JP5619680B2 - 半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
半導体発光素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5619680B2 JP5619680B2 JP2011125272A JP2011125272A JP5619680B2 JP 5619680 B2 JP5619680 B2 JP 5619680B2 JP 2011125272 A JP2011125272 A JP 2011125272A JP 2011125272 A JP2011125272 A JP 2011125272A JP 5619680 B2 JP5619680 B2 JP 5619680B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin layer
- layer
- led
- die
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
Description
に配列させたものであったが、ウェハーから直接的にLED素子を製作する方法もある。例えば特許文献3の図1には、LEDチップ(LEDダイ)が連結して配列したウェハーに対しLEDチップの境界部に溝12を形成し、スキージでLEDチップの光出射面と側面を蛍光体層13で被覆してから、ダイシングシート24(粘着シート)上にウェハー11を貼り付け、最後に溝12を薄い切断具25で切断し被覆層を備えた発光素子(LED素子)に個片化する工程が示されている。なお突起したp電極7及びn電極8は予めウェハー状態で形成しておく。
ダイが配列して連結するウェハーを準備する準備工程と、
前記ウェハーに突起電極を形成する突起電極形成工程と、
前記突起電極をレジスト材で覆うレジスト材塗布工程と、
前記ウェハーを前記ダイに個片化する第1個片化工程と、
前記ダイを粘着シート上に配列させる配列工程と、
前記粘着シートとともに前記ダイの側面を前記樹脂層で被覆する被覆工程と、
前記粘着シートを剥がし、前記ダイの前記突起電極を形成した面から前記レジスト材を除去するレジスト材除去工程と、
前記樹脂層を切断し、個片化した前記半導体発光素子を得る第2個片化工程と
を備えることを特徴とする。
(第1実施形態)
。
上に配置していく。また、いったん他の粘着シート(図示せず)に複数のLEDダイ16aを配列させておき、この複数のLEDダイ16aを一括して粘着シート32に貼り付け(転写し)ても良い。
(第2実施形態)
の蛍光体層11と同様にシリコーン樹脂である。反射層42は酸化チタン等の反射性微粒子を混練したシリコーン樹脂(以下反射性樹脂と呼ぶ)である。LED素子40の側方及び下方に向う光線は、反射層42とp型半導体層14cに含まれる金属反射層により反射しLED素子40の上方に向う。このようにLED素子40は側方に向う光線がないので扱い易い。また反射層42の延出部はLEDダイ16の底部から洩れ出そうとする青色発光を遮っている。
(第3実施形態)
光線は、反射層62とp型半導体層14cに含まれる金属反射層により反射しLED素子60の上方に向う。このようにLED素子60もLED素子40と同様に側方に向う光線がないので扱い易い。また反射層62の延出部はLEDダイ16の底部から洩れ出そうとする青色発光を遮っている。
11…蛍光体層(樹脂層)、
12,13…突起電極、
14…半導体層、
14a…n型半導体層、
14b…発光層、
14c…p型半導体層、
15…サファイア基板、
16,16a、16b…LEDダイ(ダイ)、
17…保護膜、
30…ウェハー、
31…レジスト材、
32…粘着シート、
34…金型、
34a…上蓋、
34b…下蓋、
35…ダイシングシート、
41…蛍光体層(第2の樹脂層)、
42…反射層(第1の樹脂層)
61…蛍光体層(第3の樹脂層)、
62…反射層(第4の樹脂層)。
Claims (5)
- 上面及び側面を被覆する樹脂層が側面から下方に延出する部分を有し、底面に突起電極を備える半導体発光素子の製造方法において、
ダイが配列して連結するウェハーを準備する準備工程と、
前記ウェハーに突起電極を形成する突起電極形成工程と、
前記突起電極をレジスト材で覆うレジスト材塗布工程と、
前記ウェハーを前記ダイに個片化する第1個片化工程と、
前記ダイを粘着シート上に配列させる配列工程と、
前記粘着シートとともに前記ダイの側面を前記樹脂層で被覆する被覆工程と、
前記粘着シートを剥がし、前記ダイの前記突起電極を形成した面から前記レジスト材を除去するレジスト材除去工程と、
前記樹脂層を切断し、個片化した前記半導体発光素子を得る第2個片化工程と
を備えることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
- 前記樹脂層が蛍光体を含有し、前記被覆工程において、前記ダイの側面とともに前記ダイの上面を前記樹脂層で被覆することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記樹脂層が反射材を含有する第1の樹脂層と蛍光体を含有する第2の樹脂層からなり、前記被覆工程において、前記第1の樹脂層で前記ダイの側面を被覆し、その後前記第2の樹脂層で前記ダイの上面を被覆することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記樹脂層が蛍光体を含有する第3の樹脂層と反射材を含有する第4の樹脂層からなり、前記第1個片化工程の前に前記ダイの上面を前記第3の樹脂層で被覆し、前記被覆工程において前記ダイの側面とともに前記第3の樹脂層の側面を前記第4の樹脂層で被覆することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記被覆工程において金型を使って前記樹脂層を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011125272A JP5619680B2 (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 半導体発光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011125272A JP5619680B2 (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 半導体発光素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012253223A JP2012253223A (ja) | 2012-12-20 |
JP5619680B2 true JP5619680B2 (ja) | 2014-11-05 |
Family
ID=47525765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011125272A Active JP5619680B2 (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 半導体発光素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5619680B2 (ja) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5611122B2 (ja) * | 2011-05-27 | 2014-10-22 | シチズンホールディングス株式会社 | 半導体発光素子の製造方法 |
WO2014167455A2 (en) * | 2013-04-11 | 2014-10-16 | Koninklijke Philips N.V. | Top emitting semiconductor light emitting device |
EP2997610B1 (en) * | 2013-05-15 | 2019-04-03 | Lumileds Holding B.V. | Light emitting device with an optical element and a reflector |
US9660154B2 (en) | 2013-05-20 | 2017-05-23 | Koninklijke Philips N.V. | Chip scale light emitting device package with dome |
US9287472B2 (en) | 2013-06-27 | 2016-03-15 | Nichia Corporation | Light emitting device and method of manufacturing the same |
DE102013212928A1 (de) * | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements |
JP6209949B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2017-10-11 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
CN105874618A (zh) | 2014-01-08 | 2016-08-17 | 皇家飞利浦有限公司 | 经波长转换的半导体发光器件 |
DE102014100772B4 (de) * | 2014-01-23 | 2022-11-03 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Halbleiterbauelementen und optoelektronisches Halbleiterbauelement |
JP2015216206A (ja) * | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 信越化学工業株式会社 | ウェハーレベル光半導体デバイス用部材の製造方法、光半導体デバイスの製造方法、及び光半導体デバイス |
JP2015216192A (ja) * | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 信越化学工業株式会社 | ウェハーレベル光半導体デバイス用部材の製造方法、光半導体デバイスの製造方法、及び光半導体デバイス |
JP6215769B2 (ja) * | 2014-05-09 | 2017-10-18 | 信越化学工業株式会社 | ウェハーレベル光半導体デバイス用部材の製造方法、及び光半導体デバイスの製造方法 |
TW201616689A (zh) * | 2014-06-25 | 2016-05-01 | 皇家飛利浦有限公司 | 經封裝之波長轉換發光裝置 |
JP6582382B2 (ja) | 2014-09-26 | 2019-10-02 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP6940784B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2021-09-29 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP6908859B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2021-07-28 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
KR101649300B1 (ko) * | 2015-04-13 | 2016-08-19 | 주식회사 루멘스 | 발광 소자 패키지 제조 방법 및 발광 소자 패키지 |
JP6217711B2 (ja) | 2015-08-21 | 2017-10-25 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP6288009B2 (ja) | 2015-08-31 | 2018-03-07 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP2017076673A (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | 豊田合成株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP6668757B2 (ja) | 2016-01-07 | 2020-03-18 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP6447548B2 (ja) | 2016-03-14 | 2019-01-09 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP6834469B2 (ja) | 2016-12-27 | 2021-02-24 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
DE102017104722A1 (de) | 2017-03-07 | 2018-09-13 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zur Herstellung von seitenemittierenden Bauelementen und seitenemittierendes Bauelement |
JP6512258B2 (ja) * | 2017-10-23 | 2019-05-15 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
US10461231B2 (en) * | 2018-02-27 | 2019-10-29 | Lumens Co., Ltd. | Method for fabricating LED package |
CN109459887B (zh) * | 2018-11-06 | 2021-11-02 | 惠州市华星光电技术有限公司 | 光源组件的制作方法以及光源组件 |
JP6601552B2 (ja) * | 2018-12-05 | 2019-11-06 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3589187B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2004-11-17 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の形成方法 |
JP4386789B2 (ja) * | 2004-05-12 | 2009-12-16 | ローム株式会社 | 発光ダイオード素子の製造方法 |
-
2011
- 2011-06-03 JP JP2011125272A patent/JP5619680B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012253223A (ja) | 2012-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5619680B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP5680472B2 (ja) | 半導体発光装置の製造方法 | |
JP5995695B2 (ja) | Led装置の製造方法 | |
JP5611492B1 (ja) | Led装置及びその製造方法 | |
US8987774B2 (en) | Semiconductor light-emitting device and producing method thereof | |
JP6008940B2 (ja) | 半導体発光装置及びその製造方法 | |
JP5508244B2 (ja) | 半導体発光装置の製造方法 | |
JP5611122B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP5185338B2 (ja) | 発光装置 | |
WO2012016525A1 (en) | Light emitting diode chip, light emitting diode package structure, and method for forming the same | |
JP2007207921A (ja) | 表面実装型光半導体デバイスの製造方法 | |
US10096585B2 (en) | Method of manufacturing light emitting element and light emitting device including forming resin film including phosphor containing layer | |
JP5656748B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
KR101476771B1 (ko) | 반도체 소자 구조물 및 반도체 소자 구조물을 제조하는 방법 | |
US9831379B2 (en) | Method of manufacturing light emitting device | |
JP5893633B2 (ja) | Ledサブマウント上の高反射性コーティング | |
KR20090021531A (ko) | 발광 소자 패키지 및 그 제조방법 | |
KR101752425B1 (ko) | 파장변환층을 갖는 발광 다이오드 칩, 그것을 제조하는 방법 및 그것을 갖는 패키지 | |
JP5462217B2 (ja) | 発光装置の製造方法 | |
JP2014139979A (ja) | Led装置 | |
US20210091053A1 (en) | Light emitting module | |
US20170236984A1 (en) | Semiconductor light emitting device packages | |
JP7004948B2 (ja) | 発光モジュールの製造方法 | |
JP6684063B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
US20230006109A1 (en) | Light emitting device and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20130531 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140513 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140902 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140917 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5619680 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |