JP5634670B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
また、請求項10のように、前記導電性の配線を金属配線とするとよい。
図1に、本発明に係るプレーナ型アクチュエータの一実施形態の概略構成を示す。
図1に示すアクチュエータ1は、半導体製造技術を利用して製造した電磁駆動式のプレーナ型アクチュエータである。
図7の(a)の配線パターンは、拡散導通部9上にアルミニウム配線6を千鳥格子状に配置したものである。
2 固定部
3,3 トーションバー
4 可動部
5 駆動コイル
6,6 アルミニウム配線
7 電極端子
8,8 永久磁石
9 拡散導通部
Claims (10)
- 固定部にトーションバーで可動部を揺動可能に軸支したものを半導体基板で形成し、前記可動部の電気要素に接続する導電性の配線を、前記トーションバー上に形成するプレーナ型アクチュエータにおいて、前記トーションバー上の前記導電性の配線を、前記トーションバーの軸方向で分断する配線パターンとし、前記分断部分を補助導通部を設けて電気的に導通させる構成としたプレーナ型アクチュエータ。
- 前記補助導通部が、前記トーションバーの半導体材料に不純物を拡散させて形成した拡散導通部である請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記補助導通部が、前記導電性の配線より捩れ剛性の高い金属である請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記補助導通部を、前記導電性の配線の少なくとも前記分断部分が位置するトーションバー部分に形成する構成とした請求項2又は3に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記補助導通部を、トーションバーの軸方向に沿って前記可動部から前記固定部にかけて形成し、前記補助導通部上に前記導電性の配線を配置する構成とした請求項4に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記配線パターンは、前記導電性の配線をトーションバーの幅方向で複数に分割する構成である請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記複数に分割した導電性の配線の互いに隣接する配線間を電気的に接続する構成である請求項6に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記配線パターンは、前記導電性の配線を略千鳥格子状に形成した請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記電気要素が、駆動コイルであり、該駆動コイルに前記導電性の配線を介して電流を供給することにより発生する駆動力で、前記可動部を前記トーションバーの軸回りに駆動する構成である請求項1〜8のいずれか1つに記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記導電性の配線は、金属配線である請求項1〜9のいずれか1つに記載のプレーナ型アクチュエータ。
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