JP5660425B2 - グラフェン膜のエピタキシャル成長方法 - Google Patents
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Ni/マイカ基板上でのグラフェン膜合成
1.クリーンルーム中でマイカの新鮮な表面を用意した。
2.電子銃堆積により、5.0×10−8torrのベース圧力の下、0.1nm/秒の堆積レートで100nm厚のNi膜を1cm×1cmのマイカ基板上に堆積させた。
3.Ni/マイカのサンプルを石英管炉中に装填して、このチャンバーを約1.0×10−7torrのベース圧力まで真空引きした。
4.Ni/マイカを水素雰囲気の下で650℃、15時間、約5Paの圧力で処理した。
5.水素の供給を停止した。
6.C2H4ガス状炭素源を流通させながら、温度を650℃で10分間保ち、また雰囲気を約1.0×10−5torrに維持した。
7.ガス状炭素化合物の供給を停止して、電源を切ることによって室温まで冷却した。
8.Ni/マイカ基板上のグラフェン膜を得た。
Ni/マイカ基板上でのグラフェン膜合成
1.クリーンルーム中でマイカの新鮮な表面を用意した。
2.電子銃堆積により、5.0×10−8torrのベース圧力の下、0.1nm/秒の堆積レートで100nm厚のNi膜を2cm×2cmのマイカ基板上に堆積させた。
3.Ni/マイカのサンプルを石英管炉中に装填して、このチャンバーを約1.0×10−7torrのベース圧力まで真空引きした。
4.Ni/マイカを水素雰囲気の下で750℃、15時間、約5Paの圧力で処理した。
5.水素の供給を停止して、温度を650℃まで下げた。
6.C2H4ガス状炭素化合物を流通させながら、温度を650℃で10分間保ち、また雰囲気を約1.0×10−5torrに維持した。
7.ガス状炭素化合物の供給を停止して、電源を切ることによって室温まで冷却した。
Ni/マイカ基板上でのグラフェン膜合成
1.クリーンルーム中でスコッチテープを使用してマイカの新鮮な表面を用意した。
2.電子銃堆積により、5.0×10−8torrのベース圧力の下、0.1nm/秒の堆積レートで100nm厚のNi膜を1cm×1cmのマイカ基板上に堆積させた。
3.Ni/マイカのサンプルを石英管炉中に装填して、このチャンバーを約1.0×10−7torrのベース圧力まで真空引きした。
4.Ni/マイカを950℃で10時間処理した。
5.温度を600度まで下げてC2H4ガス状炭素化合物を流通させながら10分間保ち、また雰囲気を約1.0×10−5torrに維持した。
6.ガス状炭素化合物の供給を停止して、電源を切ることによって室温まで冷却した。
Ni/マイカ基板上で合成されたグラフェン膜の他の基板への転送
1.実験例1に従ってNi/マイカ上に合成されたグラフェンフィルムの上にポリ(メチルメタクリレート)(PMMAの2%アニソール溶液)を300nm厚にスピンコートした。
2.PMMAコーティングされたグラフェンサンプルを空気中において180℃で5分間ベーキングした。
3.FeCl3(1M)を使って、グラフェン膜とマイカ基板の間に介在するNi層をエッチングした。すなわち、PMMA膜で覆われたグラフェンサンプルを1MのFeCl3溶液中に浸漬した。数分後、Ni膜が除去されることによって、PMMA+グラフェン膜がマイカから分離してエッチング溶液表面に浮かんだ。
4.PMMA+グラフェンを300nm厚SiO2コーティングを施したSi基板(以下、300nm厚SiO2/Si基板と称する)上へ手作業で転送した。
5.目的の300nm厚SiO2/Si上にPMMA+グラフェンを載せた後、PMMA膜をアセトンによって溶解・除去した。
6.300nm厚SiO2/Si上に載ったグラフェン膜を得た。
101 触媒層
102 グラフェン膜
Claims (7)
- 以下のステップを含むグラフェン膜作製方法。
(a)マイカからなる単結晶基板を用意する。
(b)前記単結晶基板上にNiからなる結晶質触媒膜を設ける。
(c)前記結晶質触媒膜を設けた前記単結晶基板を650℃〜950℃で10時間〜15時間熱処理する。
(d)前記結晶質触媒膜の存在下でガス状炭素源を加熱して冷却することによって前記単結晶質触媒膜上で面状に延在したグラフェン膜を形成する。 - 前記熱処理後の前記結晶質触媒膜の結晶粒の結晶方位のばらつきが±5度の範囲に収まり、かつ前記結晶粒の大きさが1μmよりも大きい、請求項1に記載の方法。
- 前記結晶質触媒膜の厚さは1nmから2mmの範囲である、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 前記結晶質触媒膜を設けるステップは堆積によって行われ、前記単結晶基板は堆積を行っている間0℃から600℃の範囲に維持される、請求項1から請求項3の何れかに記載の方法。
- 前記熱処理は真空あるいは不活性雰囲気で行う、請求項1から請求項4の何れかに記載の方法。
- 前記ガス状炭素源は1個から6個の炭素原子を含む化合物である、請求項1から請求項5の何れかに記載の方法。
- 前記ガス状炭素源は、エタン、エチレン、エタノール、メタノール、アセトン、アセチレン、プロパン、プロピレン、ブタン、ブタジエン、ペンタン及びヘキサンからなる群から選択された1または複数の化合物である、請求項6に記載の方法。
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