JP5598928B2 - 薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents

薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法に関する。
従来から、低い駆動電圧で高速にスイッチングすることを目的として、ゲート絶縁層として強誘電体材料（例えば、ＢＬＴ（Ｂｉ４−ＸＬａＸＴｉ３Ｏ１２）、ＰＺＴ（Ｐｂ（ＺｒＸ，Ｔｉ１−Ｘ）Ｏ３））を採用した薄膜トランジスタが開示されている。一方、キャリア濃度を高くすることを目的として、酸化物導電性材料（例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、あるいはＬＳＣＯ（ＬａＸＳｒ１−ＸＣｕＯ４））をチャネル層として採用した薄膜トランジスタも開示されている（特許文献１）。
ここで、上述の薄膜トランジスタの製造方法について見てみると、まず、ゲート電極としてＴｉ及びＰｔの積層膜が、電子ビーム蒸着法により形成されている。そのゲート電極上に、ゾルゲル法によって上述のＢＬＴ又はＰＺＴからなるゲート絶縁層が形成される。さらに、そのゲート絶縁層上には、ＲＦスパッタ法により、ＩＴＯからなるチャネル層が形成される。続いて、そのチャネル層上にＴｉ及びＰｔが電子ビーム蒸着法によって形成されることにより、ソース電極とドレイン電極とが形成される。その後、ＲＩＥ法及びウェットエッチング法（ＨＦとＨＣｌと混合溶液）により、素子領域が他の素子領域から分離されることになる（特許文献１）。
特開２００６−１２１０２９号公報
しかしながら、従来の薄膜トランジスタでは、ゲート絶縁層又はチャネルが複合酸化物によって形成された例は幾つか存在するが、薄膜トランジスタとしての高い特性を実現する材料及びそのための適切な製造方法の選定は、未だ道半ばである。また、ゲート絶縁膜及び／又はチャネルのそれぞれの高性能化に加えて、それらを積み重ねたときの全体としての性能向上を図ることも、薄膜トランジスタの高性能化のために解決すべき技術課題の１つである。なお、ゲート絶縁層及びチャネルに加えて、ゲート電極、ソース電極、又はドレイン電極をも酸化物によって形成した薄膜トランジスタについては、その実現までにさらに多くの研究開発の余地が残されている。
また、従来技術では、真空プロセスやフォトリソグラフィー法を用いたプロセス等、比較的長時間、及び／又は高価な設備を要するプロセスが一般的であるため、原材料や製造エネルギーの使用効率が非常に悪くなる。上述のような製造方法が採用された場合、薄膜トランジスタを製造するために多くの処理と長時間を要するため、工業性ないし量産性の観点から好ましくない。また、従来技術には、大面積化が比較的困難であるという問題も存在する。
本発明は、上述の諸問題の少なくとも１つを解決することにより、酸化物を少なくともチャネル及びゲート絶縁層に適用した薄膜トランジスタの高性能化、又はそのような薄膜トランジスタの製造プロセスの簡素化と省エネルギー化を実現する。その結果、本発明は、工業性ないし量産性に優れた薄膜トランジスタの提供に大きく貢献するものである。
本願発明者らは、数多く存在する酸化物の中から、ゲート絶縁膜又はチャネルとしての機能を適切に発揮させる酸化物の選定と組み合わせについて鋭意研究と分析を重ねた。興味深いことに、例えば、ゲート絶縁層の酸化物の性能が高い場合であっても、チャネルとなる酸化物との相性（例えば、各層間の界面における原子相互拡散の度合いとそれによる界面欠陥密度の差など）が悪ければ、それらを積層したときにゲート絶縁層としての性能の高さが全く活かされない場合や、ゲート絶縁層又はチャネルとしてほとんど機能しない場合がある。
しかしながら、本願発明者らは、多くの試行錯誤と詳細な分析の結果、ゲート絶縁層をある特定の酸化物層の組み合わせによって形成した特殊な積層構造とした上で、そのゲート絶縁層の性能が適切に発揮されるチャネル層を見出すことに成功した。その結果、それらの酸化物をチャネル及びゲート絶縁層に適用した高性能の薄膜トランジスタを実現することが可能となった。加えて、本願発明者らは、従来と比較して大幅に簡素化ないし省エネルギー化が可能であるとともに大面積化も容易なプロセスによって、それらの酸化物を製造することができることを知見した。そして、この知見は、薄膜トランジスタにおけるゲート電極及び／又はソース電極やドレイン電極として適用できる酸化物が見出されたときに、さらにその有益性を高めることになった。本発明は上述の各視点に基づいて創出された。
本発明の１つの薄膜トランジスタは、ゲート電極とチャネルとの間に、そのゲート電極に接する、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物、又はビスマス（Ｂｉ）と亜鉛（Ｚｎ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物である第１酸化物（不可避不純物を含み得る）の層と、前記チャネルに接する、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物、ランタン（Ｌａ）とジルコニウム（Ｚｒ）とからなる酸化物、及びストロンチウム（Ｓｒ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物の群から選択される１種の第２酸化物（不可避不純物を含み得る）の層との積層酸化物を備えている。加えて、この薄膜トランジスタにおける前述のチャネルが、チャネル用酸化物（不可避不純物を含み得る）である。
この薄膜トランジスタは、ゲート電極に接する第１酸化物と、チャネルに接する第２酸化物との積層酸化物を、ゲート電極とチャネルとの間に備えている。ここで、第１酸化物は、比較的高誘電率ではあるが、リーク電流値が大きく、表面の平坦性が低い。一方で、第２酸化物は、比較的低誘電率ではあるが、リーク電流値が非常に小さく、表面平坦性に優れている。加えて、本願発明者らによる詳細な分析によれば、その積層酸化物は、第１酸化物をゲート側に配置し、第２酸化物をチャネル側に配置することによって、それぞれの良さが適切に発揮されることが見出された。具体的には、第１酸化物という高容量ゲート絶縁物が、トランジスタ特性において、ゲート電圧に対するドレイン電流の急峻な立ち上がりやオン電流の増加に寄与し得る。さらに、第２酸化物の存在が、低リーク電流と表面の平滑性に貢献し得ることにより、ゲート電圧に対するドレインのオフ電流の低減や電界効果移動度の増加を可能にする。従って、この薄膜トランジスタによれば、ゲート絶縁層及びチャネルをいずれも酸化物によって形成した高性能の薄膜トランジスタが実現される。
上述の薄膜トランジスタの別態様として、さらに、ゲート電極が、ランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなる酸化物、アンチモン（Ｓｂ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、及びインジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物の群から選択される１種のゲート電極用酸化物（不可避不純物を含み得る）であることは、好ましい一態様である。これにより、ゲート電極、ゲート絶縁層、及びチャネルの全てが酸化物によって形成された高性能の薄膜トランジスタが実現される。
上述の薄膜トランジスタの別態様として、その薄膜トランジスタが、ソース電極及びドレイン電極をさらに備えるとともに、そのソース電極及びそのドレイン電極が、インジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）又はランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）であることは、好ましい一態様である。これにより、ゲート電極、ゲート絶縁層、チャネル、ソース電極、及びドレイン電極の全てが酸化物によって形成された高性能の薄膜トランジスタが実現される。
また、本発明の１つの薄膜トランジスタの製造方法は、次の（１）及び（２）の各工程を、ゲート電極層の形成工程（以下、「ゲート電極層形成工程」ともいう。）とチャネル用酸化物（不可避不純物を含み得る）を形成するチャネルの形成工程（以下、「チャネル形成工程」ともいう。）との間に含んでいる。
（１）ビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、又はビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体、亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体、及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液である第１前駆体溶液を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、そのビスマス（Ｂｉ）とそのニオブ（Ｎｂ）、又はそのビスマス（Ｂｉ）とその亜鉛（Ｚｎ）とそのニオブ（Ｎｂ）からなる第１酸化物（不可避不純物を含み得る）を、ゲート電極層に接するように形成する第１酸化物形成工程
（２）ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びジルコニウム（Ｚｒ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、ストロンチウム（Ｓｒ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液の群から選択される１種の第２前駆体溶液を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、そのランタン（Ｌａ）とそのタンタル（Ｔａ）、そのランタン（Ｌａ）とそのジルコニウム（Ｚｒ）、又はそのストロンチウム（Ｓｒ）とそのタンタル（Ｔａ）とからなる第２酸化物（不可避不純物を含み得る）を、チャネルに接するように形成する第２酸化物形成工程
なお、各工程の間に基板の移動や検査等の本発明の要旨とは関係のない工程が行われることを妨げるものではない。
この薄膜トランジスタの製造方法によれば、フォトリソグラフィー法を用いない比較的簡素な処理（例えば、インクジェット法、スクリーン印刷法、凹版／凸版印刷法、又はナノインプリント法）によって第１酸化物及び第２酸化物が形成され得る。加えて、大面積化も容易である。従って、この薄膜トランジスタの製造方法によれば、工業性ないし量産性に優れた薄膜トランジスタの製造方法を提供することができる。
また、上述の薄膜トランジスタの製造方法における別態様として、さらに、ゲート電極層形成工程が、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びニッケル（Ｎｉ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、アンチモン（Ｓｂ）を含む前駆体及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、又はインジウム（Ｉｎ）を含む前駆体と錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液ゲート電極用前駆体溶液を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、そのランタン（Ｌａ）とそのニッケル（Ｎｉ）とからなる酸化物、そのアンチモン（Ｓｂ）とその錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、又はそのインジウム（Ｉｎ）とその錫（Ｓｎ）とからなる酸化物であるゲート電極用酸化物（不可避不純物を含み得る）を形成する工程であるであることは、好ましい一態様である。これにより、ゲート電極、ゲート絶縁層、及びチャネルの全てが酸化物によって形成された高性能の薄膜トランジスタが実現される。
また、上述の薄膜トランジスタの製造方法における、さらなる別態様として、第１酸化物形成工程又は第２酸化物形成工程において、第１前駆体溶液を出発材とする第１前駆体層又は第２前駆体溶液を出発材とする第２前駆体層を、第１酸化物又は第２酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、前述の第１前駆体層又は前述の第２前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含むことは、もう１つの好ましい一態様である。これにより、真空プロセスやフォトリソグラフィー法を用いたプロセス、あるいは紫外線の照射プロセス等、比較的長時間、及び／又は高価な設備を必要とするプロセスが不要になる。また、前述の各プロセスを要せずに、比較的低温の加熱処理によって第１酸化物及び第２酸化物が形成されるため、工業性ないし量産性に優れる。
また、上述の薄膜トランジスタの製造方法における、さらなる別態様として、チャネル形成工程において、チャネル用前駆体溶液を出発材とするチャネル用前駆体層を、チャネル用酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、そのチャネル用前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含むことは、もう１つの好ましい一態様である。これにより、真空プロセスやフォトリソグラフィー法を用いたプロセス、あるいは紫外線の照射プロセス等、比較的長時間、及び／又は高価な設備を必要とするプロセスが不要になる。また、前述のプロセスを要せずに、比較的低温の加熱処理によってゲート電極用酸化物が形成されるため、工業性ないし量産性に優れる。
また、上述の薄膜トランジスタの製造方法における、さらなる別態様として、ゲート電極層形成工程において、ゲート電極用前駆体溶液を出発材とするゲート電極用前駆体層を、ゲート電極用酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、そのゲート電極用前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含むことは、もう１つの好ましい一態様である。これにより、真空プロセスやフォトリソグラフィー法を用いたプロセス、あるいは紫外線の照射プロセス等、比較的長時間、及び／又は高価な設備を必要とするプロセスが不要になる。また、前述のプロセスを要せずに、比較的低温の加熱処理によってゲート電極用酸化物が形成されるため、工業性ないし量産性に優れる。
さらに、上述の薄膜トランジスタの製造方法における、さらなる別態様として、ソース電極及びドレイン電極を形成する工程において、ソース／ドレイン電極用前駆体溶液からなるソース／ドレイン電極用前駆体層を、ソース電極用酸化物又はドレイン電極用酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、そのソース／ドレイン電極用前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含むことは、もう１つの好ましい一態様である。これにより、真空プロセスやフォトリソグラフィー法を用いたプロセス、あるいは紫外線の照射プロセス等、比較的長時間、及び／又は高価な設備を必要とするプロセスが不要になる。また、前述のプロセスを要せずに、比較的低温の加熱処理によってソース電極用酸化物及びドレイン電極用酸化物が形成されるため、工業性ないし量産性に優れる。
ところで、本願において、「型押し」は「ナノインプリント」と呼ばれることもある。
本発明の１つの薄膜トランジスタによれば、ゲート絶縁層及びチャネルをいずれも酸化物によって形成した高性能の薄膜トランジスタが実現される。また、本発明の１つの薄膜トランジスタの製造方法によれば、比較的簡素な処理によって第１酸化物及び第２酸化物が形成されるため、工業性ないし量産性に優れた薄膜トランジスタの製造方法を提供することができる。
本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。 本発明の第１の実施形態の第１酸化物の製造工程と同じ工程を経て作製された第１酸化物を含む積層構造を示す断面ＴＥＭ写真である。 本発明の第１の実施形態の第２酸化物の製造工程と同じ工程を経て作製された第２酸化物の表面のＡＦＭ像である。 本発明の第２乃至第４の実施形態における薄膜トランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。 本発明の第１乃至第４の実施形態における第１酸化物層の、周波数（Ｈｚ）に対するｔａｎδ値を示すグラフである。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタの光学顕微鏡による平面写真である。 本発明の第５の実施形態における薄膜トランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。 本発明の第６の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第６の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第６の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第６の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第６の実施形態における薄膜トランジスタの製造方法の一過程を示す断面模式図である。 本発明の第７の実施形態における薄膜トランジスタにおけるチャネルの製造工程と同様の工程によって形成された酸化インジウム層のＸ線回折（ＸＲＤ）の結果を示すグラフである。 本発明の第１の実施形態における薄膜トランジスタにおけるチャネルの製造工程と同様の工程によって形成されたＩＺＯ層のＸ線回折（ＸＲＤ）の結果を示すグラフである。 本発明の第７の実施形態における薄膜トランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。
本発明の実施形態である薄膜トランジスタ１００及びその製造方法を、添付する図面に基づいて詳細に述べる。なお、この説明に際し、全図にわたり、特に言及がない限り、共通する部分には共通する参照符号が付されている。また、図中、本実施形態の要素は必ずしも互いの縮尺を保って記載されるものではない。さらに、各図面を見やすくするために、一部の符号が省略され得る。
＜第１の実施形態＞
図１Ａ〜図１Ｍは、それぞれ、本実施形態における薄膜トランジスタ１００の製造方法の一過程を示す断面模式図である。なお、文字の見やすさを考慮して、図１Ｈの後の図面番号を図１Ｊとする。また、本実施形態の薄膜トランジスタは、いわゆるボトムゲート構造を採用しているが、本実施形態はこの構造に限定されない。従って、当業者であれば、通常の技術常識を以って本実施形態の説明を参照することにより、工程の順序を変更することにより、トップゲート構造を形成することができる。また、本出願における温度の表示は、ヒーターの設定温度を表している。また、図面を簡略化するため、各電極からの引き出し電極のパターニングについての記載は省略する。
［薄膜トランジスタ１００の製造工程］
（１）ゲート電極の形成
本実施形態では、まず、図１Ａに示すように、基材である高耐熱ガラス基板（具体的には、コーニング（登録商標）１７３７）１０上に、公知のスピンコーティング法により、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びニッケル（Ｎｉ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液（ゲート電極用前駆体溶液という。以下、ゲート電極用前駆体の溶液に対して同じ。）を出発材とするゲート電極用前駆体層２０ａを形成する。その後、予備焼成として、約５分間、２５０℃に加熱する。なお、この予備焼成は、酸素雰囲気中又は大気中（以下、総称して、「酸素含有雰囲気」ともいう。）で行われる。さらにその後、本焼成として、ゲート電極用前駆体層２０ａを、酸素雰囲気中（例えば１００体積％であるが、これに限定されない。以下の「酸素雰囲気」についても同じ。）、約２０分間、５５０℃に加熱することにより、図１Ｂに示すように、高耐熱ガラス１０上に、ランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなるゲート電極用酸化物層２０（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。
ここで、本実施形態では、上述の基材として高耐熱ガラスが採用されているが、本実施形態の基材は高耐熱ガラスに限定されない。例えば、高耐熱ガラス以外の絶縁性基板（例えば、ＳｉＯ２／Ｓｉ基板、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）基板、ＳＴＯ（ＳｒＴｉＯ）基板、Ｓｉ基板の表面にＳｉＯ２層及びＴｉ層を介してＳＴＯ（ＳｒＴｉＯ）層を形成した絶縁性基板など。）、半導体基板（例えば、Ｓｉ基板、ＳｉＣ基板、Ｇｅ基板など。）を含む、種々の基材を用いることができる。
また、本実施形態におけるゲート電極用酸化物層２０のためのランタン（Ｌａ）を含む前駆体の例は、酢酸ランタンである。その他の例として、硝酸ランタン、塩化ランタン、又は各種のランタンアルコキシド（例えば、ランタンイソプロポキシド、ランタンブトキシド、ランタンエトキシド、ランタンメトキシエトキシド）が採用され得る。また、本実施形態におけるゲート電極用酸化物層２０のためのニッケル（Ｎｉ）を含む前駆体の例は、酢酸ニッケルである。その他の例として、硝酸ニッケル、塩化ニッケル、又は各種のニッケルアルコキシド（例えば、ニッケルイソプロポキシド、ニッケルブトキシド、ニッケルエトキシド、ニッケルメトキシエトキシド）が採用され得る。
加えて、本実施形態では、ランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなるゲート電極用酸化物層２０が採用されているが、ゲート電極用酸化物層２０はこの組成に限定されない。例えば、アンチモン（Ｓｂ）と錫（Ｓｎ）とからなるゲート電極用酸化物層（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）を採用することもできる。その場合、アンチモン（Ｓｂ）を含む前駆体の例として、酢酸アンチモン、硝酸アンチモン、塩化アンチモン、又は各種のアンチモンアルコキシド（例えば、アンチモンイソプロポキシド、アンチモンブトキシド、アンチモンエトキシド、アンチモンメトキシエトキシド）が採用され得る。また、錫（Ｓｎ）を含む前駆体の例として、酢酸錫、硝酸錫、塩化錫、又は各種の錫アルコキシド（例えば、錫イソプロポキシド、錫ブトキシド、錫エトキシド、錫メトキシエトキシド）が採用され得る。また、インジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）を採用することもできる。その場合、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体の例は、酢酸インジウム、硝酸インジウム、塩化インジウム、又は各種のインジウムアルコキシド（例えば、インジウムイソプロポキシド、インジウムブトキシド、インジウムエトキシド、インジウムメトキシエトキシド）が採用され得る。また、錫（Ｓｎ）を含む前駆体の例は、前述の例と同じである。
（２）ゲート絶縁層の形成
次に、図１Ｃに示すように、ゲート電極用酸化物層２０上に、公知のスピンコーティング法により、ビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液（第１前駆体溶液という。以下、第１前駆体の溶液に対して同じ。）を出発材とする第１前駆体層３２ａを形成する。その後、予備焼成として、約５分間、２５０℃に加熱する。本実施形態では、最終的に十分な第１酸化物層３２の厚み（例えば、約１８０ｎｍ）を得るために、前述のスピンコーティング法による第１前駆体層３２ａの形成と予備焼成を５回繰り返した。さらにその後、本焼成として、第１前駆体層３２ａを、酸素雰囲気中、約２０分間、５５０℃に加熱することにより、図１Ｄに示すように、ゲート電極用酸化物層２０上に、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる第１酸化物層３２（不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。なお、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる第１酸化物層３２は、ＢＮＯ層とも呼ばれる。
ここで、本実施形態における第１酸化物層３２のためのビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体の例は、オクチル酸ビスマスである。その他の例として、塩化ビスマス、硝酸ビスマス、又は各種のビスマスアルコキシド（例えば、ビスマスイソプロポキシド、ビスマスブトキシド、ビスマスエトキシド、ビスマスメトキシエトキシド）が採用され得る。また、本実施形態における第１酸化物層３２のためのニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体の例は、オクチル酸ニオブである。その他の例として、塩化ニオブ、硝酸ニオブ、又は各種のニオブアルコキシド（例えば、ニオブイソプロポキシド、ニオブブトキシド、ニオブエトキシド、ニオブメトキシエトキシド）が採用され得る。
その後、図１Ｅに示すように、第１酸化物層３２上に、公知のスピンコーティング法により、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液（第２前駆体溶液という。以下、第２前駆体の溶液に対して同じ。）を出発材とする第２前駆体層３４ａを形成する。その後、予備焼成として、約５分間、２５０℃に加熱する。本実施形態では、最終的に十分な第２酸化物層３４の厚み（例えば、約２０ｎｍ）を得るために、前述のスピンコーティング法による第２前駆体層３４ａの形成と予備焼成を１回実施した。さらにその後、本焼成として、第２前駆体層３４ａを、酸素雰囲気中、約１５分間、５５０℃に加熱することにより、図１Ｆに示すように、第１酸化物層３２上に、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる第２酸化物層３４（不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。なお、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる第２酸化物層３４は、ＬＴＯ層とも呼ばれる。
ところで、本実施形態の薄膜トランジスタ１００では、上述の第１酸化物層３２と第２酸化物層３４との積層酸化物がゲート絶縁層３０として用いられることになる。なお、本実施形態の第１酸化物層３２におけるビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）との原子組成比は、ビスマス（Ｂｉ）が１としたときにニオブ（Ｎｂ）が１であった。また、本実施形態の第２酸化物層３４におけるランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）との原子組成比は、ランタン（Ｌａ）を１としたときにタンタル（Ｔａ）が１．５であった。また、このときの第１酸化物層３２の厚みは約１６０ｎｍであり、第２酸化物層３４の厚みは約２０ｎｍであった。なお、第１酸化物層３２におけるビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）との原子組成比については、ビスマス（Ｂｉ）が１としたときにニオブ（Ｎｂ）が０．３３以上３以下であれば、本実施形態の効果の少なくとも一部の効果が確度高く奏され得る。また、第２酸化物層３４におけるランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）との原子組成比については、ランタン（Ｌａ）を１としたときにタンタル（Ｔａ）が０．１１以上９以下であれば、少なくとも一部の効果が確度高く本実施形態の効果が奏され得る。
ここで、本実施形態における第２酸化物層３４のためのランタン（Ｌａ）を含む前駆体の例は、酢酸ランタンである。その他の例として、硝酸ランタン、塩化ランタン、又は各種のランタンアルコキシド（例えば、ランタンイソプロポキシド、ランタンブトキシド、ランタンエトキシド、ランタンメトキシエトキシド）が採用され得る。また、本実施形態における第２酸化物層３４のためのタンタル（Ｔａ）を含む前駆体の例は、タンタルブトキシドである。その他の例として、硝酸タンタル、塩化タンタル、又はその他の各種のタンタルアルコキシド（例えば、タンタルイソプロポキシド、タンタルブトキシド、タンタルエトキシド、タンタルメトキシエトキシド）が採用され得る。
加えて、本実施形態では、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる第２酸化物層３４が採用されているが、第２酸化物層３４はこの組成に限定されない。例えば、ランタン（Ｌａ）とジルコニウム（Ｚｒ）とからなる第２酸化物層（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。また、ＬＺＯ層とも呼ばれる。）を採用することもできる。その場合、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体の例は、酢酸ランタンである。その他の例として、硝酸ランタン、塩化ランタン、又は各種のランタンアルコキシド（例えば、ランタンイソプロポキシド、ランタンブトキシド、ランタンエトキシド、ランタンメトキシエトキシド）が採用され得る。また、ジルコニウム（Ｚｒ）を含む前駆体の例は、ジルコニウムブトキシドである。その他の例として、硝酸ジルコニウム、塩化ジルコニウム、又はその他の各種のジルコニウムアルコキシド（例えば、ジルコニウムイソプロポキシド、ジルコニウムブトキシド、ジルコニウムエトキシド、ジルコニウムメトキシエトキシド）が採用され得る。また、ストロンチウム（Ｓｒ）とタンタル（Ｔａ）とからなる第２酸化物層（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。また、ＳＴＯ層とも呼ばれる。）を採用することもできる。その場合、ストロンチウム（Ｓｒ）を含む前駆体の例は、酢酸ストロンチウムである。その他の例として、硝酸ストロンチウム、塩化ストロンチウム、又は各種のストロンチウムアルコキシド（例えば、ストロンチウムイソプロポキシド、ストロンチウムブトキシド、ストロンチウムエトキシド、ストロンチウムメトキシエトキシド）が採用され得る。またタンタル（Ｔａ）を含む前駆体の例は、前述の例と同じである。
（３）チャネルの形成
その後、図１Ｇに示すように、第２酸化物層３４上に、公知のスピンコーティング法により、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とするチャネル用前駆体溶液（以下、チャネル用前駆体の溶液に対して同じ。）を出発材とするチャネル用前駆体層４０ａを形成する。その後、予備焼成として、チャネル用前駆体層４０ａを約５分間、２５０℃に加熱する。その後、本焼成として、チャネル用前駆体層４０ａを、酸素雰囲気中、約１５分間、３５０℃以上５５０℃以下に加熱することにより、図１Ｈに示すように、第２酸化物層３４上に、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなるチャネル用酸化物層４０（不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。なお、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなるチャネル用酸化物層４０は、ＩＺＯ層とも呼ばれる。また、本実施形態のチャネル用酸化物層４０におけるインジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）との原子組成比は、インジウム（Ｉｎ）を１としたときに亜鉛（Ｚｎ）が０．５であった。また、チャネル用酸化物層４０の厚みは約２０ｎｍであった。なお、特に、チャネル用酸化物４０における、インジウム（Ｉｎ）を１としたときの亜鉛（Ｚｎ）の原子組成比が０．２５以上１以下である薄膜トランジスタは、電界効果移動度を向上させる観点から好適な一態様である。
ここで、本実施形態におけるチャネル用酸化物層４０のためのインジウム（Ｉｎ）を含む前駆体の例は、インジウムアセチルアセトナートである。その他の例として、硝酸インジウム、塩化インジウム、又は各種のインジウムアルコキシド（例えば、インジウムイソプロポキシド、インジウムブトキシド、インジウムエトキシド、インジウムメトキシエトキシド）が採用され得る。また、本実施形態におけるチャネル用酸化物層４０のための亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体の例は、塩化亜鉛である。その他の例として、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛、又は各種の亜鉛アルコキシド（例えば、亜鉛イソプロポキシド、亜鉛ブトキシド、亜鉛エトキシド、亜鉛メトキシエトキシド）が採用され得る。
加えて、本実施形態では、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなるチャネル用酸化物層４０が採用されているが、チャネル用酸化物層はこの組成に限定されない。例えば、チャネル用酸化物が、ガリウム（Ｇａ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、アルミニウム（Ａｌ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、亜鉛（Ｚｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、亜鉛（Ｚｎ）とインジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、インジウム（Ｉｎ）とガリウム（Ｇａ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、ランタン（Ｌａ）とインジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、ハフニウム（Ｈｆ）とインジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、スカンジウム（Ｓｃ）とインジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物の群から選択される１種であっても、本実施形態の少なくとも一部の効果が奏され得る。なお、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、インジウム（Ｉｎ）、又は錫（Ｓｎ）を含む前駆体の例としては、金属有機酸塩、金属無機酸塩、金属ハロゲン化物、又は各種の金属アルコキシドが採用され得る。
従って、チャネル用酸化物層４０を形成する工程が、
インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
ガリウム（Ｇａ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
アルミニウム（Ａｌ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、ガリウム（Ｇａ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
ランタン（Ｌａ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
ハフニウム（Ｈｆ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
スカンジウム（Ｓｃ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
の群から選択される１種のチャネル用前駆体溶液を出発材とするチャネル用前駆体層を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、
そのインジウム（Ｉｎ）とその亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、そのガリウム（Ｇａ）とその亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
そのアルミニウム（Ａｌ）とその亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
その亜鉛（Ｚｎ）とその錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、
その亜鉛（Ｚｎ）とそのインジウム（Ｉｎ）とその錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、
そのインジウム（Ｉｎ）とそのガリウム（Ｇａ）とその亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
そのランタン（Ｌａ）とそのインジウム（Ｉｎ）とその亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
そのハフニウム（Ｈｆ）とそのインジウム（Ｉｎ）とその亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
そのスカンジウム（Ｓｃ）とそのインジウム（Ｉｎ）とその亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物
の群から選択される１種のチャネル用酸化物を形成する工程であることは、採用し得る一態様である。なお、最終的に得られる上述の各酸化物はアモルファス状の酸化物であるため、チャネルに接する第２酸化物との良好な界面状態が得られると考えられる結果、トランジスタとしての電気特性が向上する。
なお、上述の各チャネル用酸化物の厚みが５ｎｍ以上８０ｎｍ以下である薄膜トランジスタは、高い電界効果移動度（μＦＥ）を得る観点から好適な一態様である。加えて、その厚みが２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である薄膜トランジスタは、さらに好適な一態様である。特に、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなるチャネル用酸化物層４０の厚みの範囲が前述の２０ｎｍ以上８０ｎｍ以下であれば、１（ｃｍ２／Ｖｓ）以上の電界効果移動度（μＦＥ）が得られ、その厚みが２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下であれば、５（ｃｍ２／Ｖｓ）以上の電界効果移動度（μＦＥ）が得られる。
（４）ソース電極及びドレイン電極の形成
さらにその後、図１Ｊに示すように、チャネル用酸化物層４０上に、公知のフォトリソグラフィー法によってパターニングされたレジスト膜９０が形成された後、チャネル用酸化物層４０及びレジスト膜９０上に、公知のスパッタリング法により、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）層５０を形成する。本実施形態のターゲット材は、５ｗｔ％酸化錫（ＳｎＯ２）を含有するＩＴＯであり、室温下において形成された。その後、レジスト膜９０が除去されると、図１Ｋに示すように、チャネル用酸化物層４０上に、ＩＴＯ層によるドレイン電極５２及びソース電極５４が形成される。
その後、ドレイン電極５２、ソース電極５４、及びチャネル用酸化物層４０上に、公知のフォトリソグラフィー法によってパターニングされたレジスト膜９０が形成された後、レジスト膜９０、ドレイン電極５２の一部、及びソース電極５４の一部をマスクとして、公知のアルゴン（Ａｒ）プラズマによるドライエッチング法を用いて、露出しているチャネル用酸化物層４０を除去する。その結果、パターニングされたチャネル用酸化物層４０が形成されることにより、薄膜トランジスタ１００が製造される。
上述のとおり、本実施形態の薄膜トランジスタ１００は、ゲート電極、ゲート絶縁層、チャネル、ソース電極、及びドレイン電極が、いずれも金属酸化物によって形成されている点は特筆すべきである。加えて、本実施形態では、ゲート電極、ゲート絶縁層、及びチャネルが、いずれも各種の前駆体溶液を酸素含有雰囲気中で加熱することによって形成されているため、従来の方法と比較して大面積化が容易になるとともに、工業性ないし量産性が格段に高められる。
［薄膜トランジスタ１００の特性］
次に、発明者らは、上述の製造方法によって製造した薄膜トランジスタ１００の各種特性について調査を行った。
［１．電流−電圧特性］
図２は、薄膜トランジスタ１００のＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。また、表１は、薄膜トランジスタ１００における、サブスレッショルド特性（ＳＳ）、電界効果移動度（μＦＥ）、及び積層酸化物であるゲート絶縁層３０の単位面積当たりの容量（ＣＯＸ）に関する特性を示している。
図２及び表１に示すように、上述の第１の実施形態における薄膜トランジスタ１００のＶｇ−Ｉｄ特性を調べたところ、トランジスタとしての良好な特性が得られた。
ところで、上述のとおり、本実施形態の薄膜トランジスタ１００は、第１酸化物層３２及び第２酸化物層３４から形成された積層酸化物をゲート絶縁層３０として用いている点は特筆すべきである。本願発明者らによる多くの試行錯誤により、誘電率が非常に高い（代表的には、εｒ値が６０以上２５０以下）、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる第１酸化物層３２が発見された。しかしながら、本実施形態では、第１酸化物層３２上に、アモルファス状の酸化物であるチャネル層を配置すると、いわゆるリーク電流が多く（代表的には、１ＭＶ／ｃｍにおいて、１０−６Ａ／ｃｍ２以上）、表面平坦性が低いことに加え、チャネル材料との界面における原子相互拡散がかなり大きいためにトランジスタとしての十分な特性を得ることが困難であることが分かった。その後、更なる研究と詳細な分析が行われた結果、単体として非常にリーク電流の少なく（代表的には、１ＭＶ／ｃｍにおいて、１０−７Ａ／ｃｍ２オーダー以下）、非常に表面平坦性に優れ、かつチャネル材料との界面における原子相互拡散が抑制された第２酸化物層３４を第１酸化物層３２とチャネル用酸化物層４０との間に介在させることにより、トランジスタとしての十分な特性を得ることができた。
また、第１酸化物層３２及び第２酸化物層３４から形成された積層酸化物であるゲート絶縁層３０の合成容量は、５×１０−８Ｆ／ｃｍ２以上１×１０−６Ｆ／ｃｍ２以下であることが好ましい。この範囲内であれば、トランジスタ特性において、ゲート電圧に対するドレイン電流の急峻な立ち上がりやオン電流の増加が図られるとともに、ゲート電圧に対するドレインのオフ電流の低減や電界効果移動度の増加を可能にする。前述の観点で言えば、さらに好ましい合成容量の範囲は、１×１０−７Ｆ／ｃｍ２以上１×１０−６Ｆ／ｃｍ２以下である。なお、前述のトランジスタ特性の向上を図る観点から第１酸化物層３２及び第２酸化物層３４から形成された積層酸化物の合成された誘電率は、６０以上２００以下であることが好ましい。
［２．断面ＴＥＭによる観察］
また、種々の分析の過程において、第１酸化物層３２は、結晶相及びアモルファス相を含んでいることが確認された。より詳細に見れば、第１酸化物層３２は、結晶相、微結晶相、及びアモルファス相を含んでいることが分かった。図３は、本実施形態の第１酸化物３２の製造工程と同じ工程を経て作製された第１酸化物を含む積層構造を示す断面ＴＥＭ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）写真である。図３に示すように、第１酸化物３２中には、少なくとも一部には結晶構造を有する領域が存在することが確認された。より詳細には、第１酸化物３２中には、アモルファス相、微結晶相、及び結晶相が確認された。なお、本出願において、「微結晶相」とは、ある層状の材料が形成されている場合に、その層の膜厚方向の上端から下端に至るまで一様に成長した結晶相ではない結晶相を意味する。また、その後の発明者らによる研究によれば、第１酸化物層３２が微結晶を含むアモルファス状であるために、第１酸化物層３２が概して高誘電率を備えているが、リーク電流値が薄膜トランジスタへの適用の許容範囲を超えるとともに、第１酸化物層３２の表面の平坦性が低いと考えられる。
一方、第２酸化物層３４は、特定の結晶構造が確認されない、実質的にアモルファス状の層であるという興味深い知見が得られた。図４は、本実施形態の第２酸化物３４の製造工程と同じ工程を経て作製された第２酸化物の表面のＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）像である。図４に示すように、一定の結晶構造を有する第１酸化物層３２とは異なり、第２酸化物層３４がアモルファス状であること確認される。従って、このような第２酸化物層３４が、チャネル用酸化物層４０との良好な接合界面（原子相互拡散の少ない界面）の形成に貢献し、その結果、リーク電流が低減されたものと考えられる。また、本実施形態では、第１酸化物層３２及び第２酸化物層３４が完全に結晶化をさせない状態で形成されることによって上述の電気的特性を発揮していることから、本実施形態のゲート絶縁層３０が、比較的低温の加熱処理によって形成され得る点は、特筆に値する。
＜第２の実施形態＞
本実施形態は、基材、ゲート電極、及び第２酸化物層におけるランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）との原子組成比が異なる点を除いて、第１の実施形態と同様である。したがって、第１の実施形態と重複する説明は省略され得る。
図１Ｍは、本実施形態の薄膜トランジスタ２００の構造を示す断面模式図についても示している。本実施形態の薄膜トランジスタ２００のゲート電極は、白金（Ｐｔ）層２２０によって形成されている。この白金層２２０は、公知のスパッタリング法により基材であるＳｉＯ２／Ｓｉ基板（すなわち、シリコン基板上に酸化シリコン膜を形成した基板）２１０上に形成される。なお、白金（Ｐｔ）層２２０と基材であるＳｉＯ２／Ｓｉ基板との接着性を高めるために、本実施形態では、ＳｉＯ２上に約１０ｎｍ厚のＴｉＯＸ膜（図示しない）が形成されている。また、本実施形態の第２酸化物層２３４におけるランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）との原子組成比は、ランタン（Ｌａ）を１としたときにタンタル（Ｔａ）が４であった。
＜第３の実施形態＞
本実施形態は、第２酸化物層が異なる点を除いて、第２の実施形態と同様である。したがって、第１及び第２の実施形態と重複する説明は省略され得る。
図１Ｍは、本実施形態の薄膜トランジスタ３００の構造を示す断面模式図も示している。本実施形態の第２酸化物層３３４は、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びジルコニウム（Ｚｒ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液から形成された、ランタン（Ｌａ）とジルコニウム（Ｚｒ）とからなる、いわゆる複合酸化物である。なお、本実施形態の第２酸化物層３３４におけるランタン（Ｌａ）とジルコニウム（Ｚｒ）との原子組成比は、ランタン（Ｌａ）を３としたときにジルコニウム（Ｚｒ）が７であった。また、このときの第１酸化物層３２の厚みは約１６０ｎｍであり、第２酸化物層３３４の厚みは約２０ｎｍであった。
＜第４の実施形態＞
本実施形態も、第２酸化物層が異なる点を除いて、第２の実施形態と同様である。したがって、第１及び第２の実施形態と重複する説明は省略され得る。
図１Ｍは、本実施形態の薄膜トランジスタ４００の構造を示す断面模式図も示している。本実施形態の第２酸化物層４３４は、ストロンチウム（Ｓｒ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液から形成された、ストロンチウム（Ｓｒ）とタンタル（Ｔａ）とからなる、いわゆる複合酸化物である。なお、本実施形態の第２酸化物層４３４におけるストロンチウム（Ｓｒ）とタンタル（Ｔａ）との原子組成比は、ストロンチウム（Ｓｒ）を１としたときにタンタル（Ｔａ）が１であった。また、このときの第１酸化物層３２の厚みは約１６０ｎｍであり、第２酸化物層４３４の厚みは約２０ｎｍであった。
［第２乃至第４の実施形態における薄膜トランジスタ２００，３００，４００の特性］
上述の第２乃至第４の実施形態における薄膜トランジスタ２００，３００，４００のＶｇ−Ｉｄ特性を調べたところ、第１の実施形態の薄膜トランジスタ１００と遜色ない結果が得られた。
図５は、薄膜トランジスタ２００，３００，４００のＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。また、表２は、薄膜トランジスタ２００，３００，４００における、サブスレッショルド特性（ＳＳ）、電界効果移動度（μＦＥ）、及び積層酸化物であるゲート絶縁層３０の単位面積当たりの容量（ＣＯＸ）に関する特性を示している。
また、上述の各第２酸化物層３３４，４３４が採用された場合であっても、リーク電流値が、代表的には、１ＭＶ／ｃｍにおいて、１０−７Ａ／ｃｍ２オーダー以下であった。特に、ＬＺＯ層である第２酸化物層３３４におけるリーク電流値は、代表的には、１ＭＶ／ｃｍにおいて、１０−８Ａ／ｃｍ２オーダー以下であった。
また、ＬＴＯ層である第２酸化物層２３４が採用された場合、第１酸化物層３２と第２酸化物層２３４との積層酸化物の合成された比誘電率εｒは、約１２３であった。また、ＬＺＯ層である第２酸化物層３３４が採用された場合、第１酸化物層３２と第２酸化物層３３４との積層酸化物の合成された比誘電率εｒは、約９４であった。一方、ＳＴＯ層である第２酸化物層４３４が採用された場合、第１酸化物層３２と第２酸化物層４３４との積層酸化物の合成された比誘電率εｒが約１３４という高い値となった点は特筆すべきである。
ところで、上述の各実施形態における第１酸化物層３２は、ビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液を焼成することによって形成されている。本出願では、前述のように、前駆体溶液を出発材とし、それを焼成することによって第１酸化物層３２やその他の酸化物層を形成する方法を、便宜上、「溶液法」とも呼ぶ。この溶液法によって形成された第１酸化物層３２は、誘電損失が小さい点ても好ましい絶縁層である。図６は、溶液法によって形成された第１酸化物層３２における、周波数（Ｈｚ）に対する誘電損失の割合を示すｔａｎδ値を示すグラフである。なお、図６には、本実施形態における第１酸化物層３２の変形例である「他の実施例１」として、公知のスパッタリング法によって形成されたＢＮＯ層、及び「他の実施例２」として、第1の実施形態と同様に、溶液法によって形成したビスマス（Ｂｉ）と亜鉛（Ｚｎ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる複合酸化物（ＢＺＮＯ層）の結果が合わせて示されている。また、この他の実施例２における複合酸化物の前駆体溶液は、ビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体の例は、オクチル酸ビスマスである。その他の例として、塩化ビスマス、硝酸ビスマス、又は各種のビスマスアルコキシドが採用され得る。また、亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体の例は、塩化亜鉛である。その他の例として、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛、又は各種の亜鉛アルコキシド（例えば、亜鉛イソプロポキシド、亜鉛ブトキシド、亜鉛エトキシド、亜鉛メトキシエトキシド）が採用され得る。なお、亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体として酢酸亜鉛の採用する場合、亜鉛の溶解性を高めるため、酢酸亜鉛中に添加物モノエタノールアミンを少量加えることは好適な一態様である。その他の添加物として、ジエチルアミノエタノール、アセチルアセトン、又はジエタノールアミンなども採用できる。また、ニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体の例は、オクチル酸ニオブである。その他の例として、塩化ニオブ、硝酸ニオブ、又は各種のニオブアルコキシド（例えば、ニオブイソプロポキシド、ニオブブトキシド、ニオブエトキシド、ニオブメトキシエトキシド）が採用され得る。
図６に示すように、本実施形態の第１酸化物層３２及びスパッタリング法によるＢＮＯ層（他の実施例１）は、他の実施例２に対してｔａｎδ値、すなわち誘電損失が少ないことが分かった。さらに組成は同じであっても、溶液法によって形成された第１酸化物層３２は、スパッタリング法によるＢＮＯ層（他の実施例１）よりも、さらに誘電損失が少ないことが明らかとなった。
上述のとおり、溶液法によって形成された第１酸化物層３２は、比誘電率が高いうえに誘電損失が少ないという特性を備えている。加えて、真空装置等の複雑で高価な設備を要することなく比較的短時間で形成されるため、工業性ないし量産性に優れた薄膜トランジスタの提供に大きく貢献する。同様に、溶液法によって形成された第２酸化物層３４，２３４，３３４，４３４、チャネル用酸化物４０、及びゲート電極用酸化物２０，２２０も、真空装置等の複雑で高価な設備を要することなく比較的短時間で形成されるため、工業性ないし量産性に優れた薄膜トランジスタの提供に大きく貢献する。従って、溶液法を用いて形成した第１酸化物層３２を備える薄膜トランジスタは、その第１酸化物層３２中に亜鉛（Ｚｎ）を含まずに薄膜トランジスタの高性能化を実現することができる点で優れているといえる。なお、上述の「他の実施例２」で採用したＢＺＮＯ膜は、誘電損失の観点では第１酸化物層３２（つまり、ＢＮＯ層）に劣るが、ＢＺＮＯ膜を用いた薄膜トランジスタのリーク電流が比較的少ないため、ＢＺＮＯ膜もＢＮＯ層に代替し得る一例である。
＜第５の実施形態＞
本実施形態では、主として、第１の実施形態における一部の層の形成過程において型押し加工が施されている点を除いて、第１の実施形態と同様である。したがって、第１の実施形態と重複する説明は省略され得る。
［薄膜トランジスタ５００の製造工程］
図７Ａ〜図７Ｇは、それぞれ、本実施形態における薄膜トランジスタ５００の製造方法の一過程を示す断面模式図である。また、図面を簡略化するため、各電極からの引き出し電極のパターニングについての記載は省略する。
（１）ゲート電極の形成
本実施形態では、まず、基材であるＳｉＯ２／Ｓｉ基板（以下、単に「基板」ともいう）２１０上に、公知のスピンコーティング法により、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びニッケル（Ｎｉ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液を出発材とするゲート電極用前駆体層５２０ａを形成する。その後、予備焼成として、約５分間、ゲート電極用前駆体層５２０ａを大気中において１５０℃に加熱する。この予備焼成により、ゲート電極用前駆体層５２０ａ中の溶媒を十分に蒸発させるとともに、将来的な塑性変形を可能にする特性を発現させるために好ましいゲル状態（熱分解前であって有機鎖が残存している状態と考えられる）を形成することができる。前述の観点をより確度高く実現するから言えば、予備焼成温度は、８０℃以上２５０℃以下が好ましい。その後、ゲート電極のパターニングを行うために、図７Ａに示すように、２００℃に加熱した状態で、ゲート電極用型Ｍ１を用いて、５ＭＰａの圧力で型押し加工を施す。その結果、本実施形態のゲート電極用型Ｍ１により、層厚が約１００ｎｍ〜約３００ｎｍの厚層部と層厚が約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの薄層部とを備えるゲート電極用前駆体層５２０ａが形成される。
また、発明者らの研究によれば、上述の型押し加工の際、ゲート電極用前駆体層５２０ａを８０℃以上３００℃以下の範囲内で加熱することにより、ゲート電極用前駆体層５２０ａの塑性変形能力が高くなるとともに、主溶媒を十分に除去できることが明らかとなった。従って、ゲート電極用前駆体層５２０ａを、型押し加工の際、８０℃以上３００℃以下の範囲内で加熱することは好ましい一態様である。ここで、型押し加工時の加熱温度が８０℃未満である場合には、ゲート電極用前駆体層５２０ａ前駆体層の温度が低下することに起因して各前駆体層の塑性変形能力が低下することになるため、型押し構造の成型時の成型の実現性、又は成型後の信頼性ないし安定性が乏しくなる。また、型押し加工時の加熱温度が３００℃を超える場合には、塑性変形能の根源である有機鎖の分解（酸化熱分解）が進むため、塑性変形能力が低下するからである。さらに、前述の観点から言えば、ゲート電極用前駆体層５２０ａを、型押し加工の際、１００℃以上２５０℃以下の範囲内で加熱することは、さらに好ましい一態様である。
その後、ゲート電極用前駆体層５２０ａを全面エッチングすることにより、図７Ｂに示すように、ゲート電極に対応する領域以外の領域からゲート電極用前駆体層５２０ａを除去する（ゲート電極用前駆体層５２０ａの全面に対するエッチング工程）。なお、本実施形態のエッチング工程は、真空プロセスを用いることないウェットエッチング技術を用いて行われたが、プラズマを用いた、いわゆるドライエッチング技術によってエッチングされることを妨げない。なお、プラズマ処理を大気圧下において行う公知技術を採用することも可能である。
さらにその後、本焼成として、ゲート電極用前駆体層５２０ａを、酸素雰囲気中、約１５分間、５８０℃に加熱することにより、図７Ｃに示すように、基板２１０上に、ランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなるゲート電極用酸化物層５２０（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。
（２）ゲート絶縁層の形成
次に、基板２１０及びパターニングされたゲート電極用酸化物層５２０上に、第１の実施形態と同様に、ビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液を出発材とする第１前駆体層３２ａを形成する。第１の実施形態と同様に予備焼成を行った後、本焼成として、第１前駆体層３２ａを、酸素雰囲気中、約２０分間、５５０℃に加熱した。
その後、第１酸化物層３２上に、第１の実施形態と同様に、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液を出発材とする第２前駆体層３４ａを形成する。第１の実施形態と同様に予備焼成を行った後、本焼成として、第２前駆体層３４ａを、酸素雰囲気中、約１５分間、５５０℃に加熱した。その結果、図７Ｄに示すように、第１酸化物層３２上に、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる第２酸化物層３４（不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。
ところで、本実施形態の薄膜トランジスタ５００においても、上述の第１酸化物層３２と第２酸化物層３４との積層酸化物がゲート絶縁層３０として用いられることになる。なお、本実施形態における第１酸化物層３２の厚みは約１８０ｎｍであり、第２酸化物層３４の厚みは約２０ｎｍであった。
（３）チャネルの形成
その後、第２酸化物層３４上に、第１の実施形態と同様に、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とするチャネル用前駆体溶液を出発材とするチャネル用前駆体層が形成する。その後、第１の実施形態と同様に予備焼成及び本焼成が行われる。その結果、第２酸化物層３４上に、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなるチャネル用酸化物層４０（不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。なお、本実施形態のチャネル用酸化物層４０の厚みは約２０ｎｍであった。
なお、本実施形態では、チャネルのパターニングをー行うために、チャネル用前駆体層に対する予備焼成の後に、ゲート電極のパターニングと同様に、チャネル専用の型（図示しない）を用いて型押し加工を施すことも、採用し得る他の一態様である。すなわち、チャネル用前駆体溶液を出発材とするチャネル用前駆体層を、チャネル用酸化物４０を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、チャネル用前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含むことも、採用し得る他の一態様である。また、チャネルを形成するための型押し加工に対しても、ゲート電極のパターニングと同様の好適な加熱温度範囲や圧力等の諸条件が適用し得る。
（４）ソース電極及びドレイン電極の形成
本実施形態では、その後、溶液法を採用した上で型押し加工を施すことにより、ＩＴＯ層からなるソース電極及びドレイン電極が形成される。具体的には、以下のとおりである。
まず、チャネル用酸化物層４０上に、公知のスピンコーティング法により、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とするソース／ドレイン電極用前駆体溶液（以下、ソース／ドレイン電極用前駆体の溶液に対して同じ。）を出発材とするソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａを形成する。
ここで、本実施形態におけるソース／ドレイン電極用酸化物層５５０のためのインジウム（Ｉｎ）を含む前駆体の例として、酢酸インジウム、硝酸インジウム、塩化インジウム、又は各種のインジウムアルコキシド例えば、インジウムイソプロポキシド、インジウムブトキシド、インジウムエトキシド、インジウムメトキシエトキシド）が採用され得る。また、本実施形態におけるソース／ドレイン電極用酸化物層５５０のための錫（Ｓｎ）を含む前駆体の例として、酢酸錫、硝酸錫、塩化錫、又は各種の錫アルコキシド例えば、錫イソプロポキシド、錫ブトキシド、錫エトキシド、錫メトキシエトキシド）が採用され得る。
その後、予備焼成として、約５分間、ソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａを大気中において１５０℃に加熱する。その後、ソース／ドレイン電極のパターニングを行うために、図７Ｅに示すように、２００℃に加熱した状態で、ソース／ドレイン電極用型Ｍ２を用いて、５ＭＰａの圧力で型押し加工を施す。その結果、将来的にソース電極及びドレイン電極となる領域（図７Ｆの（ａ））上には、約１００ｎｍ〜約３００ｎｍの層厚のソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａが形成される。また、将来的にチャネル用酸化物層４０が残される領域（図７Ｆの（ｂ））上には、約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの層厚のソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａが形成される。一方、将来的にチャネル用酸化物層４０が取り除かれる領域（図７Ｆの（ｃ））上には、約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの層厚のソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａが形成される。なお、ソース／ドレイン電極用型Ｍ２を用いて、１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下の圧力で型押し加工を施すことにより、本実施形態の効果の少なくとも一部が奏され得る。
その後、本焼成として、ソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａを、大気中で、約５分間、２５０℃以上４００℃以下に加熱することによりソース／ドレイン電極用酸化物層５５０が形成される。
その後、ソース／ドレイン電極用酸化物層５５０の全面に対して、アルゴン（Ａｒ）プラズマによるドライエッチングを行う。その結果、最も薄い領域（図７Ｆの（ｃ））のソース／ドレイン電極用酸化物層５５０が最初にエッチングされ、その後継続して、露出したチャネル用酸化物層４０がエッチングされることになる。続いて、２番目に薄い領域（図７Ｆの（ｂ））のソース／ドレイン電極用酸化物層５５０がエッチングされるとともに、最も薄い領域（図７Ｆの（ｃ））におけるチャネル用酸化物層４０がエッチングされたときに、プラズマ処理を停止する。このように、本実施形態では、上述の領域（ｂ）と領域（ｃ）の各層厚を調整することにより、領域（ｂ）のチャネル用酸化物層４０を残した状態で、領域（ｃ）のチャネル用酸化物層４０が取り除かれる。その結果、図７Ｇに示すように、チャネル領域自身の分離が実現されるとともに、ソース電極５５４及びドレイン電極５５２がチャネル領域を介して完全に分離されるように形成される。
本実施形態では、さらに、窒素雰囲気中で、約１５分間、５００℃に加熱することにより、本実施形態の薄膜トランジスタ５００が製造される。この加熱処理により、ＩＴＯ中の酸素が欠損し、この欠損が導電性の酸素欠損キャリアとなるため、導電性向上が図られる。図８は、本実施形態で製造された薄膜トランジスタ５００の光学顕微鏡による平面写真である。図８に示すように、本実施形態の型押し工程によって、サブミクロンオーダー（具体的には、約５００ｎｍ）のチャネル領域の分離が実現されたことは特筆に値する。また、本実施形態において形成されたソース電極５５４及びドレイン電極５５２の抵抗率は、１０−３Ωｃｍのオーダー以下であった。
なお、本実施形態のエッチング工程は、アルゴン（Ａｒ）プラズマによるドライエッチングによってエッチングされたが、真空プロセスを用いることないウェットエッチング技術を用いて行われることを妨げない。
また、発明者らの研究によれば、上述の予備焼成の際、ソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａを８０℃以上２５０℃以下の範囲内で加熱することにより、ソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａの塑性変形能力が高くなるとともに、主溶媒を十分に除去できることが明らかとなった。従って、ソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａを、８０℃以上２５０℃以下の範囲内で加熱することは好ましい一態様である。なお、前述の予備焼成の際の温度範囲の上限及び加減についての根拠は、上述のゲート電極用前駆体層５２０ａの予備焼成に関する根拠と同じである。また、ソース／ドレイン電極用前駆体層５５０ａの加熱温度のより好ましい範囲は、１００℃以上２５０℃以下である。
上述のように、本実施形態では、一部の酸化物層に対して型押し加工を施すことによって型押し構造を形成する、「型押し工程」が採用されている。この型押し工程が採用されることにより、真空プロセスやフォトリソグラフィー法を用いたプロセス、あるいは紫外線の照射プロセス等、比較的長時間、及び／又は高価な設備を必要とするプロセスが不要になる。また、本実施形態では、ソース電極及びドレイン電極も溶液法によって形成されているため、ゲート電極、ゲート絶縁膜、チャネル、ソース電極、及びドレイン電極というデバイスを構成する全ての酸化物層が溶液法によって形成されている点は、特筆に値する。従って、本実施形態の薄膜トランジスタ５００は、極めて工業性ないし量産性に優れている。
［第５の実施形態における薄膜トランジスタ５００の特性］
上述の第５の実施形態における薄膜トランジスタ５００のＶｇ−Ｉｄ特性について調べた結果、トランジスタとしての良好な特性が得られた。
図９は、薄膜トランジスタ５００のＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。また、表３は、薄膜トランジスタ５００における、サブスレッショルド特性（ＳＳ）、電界効果移動度（μＦＥ）に関する特性を示している。なお、図９におけるＶＤは、薄膜トランジスタ５００のソース電極とドレイン電極間に印加された電圧（Ｖ）である。
図９及び表３に示すように、薄膜トランジスタ５００のＯＮ／ＯＦＦ比は、概ね１０６のオーダーであることが分かる。上述のとおり、薄膜トランジスタ５００は、それを構成する各層が酸化物層であるとともに、溶液法及び型押し加工を採用することによって形成されているが、トランジスタとしての機能を発揮し得ることが確認された。
＜第６の実施形態＞
本実施形態では、主として、第５の実施形態におけるゲート絶縁層の形成過程において型押し加工が施されている点を除いて、第５の実施形態と同様である。したがって、第１又は第５の実施形態と重複する説明は省略され得る。
［薄膜トランジスタ６００の製造工程］
図１０Ａ〜図１０Ｄは、それぞれ、本実施形態における薄膜トランジスタ６００の製造方法の一過程を示す断面模式図である。また、図面を簡略化するため、各電極からの引き出し電極のパターニングについての記載は省略する。
（１）ゲート電極の形成
本実施形態では、第５の実施形態と同様に、まず、基材であるＳｉＯ２／Ｓｉ基板２１０上にゲート電極用前駆体層５２０ａを形成する。その後、予備焼成として、約５分間、ゲート電極用前駆体層５２０ａを８０℃以上２５０℃以下に加熱する。その後、ゲート電極のパターニングを行うために、図１０Ａに示すように、８０℃以上３００℃以下に加熱した状態で、ゲート電極用型Ｍ１を用いて、１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下の圧力で型押し加工を施す。その結果、本実施形態のゲート電極用型Ｍ１により、層厚が約１００〜約３００ｎｍの厚層部と層厚が約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの薄層部とを備えるゲート電極用前駆体層５２０ａが形成される。
その後、ゲート電極用前駆体層５２０ａを全面エッチングすることにより、ゲート電極に対応する領域以外の領域からゲート電極用前駆体層５２０ａを除去する（ゲート電極用前駆体層５２０ａの全面に対するエッチング工程）。その後、第５の実施形態と同様に本焼成することにより、基板２１０上に、ランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなるゲート電極用酸化物層５２０（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。
（２）ゲート絶縁層の形成
次に、基板２１０及びパターニングされたゲート電極用酸化物層５２０上に、第１の実施形態と同様に、ビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液を出発材とする第１前駆体層６３２ａを形成する。その後、酸素含有雰囲気中で、８０℃以上２５０℃以下に加熱した状態で予備焼成を行う。
続いて、第１前駆体層６３２ａ上に、第１の実施形態と同様に、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液を出発材とする第２前駆体層６３４ａを形成する。その後、酸素含有雰囲気中で、８０℃以上２５０℃以下に加熱した状態で予備焼成を行う。
本実施形態では、予備焼成のみを行った積層状態の第１前駆体層６３２ａ及び第２前駆体層６３４ａに対して、型押し加工を施す。具体的には、ゲート絶縁層のパターニングを行うため、図１０Ｂに示すように、８０℃以上３００℃以下に加熱した状態で、ゲート絶縁層用型Ｍ３を用いて、１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下の圧力で型押し加工を施す。その結果、本実施形態のゲート絶縁層用型Ｍ３により、いずれも、層厚が約１００ｎｍ〜約３００ｎｍの厚層部と層厚が約１０ｎｍ〜約１００ｎｍの薄層部とを備える、第１前駆体層６３２ａと第２前駆体層６３４ａとの積層構造を備えたゲート絶縁層用前駆体層６３０ａが形成される。
その後、ゲート絶縁層用前駆体層６３０ａを全面エッチングすることにより、図１０Ｃに示すように、ゲート絶縁層６３０に対応する領域以外の領域からゲート絶縁層用前駆体層６３０ａを除去する（ゲート絶縁層用前駆体層６３０ａの全面に対するエッチング工程）。なお、本実施形態のゲート絶縁層用前駆体層６３０ａのエッチング工程は、真空プロセスを用いることないウェットエッチング技術を用いて行われたが、プラズマを用いた、いわゆるドライエッチング技術によってエッチングされることを妨げない。
その後、約２０分間、５５０℃で本焼成することにより、ゲート電極用酸化物層５２０上に、第１酸化物層６３２と第２酸化物層６３４との積層酸化物を備えたゲート絶縁層６３０（但し、不可避不純物を含み得る。以下、同じ。）が形成される。なお、本実施形態における第１酸化物層６３２の厚みは約５０ｎｍ〜約２５０ｎｍであり、第２酸化物層６３４の厚みは約５ｎｍ〜約５０ｎｍであった。
（３）チャネル、ソース電極、及びドレイン電極の形成
その後、第５の実施形態と同様に、チャネル用酸化物層４０が形成された後、ソース電極５５４及びドレイン電極５５２がチャネル領域を介して完全に分離されるように形成される。その結果、図１０Ｅに示す薄膜トランジスタ６００が製造される。従って、上述のとおり、溶液法及び型押し工程を採用することにより、ゲート電極、ゲート絶縁層、チャネル、ソース電極、及びドレイン電極が、いずれも簡便にパターニングされ得るため、本実施形態の薄膜トランジスタ６００は、極めて工業性ないし量産性に優れている。
＜第７の実施形態＞
本実施形態では、主として、第２の実施形態におけるチャネルの材料が酸化インジウムである点を除いて、第２の実施形態と同様である。したがって、第１又は第２の実施形態と重複する説明は省略され得る。
図１Ｍは、本実施形態の薄膜トランジスタ７００の構造を示す断面模式図についても示している。但し、本実施形態の薄膜トランジスタ７００のチャネルの材料は、上述のとおり酸化インジウムである。
本実施形態のチャネルの形成工程においては、まず、第２酸化物層３４上に、公知のスピンコーティング法により、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体を溶質とするチャネル用前駆体溶液を出発材とするチャネル用前駆体層を形成ずる。その後、予備焼成として、この前駆体層を約５分間、２５０℃に加熱する。その後、本焼成として、この前駆体層を、酸素雰囲気中、約１５分間、３５０℃以上５５０℃以下に加熱することにより、第２酸化物層３４上に、酸化インジウムからなるチャネル用酸化物層７４０が形成される。なお、チャネル用酸化物層７４０の厚みは約２０ｎｍであった。
ここで、本実施形態におけるチャネル用酸化物層７４０のためのインジウム（Ｉｎ）を含む前駆体の例は、インジウムアセチルアセトナートである。その他の例として、硝酸インジウム、塩化インジウム、又は各種のインジウムアルコキシド（例えば、インジウムイソプロポキシド、インジウムブトキシド、インジウムエトキシド、インジウムメトキシエトキシド）が採用され得る。
また、本実施形態のチャネル用酸化物層７４０と同様の製造工程と同様の工程によって形成された酸化インジウム層のＸ線回折（ＸＲＤ）を調査したところ、興味深い結果が得られた。図１１Ａは、薄膜トランジスタ７００におけるチャネルの製造工程と同様の工程によって形成された酸化インジウム層のＸ線回折（ＸＲＤ）の結果を示すグラフである。比較のために、図１１Ｂには、第１の実施形態における薄膜トランジスタにおけるチャネルの製造工程と同様の工程によって形成されたＩＺＯ層のＸ線回折（ＸＲＤ）の結果が示されている。
図１１Ａでは、Ｉｎ２Ｏ３（２２２）を示すと考えられる（ａ）が示すピークと、Ｉｎ２Ｏ３（４００）を示すと考えられる（ｂ）が示すピークが確認された。従って、本実施形態のチャネル用酸化物層７４０は少なくとも結晶性を有していることが分かった。一方、図１１Ｂでは、既に述べたとおり、ピークは確認されなかったため、少なくとも本測定の範囲においてアモルファス状であることが確認された。なお、図１１Ａにおける（ｃ）のピークは、酸化インジウム層が形成された基板上の酸化シリコン（ＳｉＯ２）に由来するピークであり、図１１Ｂにおける（ｄ）のピークは、ＩＺＯ層が形成された基板（石英）に由来するピークである。
次に、本実施形態の薄膜トランジスタ７００の電気特性を調査した。図１２は、本実施形態における薄膜トランジスタ７００のＶｇ−Ｉｄ特性を示すグラフである。また、表４は、薄膜トランジスタ７００における、サブスレッショルド特性（ＳＳ）、電界効果移動度（μＦＥ）に関する特性を示している。
図１２及び表４に示すように、薄膜トランジスタ７００のＯＮ／ＯＦＦ比は、１０７のオーダーを超える値であることが分かった。また、その他の電気特性もトランジスタとして良好な結果であることが確認された。
従って、薄膜トランジスタ７００は、その構成の一部であるチャネルが結晶性を有している場合であっても、良好な電気特性が得られることが確認された。
＜その他の実施形態＞
ところで、上述の各実施形態における効果を適切に奏させるために、第１前駆体溶液の溶媒は、エタノール、プロパノール、ブタノール、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノールの群から２種が選択されるアルコールの混合溶媒であることが好ましい。また、第２前駆体溶液の溶媒は、エタノール、プロパノール、ブタノール、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノールの群から選択される１種のアルコール溶媒、又は酢酸、プロピオン酸、オクチル酸の群から選択される１種のカルボン酸たる溶媒であることが好ましい。また、チャネル用前駆体溶液の溶媒は、エタノール、プロパノール、ブタノール、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノールの群から選択される１種のアルコール溶媒、又は酢酸、プロピオン酸、オクチル酸の群から選択される１種のカルボン酸たる溶媒であることが好ましい。
加えて、上述の各実施形態における効果を適切に奏させるために、ゲート電極用前駆体溶液の溶媒は、エタノール、プロパノール、ブタノール、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノールの群から選択される１種のアルコール溶媒、又は酢酸、プロピオン酸、オクチル酸の群から選択される１種のカルボン酸である溶媒であることが好ましい。また、ソース／ドレイン電極用前駆体溶液の溶媒は、エタノール、プロパノール、ブタノール、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノールの群から選択される１種のアルコール溶媒、又は酢酸、プロピオン酸、オクチル酸の群から選択される１種のカルボン酸である溶媒であることが好ましい。
また、上述の各実施形態においては、溶液法における本焼成として、第1酸化物を形成するための加熱温度が４５０℃以上７００℃以下であれば、上述の各実施形態の少なくとも一部の効果が奏され得る。また、溶液法における本焼成として、第２酸化物を形成するための加熱温度が２５０℃以上７００℃以下であれば、上述の各実施形態の少なくとも一部の効果が奏され得る。また、溶液法における本焼成として、チャネル用酸化物を形成するための加熱温度が２５０℃以上７００℃以下であれば、上述の各実施形態の少なくとも一部の効果が奏され得る。
加えて、上述の各実施形態においては、溶液法における本焼成として、ゲート電極用酸化物を形成するための加熱温度が５００℃以上９００℃以下であれば、上述の各実施形態の少なくとも一部の効果が奏され得る。また、溶液法における本焼成として、ソース／ドレイン電極用酸化物を形成するための加熱温度が４５０℃以上７００℃以下であれば、上述の各実施形態の少なくとも一部の効果が奏され得る。
また、上述の第５及び第６の実施形態では、幾つかの酸化物層の形成の際に、型押し加工を施す「型押し工程」が行われている。この型押し工程における圧力は、代表的に例示されている５ＭＰａには限定されない。幾つかの例で既に述べたとおり、この型押し工程における圧力が１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下の範囲内の圧力であれば、上述の各実施形態の少なくとも一部の効果が奏され得る。
上述の第５及び第６の実施形態では、高い塑性変形能力を得た各前駆体層に対して型押し加工を施すこととしている。その結果、型押し加工を施す際に印加する圧力を１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下という低い圧力であっても、各前駆体層が型の表面形状に追随して変形するようになり、所望の型押し構造を高い精度で形成することが可能となる。また、その圧力を１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下という低い圧力範囲に設定することにより、型押し加工を施す際に型が損傷し難くなるとともに、大面積化にも有利となる。
ここで、上記の圧力を「１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下」の範囲内としたのは、以下の理由による。まず、その圧力が１ＭＰａ未満の場合には、圧力が低すぎて各前駆体層を型押しすることができなくなる場合があるからである。他方、その圧力が２０ＭＰａもあれば、十分に前駆体層を型押しすることができるため、これ以上の圧力を印加する必要がないからである。前述の観点から言えば、上述の第５及び第６の実施形態における型押し工程においては、２ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下の範囲内にある圧力で型押し加工を施すことがより好ましい。
また、上述の各実施形態における各酸化物層を形成するための予備焼成の際、予備焼成温度は、もっとも好ましくは、１００℃以上２５０℃以下である。これは、各種の前駆体層中の溶媒をより確度高く蒸発させることが出来るからである。また、特に、その後に型押し工程を行う場合は、前述の温度範囲で予備焼成を行うことにより、将来的な塑性変形を可能にする特性を発現させるためにより好ましいゲル状態（熱分解前であって有機鎖が残存している状態と考えられる）を形成することができる。
また、上述の第５及び第６の実施形態における型押し工程において、予め８０℃以上３００℃以下に加熱した型（代表的には、ゲート電極用型Ｍ１、ソース／ドレイン電極用型Ｍ２、又はゲート絶縁層用型Ｍ３）を用いて型押し加工を施すことは、他の好ましい一態様である。
型の好適な温度を８０℃以上３００℃以下としたのは、以下の理由による。まず、８０℃未満の場合には、各前駆体層の温度が低下することに起因して各前駆体層の塑性変形能力が低下することになる。加えて、３００℃を超える場合には、各前駆体層の固化反応が進みすぎることに起因して各前駆体層の塑性変形能力が低下する。上記観点から言えば、型押し工程において、１００℃以上２５０℃以下に加熱した型を用いて型押し加工を施すことがより好ましい。
また、上述の型押し工程において、予め、型押し面が接触することになる各前駆体層の表面に対する離型処理及び／又はその型の型押し面に対する離型処理を施しておき、その後、各前駆体層に対して型押し加工を施すことが好ましい。そのような処理を施すことにより、各前駆体層と型との間の摩擦力を低減することができるため、各前駆体層に対してより一層精度良く型押し加工を施すことが可能となる。なお、離型処理に用いることができる離型剤としては、界面活性剤（例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤等）、フッ素含有ダイヤモンドライクカーボン等を例示することができる。
また、上述の各実施形態における各前駆体層に対する型押し工程と本焼成の工程との間に、型押し加工が施された各前駆体層（例えば、ゲート電極用前駆体層）のうち最も層厚が薄い領域においてその前駆体層が除去される条件で、その前駆体層を全体的にエッチングする工程が含まれることは、より好ましい一態様である。これは、各前駆体層を本焼成した後にエッチングするよりも容易に不要な領域を除去することが可能なためである。従って、上述の各実施形態において、本焼成後に全面エッチングを行っている工程の代わりに、前述のより好ましい一態様を採用することができる。
以上述べたとおり、上述の各実施形態の開示は、それらの実施形態の説明のために記載したものであって、本発明を限定するために記載したものではない。加えて、各実施形態の他の組合せを含む本発明の範囲内に存在する変形例もまた、特許請求の範囲に含まれるものである。
１０ 高耐熱ガラス
２０，５２０ ゲート電極用酸化物層
２０ａ，５２０ａ ゲート電極用前駆体層
３０，６３０ ゲート絶縁層
３２，６３２ 第１酸化物層
３２ａ，６３２ａ 第１前駆体層
３４，２３４，３３４，４３４，６３４ 第２酸化物層
３４ａ，６３４ａ 第２前駆体層
４０，７４０ チャネル用酸化物層、
４０ａ チャネル用前駆体層、
５０ ＩＴＯ層
５２，５５２ ドレイン電極
５４，５５４ ソース電極
９０ レジスト膜、
２１０ 基板
１００，２００，３００，４００，５００，６００，７００ 薄膜トランジスタ
２２０ 白金層
５５０ ソース／ドレイン電極用酸化物層
５５０ａ ソース／ドレイン電極用前駆体層
６３０ａ ゲート絶縁層用前駆体層
Ｍ１ ゲート電極用型
Ｍ２ ソース／ドレイン電極用型
Ｍ３ ゲート絶縁層用型

Claims (28)

  1. ゲート電極とチャネルとの間に、
    前記ゲート電極に接する、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物、又はビスマス（Ｂｉ）と亜鉛（Ｚｎ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物である第１酸化物（不可避不純物を含み得る）の層と、前記チャネルに接する、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物、ランタン（Ｌａ）とジルコニウム（Ｚｒ）とからなる酸化物、及びストロンチウム（Ｓｒ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物の群から選択される１種の第２酸化物（不可避不純物を含み得る）の層との積層酸化物を備え、
    前記チャネルが、チャネル用酸化物（不可避不純物を含み得る）である、
    薄膜トランジスタ。
  2. 前記チャネル用酸化物が、アモルファス状である、
    請求項１に記載の薄膜トランジスタ。
  3. 前記チャネルが、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、ガリウム（Ｇａ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、アルミニウム（Ａｌ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、亜鉛（Ｚｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、亜鉛（Ｚｎ）とインジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、インジウム（Ｉｎ）とガリウム（Ｇａ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、ランタン（Ｌａ）とインジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、ハフニウム（Ｈｆ）とインジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、スカンジウム（Ｓｃ）とインジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、及び酸化インジウムの群から選択される１種のチャネル用酸化物である、
    請求項１に記載の薄膜トランジスタ。
  4. 前記ゲート電極が、ランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなる酸化物、アンチモン（Ｓｂ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、及びインジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物の群から選択される１種のゲート電極用酸化物（不可避不純物を含み得る）である、
    請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  5. ソース電極及びドレイン電極をさらに備えるとともに、
    前記ソース電極及び前記ドレイン電極が、インジウム（Ｉｎ）と錫（Ｓｎ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）又はランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）である、
    請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  6. 前記第２酸化物が、アモルファス状である、
    請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  7. 前記第１酸化物が、結晶相及びアモルファス相を含む、
    請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  8. 前記積層酸化物の合成容量が、５×１０−８Ｆ／ｃｍ２以上１×１０−６Ｆ／ｃｍ２以下である、
    請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  9. 前記積層酸化物の合成された比誘電率が、６０以上２００以下である、
    請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  10. 前記チャネルの層の厚みが、５ｎｍ以上８０ｎｍ以下である、
    請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  11. 前記第１酸化物が、ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）であり、かつ前記ビスマス（Ｂｉ）が１としたときに前記ニオブ（Ｎｂ）の原子組成比が、０．３３以上３以下であり、
    前記第２酸化物が、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）であり、かつ前記ランタン（Ｌａ）を１としたときの前記タンタル（Ｔａ）の原子組成比が、０．１１以上９以下である、
    請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタ。
  12. 前記チャネル用酸化物が、インジウム（Ｉｎ）と亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物であり、かつ、前記インジウム（Ｉｎ）を１としたときの前記亜鉛（Ｚｎ）の原子組成比が、０．２５以上１以下である、
    請求項１又は請求項２に記載の薄膜トランジスタ。
  13. ビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、又はビスマス（Ｂｉ）を含む前駆体、亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体、及びニオブ（Ｎｂ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液である第１前駆体溶液を出発材とする第１前駆体層を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、前記ビスマス（Ｂｉ）と前記ニオブ（Ｎｂ）、又は前記ビスマス（Ｂｉ）と前記亜鉛（Ｚｎ）と前記ニオブ（Ｎｂ）からなる第１酸化物（不可避不純物を含み得る）を、ゲート電極層に接するように形成する第１酸化物形成工程と、
    ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びジルコニウム（Ｚｒ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、及びストロンチウム（Ｓｒ）を含む前駆体及びタンタル（Ｔａ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液の群から選択される１種の第２前駆体溶液を出発材とする第２前駆体層を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、前記ランタン（Ｌａ）と前記タンタル（Ｔａ）、前記ランタン（Ｌａ）と前記ジルコニウム（Ｚｒ）、又は前記ストロンチウム（Ｓｒ）と前記タンタル（Ｔａ）とからなる第２酸化物（不可避不純物を含み得る）を、チャネルに接するように形成する第２酸化物形成工程とを、
    前記ゲート電極層の形成工程とチャネル用酸化物（不可避不純物を含み得る）を形成する前記チャネルの形成工程との間に含む、
    薄膜トランジスタの製造方法。
  14. 前記チャネル用酸化物が、アモルファス状である、
    請求項１３に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  15. 前記チャネルの形成工程が、
    インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    ガリウム（Ｇａ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    アルミニウム（Ａｌ）を含む前駆体及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、ガリウム（Ｇａ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    ランタン（Ｌａ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    ハフニウム（Ｈｆ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、
    スカンジウム（Ｓｃ）を含む前駆体、インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、及び
    インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体
    の群から選択される１種のチャネル用前駆体溶液を出発材とするチャネル用前駆体層を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、
    前記インジウム（Ｉｎ）と前記亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、前記ガリウム（Ｇａ）と前記亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
    前記アルミニウム（Ａｌ）と前記亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
    前記亜鉛（Ｚｎ）と前記錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、
    前記亜鉛（Ｚｎ）と前記インジウム（Ｉｎ）と前記錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、
    前記インジウム（Ｉｎ）と前記ガリウム（Ｇａ）と前記亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
    前記ランタン（Ｌａ）と前記インジウム（Ｉｎ）と前記亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
    前記ハフニウム（Ｈｆ）と前記インジウム（Ｉｎ）と前記亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、
    前記スカンジウム（Ｓｃ）と前記インジウム（Ｉｎ）と前記亜鉛（Ｚｎ）とからなる酸化物、及び
    酸化インジウム
    の群から選択される１種の前記チャネル用酸化物を形成する工程である、
    請求項１３に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  16. 前記第１酸化物を形成するための加熱温度が、４５０℃以上７００℃以下であり、
    前記第２酸化物を形成するための加熱温度が、２５０℃以上７００℃以下であり、
    前記チャネル用酸化物を形成するための加熱温度が、２５０℃以上７００℃以下である、
    請求項１３乃至請求項１５のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  17. 前記ゲート電極層の形成工程が、
    ランタン（Ｌａ）を含む前駆体及びニッケル（Ｎｉ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、アンチモン（Ｓｂ）を含む前駆体及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液、又はインジウム（Ｉｎ）を含む前駆体と錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液であるゲート電極用前駆体溶液を出発材とするゲート電極用前駆体層を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、前記ランタン（Ｌａ）と前記ニッケル（Ｎｉ）とからなる酸化物、前記アンチモン（Ｓｂ）と前記錫（Ｓｎ）とからなる酸化物、又は前記インジウム（Ｉｎ）と前記錫（Ｓｎ）とからなる酸化物であるゲート電極用酸化物（不可避不純物を含み得る）を形成する工程である、
    請求項１３乃至請求項１６のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  18. 前記ゲート電極用酸化物を形成するための加熱温度が、５００℃以上９００℃以下である、
    請求項１７に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  19. ソース電極及びドレイン電極を形成する工程をさらに含み、
    前記ソース電極及びドレイン電極を形成する工程が、
    インジウム（Ｉｎ）を含む前駆体及び錫（Ｓｎ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液又はランタン（Ｌａ）を含む前駆体とニッケル（Ｎｉ）を含む前駆体を溶質とする前駆体溶液であるソース／ドレイン電極用前駆体溶液を出発材とするソース／ドレイン電極用前駆体層を、酸素含有雰囲気中において加熱することにより、前記インジウム（Ｉｎ）と前記錫（Ｓｎ）とからなる酸化物又はランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）とからなる酸化物であるソース／ドレイン電極用酸化物（不可避不純物を含み得る）を形成する工程である、
    請求項１３乃至請求項１８のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  20. 前記ソース／ドレイン電極用酸化物を形成するための加熱温度が、４５０℃以上７００℃以下である、
    請求項１９に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  21. 前記第１酸化物形成工程又は前記第２酸化物形成工程において、
    前記第１前駆体溶液を出発材とする第１前駆体層又は前記第２前駆体溶液を出発材とする第２前駆体層を、前記第１酸化物又は前記第２酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、前記第１前駆体層又は前記第２前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含む、
    請求項１３乃至請求項１５のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  22. 前記チャネルの形成工程において、
    前記チャネル用前駆体溶液を出発材とするチャネル用前駆体層を、前記チャネル用酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、前記チャネル用前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含む、
    請求項１３乃至請求項１５のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  23. 前記ゲート電極層の形成工程において、
    前記ゲート電極用前駆体溶液を出発材とするゲート電極用前駆体層を、前記ゲート電極用酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、前記ゲート電極用前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含む、
    請求項１７又は請求項１８に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  24. 前記ソース電極及びドレイン電極を形成する工程において、
    前記ソース／ドレイン電極用前駆体溶液を出発材とするソース／ドレイン電極用前駆体層を、前記ソース／ドレイン電極用酸化物を形成する前に、酸素含有雰囲気中において、８０℃以上３００℃以下で加熱した状態で型押し加工を施すことにより、前記ソース／ドレイン電極用前駆体層に対して型押し構造を形成する型押し工程をさらに含む、
    請求項１９又は請求項２０に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  25. 前記第２酸化物が、アモルファス状である、
    請求項１３乃至請求項２４のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  26. 前記第１酸化物が、結晶相及びアモルファス相を含む、
    請求項１３乃至請求項２５のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  27. 前記型押し工程において、１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下の範囲内の圧力で前記型押し加工を施す、
    請求項１３乃至請求項２４のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
  28. 前記型押し工程において、予め、８０℃以上３００℃以下の範囲内の温度に加熱した型を用いて前記型押し加工を施す、
    請求項１３乃至請求項２４のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
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