JP5631974B2 - ガラス−金属密封封止アセンブリおよびガラス−金属密封封止アセンブリの製造方法 - Google Patents
ガラス−金属密封封止アセンブリおよびガラス−金属密封封止アセンブリの製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明は、2009年4月16日出願の米国仮出願第61/169,883号の利益を主張しており、その全開示内容は参照によってここに組み込まれる。
本発明は、詳細な説明および添付の図面から、よりよく理解されるであろう。
Claims (27)
- 透明部材、
透明部材の周りに設けられ、透明部材に接合された中間部材、および、
中間部材の周りに設けられ、中間部材を変形させるように圧縮嵌合によって中間部材に固定された外環を含み、
外環が、透明部材の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有し、
中間部材は、外環によって及ぼされる圧縮力によって塑性変形することにより透明部材に接合される第1部分と、透明部材に接合されない第2部分とを含む筒状の構造を有することを特徴とする点検窓アセンブリ。 - 中間部材が第1の金属で作製され、外環が第2の金属で作製されており、第2の金属が第1の金属の融点よりも高い融点を有することを特徴とする請求項1に記載の点検窓アセンブリ。
- 中間部材が、はんだ付け可能なまたはろう付け可能な材料で作製されていることを特徴とする請求項2に記載の点検窓アセンブリ。
- 中間部材が、中間部材の半径方向に沿って第1の厚さを規定し、外環が、前記半径方向に沿って第2の厚さを規定しており、第2の厚さが第1の厚さの少なくとも3倍であることを特徴とする請求項1に記載の点検窓アセンブリ。
- 流体を搬送する筒状の部材をさらに含み、筒状の部材が、はんだ接合およびろう付け接合の少なくとも一方によって、中間部材に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の点検窓アセンブリ。
- 中間部材が、銅、鉄(ferrous)合金およびアルミニウムの群から選択される材料を含
むことを特徴とする請求項1に記載の点検窓アセンブリ。 - 外環が、ステンレス鋼、冷間圧延鋼(CRS)、鉄、鉄合金、および鉄(ferrous)合金の群から選択される材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の点検窓アセンブリ。
- 収容体をさらに含み、中間部材が、はんだ接合およびろう付け接合の少なくとも一方によって、収容体に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の点検窓アセンブリ。
- 中間部材および収容体が、同一の材料で作製されていることを特徴とする請求項8に記載の点検窓アセンブリ。
- 外環が、衝撃力に対して透明部材を保護するために充分な力学的強度および大きさを有していることを特徴とする請求項8に記載の点検窓アセンブリ。
- 外環が、溶接不可能な材料で作製されていることを特徴とする請求項8に記載の点検窓アセンブリ。
- 封止ガラス、
封止ガラスを貫通して延在し、封止ガラスに密封封止された少なくとも1つの電流伝導部材、
封止ガラスを取り囲む金属中間部材であって、封止ガラスが圧縮力によって金属中間部材に接合された金属中間部材、および、
中間部材を取り囲み、中間部材を変形させる圧縮力によって中間部材に接合された金属外環を含み、
外環が、封止ガラスの熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有し、
中間部材は、外環によって及ぼされる前記圧縮力によって塑性変形することにより封止ガラスに接合される第1部分と、封止ガラスに接合されない第2部分とを含む筒状の構造を有することを特徴とする密封端子アセンブリ。 - 中間部材が、外環の融点よりも低い融点を有することを特徴とする請求項12に記載の密封端子アセンブリ。
- 電流伝導部材が、ピン、ワイヤ、プレート、スリーブまたはシート材料の1つを含むことを特徴とする請求項12に記載の密封端子アセンブリ。
- ハウジングをさらに含み、中間部材がフランジ、はんだ接合およびろう付け接合の少なくとも一方によって、ハウジングに接合されていることを特徴とする請求項12に記載の密封端子アセンブリ。
- 中間部材が、中間部材の半径方向に沿って第1の厚さを規定し、外環が、前記半径方向に沿って第2の厚さを規定しており、第2の厚さが第1の厚さの少なくとも3倍大きいことを特徴とする請求項12に記載の密封端子アセンブリ。
- 中間部材が、銅、鉄(ferrous)合金またはアルミニウムの群から選択される材料を含
むことを特徴とする請求項12に記載の密封端子アセンブリ。 - 外環が、ステンレス鋼、冷間圧延鋼、鉄、鉄合金、および鉄(ferrous)合金の群から
選択される材料を含むことを特徴とする請求項12に記載の密封端子アセンブリ。 - 透明ガラス部材、透明ガラス部材を取り囲む第1部分と第2部分とを含む筒状の構造を有する金属中間部材、および中間部材の第1部分を取り囲む金属外環を含む点検窓アセンブリを組み立てる工程、
組み立てた点検窓アセンブリを、ガラス部材のガラス転移温度以上の温度に加熱して、ガラス部材の溶融した材料がガラス部材と中間部材の第1部分との間の間隙を埋めるようにする工程、
組み立てた点検窓アセンブリを冷却してガラス部材を固化させ、ガラス部材が中間部材の第1部分に直接融着するようにする工程、および、
ガラス部材が中間部材の第1部分に直接融着した後に、組み立てた点検窓アセンブリを冷収縮させて、外環が、中間部材の第1部分の外周の周りに圧縮力を及ぼすようにし、それによって、該第1部分を塑性変形させてガラス部材に接合する工程、を含むことを特徴とする点検窓アセンブリの製造方法。 - 点検窓アセンブリが組み立てられた時および加熱される前に、中間部材が、ガラス部材の外径よりも大きい内径を有することを特徴とする請求項19に記載の点検窓アセンブリの製造方法。
- 点検窓アセンブリが組み立てられた時および加熱される前に、外環が、中間部材の外径よりも大きい内径を有することを特徴とする請求項20に記載の点検窓アセンブリの製造方法。
- 外環が、中間部材の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有し、中間部材がガラス部材の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数を有することを特徴とする請求項21に記載の点検窓アセンブリの製造方法。
- 中間部材を容器のハウジングにはんだ付けまたはろう付けすることによって、点検窓アセンブリを容器に接合する工程をさらに含むことを特徴とする請求項19に記載の点検窓アセンブリの製造方法。
- 封止ガラス、封止ガラスを取り囲む第1部分と第2部分とを含む筒状の構造を有する金属中間部材、および中間部材の第1部分を取り囲む金属外環を含む端子アセンブリを組み立てる工程、
電流伝導部材を封止ガラスに挿通して、電流伝導部材が封止ガラスを貫通して延在するようにする工程、
組み立てた端子アセンブリを、封止ガラスのガラス転移温度以上の温度に加熱して、封止ガラスの溶融した材料が封止ガラスと中間部材の第1部分との間および封止ガラスと電流伝導部材との間のあらゆる間隙を埋めるようにする工程、
組み立てた端子アセンブリを冷却して封止ガラスを固化させ、封止ガラスが中間部材の第1部分および電流伝導部材に融着するようにする工程、ならびに、
封止ガラスが中間部材の第1部分および電流伝導部材に融着した後に、組み立てた端子アセンブリを冷収縮させて、外環が、中間部材の第1部分の外周の周りに圧縮力を及ぼすようにし、それによって、該第1部分を塑性変形させて封止ガラスに接合する工程、を含むことを特徴とする密封端子アセンブリの製造方法。 - 電流伝導部材を封止ガラスに挿通する工程が、加熱の工程の後に行われることを特徴とする請求項24に記載の密封端子アセンブリの製造方法。
- 中間部材を容器のハウジングにはんだ付けまたはろう付けすることによって、端子アセンブリを容器に接合する工程をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の密封端子アセンブリの製造方法。
- 外部材の中に、第1部分と第2部分とを含む筒状の構造を有する中間部材を配置して、外部材が中間部材の第1部分を完全に取り囲むようにする工程、
中間部材および外部材を加熱して、中間部材および外部材の両方が熱膨脹するようにする工程、
中間部材の第1部分の中にガラス部材を配置して、中間部材の第1部分がガラス部材を完全に取り囲むようにする工程、ならびに、
中間部材および外部材を冷却して、中間部材および外部材の両方が冷収縮によって収縮し、外部材が、中間部材の第1部分およびガラス部材の周りに圧縮力を及ぼすようにし、それによって、該第1部分を塑性変形させてガラス部材に接合する工程、を含むことを特徴とするガラス−金属密封圧縮封止アセンブリの製造方法。
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US3525234A (en) * | 1968-08-13 | 1970-08-25 | Gen Motors Corp | Receiver containing a thermostatic expansion valve and suction throttling valve |
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US4162826A (en) * | 1978-03-20 | 1979-07-31 | Sybron Corporation | Sight glass assembly and method for its production |
US4377404A (en) * | 1980-07-19 | 1983-03-22 | Matsuo Electric Company Limited | Hermetic glass-to-metal seal and method for making same |
US4468095A (en) | 1982-03-02 | 1984-08-28 | Pressure Products Company, Inc. | Sight glass assembly |
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US5076198A (en) * | 1989-11-20 | 1991-12-31 | Bottum Edward W | Sight glass structure and method of installing the same |
DE4205683A1 (de) | 1992-02-25 | 1993-08-26 | Bunnenberg Fa A | Verfahren zur verschmelzung von metall und glas |
US5383338A (en) * | 1993-12-17 | 1995-01-24 | Emerson Electric Co. | In-line sight indicator |
JPH08110131A (ja) * | 1994-10-14 | 1996-04-30 | Nec Kansai Ltd | 気密端子及びその製造方法 |
US6938481B2 (en) * | 1999-06-15 | 2005-09-06 | Emerson Electric Co. | Sight glass and low temperature method of manufacturing the same |
US6391809B1 (en) | 1999-12-30 | 2002-05-21 | Corning Incorporated | Copper alumino-silicate glasses |
US6928481B1 (en) * | 2000-05-05 | 2005-08-09 | International Business Machines Corporation | Method, apparatus and program to optimize the network distribution of digital information based on hierarchical grouping of server topology and code distribution |
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