099B2 (ja) | 接着層形成液 | |
JP2014067976A (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
JP2008308749A (ja) | 銅めっき方法 | |
JP5682678B2 (ja) | 半導体チップ搭載用基板及びその製造方法 | |
JP2009167506A (ja) | 酸性電解銅めっき液およびこれを用いる微細配線回路の作製方法 | |
KR100576385B1 (ko) | 압연동 적층판의 제조방법 | |
JP2013093360A (ja) | 半導体チップ搭載用基板及びその製造方法 | |
JP2013089913A (ja) | 半導体チップ搭載用基板及びその製造方法 | |
JP3928392B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP5481586B1 (ja) | キャリア付銅箔、キャリア付銅箔の製造方法、プリント配線板、プリント回路板、銅張積層板、及びプリント配線板の製造方法 | |
TWI599279B (zh) | 雷射加工用銅箔、具有載體箔之雷射加工用銅箔、貼銅積層體以及印刷配線板之製造方法 | |
KR100934106B1 (ko) | 미세 피치의 인쇄회로기판 제조를 위한 완전 부가 공법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141024 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141217 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5674025 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |