JP5629240B2 - 閃光照射装置 - Google Patents
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Description
11 面取り部
20 光学膜
30,130 サセプタ
40 閃光ランプ
60 遮光部
61 外枠部
100,110 閃光照射装置
Claims (4)
- フォトマスクブランクの製造に用いられる閃光照射装置であって、露光光に対して透明な基板であって主面に光学膜が形成された透明基板を載置するサセプタと、前記透明基板を前記サセプタ上に載置した状態で前記光学膜に閃光を照射する光源と、前記光学膜の周縁部を前記閃光の照射から遮蔽する遮光部とを備えており、
前記遮光部の下面と該遮光部により遮蔽される前記光学膜の上面との間隔が1mm以下である、閃光照射装置。 - 前記遮光部は、前記透明基板の外縁から1mm以上4mm以下の周縁領域を遮蔽する、請求項1に記載の閃光照射装置。
- 前記遮光部の厚みが3mm以下である、請求項1又は2に記載の閃光照射装置。
- 前記遮光部の透過率は、波長200nm〜600nmの光に対し、0〜10%の範囲内にある、請求項1乃至3の何れか1項に記載の閃光照射装置。
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JP2011122523A JP5629240B2 (ja) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 閃光照射装置 |
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JP2011122523A JP5629240B2 (ja) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 閃光照射装置 |
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Family Applications (1)
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JP2011122523A Active JP5629240B2 (ja) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 閃光照射装置 |
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