JP5656905B2 - 決定方法、プログラム及び情報処理装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 主パターンと補助パターンとを含むマスクパターンを基板に投影する投影光学系を備える露光装置に用いられるマスクパターン及び前記露光装置における露光条件を決定する決定方法であって、
前記マスクパターン及び前記露光条件の設定を変更しながら前記投影光学系によって前記基板上に形成されるマスクパターンの像を算出し、当該マスクパターンの像に基づいて前記マスクパターン及び前記露光条件を決定するステップを有し、
前記ステップは、
前記主パターン及び前記露光条件を設定する設定ステップと、
前記補助パターンを生成する生成ステップと、
設定された主パターン及び生成された補助パターンを含むマスクパターン、及び、設定された露光条件を用いて前記投影光学系によって前記基板上に形成されるマスクパターンの像を算出する算出ステップと、
算出されたマスクパターンの像を評価する評価ステップと、を有し、
前記評価ステップの後、
前記主パターン及び前記露光条件の設定を変更する変更ステップと、
新たに補助パターンを生成するかどうかを判定する判定ステップと、を更に有し、
前記判定ステップにおいて前記補助パターンを新たに生成すると判定した場合には、前記補助パターンの生成条件に従って新たに補助パターンを生成し、前記変更ステップを行った後、当該生成した補助パターンと変更後の主パターンと露光条件とを用いて前記マスクパターンの像を算出し、
前記判定ステップにおいて前記補助パターンを新たに生成しないと判定した場合には、前記補助パターンを新たに生成せずに、前記変更ステップを行った後、当該判定の前に生成した補助パターンと変更後の主パターンと露光条件とを用いて前記マスクパターンの像を算出することを特徴とする決定方法。 - 前記補助パターンを生成するかどうかの判定では、前記露光条件、前記マスクパターンの像の評価値及び前記生成条件の少なくとも1つの変化量が閾値以上であれば、前記補助パターンを生成すると判定し、前記変化量が前記閾値未満であれば、前記補助パターンを生成しないと判定することを特徴とする請求項1に記載の決定方法。
- 前記露光条件は、前記マスクパターンを照明するための有効光源の形状、前記投影光学系の開口数、前記基板を保持するステージの傾き、及び、前記基板を保持するステージの振動の少なくとも1つを含み、
前記評価値は、前記マスクパターンの像と目標パターンとの線幅誤差、前記マスクパターンの像の規格化イメージ対数傾斜、及び、前記マスクパターンの像の露光余裕度、焦点深度の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項2に記載の決定方法。 - 前記有効光源の形状は、前記有効光源の外シグマ値、前記有効光源の内シグマ値、及び、前記有効光源の開口角の少なくとも1つで規定されることを特徴とする請求項3に記載の決定方法。
- 前記露光条件は、前記マスクパターンを照明するための有効光源の形状を含み、
前記補助パターンを生成するかどうかの判定では、前記設定の変更前の有効光源の形状を表すビットマップデータと、前記設定の変更後の有効光源の形状を表すビットマップデータとの差分に基づいて、前記補助パターンを生成するかどうかを判定することを特徴とする請求項1に記載の決定方法。 - 前記変更ステップは、前記補助パターンの生成条件の変更を含むことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記生成条件は、前記マスクパターンの像の各位置における強度から前記補助パターンの位置を決定する際の強度の閾値、前記マスクパターンの像を微分する方向、及び、前記補助パターンを生成する際に当該補助パターンと隣接するパターンとの間に必要となる距離の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の決定方法。
- 主パターンと補助パターンとを含むマスクパターンを基板に投影する投影光学系を備える露光装置に用いられるマスクパターンを決定する決定方法であって、
前記マスクパターンの設定を変更しながら前記投影光学系によって前記基板上に形成されるマスクパターンの像を算出し、当該マスクパターンの像に基づいて前記マスクパターンを決定するステップを有し、
前記ステップは、
前記主パターンを設定する設定ステップと、
前記補助パターンを生成する生成ステップと、
設定された主パターン及び生成された補助パターンを含むマスクパターンを用いて前記投影光学系によって前記基板上に形成されるマスクパターンの像を算出する算出ステップと、
算出されたマスクパターンの像を評価する評価ステップと、を有し、
前記評価ステップの後、
前記主パターンの設定を変更する変更ステップと、
新たに補助パターンを生成するかどうかを判定する判定ステップと、を更に有し、
前記判定ステップにおいて前記補助パターンを新たに生成すると判定した場合には、前記補助パターンの生成条件に従って新たに補助パターンを生成し、前記変更ステップを行った後、当該生成した補助パターンと変更後の主パターンとを用いて前記マスクパターンの像を算出し、
前記判定ステップにおいて前記補助パターンを新たに生成しないと判定した場合には、前記補助パターンを新たに生成せずに、前記変更ステップを行った後、当該判定の前に生成した補助パターンと変更後の主パターンとを用いて前記マスクパターンの像を算出することを特徴とする決定方法。 - 請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の決定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の決定方法を実行する情報処理装置。
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