JP5656191B2 - 流速センサ - Google Patents
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Description
2 流路
3 バイパス路
6 流路内面
7 検知部
36 カンチレバー部
Claims (2)
- 流路を流れる流体の速度を計測する流速センサにおいて、
前記流路に接続され、前記流路をバイパスするバイパス路と、
前記バイパス路内に設けられ、前記流路の上流と下流の圧力差を計測する検知部と、
を備え、
前記検知部が、
ピエゾ抵抗層が設けられたカンチレバー部と、
前記流路と前記バイパス路とを繋ぐ通路と
を有し、
前記カンチレバー部と前記通路の間に設けられた隙間が、前記流体が流入しないように形成されており、
前記圧力差を計測することによって、前記流路内の前記流体の流速を計測することを特徴とする流速センサ。 - 前記検知部が、前記流路の流路内面と略同一平面上に設けられ、前記バイパス路と一体に形成されていることを特徴とする請求項1記載の流速センサ。
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