JP5670848B2 - 二重フローティングゲート構造を有するトランジスタを備えた不揮発性メモリ - Google Patents
二重フローティングゲート構造を有するトランジスタを備えた不揮発性メモリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5670848B2 JP5670848B2 JP2011201867A JP2011201867A JP5670848B2 JP 5670848 B2 JP5670848 B2 JP 5670848B2 JP 2011201867 A JP2011201867 A JP 2011201867A JP 2011201867 A JP2011201867 A JP 2011201867A JP 5670848 B2 JP5670848 B2 JP 5670848B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- floating gate
- transistors
- gate
- transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 19
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 47
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- AIRCTMFFNKZQPN-UHFFFAOYSA-N AlO Inorganic materials [Al]=O AIRCTMFFNKZQPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017109 AlON Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004140 HfO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004143 HfON Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006252 ZrON Inorganic materials 0.000 description 1
- VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Bi] Chemical compound [Sr].[Bi] VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- RZEADQZDBXGRSM-UHFFFAOYSA-N bismuth lanthanum Chemical compound [La].[Bi] RZEADQZDBXGRSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42324—Gate electrodes for transistors with a floating gate
- H01L29/42332—Gate electrodes for transistors with a floating gate with the floating gate formed by two or more non connected parts, e.g. multi-particles flating gate
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/41—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger
- G11C11/412—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger using field-effect transistors only
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C14/00—Digital stores characterised by arrangements of cells having volatile and non-volatile storage properties for back-up when the power is down
- G11C14/0054—Digital stores characterised by arrangements of cells having volatile and non-volatile storage properties for back-up when the power is down in which the volatile element is a SRAM cell
- G11C14/0063—Digital stores characterised by arrangements of cells having volatile and non-volatile storage properties for back-up when the power is down in which the volatile element is a SRAM cell and the nonvolatile element is an EEPROM element, e.g. a floating gate or MNOS transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
- H01L29/7881—Programmable transistors with only two possible levels of programmation
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B10/00—Static random access memory [SRAM] devices
- H10B10/12—Static random access memory [SRAM] devices comprising a MOSFET load element
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
α<0.1 (5)
程度の範囲に抑える必要が生じる。これは、セル内の二つのフローティングゲート間の距離をdD、セル間の二つのフローティングゲート間の距離をdBとすると、CDは1/dDに比例し、CB∝は1/dBに比例するため、式(5)は
dB<0.1×dD
を意味する。フローティングゲート間の電子のトンネリング確率がフローティングゲート間の厚さの指数関数で表されるので、式(5)はトンネリング確率で表すと、
exp(−10dB)=[exp(−dB)]10>exp(−dD)
となる。つまり、式(5)は、セル間の電子のトンネリング確率がセル内のトンネリング確率より一桁以上小さいことを補償するものとなる。
2 半導体層
4 ソース/ドレイン
6 二重フローティングゲート構造
8 第1絶縁膜
10 第1フローティングゲート
12 第2絶縁膜
14 第2フローティングゲート
16 第3絶縁膜
18 制御ゲート
1P1 Pチャネルトランジスタ
1P2 Pチャネルトランジスタ
1N1 Nチャネルトランジスタ
1N2 Nチャネルトランジスタ
1N3 Nチャネルトランジスタ
1N4 Nチャネルトランジスタ
BL ビット線
/BL ビット線
WL ワード線
Claims (7)
- 第1のPチャネルトランジスタおよび第1のNチャネルトランジスタを有する第1のインバータと、第2のPチャネルトランジスタおよび第2のNチャネルトランジスタを有し前記第1のインバータと交差接続する第2のインバータと、ソース/ドレインの一方が前記第1インバータの出力ノードに接続され他方が第1の配線に接続されゲートが第2の配線に接続される第3のNチャネルトランジスタと、ソース/ドレインの一方が前記第2インバータの出力ノードに接続され他方が第3の配線に接続されゲートが前記第2の配線に接続される第4のNチャネルトランジスタと、を有する少なくとも1個のSRAMセルを備え、
前記第1および第2のPチャネルトランジスタはそれぞれ第1の半導体領域上に設けられ、前記第1の半導体領域上に設けられた第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に設けられた第1のフローティングゲートと、前記第1のフローティングゲート上に設けられた第2の絶縁膜と、前記第2の絶縁膜上に設けられた第2のフローティングゲートと、前記第2のフローティングゲート上に設けられた第3の絶縁膜と、前記第3の絶縁膜上に設けられた第1の制御ゲートとを備え、
前記第1および第2のNチャネルトランジスタはそれぞれ第2の半導体領域上に設けられ、前記第2の半導体領域上に設けられた第4の絶縁膜と、前記第4の絶縁膜上に設けられた第3のフローティングゲートと、前記第3のフローティングゲート上に設けられた第5の絶縁膜と、前記第5の絶縁膜上に設けられた第4のフローティングゲートと、前記第4のフローティングゲート上に設けられた第6の絶縁膜と、前記第6の絶縁膜上に設けられた第2の制御ゲートとを備え、
前記SRAMセルを構成する各トランジスタのうち、
隣接する2つのトランジスタのフローティングゲート間の静電容量が、前記2つのトランジスタのそれぞれのトランジスタに含まれる2つのフローティングゲート間の静電容量の10倍より小さい不揮発性メモリ。 - 前記第3および第4のNチャネルトランジスタはそれぞれ前記第2の半導体領域上に設けられ、前記第2の半導体領域上に設けられた第7の絶縁膜と、前記第7の絶縁膜上に設けられた第5のフローティングゲートと、前記第5のフローティングゲート上に設けられた第8の絶縁膜と、前記第8の絶縁膜上に設けられた第6のフローティングゲートと、前記第6のフローティングゲート上に設けられた第9の絶縁膜と、前記第9の絶縁膜上に設けられた第3の制御ゲートとを備えている請求項1記載の不揮発性メモリ。
- 前記第1および第2のPチャネルトランジスタは基板バイアスが第1の電位に設定され、前記第1および第2のNチャネルトランジスタは基板バイアスが前記第1の電位よりも高い第2の電位に設定される請求項1または2記載の不揮発性メモリ。
- 前記SRAMセルの中心に対して、前記第1のPチャネルトランジスタおよび第1のNチャネルトランジスタと、前記第2のPチャネルトランジスタおよび第2のNチャネルトランジスタとは点対称となるように配置される請求項1乃至3のいずれかに記載の不揮発性メモリ。
- 前記SRAMセルの中心線に対して、前記第1のPチャネルトランジスタおよび第1のNチャネルトランジスタと、前記第2のPチャネルトランジスタおよび第2のNチャネルトランジスタとは線対称となるように配置される請求項1乃至3のいずれかに記載の不揮発性メモリ。
- 前記第1および第2の絶縁膜と、前記第4および第5の絶縁膜はそれぞれ、シリコン酸化層および高誘電体層のうちの一方を含む請求項1乃至5のいずれかに記載の不揮発性メモリ。
- 前記2つのトランジスタのそれぞれのフローティングゲートが静電的に結合し、前記2つのトランジスタのうちの一方のトランジスタのフローティングゲートの電荷状態が他方のトランジスタのフローティングゲートの電荷状態により変化する請求項1乃至6のいずれかに記載の不揮発性メモリ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011201867A JP5670848B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 二重フローティングゲート構造を有するトランジスタを備えた不揮発性メモリ |
US13/608,436 US8610196B2 (en) | 2011-09-15 | 2012-09-10 | Memory including transistors with double floating gate structures |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011201867A JP5670848B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 二重フローティングゲート構造を有するトランジスタを備えた不揮発性メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013065597A JP2013065597A (ja) | 2013-04-11 |
JP5670848B2 true JP5670848B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=47879842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011201867A Expired - Fee Related JP5670848B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 二重フローティングゲート構造を有するトランジスタを備えた不揮発性メモリ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8610196B2 (ja) |
JP (1) | JP5670848B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5787855B2 (ja) * | 2012-09-21 | 2015-09-30 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
KR102415328B1 (ko) * | 2015-12-03 | 2022-06-30 | 삼성전자주식회사 | 전기적 특성을 개선할 수 있는 에스램 소자 및 이를 포함하는 로직 소자 |
KR20180127332A (ko) * | 2016-04-01 | 2018-11-28 | 인텔 코포레이션 | 분극 게이트 스택 sram |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9017A (en) * | 1852-06-15 | Cast-iron cab-wheel | ||
JP3450896B2 (ja) * | 1994-04-01 | 2003-09-29 | 三菱電機株式会社 | 不揮発性メモリ装置 |
JP3709214B2 (ja) * | 1994-09-21 | 2005-10-26 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体記憶装置 |
JP3745015B2 (ja) * | 1995-09-21 | 2006-02-15 | 株式会社東芝 | 電子デバイス |
US6963103B2 (en) * | 2001-08-30 | 2005-11-08 | Micron Technology, Inc. | SRAM cells with repressed floating gate memory, low tunnel barrier interpoly insulators |
JP2008004664A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP5150694B2 (ja) * | 2010-09-27 | 2013-02-20 | 株式会社東芝 | スイッチアレイ |
-
2011
- 2011-09-15 JP JP2011201867A patent/JP5670848B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-09-10 US US13/608,436 patent/US8610196B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013065597A (ja) | 2013-04-11 |
US8610196B2 (en) | 2013-12-17 |
US20130069134A1 (en) | 2013-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3613594B2 (ja) | 半導体素子およびこれを用いた半導体記憶装置 | |
US7099192B2 (en) | Nonvolatile flash memory and method of operating the same | |
TWI763952B (zh) | 半導體裝置及動態邏輯電路 | |
KR101930542B1 (ko) | 반도체 장치의 구동 방법 | |
WO2016003590A1 (en) | Multiple time programmable (mtp) device with floating gate and ferroelectric capacitor | |
JP7360203B2 (ja) | 不揮発性記憶装置及びその動作方法 | |
EP0756328B1 (en) | Non-volatile two transistor memory cell having one single polysilicon gate | |
KR20150077339A (ko) | 반도체 장치 | |
TW201629955A (zh) | 用於提供三維整合揮發記憶體與動態隨機存取記憶體之記憶裝置之方法與設備 | |
JP2013073954A (ja) | 半導体装置 | |
US8947938B2 (en) | Two-transistor non-volatile memory cell and related program and read methods | |
US10839909B2 (en) | Parallel-connected merged-floating-gate nFET-pFET EEPROM cell and array | |
JP5670848B2 (ja) | 二重フローティングゲート構造を有するトランジスタを備えた不揮発性メモリ | |
JP4761946B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶素子及びその製造方法並びに不揮発性半導体記憶素子を含む半導体集積回路装置 | |
TW202105386A (zh) | 記憶體電路 | |
CN113948581B (zh) | 存储器单元、存储器单元布置及其方法 | |
KR20200138305A (ko) | 기억 장치 및 전자 기기 | |
JP2014096479A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
CN108269808B (zh) | Sonos器件及其制造方法 | |
US6944044B2 (en) | Method for reading out or in a status from or to a ferroelectrical transistor of a memory cell and memory matrix | |
JP2018022769A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
Hao et al. | 3D NAND memory operation of oxide-semiconductor channel FeFETs and the potential impact of in-plane polarization | |
JP2004040119A (ja) | 非対称シリサイド膜を有するsramの構造及びその製造方法 | |
JP2008098467A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法 | |
Melde et al. | Novel embedded single poly floating gate flash demonstrated in 22nm FDSOI technology |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141218 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |