JP5672424B2 - 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 223
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 13
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 149
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 129
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 90
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 29
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 22
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 18
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000009471 action Effects 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 10
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000002079 cooperative effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000012888 cubic function Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
第1角度特性に従って光の入射角と透過率との関係が規定される第1通過領域と、前記第1角度特性とは異なる第2角度特性に従って光の入射角と透過率との関係が規定される第2通過領域とを有する少なくとも1つの補正部材を備えていることを特徴とする補正ユニットを提供する。
平行平面板状の形態を有し、光の入射角と透過率との関係が第1角度特性に従って変化する第1補正部材と、
平行平面板状の形態を有し、光の入射角と透過率との関係が前記第1角度特性とは異なる第2角度特性に従って変化する第2補正部材とを備えていることを特徴とする補正ユニットを提供する。
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
3 回折光学素子
4 アフォーカルレンズ
6 ズームレンズ
7 マイクロフライアイレンズ
8 コンデンサー光学系
9 マスクブラインド
10 結像光学系
11,12 補正部材
CU 補正ユニット
M マスク
PL 投影光学系
AS 開口絞り
W ウェハ
Claims (18)
- 第1面に配置されるパターンの像を第2面に形成する投影光学系において、
該投影光学系内の光路を横切る第3面に配置されて前記投影光学系の像面上の各点に関する瞳強度分布を補正する補正ユニットを備え、
該補正ユニットは、第1角度特性に従って光の入射角と透過率との関係が規定される第1通過領域と、前記第1角度特性とは異なる第2角度特性に従って光の入射角と透過率との関係が規定される第2通過領域とを有する少なくとも1つの補正部材を備えていることを特徴とする投影光学系。 - 前記補正部材は、平行平面板状の形態を有することを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。
- 前記第1通過領域では、光の入射角に依存することなく透過率が一定であり、前記第2通過領域では、光の入射角に応じて透過率が変化することを特徴とする請求項1または2に記載の投影光学系。
- 前記少なくとも1つの補正部材は、前記投影光学系の瞳面またはその近傍の位置に配置された第1補正部材と、該第1補正部材から前記投影光学系の光軸方向に離間した位置に配置された第2補正部材とを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記第1補正部材は、光の入射角と透過率との関係が第1角度特性に従って変化し、前記第2補正部材は、光の入射角と透過率との関係が前記第1角度特性とは異なる第2角度特性に従って変化することを特徴とする請求項4に記載の投影光学系。
- 前記第1通過領域と前記第2通過領域とは、前記第3面上で互いに隣接して配置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記補正部材は、前記投影光学系の光軸を挟んで第1方向に対向する一対の前記第1通過領域と、前記第1方向と交差する第2方向に沿った前記第2通過領域とを有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記補正部材は、前記投影光学系の光軸を挟んで第1方向に対向する一対の前記第1通過領域と前記光軸を挟んで前記第1方向と交差する第2方向に対向する一対の前記第2通過領域とを有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 第1面に配置されるパターンの像を第2面に形成する投影光学系において、
該投影光学系内の光路を横切る第3面に配置されて前記投影光学系の像面上の各点に関する瞳強度分布を補正する補正ユニットを備え、
該補正ユニットは、
平行平面板状の形態を有し、光の入射角と透過率との関係が第1角度特性に従って変化する第1補正部材と、
平行平面板状の形態を有し、光の入射角と透過率との関係が前記第1角度特性とは異なる第2角度特性に従って変化する第2補正部材とを備え、
前記第2補正部材は、前記第1補正部材から前記投影光学系の光軸方向に離間した位置に配置されていることを特徴とする投影光学系。 - 前記第1補正部材は、前記投影光学系の瞳面またはその近傍の位置に配置されていることを特徴とする請求項9に記載の投影光学系。
- 前記第1補正部材と前記第2補正部材とは、前記第3面上で互いに隣接して配置されることを特徴とする請求項9に記載の投影光学系。
- 第1面に配置されるパターンの像を第2面に形成する投影光学系において、
該投影光学系内の光路を横切る第3面に配置されて、光の入射角度に応じて変化する透過率特性を有する第1領域を有する第1補正部材と、
前記投影光学系内の光路において前記第3面から前記投影光学系の光軸方向に離間した第4面に配置されて、光の入射角度に応じて変化する透過率特性を有する第2領域を有する第2補正部材とを備え、
前記第1領域は、前記投影光学系の前記光路内の前記第3面上の一部に設けられ、
前記第2領域は、前記投影光学系の前記光路内の前記第4面上の一部に設けられ、
前記第1領域と前記第2領域との光の入射角と透過率との関係は互いに異なっていることを特徴とする投影光学系。 - 前記補正部材は、平行平面板状の形態を有する基板と、該基板の少なくとも一方の面に形成されて光の入射角に応じて透過率が規定されるコートとを有することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記基板は、可撓性を有することを特徴とする請求項13に記載の投影光学系。
- 前記コートは、前記基板の両方の面に形成されていることを特徴とする請求項13または14に記載の投影光学系。
- 前記補正部材は、特性の異なる他の補正部材と交換可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 請求項1乃至16のいずれか1項に記載の投影光学系を備え、前記第1面に設定された所定のパターンを前記第2面に設定された感光性基板に投影露光することを特徴とする露光装置。
- 請求項17に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009156453A JP5672424B2 (ja) | 2009-07-01 | 2009-07-01 | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009156453A JP5672424B2 (ja) | 2009-07-01 | 2009-07-01 | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011013394A JP2011013394A (ja) | 2011-01-20 |
JP5672424B2 true JP5672424B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=43592361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009156453A Active JP5672424B2 (ja) | 2009-07-01 | 2009-07-01 | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5672424B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177007A (ja) * | 1992-12-01 | 1994-06-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 投影露光装置 |
JPH0778753A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-20 | Canon Inc | 投影露光装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
JP2785757B2 (ja) * | 1995-08-30 | 1998-08-13 | 日本電気株式会社 | フォトマスク |
JP2005310909A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 投影露光装置及び投影露光方法 |
KR101134174B1 (ko) * | 2005-03-15 | 2012-04-09 | 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하 | 투사 노광 방법 및 이를 위한 투사 노광 시스템 |
US7817250B2 (en) * | 2007-07-18 | 2010-10-19 | Carl Zeiss Smt Ag | Microlithographic projection exposure apparatus |
-
2009
- 2009-07-01 JP JP2009156453A patent/JP5672424B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011013394A (ja) | 2011-01-20 |
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