JP5599034B2 - 構造体の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
構造体の製造方法であって、
表面上に第1の層と第2の層とがこの順で積層されている基板を用意する工程と、
前記構造体を形成するための型となる型部材の一部である第2の型を前記第2の層から形成する工程と、
前記第2の型をマスクとして前記第1の層をエッチングして、前記型部材の他の一部である第1の型を前記第1の層から形成する工程と、
前記第1の型と前記第2の型とを被覆するように前記構造体となる被覆層を設ける工程と、
前記第1の型と前記第2の型とを除去して前記構造体を形成する工程と、
を含み、
前記第2の層は主鎖分解型のポジ型感光性樹脂からなり、前記第1の層は下記一般式(1)で表される構造を有する樹脂からなり、
前記第1の層のエッチングは、前記基板の表面に垂直方向であって前記第2の型の上方から前記基板に向かう方向にみて、前記第1の型が、前記第2の型の外周の内側の領域内であって前記第2の型の外周と重ならない位置に形成されるように行う構造体の製造方法。
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。
本実施例では、図1(a)〜(g)に示す手順に従って、インクジェット記録ヘッドを作製した。
ポリイミド膜及びポリメチルイソプロペニルケトン膜からなる第1の層の代わりに、ポリメチルイソプロペニルケトン膜からなる第1の層を16μmの厚さで形成した。
得られたインクジェット記録ヘッドに、キヤノン製インクBCI−6Cy(商品名)を充填し、印字耐久試験を行ったところ、実施例及び比較例のどちらのヘッドにおいても高品位な画像が得られた。しかし、そのヘッドのシリコンチップ部分をBCI−6Cyに浸漬し、プレッシャークッカーテスト(121℃、2気圧、10時間)を行ったところ、実施例1のチップでは大きな変化は見られなかったが、比較例1のチップにおいては、ノズル間の流路壁と基板との間にハガレが観察された。
型部材18の断面図を図2に示す。図2(a)及び(b)はそれぞれ比較例1及び実施例1における型部材18の断面を表す概念図である。図2(b)の状態は図1(c)の状態に相当する。比較例1の構成(ポリメチルイソプロペニルケトン膜からなるパターン19、厚さ16μm、流路パターンのテーパー角θ=83°)で、流路パターンの接地幅を10μmとすると、その流路断面積は、128.6μm2である(図2(a))。なお、パターン19は、露光時の回折光等の影響で上面の面積が下底の面積より小さい形状である。
10b 第2の層
13 被覆層
14 吐出口
15 流路
18a 第2の型
18b 第1の型
Claims (8)
- 構造体の製造方法であって、
表面上に第1の層と第2の層とがこの順で積層されている基板を用意する工程と、
前記構造体を形成するための型となる型部材の一部である第2の型を前記第2の層から形成する工程と、
前記第2の型をマスクとして前記第1の層をエッチングして、前記型部材の他の一部である第1の型を前記第1の層から形成する工程と、
前記第1の型と前記第2の型とを被覆するように前記構造体となる被覆層を設ける工程と、
前記第1の型と前記第2の型とを除去して前記構造体を形成する工程と、
を含み、
前記第2の層は主鎖分解型のポジ型感光性樹脂からなり、前記第1の層は下記一般式(1)で表される構造を有する樹脂からなり、
前記第1の層のエッチングは、前記基板の表面に垂直方向であって前記第2の型の上方から前記基板に向かう方向にみて、前記第1の型が、前記第2の型の外周の内側の領域内であって前記第2の型の外周と重ならない位置に形成されるように行う構造体の製造方法。
- 前記第1の層の厚さは前記第2の層の厚さより小さい請求項1に記載の構造体の製造方法。
- 前記第1の層のエッチングは溶解液によって行い、前記第1の層は前記第2の層よりも前記溶解液に対する溶解性が高い請求項1又は2に記載の構造体の製造方法。
- 前記第1の層及び前記第2の層は樹脂で形成されている請求項1乃至3のいずれかに記載の構造体の製造方法。
- 前記第1の層はポリイミドからなる請求項1乃至4のいずれかに記載の構造体の製造方法。
- 溶解液としてアルカリ性の溶液を用いて前記第1の層をエッチングする請求項1乃至5のいずれかに記載の構造体の製造方法。
- 前記第2の型を前記第2の層から形成する工程は、前記第2の層を有機溶剤によって現像することで行う請求項1乃至6のいずれかに記載の構造体の製造方法。
- 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通した液体の流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
請求項1乃至7のいずれかに記載の構造体の製造方法によって製造した構造体を用意する工程と、前記被覆層に対して前記吐出口となる開口を形成する工程と、を有し、
前記第1の型と前記第2の型とが除去されることでできる空間が前記流路となる液体吐出ヘッドの製造方法。
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