JP5665648B2 - Adsorbent detection method and component mounting apparatus in suction nozzle of component mounting head - Google Patents

Adsorbent detection method and component mounting apparatus in suction nozzle of component mounting head Download PDF

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Description

本発明は、部品を吸着して基板上に装着する部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法および部品装着装置に関するものである。   The present invention relates to a method for detecting an object to be adsorbed in a suction nozzle of a component mounting head that sucks and mounts a component on a substrate, and a component mounting apparatus.

例えば、特許文献1には、部品を吸着して基板上に装着する吸着ノズルを有する部品装着ヘッド(ノズル保持部材)と、吸着ノズルの先端部を側面側から撮像可能な側面撮像手段(側方撮像手段)とを備えた部品装着装置(表面実装機)が開示されている。この部品装着装置の制御手段は、部品から離脱動作した後の吸着ノズルの先端部を側面撮像手段により撮像させ、該側方画像に基づいて吸着ノズルの先端部に部品が吸着されているか否かを判定する。   For example, Patent Document 1 discloses a component mounting head (nozzle holding member) having a suction nozzle that sucks and mounts a component on a substrate, and a side imaging unit (side) that can image the tip of the suction nozzle from the side. A component mounting apparatus (surface mounting machine) including an imaging unit) is disclosed. The control unit of the component mounting apparatus causes the side surface imaging unit to capture the tip of the suction nozzle after being detached from the component, and whether or not the component is sucked to the tip of the suction nozzle based on the side image. Determine.

また、特許文献2には、部品装着装置(部品装着機)の吸着ノズルに吸着された部品の吸着状態を検出する方法が開示されている。この部品吸着状態の検出方法は、吸着ノズルに正常に吸着した部品の断面積を求め、求めた断面積を基準値として記憶部に記憶しておく。そして、記憶部に記憶した断面積を有する部品を吸着ノズルで吸着して基板上に装着する場合に、該部品の断面積を求め、求めた断面積と記憶した基準値とを比較し、両者が一致しない場合は異常吸着と判断する。   Patent Document 2 discloses a method for detecting a suction state of a component sucked by a suction nozzle of a component mounting device (component mounting machine). In this component adsorption state detection method, the cross-sectional area of a component normally adsorbed by the adsorption nozzle is obtained, and the obtained cross-sectional area is stored in the storage unit as a reference value. Then, when a component having a cross-sectional area stored in the storage unit is sucked by the suction nozzle and mounted on the substrate, the cross-sectional area of the component is obtained, and the obtained cross-sectional area is compared with the stored reference value. If they do not match, it is determined that the adsorption is abnormal.

特許第4421406号公報(段落0009、図2,4,7参照)Japanese Patent No. 4421406 (see paragraph 0009, FIGS. 2, 4 and 7) 特許第4306866号公報(段落0016,0017、図1〜3参照)Japanese Patent No. 4306866 (see paragraphs 0016 and 0017, FIGS. 1 to 3)

部品装着装置に搬入される基板は、埃等の異物が付着していないことが求められるが、異物が完全に除去されていない場合がある。例えば、異物が基板上の部品装着位置に付着していたときは、該部品装着位置に吸着ノズルにより部品を装着したときに、吸着ノズルの先端部に異物が吸着されるおそれがある。この吸着ノズルの先端部への異物の吸着は、部品供給装置の部品供給位置から吸着ノズルにより部品を吸着したときにも起こりうる。また、基板上の部品装着位置には、部品を電気的に接続するための半田ペーストが印刷されている。このため、部品装着位置に吸着ノズルにより部品を装着したときに、吸着ノズルの先端部に半田ペーストが吸着されるおそれがある。   The substrate carried into the component mounting apparatus is required to have no foreign matter such as dust attached thereto, but the foreign matter may not be completely removed. For example, when a foreign object is attached to a component mounting position on the substrate, the foreign object may be adsorbed to the tip of the suction nozzle when the component is mounted to the component mounting position by the suction nozzle. The adsorption of foreign matter to the tip of the suction nozzle can also occur when a component is sucked by the suction nozzle from the component supply position of the component supply device. A solder paste for electrically connecting the components is printed at the component mounting position on the substrate. For this reason, when a component is mounted by the suction nozzle at the component mounting position, the solder paste may be sucked to the tip of the suction nozzle.

特許文献1,2に記載の発明では、吸着ノズルの先端部に部品が吸着されているか否か、あるいは吸着ノズルの先端部に部品が異常吸着されているか否かを判断することはできる。しかし、吸着ノズルの先端部に埃や半田ペースト等の異物が吸着されているか否かを判断することはできず、吸着されている異物を部品として誤認識してしまうおそれがある。基板上の部品装着位置に部品を装着したときに吸着した異物を部品として誤認識した場合、部品装着位置には部品が装着されなかったと判断することになり、部品を再装着するリカバリ処理を実施すると部品の2重打ちとなって基板不良が生じることなる。さらに、吸着ノズルの先端部に吸着されている異物が、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれもあり、これによっても基板不良が生じることなる。   In the inventions described in Patent Documents 1 and 2, it is possible to determine whether or not a component is adsorbed at the tip of the suction nozzle, or whether or not a component is abnormally adsorbed at the tip of the suction nozzle. However, it cannot be determined whether or not foreign matter such as dust or solder paste is adsorbed on the tip of the suction nozzle, and there is a possibility that the adsorbed foreign matter is erroneously recognized as a component. If a foreign object adsorbed when a component is mounted at the component mounting position on the board is misrecognized as a component, it will be determined that the component was not mounted at the component mounting position, and recovery processing will be performed to remount the component. As a result, the components are double hit and a substrate failure occurs. Further, the foreign matter adsorbed on the tip of the suction nozzle may interfere with the suction and mounting of the next component, which also causes a substrate failure.

本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたもので、部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物が部品であるか異物であるかの判別が可能な吸着ノズルにおける被吸着物検知方法および部品装着装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the conventional problems, and a method for detecting an object to be adsorbed in an adsorption nozzle and a component capable of determining whether the object to be adsorbed in the adsorption nozzle of the component mounting head is a part or a foreign object. The object is to provide a mounting device.

上記の課題を解決するために、請求項1に係る発明は、軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも1つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルを側方から撮像する側方撮像手段と、を備えた部品装着ヘッドにおいて、前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物の検知方法であって、前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶工程と、前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得工程と、前記画像取得工程で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得工程と、前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得工程で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算工程と、前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積、並びに前記面積演算工程で演算した前記部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する判別工程と、を備えることである。   In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is directed to at least one suction nozzle for picking up a component and mounting the component on a substrate by moving in the axial direction, and the suction nozzle as described above. In a component mounting head including a nozzle moving unit that moves in the axial direction and a side imaging unit that images the suction nozzle from the side, before the component is sucked by the suction nozzle and mounted on the substrate And a method for detecting an object to be adsorbed by at least one of the adsorbing nozzles after being mounted, the step of storing the dimension of the component to be mounted on the substrate, and mounting the component on the substrate An image acquisition step of acquiring a side image obtained by imaging at least one of the suction nozzles before and after mounting, and in the side image acquired in the image acquisition step. The area below the tip of the suction nozzle is defined as an area acquisition area, and an area acquisition step of acquiring an imaging area of a side image of the object to be adsorbed in the area acquisition region, and the part stored in the storage step Based on the dimensions, an area calculation step for calculating a minimum projection area and a maximum projection area of a part from which a side image is acquired in the image acquisition step, an imaging area of the adsorbed object acquired in the area acquisition step, and A determination step of determining whether the object to be attracted is the component or a foreign substance other than the component based on the minimum projected area and the maximum projected area of the component calculated in the area calculating step. That is.

請求項2に係る発明は、請求項1において、複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分工程と、前記画像取得工程で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定工程と、前記画像取得工程で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定工程で設定した該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する大部品判別工程と、を備えることである。   The invention according to claim 2 is the component according to claim 1, wherein the plurality of types of components are small components, and the side image of the component enters the area acquisition region regardless of the suction state of the component in the suction nozzle. A part classification step for classifying a part larger than the small part as a large part, a threshold setting step for setting a threshold based on a minimum projection area of a large part from which a side image is obtained in the image acquisition step, and the image acquisition When the part from which the side image is acquired in the process is the large part, based on the imaging area of the attracted object acquired in the area acquisition process and the threshold of the large part set in the threshold setting process And a large component discriminating step for discriminating whether the object to be adsorbed is the component or a foreign substance other than the component.

請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2において、前記判別工程にて前記被吸着物が前記画像取得工程で側方画像を取得される部品であると判別したとき、前記画像取得工程で取得した前記側方画像に基づいて、前記部品の高さを取得する高さ取得工程と、前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法および前記高さ取得工程で取得した前記部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出工程と、を備えることである。   According to a third aspect of the invention, in the first or second aspect, the image acquisition is performed when it is determined in the determination step that the object to be adsorbed is a part from which a side image is acquired in the image acquisition step. Based on the side image acquired in the step, the height acquisition step of acquiring the height of the component, the dimension of the component stored in the storage step, and the height of the component acquired in the height acquisition step And a detection step of detecting a component suction state in the suction nozzle.

請求項4に係る発明は、軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも1つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルの側方から撮像する側方撮像手段と、を有する部品装着ヘッドと、前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物を検知する被吸着物検知装置と、を備えた部品装着装置であって、前記被吸着物検知装置は、前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶手段と、前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得手段と、前記画像取得手段で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得手段と、前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算手段と、複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分手段と、前記画像取得手段で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定手段と、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記小部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積並びに前記面積演算手段で演算された該小部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記小部品であるか該小部品以外の異物であるかを判別する小部品判別手段と、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定手段で設定された該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記大部品であるか該大部品以外の異物であるかを判別する大部品判別手段と、前記小部品判別手段で前記被吸着物が前記画像取得手段で側方画像を取得される小部品であると判別したとき、前記画像取得手段で取得される該小部品の前記側方画像に基づいて、該小部品の高さを取得する高さ取得手段と、前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法および前記高さ取得手段で取得した前記小部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出手段と、を備えることである。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided at least one suction nozzle for sucking a component and mounting the component on a substrate by moving in the axial direction, and nozzle moving means for moving the suction nozzle in the axial direction. A side mounting means for imaging from the side of the suction nozzle; and the suction of the part by the suction nozzle and before and after mounting on the substrate. An adsorbent detection device for detecting an adsorbent adsorbed by a nozzle, wherein the adsorbent detection device stores a dimension of the component to be mounted on the substrate. Means, image acquisition means for acquiring a side image obtained by imaging at least one of the suction nozzles before and after mounting the component on the substrate, and the image acquisition hand An area acquisition unit that acquires an area below the tip of the suction nozzle in the side image acquired in (2) as an area acquisition region, and acquires an imaging area of the side image of the object to be adsorbed in the area acquisition region; Based on the dimensions of the parts read from the storage means, the area calculating means for calculating the minimum projected area and the maximum projected area of the parts whose side images are acquired by the image acquiring means, and plural types of parts, A part classifying means for classifying a part whose side image of the part enters the area acquisition region as a small part and classifying a part larger than the small part as a large part regardless of the suction state of the part at the suction nozzle, and the image acquisition Threshold setting means for setting a threshold based on a minimum projected area of a large part from which a side image is acquired by the means, and a component from which the side image is acquired by the image acquisition means are the small parts In this case, based on the imaging area of the object to be adsorbed acquired by the area acquisition unit and the minimum projection area and the maximum projection area of the small component calculated by the area calculation unit, the object to be adsorbed is the small object. When the component whose side image is acquired by the image acquisition unit is the large component, it is acquired by the area acquisition unit. Based on the imaging area of the object to be adsorbed and the threshold value of the large part set by the threshold setting means, it is determined whether the object to be adsorbed is the large part or a foreign substance other than the large part. When it is determined by the large component determination unit and the small component determination unit that the object to be attracted is a small component whose side image is acquired by the image acquisition unit, the small component acquired by the image acquisition unit Based on the side image, the small image Based on the height acquisition means for acquiring the height of the parts, the dimensions of the parts read from the storage means and the heights of the small parts acquired by the height acquisition means, the component suction state in the suction nozzle Detecting means for detecting.

請求項1に係る発明によれば、被吸着物が部品であるか該部品以外の異物であるかは、被吸着物の側方画像の撮像面積並びに側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積に基づいて判別するようにしている。これにより、被吸着物の撮像面積と部品の最小投影面積および最大投影面積との面積比もしくは面積差により部品と異物との判別が可能となり、吸着ノズルにおける被吸着物の吸着姿勢に関わらず、部品と異物との判別精度を向上させることができる。   According to the first aspect of the present invention, whether the object to be adsorbed is a part or a foreign substance other than the part is determined based on the imaging area of the side image of the object to be adsorbed and the minimum projection of the part from which the side image is acquired. The determination is made based on the area and the maximum projected area. This makes it possible to discriminate between a component and a foreign object based on the area ratio or area difference between the imaging area of the object to be adsorbed and the minimum projected area and the maximum projected area of the part. It is possible to improve the accuracy of discriminating between parts and foreign matters.

吸着ノズルによる部品の基板上への装着後において、被吸着物が異物であると判別したときは、部品は基板上に装着されていると判定できる。よって、部品を再装着するリカバリ処理は実施されないので、部品の2重打ちによる基板不良の発生を防止できる。このとき、吸着ノズルの先端部の清掃は必要に応じて実行するようにする。すなわち、吸着ノズルの先端部に吸着されている異物が、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがあると判断したときは、実装処理を停止させて吸着ノズルの先端部から異物を除去し、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがないと判断したときは、次の部品の実装処理をそのまま継続する。   When it is determined that the object to be adsorbed is a foreign object after the component is mounted on the substrate by the suction nozzle, it can be determined that the component is mounted on the substrate. Therefore, since the recovery process for remounting the component is not performed, it is possible to prevent the occurrence of the substrate failure due to the double hit of the component. At this time, cleaning of the tip of the suction nozzle is performed as necessary. In other words, when it is determined that the foreign matter adsorbed on the tip of the suction nozzle may interfere with the suction or mounting of the next part, the mounting process is stopped and the foreign matter is removed from the tip of the suction nozzle. When it is determined that there is no possibility of hindering the next component from being sucked or mounted, the mounting process for the next component is continued as it is.

吸着ノズルによる部品の基板上への装着後において、被吸着物が部品であると判別したときは、部品は基板上に装着されておらず、吸着ノズルによる部品の持ち帰りと判定できる。よって、部品を再装着するリカバリ処理が実施されるので、部品の未装着による基板不良の発生を防止できる。吸着ノズルによる部品の基板上への装着後において、吸着ノズルには何も吸着されていないと判別したときは、部品は基板上に装着されていると判定でき、次の部品の実装処理をそのまま継続できる。   When it is determined that the object to be adsorbed is a component after the component is mounted on the substrate by the suction nozzle, it can be determined that the component is not mounted on the substrate and the component is taken home by the suction nozzle. Therefore, since the recovery process for remounting the component is performed, it is possible to prevent the occurrence of a board failure due to the component not being mounted. If it is determined that nothing is sucked by the suction nozzle after mounting the component on the substrate by the suction nozzle, it can be determined that the component is mounted on the substrate, and the mounting process of the next component is continued as it is Can continue.

また、吸着ノズルによる部品の基板上への装着前において、被吸着物が異物であると判別したときは、基板上における部品の空打ちによる基板不良の発生を防止できる。また、被吸着物が部品であると判別したときは、該部品の実装処理をそのまま継続できる。   In addition, when it is determined that the object to be sucked is a foreign object before the component is mounted on the substrate by the suction nozzle, it is possible to prevent the occurrence of the substrate failure due to the component being blown on the substrate. When it is determined that the attracted object is a component, the component mounting process can be continued as it is.

請求項2に係る発明によれば、被吸着物が大部品であるか該大部品以外の異物であるかは、被吸着物の撮像面積および大部品の閾値に基づいて判別するようにしている。大部品においては、吸着ノズルにおける吸着姿勢によっては大部品の側方画像が面積取得領域からはみ出す場合がある。そのような場合であっても、例えば、被吸着物の撮像面積と、吸着ノズルにおける大部品の吸着姿勢に基づく所定のマージンを加味した大部品の最小投影面積との比較により部品と異物との判別が可能となる。よって、側方画像が面積取得領域に収まらないような大部品であっても、異物として誤認識されることを防止できる。   According to the second aspect of the present invention, whether the object to be adsorbed is a large part or a foreign object other than the large part is determined based on the imaging area of the object to be adsorbed and the threshold value of the large part. . For large parts, depending on the suction posture of the suction nozzle, the side image of the large part may protrude from the area acquisition region. Even in such a case, for example, by comparing the imaging area of the object to be adsorbed with the minimum projected area of the large component taking into account a predetermined margin based on the adsorption posture of the large component in the adsorption nozzle, Discrimination becomes possible. Therefore, it is possible to prevent erroneous recognition as a foreign object even for a large part whose side image does not fit in the area acquisition region.

請求項3に係る発明によれば、被吸着物が部品であると判別されたときは、予め記憶している部品の高さおよび取得した部品の高さに基づいて、吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出するようにしている。すなわち、予め記憶している部品の高さと取得した部品の高さとの比較により、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が正常であるか異常であるかが検出可能となる。特に、吸着ノズルによる部品の基板上への装着前において、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が異常であると検出したときは、該部品は実装不可と判定できる。よって、基板上における部品の実装不良による基板不良の発生を未然に防止できる。   According to the third aspect of the present invention, when it is determined that the object to be sucked is a part, the part suction state in the suction nozzle is determined based on the height of the part stored in advance and the acquired part height. To detect. That is, it is possible to detect whether the suction posture of the component in the suction nozzle is normal or abnormal by comparing the height of the component stored in advance with the acquired height of the component. In particular, when it is detected that the suction posture of the component at the suction nozzle is abnormal before the component is mounted on the substrate by the suction nozzle, it can be determined that the component cannot be mounted. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of a substrate failure due to a component mounting failure on the substrate.

請求項4に係る発明によれば、小部品判別手段は、被吸着物の側方画像の撮像面積並びに側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積に基づいて、被吸着物が部品であるか該部品以外の異物であるかを判別するようにしている。これにより、被吸着物の撮像面積と部品の最小投影面積および最大投影面積との面積比もしくは面積差により部品と異物との判別が可能となり、吸着ノズルにおける被吸着物の吸着姿勢に関わらず、部品と異物との判別精度を向上させることができる。   According to the fourth aspect of the present invention, the small component discriminating means is based on the imaging area of the side image of the object to be adsorbed and the minimum and maximum projection areas of the parts from which the side image is acquired. Is a part or a foreign object other than the part. This makes it possible to discriminate between a component and a foreign object based on the area ratio or area difference between the imaging area of the object to be adsorbed and the minimum projected area and the maximum projected area of the part. It is possible to improve the accuracy of discriminating between parts and foreign matters.

また、大部品判別手段は、被吸着物の撮像面積および大部品の閾値に基づいて、被吸着物が大部品であるか該大部品以外の異物であるかを判別するようにしている。大部品においては、吸着ノズルにおける吸着姿勢によっては大部品の側方画像が面積取得領域からはみ出す場合がある。そのような場合であっても、例えば、被吸着物の撮像面積と、吸着ノズルにおける大部品の吸着姿勢に基づく所定のマージンを加味した大部品の最小投影面積との比較により部品と異物との判別が可能となる。よって、側方画像が面積取得領域に収まらないような大部品であっても、異物として誤認識されることを防止できる。   The large component discriminating unit determines whether the object to be adsorbed is a large component or a foreign substance other than the large component based on the imaging area of the object to be adsorbed and the threshold value of the large component. For large parts, depending on the suction posture of the suction nozzle, the side image of the large part may protrude from the area acquisition region. Even in such a case, for example, by comparing the imaging area of the object to be adsorbed with the minimum projected area of the large component taking into account a predetermined margin based on the adsorption posture of the large component in the adsorption nozzle, Discrimination becomes possible. Therefore, it is possible to prevent erroneous recognition as a foreign object even for a large part whose side image does not fit in the area acquisition region.

また、検出手段は、被吸着物が部品であると判別されたときは、予め記憶している部品の高さおよび取得した部品の高さに基づいて、吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出するようにしている。すなわち、予め記憶している部品の高さと取得した部品の高さとの比較により、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が正常であるか異常であるかが検出可能となる。特に、吸着ノズルによる部品の基板上への装着前において、吸着ノズルにおける部品の吸着姿勢が異常であると検出したときは、該部品を実装しないと判定できる。よって、基板上における部品の実装不良による基板不良の発生を防止できる。   In addition, when it is determined that the object to be sucked is a part, the detection unit detects the part suction state in the suction nozzle based on the height of the part stored in advance and the acquired part height. I have to. That is, it is possible to detect whether the suction posture of the component in the suction nozzle is normal or abnormal by comparing the height of the component stored in advance with the acquired height of the component. In particular, when it is detected that the suction posture of the component at the suction nozzle is abnormal before the component is mounted on the substrate by the suction nozzle, it can be determined that the component is not mounted. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of a substrate failure due to a component mounting failure on the substrate.

本発明の実施の形態を示す部品装着装置の斜視図である。It is a perspective view of the component mounting apparatus which shows embodiment of this invention. 図1の部品装着装置の部品装着ヘッドの正面図である。It is a front view of the component mounting head of the component mounting apparatus of FIG. 図2の要部を拡大した図である。It is the figure which expanded the principal part of FIG. 図3のA矢視図である。It is A arrow directional view of FIG. 図4の部品装着ヘッドの吸着ノズルの動作を説明する動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing explaining operation | movement of the suction nozzle of the component mounting head of FIG. 図5の吸着ノズルの側方画像を撮像するときの動作を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the operation | movement when imaging the side image of the suction nozzle of FIG. 本発明の実施の形態の吸着ノズルにおける被吸着物検知方法を説明するための第1のフローチャートである。It is a 1st flowchart for demonstrating the to-be-adsorbed object detection method in the suction nozzle of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の吸着ノズルにおける被吸着物検知方法を説明するための第2のフローチャートである。It is a 2nd flowchart for demonstrating the to-be-adsorbed object detection method in the suction nozzle of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の吸着ノズルにおける被吸着物検知方法を説明するための第3のフローチャートである。It is a 3rd flowchart for demonstrating the to-be-adsorbed object detection method in the suction nozzle of embodiment of this invention. 側方撮像手段による吸着ノズルの側方画像を示す図である。It is a figure which shows the side image of the suction nozzle by a side imaging means.

以下本発明に係る部品装着装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1に示すように、この部品装着装置は、基板搬送装置60、部品供給装置70、部品移載装置80および各装置60、70、80の動作を制御する制御装置90を備えている。   Embodiments of a component mounting apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus includes a substrate transfer device 60, a component supply device 70, a component transfer device 80, and a control device 90 that controls operations of the devices 60, 70, and 80.

基板搬送装置60は、基板をX軸方向に搬送するもので、第1搬送装置61および第2搬送装置62を2列並設したいわゆるダブルコンベアタイプのものである。第1搬送装置61および第2搬送装置62は、基台63上にそれぞれ一対のガイドレール64a、64b、65a、65bを互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設し、これらガイドレール64a、64b、65a、65bによりそれぞれ案内される基板を支持して搬送する一対のコンベアベルト(図示省略)を互いに対向させて並設して構成されたものである。また、基板搬送装置60には所定位置まで搬送された基板を押し上げてクランプするクランプ装置(図示省略)が設けられ、このクランプ装置によって基板が部品装着位置で位置決め固定される。   The substrate transport device 60 transports substrates in the X-axis direction, and is a so-called double conveyor type in which two rows of first transport devices 61 and second transport devices 62 are arranged side by side. The first transport device 61 and the second transport device 62 have a pair of guide rails 64a, 64b, 65a, 65b arranged on the base 63 in parallel and facing each other in parallel, and the guide rails 64a, 64b. , 65a, 65b, and a pair of conveyor belts (not shown) for supporting and transporting the substrates guided respectively, are arranged in parallel with each other. Further, the substrate transport device 60 is provided with a clamp device (not shown) that pushes up and clamps the substrate transported to a predetermined position, and the substrate is positioned and fixed at the component mounting position by the clamp device.

部品供給装置70は、基枠1上に複数のカセット式フィーダ71を並設して構成したものである。カセット式フィーダ71は、基枠1に離脱可能に取付けた本体72と、本体72の後部に設けた供給リール73と、本体72の先端に設けた部品取出部74とを備えている。供給リール73には部品が所定ピッチで封入された細長いテープ(図示省略)が巻回保持され、このテープがスプロケット(図示省略)により所定ピッチで引き出され、部品が封入状態を解除されて部品取出部74に順次送り込まれる。また、部品供給装置70と基板搬送装置60の間には、部品の保持位置を検出する撮像手段としてのCCDカメラ75が設けられている。なお、部品移載装置80は、図1においては後方に退いているが、部品の保持位置を検出する際にはCCDカメラ75の上方に移動するようになっている。   The component supply device 70 is configured by arranging a plurality of cassette type feeders 71 in parallel on the base frame 1. The cassette type feeder 71 includes a main body 72 detachably attached to the base frame 1, a supply reel 73 provided at the rear part of the main body 72, and a component take-out part 74 provided at the tip of the main body 72. An elongated tape (not shown) in which components are enclosed at a predetermined pitch is wound and held on the supply reel 73, and this tape is pulled out at a predetermined pitch by a sprocket (not shown). The data are sequentially sent to the unit 74. In addition, a CCD camera 75 is provided between the component supply device 70 and the substrate transport device 60 as an image pickup unit that detects the holding position of the component. Although the component transfer device 80 is retracted backward in FIG. 1, the component transfer device 80 is moved above the CCD camera 75 when detecting the holding position of the component.

部品移載装置80は、XYロボットタイプのものであり、基枠1上に装架されて基板搬送装置60および部品供給装置70の上方に配設されている。部品移載装置80は、Y軸サーボモータ11によりY軸方向に移動されるY軸スライダ12を備えている。図2に示すように、Y軸スライダ12には、X軸スライダ13がY軸方向と直交するX軸方向に移動可能に案内されている。すなわち、X軸スライダ13は、Y軸スライダ12に固定されたX軸方向に延びる一対のガイドレール12aと、X軸スライダ13に固定された一対のガイドブロック13aとを介して、Y軸スライダ12に移動可能に保持されている。   The component transfer device 80 is of the XY robot type, is mounted on the base frame 1 and is disposed above the substrate transfer device 60 and the component supply device 70. The component transfer device 80 includes a Y-axis slider 12 that is moved in the Y-axis direction by the Y-axis servomotor 11. As shown in FIG. 2, an X-axis slider 13 is guided by the Y-axis slider 12 so as to be movable in the X-axis direction orthogonal to the Y-axis direction. That is, the X-axis slider 13 is connected to the Y-axis slider 12 via a pair of guide rails 12 a that are fixed to the Y-axis slider 12 and extend in the X-axis direction, and a pair of guide blocks 13 a that are fixed to the X-axis slider 13. Is held movable.

Y軸スライダ12には図示しないX軸サーボモータが固定され、このX軸サーボモータの出力軸にはX軸方向に延びるボールねじ軸12bが連結されている。ボールねじ軸12bは、ボール(図示省略)を介して、X軸スライダ13に固定されたボールナット13bに螺合されている。これにより、X軸サーボモータが回転すると、ボールねじ軸12bが回転し、X軸スライダ13はボールナット13bを介してガイドレール12aに案内されてX軸方向に移動する。   An X-axis servo motor (not shown) is fixed to the Y-axis slider 12, and a ball screw shaft 12b extending in the X-axis direction is connected to the output shaft of the X-axis servo motor. The ball screw shaft 12b is screwed to a ball nut 13b fixed to the X-axis slider 13 via a ball (not shown). Accordingly, when the X-axis servo motor rotates, the ball screw shaft 12b rotates, and the X-axis slider 13 is guided by the guide rail 12a via the ball nut 13b and moves in the X-axis direction.

X軸スライダ13上には、部品を吸着して基板に装着する部品装着ヘッド10が取付けられている。部品装着ヘッド10は、R軸モータ15、インデックス軸16、ノズルホルダ17、吸着ノズル18、θ軸モータ19、Z軸モータ20、CCDカメラ21を備えた側方撮像手段50等によって構成されている。X軸スライダ13には、水平方向に延びる第1、2フレーム25、26が上下方向に離間して一体的に設けられ、第1フレーム25にR軸モータ15が固定されている。   On the X-axis slider 13, a component mounting head 10 that attaches components to the substrate is attached. The component mounting head 10 includes an R-axis motor 15, an index shaft 16, a nozzle holder 17, a suction nozzle 18, a θ-axis motor 19, a Z-axis motor 20, a side imaging unit 50 including a CCD camera 21, and the like. . The X-axis slider 13 is integrally provided with first and second frames 25 and 26 extending in the horizontal direction so as to be separated from each other in the vertical direction, and the R-axis motor 15 is fixed to the first frame 25.

R軸モータ15の出力軸には、第1フレーム25に鉛直軸線ALの回りに回転可能に支持されたインデックス軸16が接続されている。インデックス軸16上には、従動ギヤ27とθ軸ギヤ29を形成した回転体28が回転のみ可能に支持されている。インデックス軸16の下端部には、リボルバヘッドを構成する円筒状のノズルホルダ17が固定されている。上記したR軸モータ15およびインデックス軸16によって、ノズルホルダ17をR軸方向に回転割出しするノズルホルダ割出し手段55を構成している。   The output shaft of the R-axis motor 15 is connected to an index shaft 16 that is supported on the first frame 25 so as to be rotatable about the vertical axis AL. A rotating body 28 having a driven gear 27 and a θ-axis gear 29 formed thereon is supported on the index shaft 16 so as to be rotatable only. A cylindrical nozzle holder 17 constituting a revolver head is fixed to the lower end portion of the index shaft 16. The R-axis motor 15 and the index shaft 16 constitute nozzle holder indexing means 55 that indexes the rotation of the nozzle holder 17 in the R-axis direction.

図4に示すように、ノズルホルダ17には、鉛直軸線ALと同心の円周17a上において複数の吸着ノズル18が上下方向に移動可能に保持されている。図3に示すように、各吸着ノズル18は、ノズルホルダ17に上下方向(Z軸方向)に摺動可能に支持されたノズルスピンドル33の下端に取付けられている。ノズルスピンドル33の下端部には大径部33aが形成され、ノズルスピンドル33の上端部にはノズルギヤ34が固定されている。   As shown in FIG. 4, the nozzle holder 17 holds a plurality of suction nozzles 18 movably in the vertical direction on a circumference 17a concentric with the vertical axis AL. As shown in FIG. 3, each suction nozzle 18 is attached to the lower end of a nozzle spindle 33 that is slidably supported by the nozzle holder 17 in the vertical direction (Z-axis direction). A large diameter portion 33 a is formed at the lower end portion of the nozzle spindle 33, and a nozzle gear 34 is fixed to the upper end portion of the nozzle spindle 33.

ノズルギヤ34とノズルホルダ17との間には圧縮スプリング35が設けられ、この圧縮スプリング35によって、ノズルスピンドル33および吸着ノズル18が上方に付勢されるとともに、大径部33aがノズルホルダ17の下面に当接することにより、ノズルスピンドル33および吸着ノズル18の上方への移動が規制されている。また、各吸着ノズル18には、ノズルスピンドル33を介して吸着ノズル駆動装置(図示省略)から負圧が供給されるようになっている。これにより、各吸着ノズル18は、その先端部18aで部品Pを吸着することができる。   A compression spring 35 is provided between the nozzle gear 34 and the nozzle holder 17. The compression spring 35 urges the nozzle spindle 33 and the suction nozzle 18 upward, and the large-diameter portion 33 a is the lower surface of the nozzle holder 17. The upper movement of the nozzle spindle 33 and the suction nozzle 18 is restricted. Each suction nozzle 18 is supplied with a negative pressure from a suction nozzle driving device (not shown) via a nozzle spindle 33. Thereby, each suction nozzle 18 can suck the component P at its tip 18a.

さらに、ノズルホルダ17の下端中央部には、光を反射可能な円筒状の反射体31が固定されている。そのため、ノズルホルダ17および反射体31は、インデックス軸16とともに鉛直軸線ALの回りに回動されることになる。これにより、R軸モータ15を回転させると、インデックス軸16を介して複数の吸着ノズル18を保持したノズルホルダ17を鉛直軸線ALの回り(R軸方向)に回動させることができ、複数の吸着ノズル18を装着ステーションS1に順次割出すことができる。   Furthermore, a cylindrical reflector 31 capable of reflecting light is fixed to the center of the lower end of the nozzle holder 17. Therefore, the nozzle holder 17 and the reflector 31 are rotated around the vertical axis AL together with the index shaft 16. As a result, when the R-axis motor 15 is rotated, the nozzle holder 17 holding the plurality of suction nozzles 18 can be rotated around the vertical axis AL (R-axis direction) via the index shaft 16. The suction nozzle 18 can be sequentially indexed to the mounting station S1.

第1フレーム25にはθ軸モータ19が固定され、θ軸モータ19の出力軸には駆動ギヤ36が固定されている。駆動ギヤ36は、インデックス軸16に回転可能に支持された回転体28上の従動ギヤ27に噛合されている。また、回転体28上には軸方向の所定長さに亘ってθ軸ギヤ29が形成され、このθ軸ギヤ29は、ノズルスピンドル33に固定された各ノズルギヤ34にそれぞれ摺動可能に噛合されている。これにより、θ軸モータ19を回転させると、駆動ギヤ36、従動ギヤ27、θ軸ギヤ29およびノズルギヤ34を介して、全ての吸着ノズル18をノズルホルダ17に対して自転させることができる。   A θ-axis motor 19 is fixed to the first frame 25, and a drive gear 36 is fixed to the output shaft of the θ-axis motor 19. The drive gear 36 is meshed with a driven gear 27 on a rotating body 28 that is rotatably supported by the index shaft 16. A θ-axis gear 29 is formed on the rotating body 28 over a predetermined length in the axial direction, and the θ-axis gear 29 is slidably engaged with each nozzle gear 34 fixed to the nozzle spindle 33. ing. Accordingly, when the θ-axis motor 19 is rotated, all the suction nozzles 18 can be rotated with respect to the nozzle holder 17 via the drive gear 36, the driven gear 27, the θ-axis gear 29, and the nozzle gear 34.

また、第1フレーム25にはZ軸モータ20が固定され、Z軸モータ20の出力軸にはボールねじ軸37が接続されている。このボールねじ軸37は、第1フレーム25に固定された軸受38および第2フレーム26に固定された軸受39により、鉛直軸線ALと平行な軸線の回りに回動可能に支持されている。ボールねじ軸37には、ボール(図示省略)を介して、Z軸モータ20の回転運動を直線運動に変換するボールナット40が螺合されている。ボールナット40は、第1および第2フレーム25、26に固定された上下方向に伸びるガイド42に上下方向に摺動可能にガイドされたノズルレバー41に固定されている。   A Z-axis motor 20 is fixed to the first frame 25, and a ball screw shaft 37 is connected to the output shaft of the Z-axis motor 20. The ball screw shaft 37 is supported by a bearing 38 fixed to the first frame 25 and a bearing 39 fixed to the second frame 26 so as to be rotatable about an axis parallel to the vertical axis AL. A ball nut 40 that converts the rotational motion of the Z-axis motor 20 into a linear motion is screwed onto the ball screw shaft 37 via a ball (not shown). The ball nut 40 is fixed to a nozzle lever 41 slidably guided in a vertical direction by a guide 42 extending in the vertical direction fixed to the first and second frames 25 and 26.

ノズルレバー41には、後述する装着ステーションS1に割出されたノズルスピンドル33の上端に当接して、ノズルスピンドル33をZ軸方向の下方に押圧する押圧部41aが突設されている。これにより、Z軸モータ20を回転させると、ボールねじ軸37が回転し、ノズルレバー41はボールナット40を介してガイド42に案内されて上下に移動する。ノズルレバー41が上下に移動すると、押圧部41aに対応するノズルスピンドル33および吸着ノズル18を上下に移動させることができる。上記したZ軸モータ20、ボールねじ軸37、ボールナット40、ノズルレバー41等によって、吸着ノズル18をZ軸方向に進退移動させるノズル移動手段56を構成している。   The nozzle lever 41 is provided with a pressing portion 41a that abuts on the upper end of the nozzle spindle 33 indexed to the mounting station S1 described later and presses the nozzle spindle 33 downward in the Z-axis direction. Accordingly, when the Z-axis motor 20 is rotated, the ball screw shaft 37 is rotated, and the nozzle lever 41 is guided by the guide 42 via the ball nut 40 and moves up and down. When the nozzle lever 41 moves up and down, the nozzle spindle 33 and the suction nozzle 18 corresponding to the pressing portion 41a can be moved up and down. The Z-axis motor 20, the ball screw shaft 37, the ball nut 40, the nozzle lever 41, and the like constitute a nozzle moving means 56 that moves the suction nozzle 18 forward and backward in the Z-axis direction.

ノズルレバー41の押圧部41aは、図5に示すように、ノズルホルダ17の回転方向に装着ステーションS1を中心として所定の幅W1を有しており、吸着ノズル18が装着ステーションS1の前後の所定の角度範囲に位置している状態において、その吸着ノズル18のノズルスピンドル33の上端に押圧部41aが当接可能となっている。これにより、装着ステーションS1の前後の所定の角度範囲において、ノズルホルダ17の回動動作中に吸着ノズル18の上下移動を行うことを可能としている。   As shown in FIG. 5, the pressing portion 41a of the nozzle lever 41 has a predetermined width W1 around the mounting station S1 in the rotation direction of the nozzle holder 17, and the suction nozzle 18 has a predetermined width before and after the mounting station S1. The pressing portion 41a can come into contact with the upper end of the nozzle spindle 33 of the suction nozzle 18. Thus, the suction nozzle 18 can be moved up and down during the rotation of the nozzle holder 17 in a predetermined angular range before and after the mounting station S1.

第2フレーム26には支持ブラケット43が懸架され、支持ブラケット43には、ノズルホルダ17の装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に割出された2つの吸着ノズル18の先端部18aに吸着された部品Pの二次元画像を取得する1つのCCDカメラ21が固定されている。CCDカメラ21は、反射体31により反射された光により吸着ノズル18の先端部18aに吸着された部品Pの二次元画像を取得する。   A support bracket 43 is suspended from the second frame 26, and the support bracket 43 has tip ends 18a of the two suction nozzles 18 indexed to the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after the mounting station S1 of the nozzle holder 17. One CCD camera 21 for acquiring a two-dimensional image of the component P adsorbed on the CCD is fixed. The CCD camera 21 acquires a two-dimensional image of the component P sucked by the tip 18 a of the suction nozzle 18 by the light reflected by the reflector 31.

支持ブラケット43の吸着ノズル18に対応する側には、撮像ケース本体45が固定され、撮像ケース本体45の反射体31に対向する側には、図4に示すように、ノズルホルダ17を取巻くように鉛直軸線ALを円弧中心とする円弧状の壁面45aが、ノズルホルダ17の装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に亘って形成されている。撮像ケース本体45の円弧状壁面45aには、反射体31に向けて光を照射するLEDからなる複数の照射体46が装着されている。   An imaging case body 45 is fixed to the side of the support bracket 43 corresponding to the suction nozzle 18, and the nozzle holder 17 is surrounded on the side of the imaging case body 45 facing the reflector 31 as shown in FIG. In addition, an arcuate wall surface 45a having the vertical axis AL as the arc center is formed across the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after the mounting station S1 of the nozzle holder 17. A plurality of irradiating bodies 46 made of LEDs that irradiate light toward the reflector 31 are mounted on the arcuate wall surface 45 a of the imaging case body 45.

円弧状壁面45aには、装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に対応する位置に2つの入射部45a1、45a2が開口されている。撮像ケース本体45内には、入射部45a1、45a2を介して反射体31より反射された反射光をそれぞれ入射する2つの第1プリズム47a、47bと、これら2つの第1プリズム47a、47bによって屈折された屈折光を入射して、CCDカメラ21に向けた平行な光に屈折させる山形の第2プリズム48が設けられている。   Two incident portions 45a1 and 45a2 are opened in the arc-shaped wall surface 45a at positions corresponding to the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after the mounting station S1. The imaging case main body 45 is refracted by two first prisms 47a and 47b that receive the reflected light reflected from the reflector 31 via the incident portions 45a1 and 45a2, respectively, and these two first prisms 47a and 47b. A mountain-shaped second prism 48 is provided that makes the refracted light incident and refracts parallel light toward the CCD camera 21.

これら第1プリズム47a、47bおよび第2プリズム48によって、照射体46から照射され、反射体31によって反射された反射光をCCDカメラ21に導入する光学機構49を構成しており、また、反射体31、照射体46、第1および第2プリズム47a、47b、48ならびにCCDカメラ21等によって、装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に位置決めされた2つの吸着ノズル18の先端部18aの側方画像を取得する側方撮像手段50を構成している。   The first prisms 47a and 47b and the second prism 48 constitute an optical mechanism 49 for introducing the reflected light irradiated from the irradiation body 46 and reflected by the reflection body 31 to the CCD camera 21, and the reflection body. 31, the tip 46a of the two suction nozzles 18 positioned at the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after the mounting station S1 by the irradiation body 46, the first and second prisms 47a, 47b and 48, the CCD camera 21, and the like. The side imaging means 50 for acquiring the side image is configured.

上記した側方撮像手段50により、ノズルホルダ17の装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に割出された2つの吸着ノズル18が上昇端に位置決め停止されている状態において、照射体46から照射された光は反射体31により反射され、その反射光は部品Pの外周縁および撮像ケース本体45の2つの入射部45a1、45a2を通過し、第1プリズム47a、47bにより第2プリズム48に向かう方向に偏光される。そして、第2プリズム48によってCCDカメラ21に向かう平行光に偏光され、CCDカメラ21によって画像認識される。これにより、1つのCCDカメラ21によって、装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に割出された2つの吸着ノズル18の先端部18aに吸着された部品Pの二次元画像を同時に取得できる。   In the state where the two suction nozzles 18 indexed to the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and immediately after the mounting station S1 of the nozzle holder 17 are positioned and stopped at the rising end by the side imaging means 50 described above, the irradiation body The light emitted from 46 is reflected by the reflector 31, and the reflected light passes through the outer peripheral edge of the component P and the two incident portions 45a1 and 45a2 of the imaging case main body 45, and the second prism by the first prisms 47a and 47b. Polarized in the direction toward 48. Then, the light is polarized into parallel light toward the CCD camera 21 by the second prism 48, and the image is recognized by the CCD camera 21. As a result, a single CCD camera 21 simultaneously obtains a two-dimensional image of the component P adsorbed by the tips 18a of the two adsorption nozzles 18 indexed to the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after the mounting station S1. it can.

次に、上記した構成の部品装着装置によって、部品Pを基板に装着する動作について説明する。まず、制御装置90からの指令に基づいて、基板搬送装置60のコンベアベルトが駆動され、基板がガイドレール64a、64b(65a、65b)に案内されて所定の位置まで搬送される。そして、クランプ装置により、基板が押し上げられてクランプされ、所定位置に位置決め固定される。続いて、Y軸サーボモータ11および図略のX軸サーボモータが駆動されることにより、Y軸スライダ12およびX軸スライダ13が移動され、部品装着ヘッド10が部品供給装置70の部品取出部74まで移動される。   Next, an operation of mounting the component P on the board by the component mounting apparatus having the above configuration will be described. First, based on a command from the control device 90, the conveyor belt of the substrate transport device 60 is driven, and the substrate is guided to the guide rails 64a and 64b (65a and 65b) and transported to a predetermined position. Then, the substrate is pushed up and clamped by the clamp device, and is positioned and fixed at a predetermined position. Subsequently, when the Y-axis servo motor 11 and the X-axis servo motor (not shown) are driven, the Y-axis slider 12 and the X-axis slider 13 are moved, and the component mounting head 10 is moved to the component take-out part 74 of the component supply device 70. Moved to.

その後、制御装置90により、R軸モータ15が回転されることにより、ノズルホルダ17が回動され、所定の吸着ノズル18を装着したノズルスピンドル33がノズルレバー41の押圧部41aの下方に割出される。また、制御装置90により、Z軸モータ20が正転されることにより、ノズルレバー41が圧縮スプリング35の付勢力に抗して下方に押下げられ、ノズルスピンドル33を介して吸着ノズル18の先端部18aが部品取出部74に搬送された部品Pに接近する位置まで押下げられる。その状態で、吸着ノズル駆動装置(図示省略)から吸着ノズル18に負圧が供給され、吸着ノズル18の先端部18aに部品Pが吸着保持される。その後、Z軸モータ20が逆転されることにより、ノズルレバー41が上方に移動され、圧縮スプリング35の付勢力により吸着ノズル18が上昇端位置まで押上げられる。このような動作を繰り返すことにより、複数の吸着ノズル18に部品Pがそれぞれ吸着保持される。   Thereafter, when the R-axis motor 15 is rotated by the control device 90, the nozzle holder 17 is rotated, and the nozzle spindle 33 with the predetermined suction nozzle 18 mounted is indexed below the pressing portion 41a of the nozzle lever 41. It is. Further, when the Z-axis motor 20 is rotated forward by the control device 90, the nozzle lever 41 is pushed downward against the urging force of the compression spring 35, and the tip of the suction nozzle 18 is passed through the nozzle spindle 33. The part 18a is pushed down to a position approaching the part P conveyed to the part take-out part 74. In this state, a negative pressure is supplied to the suction nozzle 18 from a suction nozzle driving device (not shown), and the component P is sucked and held at the tip 18 a of the suction nozzle 18. Thereafter, when the Z-axis motor 20 is reversed, the nozzle lever 41 is moved upward, and the suction nozzle 18 is pushed up to the rising end position by the urging force of the compression spring 35. By repeating such an operation, the parts P are sucked and held by the plurality of suction nozzles 18 respectively.

続いて、Y軸サーボモータ11および図略のX軸サーボモータが駆動されることにより、Y軸スライダ12およびX軸スライダ13が移動され、部品装着ヘッド10が基板の装着位置の上方まで移動される。次いで、θ軸モータ19の回転により、ノズルホルダ17の装着ステーションS1に割出された吸着ノズル18の先端部18aに吸着保持された部品Pが所定の姿勢に制御されるとともに、Z軸モータ20が正転されることにより、ノズルレバー41が圧縮スプリング35の付勢力に抗して下方に押下げられ、吸着ノズル18の先端部18aの部品Pが基板に装着されるまで押下げられる。その後、Z軸モータ20が逆転されることにより、ノズルレバー41が上方に移動され、圧縮スプリング35の付勢力により吸着ノズル18が最上端に移動した状態まで押上げられる。   Subsequently, when the Y-axis servo motor 11 and the X-axis servo motor (not shown) are driven, the Y-axis slider 12 and the X-axis slider 13 are moved, and the component mounting head 10 is moved to above the board mounting position. The Subsequently, the rotation of the θ-axis motor 19 controls the component P sucked and held at the tip 18a of the suction nozzle 18 indexed to the mounting station S1 of the nozzle holder 17 to a predetermined posture, and also the Z-axis motor 20 As the nozzle rotates forward, the nozzle lever 41 is pushed down against the urging force of the compression spring 35, and is pushed down until the component P at the tip 18a of the suction nozzle 18 is mounted on the substrate. Thereafter, when the Z-axis motor 20 is reversed, the nozzle lever 41 is moved upward, and is pushed up to the state where the suction nozzle 18 is moved to the uppermost end by the urging force of the compression spring 35.

そして、図5に示すように、装着ステーションS1に割出されたノズルスピンドル33の下降動作により、吸着ノズル18に吸着保持された部品Pを基板に装着している間に、装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に位置決めされた停止状態の2つの吸着ノズル18の側方画像が、上記したように側方撮像手段50によって取得され、取得された2つの側方画像は制御装置90に入力されて画像認識される。詳しくは、照射体46から光が照射された光は、反射体31により反射され、2つの吸着ノズル18に吸着された各部品Pの外周縁および入射部45a1、45a2を通過して、CCDカメラ21に入射される。これにより、反射体31部分が明るい背景となり、部品Pおよび吸着ノズル18の先端部18aが暗くなった2つの側方画像(二次元画像)が取得できる。   Then, as shown in FIG. 5, while the component P sucked and held by the suction nozzle 18 is mounted on the substrate by the lowering operation of the nozzle spindle 33 indexed to the mounting station S1, immediately before the mounting station S1. The side images of the two suction nozzles 18 in the stopped state positioned at the stations S1-1 and S1 + 1 immediately after are acquired by the side imaging means 50 as described above, and the two acquired side images are the control device. 90 is input and image recognition is performed. Specifically, the light irradiated from the illuminator 46 is reflected by the reflector 31 and passes through the outer peripheral edge of each component P and the incident portions 45a1 and 45a2 adsorbed by the two adsorption nozzles 18. 21 is incident. Thereby, two side images (two-dimensional images) in which the reflector 31 is a bright background and the component P and the tip 18a of the suction nozzle 18 are dark can be acquired.

このように、装着ステーションS1に割出された吸着ノズル18に吸着した部品Pを基板に装着している間に、その直前直後のステーションS1−1、S1+1に割出された2つの吸着ノズル18の各先端部18aの側方画像を取得することにより、図6に示すように、次にノズルホルダ17の回転割出し動作中に、吸着ノズル18の上下方向の進退移動を同時に行わせる、いわゆる、オーバラップ制御が可能になる。そして、装着ステーションS1の直前のステーションS1−1に位置決めされた吸着ノズル18の先端部18aの側方画像は、グレースケールまたは白黒の2値の二次元画像データとして処理され、当該吸着ノズル18によって部品Pが正常に吸着されたか否かが判別される。すなわち、吸着ノズル18における部品吸着姿勢が、基板に装着するための許容範囲内にあるか否かが判別される。   In this way, while the component P sucked by the suction nozzle 18 indexed to the mounting station S1 is mounted on the substrate, the two suction nozzles 18 indexed to the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after that are mounted. As shown in FIG. 6, next, during the rotation indexing operation of the nozzle holder 17, the suction nozzle 18 is simultaneously moved forward and backward in the vertical direction, as shown in FIG. 6. Overlap control becomes possible. The side image of the tip 18a of the suction nozzle 18 positioned at the station S1-1 immediately before the mounting station S1 is processed as grayscale or black and white binary two-dimensional image data. It is determined whether or not the part P is normally sucked. That is, it is determined whether or not the component suction posture of the suction nozzle 18 is within an allowable range for mounting on the substrate.

一方、装着ステーションS1の直後のステーションS1+1に位置決めされた吸着ノズル18の先端部18aの側方画像に基づいて、当該吸着ノズル18によって基板に正常に部品Pが装着されたか否かが判別される。すなわち、吸着ノズル18の先端部18aに部品Pが存在しない場合には、部品Pが基板に正常に装着されたものと判断される。また、吸着ノズル18の先端部18aに部品Pが残存している場合には、装着異常と判断され、例えば、部品Pの再装着が実行される。しかし、例えば、異物が基板上の部品装着位置に付着していたときは、該部品装着位置に吸着ノズル18により部品を装着したときに、吸着ノズル18の先端部18aに異物が吸着されるおそれがある。   On the other hand, based on the side image of the tip 18a of the suction nozzle 18 positioned at the station S1 + 1 immediately after the mounting station S1, it is determined whether or not the component P is normally mounted on the substrate by the suction nozzle 18. . That is, when the component P does not exist at the tip 18a of the suction nozzle 18, it is determined that the component P is normally mounted on the substrate. Further, when the component P remains at the tip 18a of the suction nozzle 18, it is determined that the mounting is abnormal, and, for example, the mounting of the component P is executed again. However, for example, when a foreign object is attached to the component mounting position on the substrate, the foreign object may be attracted to the tip end portion 18a of the suction nozzle 18 when the component is mounted by the suction nozzle 18 at the component mounting position. There is.

そこで、本実施の形態では、吸着ノズル18の先端部18aに吸着される被吸着物を検知するようにしており、以下にその動作について図7、8、9のフローチャートを参照して説明する。ここで、制御装置90に内蔵された図略のメモリには、被吸着物検知プログラム(本発明の「被吸着物検知装置」に相当する)、基板上に装着する複数種の部品の側方画像の投影面積を求めるのに必要な寸法データ、例えば、部品の形状が直方体の場合は横方向(吸着ノズル18に正常に吸着されたときの水平方向)の寸法として短辺長Lmin、長辺長Lmax、および縦方向(吸着ノズル18に正常に吸着されたときの鉛直方向)の寸法として高さt、並びに側方撮像手段50で撮像可能な撮像範囲、例えば、図10に示すように、縦幅a、横幅bで表される矩形状の撮像範囲が予め記憶されている(本発明の「記憶手段」に相当する)。   Therefore, in the present embodiment, an object to be adsorbed that is adsorbed by the tip end portion 18a of the adsorption nozzle 18 is detected, and the operation thereof will be described below with reference to the flowcharts of FIGS. Here, an unillustrated memory incorporated in the control device 90 includes an adsorbed object detection program (corresponding to the “adsorbed object detection device” of the present invention), a side of a plurality of types of components mounted on the board. Dimensional data necessary for obtaining the projected area of the image, for example, when the shape of the part is a rectangular parallelepiped, the dimension in the horizontal direction (the horizontal direction when it is normally sucked by the suction nozzle 18) is the short side length Lmin, the long side The length Lmax, the height t as the dimension in the vertical direction (vertical direction when normally sucked by the suction nozzle 18), and the imaging range that can be imaged by the side imaging means 50, for example, as shown in FIG. A rectangular imaging range represented by a vertical width a and a horizontal width b is stored in advance (corresponding to the “storage means” of the present invention).

先ず、基板に装着される複数種の部品の側方画像が、側方撮像手段50で撮像可能な撮像範囲内に全て収まる部品の処理について説明する。図7のフローチャートに示すように、制御装置90により、装着ステーションS1の直後のステーションS1+1に位置決めされた吸着ノズル18の先端部18aの側方画像が取得される(ステップ1、本発明の「画像取得手段」に相当する)。そして、取得された側方画像における吸着ノズル18の先端部18aより下方の領域が面積取得領域として設定され、該面積取得領域内における被吸着物の側方画像の撮像面積が取得される(ステップ2,3、本発明の「面積取得手段」に相当する)。   First, processing of components in which the side images of a plurality of types of components mounted on the board are all within the imaging range that can be imaged by the side imaging means 50 will be described. As shown in the flowchart of FIG. 7, the control device 90 acquires a side image of the tip 18a of the suction nozzle 18 positioned at the station S1 + 1 immediately after the mounting station S1 (step 1, “image” of the present invention). Equivalent to “acquisition means”). And the area | region below the front-end | tip part 18a of the suction nozzle 18 in the acquired side image is set as an area acquisition area, and the imaging area of the side image of the to-be-adsorbed object in this area acquisition area is acquired (step). 2, 3, corresponding to “area acquisition means” of the present invention).

例えば、図10に示すように、吸着ノズル18の先端部18aを撮像した縦幅a、横幅bの矩形状の2値化された側方画像Gのうち、吸着ノズル18の先端部18aより下方の縦幅aa、横幅bで表される矩形状の領域が面積取得領域gとして設定される。そして、設定された面積取得領域g内における被吸着物Mの側方画像の撮像面積Rが取得される。この被吸着物Mの側方画像の撮像面積Rは、例えば、2値化された被吸着物Mの側方画像のピクセルの数と2つのピクセル間の最小距離としての分解能とに基づいて、もしくは撮像範囲の縦幅a、横幅bから求まる面積取得領域gの面積(縦幅aa×横幅b)および面積取得領域gと被吸着物Mの側方画像とのピクセル数比に基づいて取得可能である。   For example, as shown in FIG. 10, a rectangular side image G having a vertical width “a” and a horizontal width “b” obtained by imaging the front end portion 18 a of the suction nozzle 18 is lower than the front end portion 18 a of the suction nozzle 18. A rectangular region represented by a vertical width aa and a horizontal width b is set as the area acquisition region g. And the imaging area R of the side image of the to-be-adsorbed object M in the set area acquisition area | region g is acquired. The imaging area R of the side image of the object to be adsorbed M is based on, for example, the number of pixels of the binarized side image of the object to be adsorbed M and the resolution as the minimum distance between the two pixels. Alternatively, acquisition is possible based on the area (length aa × width b) of the area acquisition region g obtained from the vertical width a and horizontal width b of the imaging range and the pixel number ratio between the area acquisition region g and the side image of the object to be adsorbed M. It is.

側方画像を取得される部品の寸法データが読込まれ、該部品の側方画像の最小投影面積および最大投影面積が求められる(ステップ4,5、本発明の「面積演算手段」に相当する)。そして、取得された被吸着物の撮像面積、並びに演算された部品の最小投影面積および最大投影面積に基づいて、すなわち被吸着物の撮像面積と部品の最小投影面積および最大投影面積との面積比もしくは面積差により被吸着物が部品であるか該部品以外の異物であるかが判別される(ステップ6,7,8、本発明の「判別手段」に相当する)。   The dimension data of the part from which the side image is acquired is read, and the minimum projection area and the maximum projection area of the side image of the part are obtained (steps 4 and 5, corresponding to the “area calculation means” of the present invention). . Then, based on the acquired imaging area of the object to be adsorbed and the calculated minimum and maximum projection areas of the component, that is, the area ratio between the imaging area of the object to be adsorbed and the minimum and maximum projection areas of the part Alternatively, whether the object to be adsorbed is a part or a foreign substance other than the part is determined based on the area difference (steps 6, 7, and 8, corresponding to the “determination means” of the present invention).

例えば、部品の形状が直方体の場合、高さt<短辺長Lmin<長辺長Lmaxの関係であるとすると、部品Pの側方画像の最小投影面積fxminは、t・Lmin、最大投影面積fxmaxは、Lmin・Lmaxで表される。そして、吸着ノズル18の先端部18aにおける部品の吸着姿勢等を考慮した所定のマージンを加味した部品の最小投影面積、例えば、1/2(fxmin)、および同様の所定のマージンを加味した部品の最大投影面積、例えば、2fxmaxが設定される。そして、被吸着物Mの側方画像の撮像面積Rが、1/2(fxmin)以上であって2fxmax以下の範囲内であるときは、被吸着物Mは部品Pであると判別される。一方、被吸着物Mの側方画像の撮像面積Rが、1/2(fxmin)よりも小さい、あるいは2fxmaxよりも大きいときは、被吸着物Mは異物であると判別される。   For example, when the shape of the part is a rectangular parallelepiped, assuming that the relationship of height t <short side length Lmin <long side length Lmax is satisfied, the minimum projected area fxmin of the side image of the part P is t · Lmin, the maximum projected area. fxmax is expressed by Lmin · Lmax. Then, the minimum projected area of the component taking into account a predetermined margin in consideration of the suction posture of the component at the tip end portion 18a of the suction nozzle 18, for example, ½ (fxmin), and a component having the same predetermined margin taken into account A maximum projected area, for example, 2fxmax is set. And when the imaging area R of the side image of the to-be-adsorbed object M exists in the range of 1/2 (fxmin) or more and 2 fxmax or less, it will be discriminate | determined that the to-be-adsorbed object M is the component P. FIG. On the other hand, when the imaging area R of the side image of the object to be adsorbed M is smaller than ½ (fxmin) or larger than 2fxmax, it is determined that the object to be adsorbed M is a foreign substance.

被吸着物が異物と判別されたときは、部品は基板上に装着されていると判定できる。よって、部品を再装着するリカバリ処理は実施されないので、部品の2重打ちによる基板不良の発生を防止できる。このとき、基板の生産をエラー停止してエラー解除案内、例えば、吸着ノズル18の先端部18aの清掃方法や基板の生産の再開方法に関するメッセージを制御装置90の画面91(図1参照)に表示するようにしてもよく、また基板の生産をエラー停止せずに続行するようにしてもよい。   When it is determined that the object to be adsorbed is a foreign substance, it can be determined that the component is mounted on the substrate. Therefore, since the recovery process for remounting the component is not performed, it is possible to prevent the occurrence of the substrate failure due to the double hit of the component. At this time, the production of the substrate is stopped by an error, and an error release guidance, for example, a message relating to the cleaning method of the tip end portion 18a of the suction nozzle 18 and the method of restarting the production of the substrate is displayed on the screen 91 of the control device 90 (see FIG. 1) Alternatively, the substrate production may be continued without stopping the error.

すなわち、作業者は、吸着ノズル18の先端部18aに吸着されている異物が、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがあると判断したときは、次の部品の実装処理を中断させて吸着ノズル18の先端部18aから異物を手動もしくは自動で除去し、次の部品の吸着や装着の妨げとなるおそれがないと判断したときは、そのままの状態で次の部品の実装処理を実行する。また、被吸着物が異物と判別されたときは、部品エラーの報告は行わない。部品は基板上に装着されているので、部品エラーの報告を行うと正確な装着率が算出できなくなるからである。   That is, when the worker determines that the foreign matter sucked by the tip 18a of the suction nozzle 18 may interfere with the suction or mounting of the next component, the mounting process for the next component is interrupted. If it is determined that there is no possibility that the foreign matter is manually or automatically removed from the tip portion 18a of the suction nozzle 18 and the suction or mounting of the next component is not hindered, the next component mounting process is executed as it is. To do. Further, when it is determined that the object to be attracted is a foreign object, no part error is reported. This is because the component is mounted on the board, and if a component error is reported, an accurate mounting rate cannot be calculated.

一方、被吸着物が部品と判別されたときは、部品は基板上に装着されておらず、吸着ノズル18による部品の持ち帰りと判定できる。よって、作業者は、部品の吸着状態を確認して部品の吸着状態が良好であれば、部品を再装着するリカバリ処理の実行ボタンを押して部品の再装着が可能であり、部品の未装着による基板不良の発生を防止できる。また、吸着ノズル18には何も吸着されていないと判別されたときは、部品は基板上に装着されていると判定でき、次の部品の実装処理をそのまま継続する。   On the other hand, when it is determined that the object to be sucked is a part, the part is not mounted on the substrate, and it can be determined that the part is taken home by the suction nozzle 18. Therefore, if the operator confirms the suction state of the component and the suction state of the component is good, the worker can remount the component by pressing the recovery process execution button for remounting the component. Occurrence of substrate defects can be prevented. If it is determined that nothing is sucked by the suction nozzle 18, it can be determined that the component is mounted on the board, and the mounting process of the next component is continued as it is.

次に、基板に装着される複数種の部品のうち一部の部品の側方画像が、側方撮像手段50で撮像可能な撮像範囲からはみ出す部品(以下、大部品という)の処理について説明する。例えば、長尺な帯状の大部品の中央部が吸着ノズル18の先端部18aに吸着されたときに、大部品全体が面積取得領域内に収まるように設定されていても、大部品の一端部が吸着ノズル18の先端部18aに吸着されたときは、大部品の他端部側が面積取得領域からはみ出す場合がある。そこで、基板に大部品を含む複数種の部品が装着される場合、面積取得領域内に収まる部品(以下、小部品という)であるか、該小部品よりも大きい大部品であるかにより、吸着ノズル18の先端部18aに吸着されている被吸着物が部品であるか異物であるかを再判別する必要があり、図8のフローチャートを参照して説明する。   Next, processing of a part (hereinafter referred to as a large part) in which a side image of a part of a plurality of types of parts mounted on the board protrudes from an imaging range that can be imaged by the side imaging unit 50 will be described. . For example, even if the entire large part is set to be within the area acquisition region when the central part of the long strip-shaped large part is sucked by the tip 18a of the suction nozzle 18, one end part of the large part May be adsorbed by the tip 18a of the suction nozzle 18, the other end of the large component may protrude from the area acquisition region. Therefore, when a plurality of types of components including large components are mounted on the board, depending on whether the component fits within the area acquisition area (hereinafter referred to as a small component) or a large component larger than the small component. It is necessary to re-determine whether the object to be adsorbed by the tip 18a of the nozzle 18 is a part or a foreign substance, which will be described with reference to the flowchart of FIG.

図8のフローチャートに示す処理は、図7のフローチャートのステップ5の面積演算後に実行される。すなわち、面積演算後、側方画像を取得される部品の寸法データが読込まれ、該部品の側方画像が面積取得領域内に収まるか否かが判断される。そして、部品の側方画像が面積取得領域内に収まるときは、該部品は小部品として区分けされ(ステップ11,12、本発明の「部品区分手段」に相当する)、図7のステップ6以降の処理が実行される。一方、部品の側方画像が面積取得領域からはみ出すときは、該部品は大部品として区分けされる(ステップ11,13、本発明の「部品区分手段」に相当する)。   The process shown in the flowchart of FIG. 8 is executed after the area calculation in step 5 of the flowchart of FIG. That is, after the area calculation, the dimension data of the part for which the side image is acquired is read, and it is determined whether or not the side image of the part is within the area acquisition region. When the side image of the part falls within the area acquisition region, the part is classified as a small part (steps 11 and 12, corresponding to the “parts classifying means” of the present invention), and after step 6 in FIG. The process is executed. On the other hand, when the side image of the component protrudes from the area acquisition area, the component is classified as a large component (steps 11 and 13, corresponding to the “component classification means” of the present invention).

ここで、小部品および大部品の区分けは、側方撮像手段50の撮像範囲における吸着ノズル18の先端部18aのずれを考慮して、部品が面積取得領域内に確実に入る高さtおよび短辺長Lminを小部品と大部品との区分の高さ境界値および短辺長境界値として夫々設定する。部品の高さtが高さ境界値以上もしくは部品の短辺長Lminが短辺長境界値よりも大きいときは、該部品は大部品として区分される。部品の高さtが高さ境界値よりも小さく、且つ部品の短辺長Lminが短辺長境界値以下のときは、該部品は小部品として区分される。   Here, the small component and the large component are classified by taking into account the deviation of the tip end portion 18a of the suction nozzle 18 in the imaging range of the side imaging means 50, and the height t and the short that the component surely enters the area acquisition region. The side length Lmin is set as a height boundary value and a short side length boundary value for the division between the small part and the large part, respectively. When the height t of the part is equal to or higher than the height boundary value or the short side length Lmin of the part is larger than the short side length boundary value, the part is classified as a large part. When the height t of the part is smaller than the height boundary value and the short side length Lmin of the part is equal to or smaller than the short side length boundary value, the part is classified as a small part.

側方画像を取得される部品が大部品として区分けされると、該大部品の最小投影面積に基づいて閾値が設定される(ステップ14、本発明の「閾値設定手段」に相当する)。そして、被吸着物の側方画像の撮像面積および閾値に基づいて、被吸着物が大部品であるか該大部品以外の異物であるかが判別される(ステップ15,16,17、本発明の「大部品判別手段」に相当する)。被吸着物が大部品と判別されたとき、および被吸着物が異物と判別されたときは、図7で説明した処理と同一の処理が実行される。   When a part for which a side image is acquired is classified as a large part, a threshold is set based on the minimum projected area of the large part (step 14, corresponding to “threshold setting means” of the present invention). Then, based on the imaging area and the threshold value of the side image of the object to be adsorbed, it is determined whether the object to be adsorbed is a large part or a foreign substance other than the large part (Steps 15, 16, and 17 of the present invention). Equivalent to “large part discrimination means”). When it is determined that the object to be adsorbed is a large part and when the object to be adsorbed is determined to be a foreign object, the same process as that described with reference to FIG. 7 is executed.

ここで、閾値を設定する理由は以下の通りである。すなわち、大部品の中央部が吸着ノズル18の先端部18aに吸着されたときに、大部品全体が面積取得領域内に収まるように設定されていても、大部品の一端部が吸着ノズル18の先端部18aに吸着されたときは、大部品の他端部側が面積取得領域からはみ出すことになる。この場合、図7のステップ6の判別工程が行われると、本来は部品と判別されるべきものが常に異物と判別されることになる。しかし、そのときの撮像面積Rは、最小投影面積fxminの2分の1倍を下回ることはない。そこで、撮像面積Rの下限値については閾値を設定して判断する。なお、撮像面積Rは最大投影面積fxmaxを上回ることはありえないため、撮像面積Rの上限値の判定は行わない。   Here, the reason for setting the threshold is as follows. That is, when the central part of the large component is attracted to the tip end portion 18a of the suction nozzle 18, even if the entire large part is set to be within the area acquisition region, one end of the large component is the suction nozzle 18 When attracted to the tip 18a, the other end of the large component protrudes from the area acquisition region. In this case, when the determination process of step 6 in FIG. 7 is performed, what is originally determined to be a part is always determined as a foreign object. However, the imaging area R at that time does not fall below a half of the minimum projection area fxmin. Therefore, the lower limit value of the imaging area R is determined by setting a threshold value. Since the imaging area R cannot exceed the maximum projected area fxmax, the upper limit value of the imaging area R is not determined.

例えば、閾値として大部品の側方画像の最小投影面積fxminの2分の1を設定する。そして、被吸着物Mの側方画像の撮像面積Rが、大部品の閾値1/2(fxmin)以下のときは、被吸着物Mは異物であると判別される。一方、被吸着物Mの側方画像の撮像面積Rが、大部品の閾値1/2(fxmin)よりも大きいときは、被吸着物Mは部品であると判別される。   For example, the threshold is set to 1/2 of the minimum projected area fxmin of the large part side image. And when the imaging area R of the side image of the to-be-adsorbed object M is below the large component threshold value 1/2 (fxmin), it is determined that the to-be-adsorbed object M is a foreign substance. On the other hand, when the imaging area R of the side image of the object to be adsorbed M is larger than the threshold value 1/2 (fxmin) of the large part, it is determined that the object to be adsorbed M is a part.

図7のフローチャートのステップ7において、被装着物が部品であると判別されたとき、該部品の吸着ノズル18の先端部18aにおける吸着状態、すなわち吸着姿勢を検知することも可能であり、図9のフローチャートを参照して説明する。図7のフローチャートのステップ7の判別後、部品の側方画像に基づいて、該部品の高さh(吸着ノズル18に吸着されている状態のZ軸線方向の辺長)が取得される(ステップ21、本発明の「高さ取得手段」に相当する)。   When it is determined in step 7 of the flowchart of FIG. 7 that the mounted object is a part, it is also possible to detect the suction state, that is, the suction posture of the tip 18a of the suction nozzle 18 of the part. This will be described with reference to the flowchart of FIG. After the determination in step 7 of the flowchart of FIG. 7, the height h of the component (side length in the Z-axis direction in the state of being sucked by the suction nozzle 18) is acquired based on the side image of the component (step). 21 corresponds to “height acquisition means” of the present invention).

そして、部品の寸法データのうち高さt(吸着ノズル18に正常に吸着されたときのZ軸線方向の辺長)が読込まれ、取得された部品の高さhが、読込まれた部品の高さtにトレランス(寸法公差)を加味した値と比較される。そして、取得された部品の高さhが、読込まれた部品の高さtの寸法公差内に収まっている場合は、吸着ノズル18の先端部18aにおける部品の吸着姿勢は正常であると検出できる(ステップ22,23,24、本発明の「検出手段」に相当する)。一方、取得された部品の高さhが、読込まれた部品の高さtの寸法公差内に収まっていないときは、吸着ノズル18の先端部18aにおける部品の吸着姿勢は異常であると検出できる(ステップ22,23,25、本発明の「検出手段」に相当する)。部品が吸着ノズル18の先端部18aに正常に吸着されているときは、該部品を再装着するリカバリ処理が実施可能である。   Then, the height t (the side length in the Z-axis direction when normally sucked by the suction nozzle 18) of the dimension data of the part is read, and the obtained height h of the part is the height of the read part. It is compared with a value obtained by adding tolerance (dimensional tolerance) to t. If the acquired component height h is within the dimensional tolerance of the read component height t, it can be detected that the component suction posture at the tip end portion 18a of the suction nozzle 18 is normal. (Steps 22, 23, 24, corresponding to “detection means” of the present invention). On the other hand, when the acquired component height h does not fall within the dimensional tolerance of the read component height t, it can be detected that the component suction posture at the tip end portion 18a of the suction nozzle 18 is abnormal. (Steps 22, 23 and 25 correspond to the “detection means” of the present invention). When a component is normally sucked by the tip 18a of the suction nozzle 18, a recovery process for remounting the component can be performed.

以上の被吸着物検知処理が終了して基板への部品Pの装着が完了すると、図略の吸着ノズル駆動装置からの負圧の供給が停止されて部品Pの吸着保持が解放され、Z軸モータ20の逆転によってノズルスピンドル33がZ軸方向に上昇されると同時に、R軸モータ15の回転によってノズルホルダ17がR軸方向に回動される。これによって、部品Pを基板に装着した吸着ノズル18は、R軸方向に回転(公転)されながらZ軸方向に上昇される。   When the above-described attracted object detection processing is completed and the mounting of the component P to the substrate is completed, the supply of negative pressure from the suction nozzle driving device (not shown) is stopped, the suction holding of the component P is released, and the Z axis The nozzle spindle 33 is raised in the Z-axis direction by the reverse rotation of the motor 20, and at the same time, the nozzle holder 17 is rotated in the R-axis direction by the rotation of the R-axis motor 15. As a result, the suction nozzle 18 having the component P mounted on the substrate is raised in the Z-axis direction while being rotated (revolved) in the R-axis direction.

吸着ノズル18が上昇端位置まで上昇されるとともに、ノズルホルダ17が所定角度回転されると、装着ステーションS1から次のステーションS1+1に向かう吸着ノズル18のノズルスピンドル33が、ノズルレバー41の押圧部41aの下方より離脱する。次いで、装着ステーションS1の直前のステーションS1−1から装着ステーションS1に向かう吸着ノズル18のノズルスピンドル33が、押圧部41aの下方に侵入する。   When the suction nozzle 18 is raised to the rising end position and the nozzle holder 17 is rotated by a predetermined angle, the nozzle spindle 33 of the suction nozzle 18 heading from the mounting station S1 to the next station S1 + 1 is moved to the pressing portion 41a of the nozzle lever 41. Leave from below. Next, the nozzle spindle 33 of the suction nozzle 18 heading from the station S1-1 immediately before the mounting station S1 toward the mounting station S1 enters below the pressing portion 41a.

その状態で、Z軸モータ20が正転され、ノズルレバー41がZ軸方向に下降されることにより、吸着ノズル18のノズルスピンドル33がノズルレバー41の押圧部41aによって下降され、その結果、吸着ノズル18はR軸方向に回転しながらZ軸方向に下降される。そして、ノズルホルダ17が1ピッチ回転割出しされ、吸着ノズル18が装着ステーションS1に位置決めされると、ノズルホルダ17が一旦停止され、その状態で、Z軸モータ20によって吸着ノズル18が少量下降され、吸着ノズル18の先端部18aに吸着保持された部品Pが基板に装着される。   In this state, when the Z-axis motor 20 is rotated forward and the nozzle lever 41 is lowered in the Z-axis direction, the nozzle spindle 33 of the suction nozzle 18 is lowered by the pressing portion 41a of the nozzle lever 41. The nozzle 18 is lowered in the Z-axis direction while rotating in the R-axis direction. When the nozzle holder 17 is indexed by one pitch rotation and the suction nozzle 18 is positioned at the mounting station S1, the nozzle holder 17 is temporarily stopped, and in this state, the suction nozzle 18 is lowered by a small amount. The component P sucked and held by the tip 18a of the suction nozzle 18 is mounted on the substrate.

そして、基板への部品Pの装着のために、ノズルホルダ17が一時停止されている間に、上記したように、装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に新たに位置決めされた2つの吸着ノズル18の側方画像が、側方撮像手段50によって取得される。このように、装着ステーションS1の直前直後のステーションS1−1、S1+1に位置決めされた2つの吸着ノズル18の側方画像を取得することにより、ノズルホルダ17がR軸方向に1ピッチ回転される間に、装着ステーションS1からその直後のステーションS1+1に割出される吸着ノズル18のZ軸方向の上昇運動、ならびに装着ステーションS1の直前のステーションS1−1から装着ステーションS1に割出される吸着ノズル18のZ軸方向の下降運動を行うことができるようになる。以上の動作が繰り返されることにより、基板に部品Pが順次装着され、すべての部品Pが基板に装着されると、基板のクランプが解除され、基板が排出される。このようにして、所要の部品Pを基板に装着する動作が終了する。   Then, while the nozzle holder 17 is temporarily stopped for mounting the component P on the board, as described above, 2 newly positioned at the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after the mounting station S1. Side images of the two suction nozzles 18 are acquired by the side imaging means 50. As described above, by acquiring the side images of the two suction nozzles 18 positioned at the stations S1-1 and S1 + 1 immediately before and after the mounting station S1, the nozzle holder 17 is rotated by one pitch in the R-axis direction. In addition, the upward movement in the Z-axis direction of the suction nozzle 18 indexed from the mounting station S1 to the station S1 + 1 immediately thereafter, and the Z of the suction nozzle 18 indexed from the station S1-1 immediately before the mounting station S1 to the mounting station S1. A downward movement in the axial direction can be performed. By repeating the above operation, the components P are sequentially mounted on the substrate. When all the components P are mounted on the substrate, the substrate clamp is released and the substrate is discharged. In this way, the operation of mounting the required component P on the board is completed.

なお、上述の部品装着ヘッド10の吸着ノズル18における被吸着物検知方法は、吸着ノズル18による部品の基板上への装着後において実行する場合を説明したが、吸着ノズル18による部品の基板上への装着前においても実行可能である。被吸着物が異物であると判別したときは、基板上における部品の空打ちによる基板不良の発生を防止できる。また、特に、図9のフローチャートに示す部品の吸着ノズル18の先端部18aにおける吸着状態の検出処理を実行することにより、吸着ノズル18における部品の吸着姿勢が異常であると検出したときは、該部品は実装不可と判定でき、基板上における部品の実装不良による基板不良の発生を未然に防止できる。   The above-described method for detecting an object to be adsorbed by the suction nozzle 18 of the component mounting head 10 has been described after the component is mounted on the substrate by the suction nozzle 18. It can be executed even before mounting. When it is determined that the object to be adsorbed is a foreign substance, it is possible to prevent the occurrence of a substrate failure due to the blanking of components on the substrate. In particular, when it is detected that the suction posture of the component at the suction nozzle 18 is abnormal by executing the suction state detection process at the tip 18a of the suction nozzle 18 of the component shown in the flowchart of FIG. It is possible to determine that the component cannot be mounted, and it is possible to prevent the occurrence of a substrate failure due to a component mounting failure on the substrate.

10…部品装着ヘッド、18…吸着ノズル、18a…先端部、50…側方撮像手段、56…ノズル移動手段、80…部品移載装置、90…制御装置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Component mounting head, 18 ... Adsorption nozzle, 18a ... Tip part, 50 ... Side imaging means, 56 ... Nozzle moving means, 80 ... Component transfer apparatus, 90 ... Control apparatus.

Claims (4)

軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも1つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルを側方から撮像する側方撮像手段と、を備えた部品装着ヘッドにおいて、前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物の検知方法であって、
前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶工程と、
前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得工程と、
前記画像取得工程で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得工程と、
前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得工程で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算工程と、
前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積、並びに前記面積演算工程で演算した前記部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する判別工程と、を備えた部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法。
By moving in the axial direction, at least one suction nozzle for picking up the component and mounting the component on the substrate, nozzle moving means for moving the suction nozzle in the axial direction, and the suction nozzle from the side In a component mounting head comprising a side imaging means for capturing an image, the component is sucked by the suction nozzle, and is sucked by the suction nozzle before and after being mounted on the substrate. A method for detecting an object,
A storage step of storing dimensions of the component to be mounted on the substrate;
An image acquisition step of acquiring a side image obtained by imaging at least one of the suction nozzles from the side before and after mounting the component on the substrate;
An area acquisition area for acquiring an imaging area of a side image of the object to be adsorbed in the area acquisition area is set as an area acquisition area in the side image acquired in the image acquisition step. Process,
Based on the dimensions of the component stored in the storage step, an area calculation step for calculating a minimum projection area and a maximum projection area of a component from which a side image is acquired in the image acquisition step;
Whether the object to be adsorbed is the part based on the imaging area of the object to be adsorbed acquired in the area acquisition step, and the minimum projection area and the maximum projection area of the part calculated in the area calculation step A determination step of determining whether the foreign object is a component other than a component;
請求項1において、複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分工程と、
前記画像取得工程で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定工程と、
前記画像取得工程で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得工程で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定工程で設定した該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記部品であるか該部品以外の異物であるかを判別する大部品判別工程と、を備えた部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法。
2. The component of claim 1, wherein a plurality of types of components are defined as small components in which a side image of the component enters the area acquisition region regardless of the suction state of the component in the suction nozzle, and a component larger than the small component A part classification process for classifying as parts,
A threshold setting step for setting a threshold based on a minimum projected area of a large part from which a side image is acquired in the image acquisition step;
When the component whose side image is acquired in the image acquisition step is the large component, the imaging area of the object to be adsorbed acquired in the area acquisition step and the threshold value of the large component set in the threshold setting step And a large component determination step of determining whether the object to be adsorbed is the component or a foreign substance other than the component based on the method.
請求項1または請求項2において、前記判別工程にて前記被吸着物が前記画像取得工程で側方画像を取得される部品であると判別したとき、前記画像取得工程で取得した前記側方画像に基づいて、前記部品の高さを取得する高さ取得工程と、
前記記憶工程で記憶した前記部品の寸法および前記高さ取得工程で取得した前記部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出工程と、を備えた部品装着ヘッドの吸着ノズルにおける被吸着物検知方法。
3. The lateral image acquired in the image acquisition step according to claim 1 or 2, wherein when the object to be adsorbed is determined to be a part from which a side image is acquired in the image acquisition step in the determination step. Based on the height acquisition step of acquiring the height of the component,
A component mounting head suction comprising: a detection step of detecting a component suction state in the suction nozzle based on the dimension of the component stored in the storage step and the height of the component acquired in the height acquisition step A method for detecting an object to be adsorbed in a nozzle.
軸線方向に移動することにより、部品を吸着して該部品を基板上に装着する少なくとも1つの吸着ノズルと、前記吸着ノズルを前記軸線方向に移動させるノズル移動手段と、前記吸着ノズルの側方から撮像する側方撮像手段と、を有する部品装着ヘッドと、
前記部品を前記吸着ノズルにより吸着し、前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方で前記吸着ノズルに吸着された被吸着物を検知する被吸着物検知装置と、を備えた部品装着装置であって、
前記被吸着物検知装置は、前記基板上に装着する前記部品の寸法を記憶する記憶手段と、
前記部品を前記基板上に装着する前および装着した後の少なくとも一方の前記吸着ノズルを側方から撮像した側方画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段で取得した前記側方画像内における前記吸着ノズルの先端より下方の領域を面積取得領域とし、該面積取得領域内における前記被吸着物の側方画像の撮像面積を取得する面積取得手段と、
前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法に基づいて、前記画像取得手段で側方画像を取得される部品の最小投影面積および最大投影面積を演算する面積演算手段と、
複数種の部品を、前記吸着ノズルにおける前記部品の吸着状態に関わらず前記部品の側方画像が前記面積取得領域に入る部品を小部品とし、該小部品より大きい部品を大部品として区分けする部品区分手段と、
前記画像取得手段で側方画像を取得される大部品の最小投影面積に基づいて閾値を設定する閾値設定手段と、
前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記小部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積並びに前記面積演算手段で演算された該小部品の前記最小投影面積および前記最大投影面積に基づいて、前記被吸着物が前記小部品であるか該小部品以外の異物であるかを判別する小部品判別手段と、
前記画像取得手段で側方画像を取得される部品が前記大部品であるときは、前記面積取得手段で取得した前記被吸着物の撮像面積および前記閾値設定手段で設定された該大部品の前記閾値に基づいて、前記被吸着物が前記大部品であるか該大部品以外の異物であるかを判別する大部品判別手段と、
前記小部品判別手段で前記被吸着物が前記画像取得手段で側方画像を取得される小部品であると判別したとき、前記画像取得手段で取得される該小部品の前記側方画像に基づいて、該小部品の高さを取得する高さ取得手段と、
前記記憶手段から読込んだ前記部品の寸法および前記高さ取得手段で取得した前記小部品の高さに基づいて、前記吸着ノズルにおける部品吸着状態を検出する検出手段と、を備えた部品装着装置。
By moving in the axial direction, at least one suction nozzle for picking up the component and mounting the component on the substrate, nozzle moving means for moving the suction nozzle in the axial direction, and from the side of the suction nozzle A component mounting head having side imaging means for imaging;
A component mounting comprising: an adsorbent detection device that adsorbs the component by the adsorption nozzle and detects an adsorbate adsorbed by the adsorption nozzle at least one of before and after mounting on the substrate. A device,
The adsorbed object detection device includes a storage unit that stores the dimensions of the component to be mounted on the substrate;
Image acquisition means for acquiring a side image obtained by imaging at least one of the suction nozzles from the side before and after mounting the component on the substrate;
Area acquisition from which the area below the tip of the suction nozzle in the side image acquired by the image acquisition means is an area acquisition area, and the imaging area of the side image of the object to be adsorbed in the area acquisition area is acquired Means,
Based on the dimensions of the part read from the storage means, an area calculation means for calculating a minimum projection area and a maximum projection area of a part whose side image is acquired by the image acquisition means;
A component that classifies a plurality of types of components as a small component, and a component larger than the small component as a large component, regardless of the suction state of the component at the suction nozzle. Classification means;
Threshold setting means for setting a threshold based on a minimum projected area of a large part from which a side image is acquired by the image acquisition means;
When the part from which the side image is acquired by the image acquisition means is the small part, the imaging area of the object to be adsorbed acquired by the area acquisition means and the small part calculated by the area calculation means Small component determining means for determining whether the object to be attracted is the small component or a foreign substance other than the small component based on the minimum projected area and the maximum projected area;
When the component whose side image is acquired by the image acquisition unit is the large component, the imaging area of the object to be adsorbed acquired by the area acquisition unit and the large component set by the threshold setting unit A large component determining means for determining whether the object to be adsorbed is the large component or a foreign substance other than the large component, based on a threshold;
Based on the side image of the small part acquired by the image acquisition unit when the small part determination unit determines that the object to be adsorbed is a small part whose side image is acquired by the image acquisition unit. A height acquisition means for acquiring the height of the small part;
A component mounting apparatus comprising: a detection unit configured to detect a component suction state in the suction nozzle based on the dimension of the component read from the storage unit and the height of the small component acquired by the height acquisition unit; .
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