JP5673231B2 - エッチングシミュレーション装置、エッチングシミュレーション方法、プログラム、記憶媒体 - Google Patents
エッチングシミュレーション装置、エッチングシミュレーション方法、プログラム、記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5673231B2 JP5673231B2 JP2011051088A JP2011051088A JP5673231B2 JP 5673231 B2 JP5673231 B2 JP 5673231B2 JP 2011051088 A JP2011051088 A JP 2011051088A JP 2011051088 A JP2011051088 A JP 2011051088A JP 5673231 B2 JP5673231 B2 JP 5673231B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- data
- mask
- simulation
- target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
まず、図1、図2を参照して、本実施形態のエッチングシミュレーション装置について説明する。
周辺機器I/F(インタフェース)部14は、周辺機器を接続させるためのポートであり、周辺機器I/F部14を介して周辺機器とのデータの送受信を行う。周辺機器I/F部14は、USB等で構成されており、通常複数の周辺機器I/Fを有する。周辺機器との接続形態は有線、無線を問わない。
入力部16は、例えば、キーボード、マウス等のポインティング・デバイス、テンキー等の入力装置であり、入力されたデータを制御部11へ出力する。
バス18は、各装置間の制御信号、データ信号等の授受を媒介する経路である。
図7(c)は、上から1行目のセルについて、左から右へと走査しながら上記の処理を行ったものである。
この処理を走査方向を変えつつ繰り返すと、図7(d)に示すようにマスクデータ26におけるマスク部26bと開口部26aの境界からの距離を示す距離データ30が作成される。
なお、サイドエッチングプロファイル27aはこれに限ることはなく、エッチングを行なった際の、マスク部26b側でのエッチング対象45の形状を表すものであればよいが、上記のようなデータとすることにより、正確にサイドエッチングの影響を反映させることができる。
この際、ハイトフィールドデータ(エッチング対象)29の階調値について、先ほどマスクデータ26とサイドエッチングプロファイル27aを用いて算出した腐食深度を減算する。即ち、開口部26aに対応する箇所では所定の腐食深度hを減算し、マスク部26bに対応する箇所では、サイドエッチングプロファイル27aに基づく、開口部26aとマスク部26bの境界からの水平距離に応じた腐食深度を減算する。
そして、この際、上記の腐食深度に、丸エッチングプロファイル27bを用いて丸エッチングの影響を反映させる。
丸エッチングプロファイル27bは、エッチング対象上の一の箇所が所定の距離離れた両側の箇所となす角度、即ち図10(a)におけるエッチング対象45上の点P0が当該点P0から距離bにある両側の点P1、P2となす角度θと、当該角度θを2等分する線分の鉛直方向に対する傾斜角αの組み合わせ(θ、α)と、エッチング進行の度合いとの関係を数値化して表すものであり、その例が図10(b)である。
なお、丸エッチングプロファイル27bはこれに限ることは無く、エッチング対象の形状に応じたエッチング進行の度合いの違いを表すことができればよいが、上記のようなデータとすることにより、正確に丸エッチングの影響を反映させることができる。
なお、本実施形態では、上記のエッチングデータ46の腐食深度の値を複数に等分し、1回分のエッチングの進行状況を複数のステップでシミュレーションしハイトフィールドデータを作成する。以下説明する例は、腐食深度の値を3等分し、1回分のエッチングの進行状況を3ステップでシミュレーションするものである。
図11(a)に示すハイトフィールドデータ(エッチング対象)29の平坦な部分(x1)では、開口部26aにおけるエッチングデータ46の腐食深度の3等分値(例えば「10」)が減算される。平坦な箇所であるので、この際の丸エッチングプロファイル27bによる腐食深度の変化率は0%であり、図11(b)の部分x1の階調値は40→30となる。
一方、突出部(x2)の場合、同じく開口部26aにおけるエッチングデータ46の腐食深度の3等分値に丸エッチングプロファイル27bによる重みづけを行った腐食深度を減算するが、突出部では腐食深度の変化率が大きくなり、重みづけ後の腐食深度が増加(例えば「10」→「15」)し、図11(b)の部分x2の階調値が60→45と変化する。このように、突出部での腐食深度が平坦な部分よりも大きくなっており、前述の丸エッチングの影響が表現されている。
加えて、マスク部26bに対応する箇所でも階調値が減算され、サイドエッチングの影響が表現されている。
なお、上記の例では1回分のエッチングの進行状況を3ステップでシミュレーションし、各ステップにおけるハイトフィールドデータ(エッチング対象)29を生成したが、シミュレーションするステップ数はこれに限らず、例えば5ステップでもよいし、1回分のエッチングの進行状況を1ステップでシミュレーションしてもよい。
上記の処理を全てのマスクデータ26について行なうまで(ステップS26のNo)繰り返し、全てのマスクデータ26について上記の処理を行えば(ステップS26のYes)、エッチングシミュレーションを終了する。
図12(a)は左上部分を小さなマスク部としたマスクデータであり、図12(b)は中央部を大きなマスク部としたマスクデータである。どちらも、大きさ200×200ピクセル、解像度508dpiのデータである。
図13(a)、(b)より、サイドエッチングの影響が開口部とマスク部の境界付近にあらわれており、その形状が滑らかに変化していることがわかる。
図14では腐食深度がグレースケールで示されており、黒色は深度0μm、白色は深度300μmを示す。図14では、マスクデータにおける開口部とマスク部の境界部でのサイドエッチングと、2段目のエッチングの際の丸エッチングの影響が表れており、その形状が滑らかに変化していることがわかる。
また、エッチングプロファイルについて数々の条件に応じて異なるデータを用いることで、エッチング液の種類・濃度・温度、エンボス版の金属の種類など、エッチング環境の影響をさらに考慮したエッチングシミュレーションを行うことができ、これにより、マスクデータの作成時に、さらに詳細に意匠の確認ができる。
21………マスクデータ生成手段
23………エッチングシミュレーション手段
25………ハイトフィールドデータ(テクスチュア)
26………マスクデータ
27………エッチングプロファイル
27a………サイドエッチングプロファイル
27b………丸エッチングプロファイル
28………腐食深度データ
29………ハイトフィールドデータ(エッチング対象)
Claims (8)
- マスクデータを利用してエッチングの手法によりエンボス版を製造するシミュレーションを行なうエッチングシミュレーション装置であって、
テクスチュアの高さ情報を階調値で表すデータであるテクスチュアのハイトフィールドデータを閾値により2値化し生成された、開口部とマスク部を有するマスクデータを用い、エッチング対象の高さ情報を階調値で表すハイトフィールドデータについて、マスクデータの開口部に対応する箇所では所定の腐食深度を前記階調値から減算し、マスクデータのマスク部に対応する箇所では、マスクデータの開口部とマスク部の境界からマスク部側に向かう距離と腐食深度との関係を表すサイドエッチングプロファイルに基づき、前記境界からの距離に応じた腐食深度を前記階調値から減算することにより、サイドエッチングの影響を反映したエッチング後のエッチング対象のハイトフィールドデータを生成するエッチングシミュレーションを行うことを特徴とするエッチングシミュレーション装置。 - 前記エッチングシミュレーションでは、エッチング対象の角部においてエッチングの速度が変化する丸エッチングの影響について、エッチング対象上の一の箇所がその両側のエッチング対象上の所定の箇所となす角度および前記角度を二等分する線分の鉛直方向に対する傾斜角と、前記一の箇所におけるエッチング進行の度合いとの関係を示す丸エッチングプロファイルを用いて、前記腐食深度に対する重み付けを行なうことにより、丸エッチングの影響を反映したエッチング後のエッチング対象のハイトフィールドデータを生成することを特徴とする請求項1に記載のエッチングシミュレーション装置。
- 前記エッチングプロファイルは、少なくともエッチング液の種類、濃度、温度、エッチング対象の素材のいずれかに応じて、異なるものが定められることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエッチングシミュレーション装置。
- マスクデータを利用してエッチングの手法によりエンボス版を製造するシミュレーションを行なうエッチングシミュレーション装置によるエッチングシミュレーション方法であって、
エッチングシミュレーション装置が、
テクスチュアの高さ情報を階調値で表すデータであるテクスチュアのハイトフィールドデータを閾値により2値化し生成された、開口部とマスク部を有するマスクデータを用い、エッチング対象の高さ情報を階調値で表すハイトフィールドデータについて、マスクデータの開口部に対応する箇所では所定の腐食深度を前記階調値から減算し、マスクデータのマスク部に対応する箇所では、マスクデータの開口部とマスク部の境界からマスク部側に向かう距離と腐食深度との関係を表すサイドエッチングプロファイルに基づき、前記境界からの距離に応じた腐食深度を前記階調値から減算することにより、サイドエッチングの影響を反映したエッチング後のエッチング対象のハイトフィールドデータを生成するエッチングシミュレーションを行うことを特徴とするエッチングシミュレーション方法。 - 前記エッチングシミュレーションでは、エッチング対象の角部においてエッチングの速度が変化する丸エッチングの影響について、エッチング対象上の一の箇所がその両側のエッチング対象上の所定の箇所となす角度および前記角度を二等分する線分の鉛直方向に対する傾斜角と、前記一の箇所におけるエッチング進行の度合いとの関係を示す丸エッチングプロファイルを用いて、前記腐食深度に対する重み付けを行なうことにより、丸エッチングの影響を反映したエッチング後のエッチング対象のハイトフィールドデータを生成することを特徴とする請求項4に記載のエッチングシミュレーション方法。
- 前記エッチングプロファイルは、少なくともエッチング液の種類、濃度、温度、エッチング対象の素材のいずれかに応じて、異なるものが定められることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のエッチングシミュレーション方法。
- コンピュータを、請求項1から請求項3のいずれかに記載のエッチングシミュレーション装置として機能させるプログラム。
- コンピュータを、請求項1から請求項3のいずれかに記載のエッチングシミュレーション装置として機能させるプログラムを記憶した記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011051088A JP5673231B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | エッチングシミュレーション装置、エッチングシミュレーション方法、プログラム、記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011051088A JP5673231B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | エッチングシミュレーション装置、エッチングシミュレーション方法、プログラム、記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012190098A JP2012190098A (ja) | 2012-10-04 |
JP5673231B2 true JP5673231B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=47083214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011051088A Active JP5673231B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | エッチングシミュレーション装置、エッチングシミュレーション方法、プログラム、記憶媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5673231B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5673230B2 (ja) * | 2011-03-09 | 2015-02-18 | 大日本印刷株式会社 | 分版装置、分版方法、プログラム、記憶媒体 |
-
2011
- 2011-03-09 JP JP2011051088A patent/JP5673231B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012190098A (ja) | 2012-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070198114A1 (en) | Three-dimensional device simulation program product and three-dimensional device simulation system | |
JP2007219208A (ja) | パターン補正装置、パターン補正プログラム、パターン補正方法および半導体装置の製造方法 | |
US20150095002A1 (en) | Electronic device and measuring method thereof | |
JP5673231B2 (ja) | エッチングシミュレーション装置、エッチングシミュレーション方法、プログラム、記憶媒体 | |
JP5673230B2 (ja) | 分版装置、分版方法、プログラム、記憶媒体 | |
JP4952522B2 (ja) | 階調低減装置、階調低減方法、プログラム、及び記録媒体 | |
JP5958243B2 (ja) | エンボス加工シミュレーション装置、エンボス加工シミュレーション方法、及びプログラム | |
JP6414425B2 (ja) | エンボス版の製造方法、レーザ彫刻用データの作成装置、レーザ彫刻用データの作成方法、プログラム | |
JP5499812B2 (ja) | 分版装置、分版方法、エンボス版製造装置、エンボス版製造方法、エンボス版、シート | |
JP2008158936A (ja) | 3次元スキャンデータ補正システム、方法、及びプログラム | |
US8115771B2 (en) | System and method for multilevel simulation of animation cloth and computer-readable recording medium thereof | |
JP2021170163A (ja) | 学習プログラム、学習方法及び情報処理装置 | |
JP2023128691A (ja) | 情報処理装置、描画方法及びプログラム | |
JP6287458B2 (ja) | マスクデータ作成装置、マスクデータ作成方法、プログラム、記録媒体 | |
JP6225594B2 (ja) | ハイトデータ処理装置、ハイトデータ処理方法、プログラム、記憶媒体、エンボス版製造方法、シート製造方法 | |
CN113868968A (zh) | 风力发电场地形网格的生成方法、装置及设备 | |
JP6248504B2 (ja) | マスクデータ作成装置、マスクデータ作成方法、プログラム、記録媒体、フォトマスク製造方法、エンボス版製造方法、シート製造方法 | |
JP2012061650A (ja) | 艶ムラ除去用ノイズデータ生成装置、艶ムラ除去装置、艶ムラ除去用ノイズデータ生成方法、艶ムラ除去方法、及びプログラム | |
KR100729149B1 (ko) | 제어가능한 다상 기체 시뮬레이션 방법, 그 기록 매체 및그 장치 | |
JP2020123064A (ja) | 画像マッチング判定方法、画像マッチング判定装置、および画像マッチング判定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP7521996B2 (ja) | シミュレーション画像生成方法、コンピュータ、およびプログラム | |
CN111047501B (zh) | 一种基于OpenGL拷贝命令的GPU拷贝缓冲区的实现方法 | |
WO2022024178A1 (ja) | 学習システム、物体検出システム、学習方法、及びコンピュータプログラム | |
JP5115448B2 (ja) | 異方性反射媒体作成装置、異方性反射媒体作成方法、およびプログラム | |
JP2007200129A (ja) | 空気溜まり解析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140916 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5673231 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |