JP5651723B2 - 光学装置、空間フィルタ、遮光方法、及び空間フィルタの設定方法 - Google Patents
光学装置、空間フィルタ、遮光方法、及び空間フィルタの設定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5651723B2 JP5651723B2 JP2013035280A JP2013035280A JP5651723B2 JP 5651723 B2 JP5651723 B2 JP 5651723B2 JP 2013035280 A JP2013035280 A JP 2013035280A JP 2013035280 A JP2013035280 A JP 2013035280A JP 5651723 B2 JP5651723 B2 JP 5651723B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light shielding
- spatial filter
- shielding material
- light
- optical device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
〔第1の実施形態〕
本実施形態にかかる異物検査装置の全体構成を図2に示す。
〔第2の実施形態〕
図9により、本発明の第2の実施形態を説明する。
〔第3の実施形態〕
図10により、本発明の第3の実施形態を説明する。図10(a)が上面図、図10(b)が断面図である。
〔第4の実施形態〕
図11により、本発明の第4の実施形態を説明する。図11(a)が上面図、図11(b)が断面図である。
〔第5の実施形態〕
図13により、本発明の第5の実施形態を説明する。図13(a)が上面図、図13(b)が側面図である。本実施形態の空間フィルタ47を図1に示す実施形態と比較すると、遮光材48となる2つの棒材(49a,49b)を遮光材圧電素子50により挟み込んだ構成とした点が異なる。
〔第6の実施形態〕
図15により、本発明の第6の実施形態を説明する。図15(a)が上面図、図15(b)が側面図である。
〔第7の実施形態〕
図16により、本発明の第7の実施形態を説明する。図16(a)は上面図、図16(b)は磁石ユニット59の一部を拡大した図である。
2 ウェハ
3 ステージ
4 検出レンズ
5,17,29,35,40,47,52,57 空間フィルタ
6 集光レンズ系
7 検出器
8 空間フィルタ制御装置
9 空間フィルタ制御用ケーブル
10 レーザー光
11 ハーフミラー
12 CCDカメラ
13 キーボード
14 モニタ
15 制御パソコン
16 制御およびデータ取得ケーブル
18,23,33,37,41,48,53,58,101,102,103,104,
105 遮光材
19,46,106,107,108,109,110,111,112,113 圧電
素子
20 反射防止材
21,27,28,32,39 遮光材間隔
22a 画素(OFF)
22b 画素(ON)
24 コイルばね
25,45 検査画像
26,44 フーリエ変換面に投影される回折光
30 流体駆動伸縮材
31 チューブ
34 位置センサ
36,36a ネジ材
38,38a ネジ形状
42 プラスチック
43,50 遮光材圧電素子
49a,49b 棒材
54 モーター
55 ガイド
56 ローラー
59 磁石ユニット
60 多層基板
61 配線パターン
62 鉄心
63 センサ
250,251 調整画面
252 調整スタートボタン
253 位置データ選択ボタン
254 位置データ取得ボタン
255 位置データ入力欄
S1〜S9 工程
Claims (16)
- 試料に光を照射する照明光学系と、
前記前記試料からの光を検出する検出光学系と、
複数の遮光材を有し、前記試料からの不所望な光を遮光する空間フィルタと、
前記遮光材を可動とすることで前記遮光材の間隔を変化させる制御部材と、を有し、
前記遮光材の間隔が不等間隔になるように、前記遮光材は前記制御部材によって動かされる光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記制御部材によって、前記遮光材の角度は変化する光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置において、
前記制御部材は、圧電部材を含む光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置において、
前記制御部材は、前記遮光材の両端に配置されたモーターを含む光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置において、
前記制御部材は、磁性体を含むことを特徴とする光学装置。 - 複数の遮光材と、
前記遮光材を可動とすることで前記遮光材の間隔を変化させる制御部材と、を有し、
前記遮光材の間隔が不等間隔になるように、前記遮光材は前記制御部材によって動かされる空間フィルタ。 - 請求項6に記載の空間フィルタにおいて、
前記制御部材によって、前記遮光材の角度は変化する空間フィルタ。 - 請求項7に記載の空間フィルタにおいて、
前記制御部材は、圧電部材を含む空間フィルタ。 - 請求項7に記載の空間フィルタにおいて、
前記制御部材は、前記遮光材の両端に配置されたモーターを含む空間フィルタ。 - 請求項7に記載の空間フィルタにおいて、
前記制御部材は、磁性体を含む空間フィルタ。 - 複数の遮光材を有し、試料からの不所望な光を遮光する空間フィルタを用いた遮光方法であって、
圧電効果,流体,磁気力,静電気力の少なくとも1つを使用して前記遮光材を可動とし、
前記遮光材の間隔が不等間隔になるように前記遮光材は前記制御部材によって動かされる遮光方法。 - 複数の遮光材を有し、試料からの不所望な光を遮光する空間フィルタの設定方法であって、
圧電効果,流体,磁気力,静電気力の少なくとも1つを使用して前記遮光材を可動とし、
前記遮光材の間隔が不等間隔になるように前記遮光材が前記制御部材によって動かされるように設定する空間フィルタの設定方法。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記複数の遮光材の位置は、各々独立に制御可能である光学装置。 - 請求項6に記載の空間フィルタにおいて、
前記複数の遮光材の位置は、各々独立に制御可能である空間フィルタ。 - 請求項11に記載の遮光方法において、
前記複数の遮光材の位置は、各々独立に制御される遮光方法。 - 請求項12に記載の空間フィルタの設定方法において、
前記複数の遮光材の位置は、各々独立に動かされるように設定される空間フィルタの設定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013035280A JP5651723B2 (ja) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | 光学装置、空間フィルタ、遮光方法、及び空間フィルタの設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013035280A JP5651723B2 (ja) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | 光学装置、空間フィルタ、遮光方法、及び空間フィルタの設定方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009225939A Division JP5222820B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 異物検査方法および異物検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013164421A JP2013164421A (ja) | 2013-08-22 |
JP5651723B2 true JP5651723B2 (ja) | 2015-01-14 |
Family
ID=49175825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013035280A Expired - Fee Related JP5651723B2 (ja) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | 光学装置、空間フィルタ、遮光方法、及び空間フィルタの設定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5651723B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102137629B1 (ko) * | 2018-12-18 | 2020-07-24 | 한국과학기술연구원 | 전동차 비산 미세먼지 집진장치 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1068698A (ja) * | 1996-06-06 | 1998-03-10 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 表面欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP4010649B2 (ja) * | 1998-06-05 | 2007-11-21 | 株式会社ルネサステクノロジ | 異物検査装置 |
JP2001174629A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Nikon Corp | 反射光学素子及びファブリー・ペロー・エタロン及び光源レーザー装置及び露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2004093333A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | プリント回路板の検査装置 |
JP4988224B2 (ja) * | 2006-03-01 | 2012-08-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及びその装置 |
-
2013
- 2013-02-26 JP JP2013035280A patent/JP5651723B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013164421A (ja) | 2013-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101702887B1 (ko) | 무라 검출 및 계측을 위한 방법 및 장치 | |
JP5132866B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP5222820B2 (ja) | 異物検査方法および異物検査装置 | |
CN111839558A (zh) | X射线相位成像装置 | |
JP2014202679A (ja) | 照明装置および検査装置 | |
US20150369750A1 (en) | Confocal Line Inspection Optical System | |
US9646372B2 (en) | Inspection apparatus | |
JP5651723B2 (ja) | 光学装置、空間フィルタ、遮光方法、及び空間フィルタの設定方法 | |
JP2020088400A (ja) | レーザ加工装置及び撮像装置 | |
TW201740215A (zh) | 檢測方法、檢測裝置及照明方法及裝置 | |
JP2018041025A (ja) | パターン露光装置、露光ヘッドおよびパターン露光方法 | |
CN104516098B (zh) | 一种显微装置及成像方法 | |
KR101566129B1 (ko) | 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 장치 및 방법 | |
US20230281758A1 (en) | Method and device for reducing aliasing errors in images of pixel-based display devices and for the evaluation of display devices of this type | |
Abdelsalam et al. | PIV camera response to high frequency signal: comparison of CCD and CMOS cameras using particle image simulation | |
JP2020034619A (ja) | 露光装置 | |
JPH09265931A (ja) | 画像取得装置及び方法 | |
Ukai | The principle and characteristics of an image fibre background oriented schlieren (Fibre BOS) technique for time-resolved three-dimensional unsteady density measurements | |
JP2015105897A (ja) | マスクパターンの検査方法 | |
Wang et al. | Depth measurement for the objects with a small height using depth-focus-based microscopic vision system | |
KR101396959B1 (ko) | 렌즈 어레이 검사시스템 및 그를 이용한 성능분석방법 | |
JP4634478B2 (ja) | 試料検査装置及び試料検査方法 | |
JPH07280537A (ja) | 撮像式検査方法および装置 | |
CN109780993A (zh) | 微分相位对比显微系统与方法 | |
JP2015002114A (ja) | 検査装置および検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140422 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140606 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141021 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5651723 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |