JP5655211B2 - 撮像装置、リレー光学系、及び計測システム - Google Patents
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Description
さらに、上記課題を解決するため本発明に係る撮像装置は、上記に加えて以下の(1)〜(3)のいずれかの特徴をさらに有する。
(1)イメージ増倍装置の出力面を構成する蛍光体の分光輝度分布特性に合わせて信号変換装置の撮像面におけるスポット特性を調整している。この場合、イメージ増倍装置の蛍光体に適合した色収差のリレー光学系によって撮像面におけるスポット特性を最適化することができる。
(2)リレー光学系において、出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能である。この場合、出力面上の像を撮像面上に適正な倍率で結像させることができ、高精度の撮像が可能になる。さらに、第1レンズ群の開口数をNA1とし、第2レンズ群の開口数をNA2とした場合に、以下の条件式(1)
1.15≦NA2/NA1≦1.8 … (1)
を満足する。この条件式(1)の範囲内とすることで、イメージ増倍装置の出力面を信号変換装置の撮像面に略等倍で投射する際の光損失を抑えることができる。
(3)リレー光学系において、出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能である。さらに、第1レンズ群の焦点距離をf1とし、第2レンズ群の焦点距離をf2とした場合に、以下の条件式(2)
0.5≦f2/f1≦2.0 … (2)
を満足し、より好ましくは
0.5≦f2/f1≦0.9 … (2)'
を満足する。この条件式(2)の範囲内とすることで、イメージ増倍装置の出力面を信号変換装置の撮像面に略等倍で歪を抑えて投射することができる。
さらに、上記課題を解決するため本発明に係るリレー光学系は、上記に加えて以下の(1)〜(3)のいずれかの特徴をさらに有する。
(1)検出装置は、微弱な事象を出力面において蛍光像に変換するイメージ増倍装置である。この場合、イメージ増倍装置によって形成された微弱な蛍光像を高精度で確実に検出することができる。さらに、イメージ増倍装置の出力面を構成する蛍光体の分光輝度分布特性に合わせて信号変換装置の撮像面におけるスポット特性を調整している。
(2)出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能である。さらに、第1レンズ群の開口数をNA1とし、第2レンズ群の開口数をNA2とした場合に、以下の条件式(1)
1.15≦NA2/NA1≦1.8 … (1)
を満足する。
(3)出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能である。さらに、第1レンズ群の焦点距離をf1とし、第2レンズ群の焦点距離をf2とした場合に、以下の条件式(2)
0.5≦f2/f1≦2.0 … (2)
を満足し、より好ましくは
0.5≦f2/f1≦0.9 … (2)'
を満足する。
以下、本発明の一実施形態に係る撮像装置の構造等について説明する。図1に示す撮像装置10は、微弱な事象を蛍光像に変換するイメージ増倍装置11と、イメージ増倍装置11からの蛍光像出力(以下、単に蛍光像と表記する)を電気的な画像信号に変換する信号変換装置12と、イメージ増倍装置11の出力面11bにおける蛍光像を信号変換装置12の撮像面12aに投射するリレー光学系13と、リレー光学系13に設けたディストリビューター15により分離された第2蛍光像から信号変換装置12を動作させるための撮像タイミングを規定するタイミング設定装置17とを備える。
1.15≦NA2/NA1≦1.8 … (1)
を満足する。この条件式(1)の範囲内とすることで、イメージ増倍装置11の出力面11bを信号変換装置12の撮像面12aに略等倍で投射する際の歪及び光損失を抑えることができる。つまり、NA2/NA1が上記のような下限や上限を超えると、本体光学系14の光軸OAに沿った対称性が低下する。具体的には、本体光学系14の集光率を保存するならば、物体面である出力面11bから像面である撮像面12aまでの距離が長くなってしまい、出力面11bから撮像面12aまでの距離を保存するならば、レンズ径が小さくなってしまい、本体光学系14の集光率を下げることになる。
0.5≦f2/f1≦2.0 … (2)
を満足し、より好ましくは
0.5≦f2/f1≦0.9 … (2) '
を満足する。以上の条件式(2)の範囲内とすることで、イメージ増倍装置11の出力面11bを信号変換装置12の撮像面12aに略等倍で歪及び光損失を抑えて投射することができる。つまり、f2/f1が上記のような下限や上限を超えると、本体光学系14の光軸OAに沿った対称性が低下する。
〔2a.リレー光学系の第1実施例〕
以下、図2を参照して、第1実施例のリレー光学系13の具体的なレンズ構成等について説明する。第1実施例のリレー光学系13は、入射側のディストリビューター15と、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群14aと、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群14bと、出射側のプリズム部14dとを備える。ディストリビューター15と、第1レンズ群14aと、第2レンズ群14bと、プリズム部14dとは、イメージ増倍装置11のある物体側から信号変換装置12のある像側に向けて光軸OAに沿って順に設けられている。これらのうち、第1及び第2レンズ群14a,14bとプリズム部14dとは、本体光学系14を構成している。
以下、図13を参照して、第2実施例のリレー光学系13の具体的なレンズ構成等について説明する。第2実施例のリレー光学系13は、物体側から順に、入射側のディストリビューター15と、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群14aと、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群14bと、出射側のプリズム部14dとを備える。
以下、図14を参照して、第3実施例のリレー光学系13の具体的なレンズ構成等について説明する。第3実施例のリレー光学系13は、物体側から順に、入射側のディストリビューター15と、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群14aと、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群14bと、出射側のプリズム部14dとを備える。
以下、図15を参照して、第4実施例のリレー光学系13の具体的なレンズ構成等について説明する。第4実施例のリレー光学系13は、物体側から順に、ディストリビューター15と、第1レンズ群14aと、第2レンズ群14bと、プリズム部14dと、第3レンズ群114aと、ミラー13rと、第4レンズ群114bとを備える。
以下、図16を参照して、本発明の一実施形態に係る計測システムの構造等について説明する。
Claims (20)
- 微弱な事象を蛍光像に変換するイメージ増倍装置と、
前記イメージ増倍装置から出力された蛍光像を電気的な画像信号に変換する信号変換装置と、
前記イメージ増倍装置の出力面における前記蛍光像を前記信号変換装置の撮像面に投射するともに、前記出力面側でテレセントリックであるリレー光学系と
を備え、
前記イメージ増倍装置の前記出力面を構成する蛍光体の分光輝度分布特性に合わせて前記信号変換装置の前記撮像面におけるスポット特性を調整した、撮像装置。 - 前記リレー光学系は、前記出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能である、請求項1記載の撮像装置。
- 微弱な事象を蛍光像に変換するイメージ増倍装置と、
前記イメージ増倍装置から出力された蛍光像を電気的な画像信号に変換する信号変換装置と、
前記イメージ増倍装置の出力面における前記蛍光像を前記信号変換装置の撮像面に投射するともに、前記出力面側でテレセントリックであるリレー光学系と
を備え、
前記リレー光学系は、前記出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能であり、
前記第1レンズ群の開口数をNA1とし、前記第2レンズ群の開口数をNA2とした場合に、以下の条件式(1)
1.15≦NA2/NA1≦1.8 … (1)
を満足する撮像装置。 - 微弱な事象を蛍光像に変換するイメージ増倍装置と、
前記イメージ増倍装置から出力された蛍光像を電気的な画像信号に変換する信号変換装置と、
前記イメージ増倍装置の出力面における前記蛍光像を前記信号変換装置の撮像面に投射するともに、前記出力面側でテレセントリックであるリレー光学系と
を備え、
前記リレー光学系は、前記出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能であり、
前記第1レンズ群の焦点距離をf1とし、前記第2レンズ群の焦点距離をf2とした場合に、以下の条件式(2)
0.5≦f2/f1≦2.0 … (2)
を満足する撮像装置。 - 前記リレー光学系は、前記イメージ増倍装置の前記出力面を前記信号変換装置の前記撮像面に略等倍で投射する、請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の撮像装置。
- 前記リレー光学系は、前記イメージ増倍装置の前記出力面に対向して設けられ、前記イメージ増倍装置から出力された前記蛍光像を、第1蛍光像と第2蛍光像とに分離するとともに、前記第1蛍光像を前記信号変換装置に向かう光路に導くディストリビューターを有し、
前記ディストリビューターにより分離された前記第2蛍光像から前記信号変換装置を動作させるための撮像タイミングを規定するタイミング設定装置をさらに備える、請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記タイミング設定装置は、前記イメージ増倍装置の前記出力面を構成する区分領域からの前記第2蛍光像を個別に検出する光電子増倍装置を含む、請求項6に記載の撮像装置。
- 前記タイミング設定装置は、前記光電子増倍装置から出力される前記区分領域に対応する検出信号に基づいて、前記光電子増倍装置の前記区分領域に対応する前記信号変換装置の局所領域を選択的に動作させる駆動信号を出力する、請求項7に記載の撮像装置。
- 前記イメージ増倍装置は、入力段に配置される光電変換部と、前記光電変換部の後段に配置される近接型増倍素子と、前記近接型増倍素子の後段に配置される前記出力面とを有する、請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載の撮像装置。
- 前記信号変換装置は、CCD型撮像素子及びCMOS型撮像素子のいずれか一方である固体撮像素子を含み、前記タイミング設定装置から出力されるタイミング信号に基づいて前記固体撮像素子を動作させる、請求項6から請求項8までのいずれか一項に記載の撮像装置。
- 検出装置の出力面に形成された像を電気的な画像信号に変換する信号変換装置を有する撮像装置に組み込まれるリレー光学系であって、
前記検出装置の出力面に形成された像を前記信号変換装置の撮像面に略等倍で投射するともに、前記出力面側でテレセントリックであり、
前記検出装置は、微弱な事象を前記出力面において蛍光像に変換するイメージ増倍装置であり、
前記イメージ増倍装置の前記出力面を構成する蛍光体の分光輝度分布特性に合わせて前記信号変換装置の前記撮像面におけるスポット特性を調整した、リレー光学系。 - 前記イメージ増倍装置の前記出力面に対向して設けられ、前記イメージ増倍装置から出力された前記蛍光像を、第1蛍光像と第2蛍光像とに分離するとともに、前記第1蛍光像を前記信号変換装置に向かう光路に導き、前記第2蛍光像を前記信号変換装置を動作させるための撮像タイミングを規定するタイミング設定装置に向かう光路に導くディストリビューターをさらに備える、請求項11に記載のリレー光学系。
- 前記出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能である、請求項11及び12のいずれか一項に記載のリレー光学系。
- 検出装置の出力面に形成された像を電気的な画像信号に変換する信号変換装置を有する撮像装置に組み込まれるリレー光学系であって、
前記検出装置の出力面に形成された像を前記信号変換装置の撮像面に略等倍で投射するともに、前記出力面側でテレセントリックであり、
前記出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能であり、
前記第1レンズ群の開口数をNA1とし、前記第2レンズ群の開口数をNA2とした場合に、以下の条件式(1)
1.15≦NA2/NA1≦1.8 … (1)
を満足する、リレー光学系。 - 検出装置の出力面に形成された像を電気的な画像信号に変換する信号変換装置を有する撮像装置に組み込まれるリレー光学系であって、
前記検出装置の出力面に形成された像を前記信号変換装置の撮像面に略等倍で投射するともに、前記出力面側でテレセントリックであり、
前記出力面から順に第1レンズ群と第2レンズ群とを備え、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔を調整することによって結像倍率を修正可能であり、
前記第1レンズ群の焦点距離をf1とし、前記第2レンズ群の焦点距離をf2とした場合に、以下の条件式(2)
0.5≦f2/f1≦2.0 … (2)
を満足するリレー光学系。 - 前記検出装置は、微弱な事象を前記出力面において蛍光像に変換するイメージ増倍装置である、請求項14及び請求項15のいずれか一項に記載のリレー光学系。
- 前記イメージ増倍装置の前記出力面に対向して設けられ、前記イメージ増倍装置から出力された前記蛍光像を、第1蛍光像と第2蛍光像とに分離するとともに、前記第1蛍光像を前記信号変換装置に向かう光路に導き、前記第2蛍光像を前記信号変換装置を動作させるための撮像タイミングを規定するタイミング設定装置に向かう光路に導くディストリビューターをさらに備える、請求項16に記載のリレー光学系。
- 前記イメージ増倍装置の前記出力面を構成する蛍光体の分光輝度分布特性に合わせて前記信号変換装置の前記撮像面におけるスポット特性を調整した、請求項16及び請求項17のいずれか一項に記載のリレー光学系。
- 前記結像倍率は、結像特性を略維持した状態で±1.5%の範囲で調整される、請求項13から請求項18までのいずれか一項に記載のリレー光学系。
- レーザー光を出力する照明部と、
前記照明部を動作させる照明駆動部と、
請求項1から請求項10までのいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記照明部と同期して前記撮像装置を動作させる撮像駆動部と
を備える計測システム。
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