JP5597014B2 - 物体の表面を光学的に検査するための装置 - Google Patents
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Description
第1の空間的周期を有する空間的な第1強度分布を形成する、多数の明るい領域および暗い領域を有するパターンと、
第1強度分布が表面にあたるように、表面を有する物体をパターンに対して相対的に位置決めするための収容部と、
表面に対して相対的に所定の変位距離だけ第1強度分布を変位し、前記表面が、変位距離に沿って第1強度分布に対して相対的な異なる多数の位置をとるようにする制御ユニットと、
画像により、表面を第1強度分布と共に異なる位置で示す多数の画像を撮影するための少なくとも1つの撮像ユニットと、
画像に関係して表面の特性を決定するための評価ユニットと
を有する装置に関する。
空間的な第1周期を有する空間的な第1強度分布を形成する、多数の明るい領域および暗い領域を有するパターンを準備するステップと、
前記第1強度分布が前記表面にあたるように、表面を有する前記物体を前記パターンに対して相対的に位置決めするステップと、
前記表面に対して相対的に所定の変位距離だけ前記第1強度分布を変位し、前記表面が、変位距離に沿って前記第1強度分布に対して相対的な異なる多数の位置をとるようにするステップと、
前記表面を前記第1強度分布と共に異なる位置で示す多数の画像を撮影するステップと、
画像に関係して前記表面の特性を決定するステップと
を含む方法に関する。
20 制御ユニット
26 支持素子
28 パターン
29,30 領域
31 強度分布
35 マーキング領域
38 センサ
46 評価ユニット
48 測定ユニット
50 撮像ユニット
56 物体
58 表面
Claims (14)
- 物体(56)の表面(58)を光学的に検査するための装置(10)において、
空間的な第1周期を有する空間的な第1強度分布(31)を形成する、多数の明るい領域および暗い領域(29,30)を有するパターン(28)と、
前記物体(56)が前記パターン(28)によって包囲されて、前記第1強度分布(31)が前記表面(58)にあたるように、表面(58)を有する前記物体(56)を前記パターン(28)に対して相対的に位置決めするための収容部(54)と、
前記パターン(28)を前記物体(56)の周りに回転させることによって、前記表面(58)に対して相対的に所定の変位距離だけ前記第1強度分布(31)を変位し、前記表面(58)が、変位距離に沿って前記第1強度分布(31)に対して相対的な異なる多数の位置をとるようにする制御ユニット(20)と、
前記表面(58)を前記第1強度分布(31)と共に異なる位置で示す多数の画像を撮影するための少なくとも1つの撮像ユニット(50)と、
画像に関係して前記表面(58)の特性を決定するための評価ユニット(46)と
を有する装置において、
前記物体(56)に対して相対的な前記第1強度分布(31)の現在位置を検出するように構成された測定ユニット(48)を備えることを特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置(10)において、
前記測定ユニット(48)が少なくとも1つの光学センサ(38)を有している装置。 - 請求項1または2に記載の装置において、
前記測定ユニット(48)が、前記パターン(28)に定置に結合した少なくとも1つのマーキング領域(35)を有している装置。 - 請求項3に記載の装置(10)において、
前記パターン(28)が、前記マーキング領域(35)を形成する縁部領域(78)を有している装置。 - 請求項3または4に記載の装置(10)において、
前記マーキング領域(35)が、前記パターン(28)の縁部(82)に隣接している装置。 - 請求項3から5までのいずれか一項に記載の装置において、
補助パターン(84)が前記マーキング領域(35)に配置されている装置。 - 請求項6に記載の装置において、
前記補助パターン(84)が矩形パターン(84)である装置。 - 請求項3から7までのいずれか一項に記載の装置(10)において、
支持素子(26)が、前記パターン(28)と前記マーキング領域(35)とを有している装置。 - 請求項3から8までのいずれか一項に記載の装置(10)において、
前記パターン(28)および前記マーキング領域(35)が、長手方向軸線(24)を中心として回転する管素子(22)の外周面上または内周面上に配置されており、前記マーキング領域(35)が、前記管素子(22)の周方向に延在している装置。 - 請求項1から9までのいずれか一項に記載に記載の装置(10)において、
前記制御ユニット(20)が、前記測定ユニット(48)に関係して前記第1強度分布(31)を変位させる装置。 - 請求項1から10までのいずれか一項に記載の装置(10)において、
前記撮像ユニット(50)が、前記測定ユニット(48)に関係して画像を撮影する装置。 - 請求項1から11までのいずれか一項に記載の装置(10)において、
前記評価ユニット(46)が、前記測定ユニット(48)に関係して前記表面(58)の特性を決定する装置。 - 物体(56)の表面(58)を光学的に検査するための方法であって、
空間的な第1周期を有する空間的な第1強度分布(31)を形成する、多数の明るい領域および暗い領域(29,30)を有するパターン(28)を準備するステップと、
前記物体(56)が前記パターン(28)によって包囲されて、前記第1強度分布(31)が前記表面(58)にあたるように、表面(58)を有する前記物体(56)を前記パターン(28)に対して相対的に位置決めするステップと、
前記パターン(28)を前記物体(56)の周りに回転させることによって、前記表面(58)に対して相対的に所定の変位距離だけ前記第1強度分布(31)を変位し、前記表面(58)が、変位距離に沿って前記第1強度分布(31)に対して相対的な異なる多数の位置をとるようにするステップと、
前記表面(58)を前記第1強度分布(31)と共に異なる位置で示す多数の画像を撮影するステップと、
画像に関係して前記表面(58)の特性を決定するステップと
を含む方法において、
前記物体(56)に対して相対的な前記第1強度分布(31)の現在位置を決定することを特徴とする方法。 - プログラムコードを有し、データ担体に記憶されており、請求項1から12までのいずれか一項に記載の装置のコンピュータ上で実施した場合に、請求項13に記載の方法の全てのステップを実施することを特徴とするコンピュータプログラム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009017464.8 | 2009-04-03 | ||
DE200910017464 DE102009017464B4 (de) | 2009-04-03 | 2009-04-03 | Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010243495A JP2010243495A (ja) | 2010-10-28 |
JP5597014B2 true JP5597014B2 (ja) | 2014-10-01 |
Family
ID=42307921
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010087387A Active JP5597014B2 (ja) | 2009-04-03 | 2010-04-05 | 物体の表面を光学的に検査するための装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2237026A1 (ja) |
JP (1) | JP5597014B2 (ja) |
DE (1) | DE102009017464B4 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112815873B (zh) * | 2020-12-16 | 2022-07-12 | 南京玻璃纤维研究设计院有限公司 | 一种复杂曲面体的定位检测装置及检测方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4011407A1 (de) | 1990-04-09 | 1991-10-10 | Steinbichler Hans | Vorrichtung zur quantitativen absolutvermessung der dreidimensionalen koordinaten eines pruefobjekts |
DE19639999C2 (de) * | 1996-09-18 | 1998-08-20 | Omeca Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung für die 3D-Messung |
JP4147682B2 (ja) * | 1998-04-27 | 2008-09-10 | 旭硝子株式会社 | 被検物の欠点検査方法および検査装置 |
DE19944354C5 (de) * | 1999-09-16 | 2011-07-07 | Häusler, Gerd, Prof. Dr., 91056 | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von spiegelnden oder transparenten Prüflingen |
FI20001568A (fi) | 2000-06-30 | 2001-12-31 | Thermo Radiometrie Oy | Pinnan muotojen määrittäminen |
DE10041507A1 (de) * | 2000-08-11 | 2002-02-28 | Takata Petri Ag | Lenkwinkelsensor für Kraftfahrzeuge |
JP3519698B2 (ja) * | 2001-04-20 | 2004-04-19 | 照明 與語 | 3次元形状測定方法 |
JP4162132B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2008-10-08 | 株式会社サキコーポレーション | 走査ヘッドおよびそれを利用可能な外観検査装置 |
JP2006170744A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Tohoku Techno Arch Co Ltd | 3次元距離計測装置 |
DE102004062412B4 (de) * | 2004-12-23 | 2007-02-01 | Mähner, Bernward | Verfahren zur räumlichen Vermessung sich schnell bewegender Objekte |
DE102005038535A1 (de) * | 2005-08-16 | 2007-02-22 | Michael Probst | Rotationssymetrischer Streifenprojektor für die symetrische Ausleuchtung reflektierender Freiformflächen zur Detektierung von Oberflächenfehlern |
US7545512B2 (en) * | 2006-01-26 | 2009-06-09 | Koh Young Technology Inc. | Method for automated measurement of three-dimensional shape of circuit boards |
KR100870930B1 (ko) * | 2007-05-08 | 2008-11-28 | 주식회사 고영테크놀러지 | 다방향 영사식 모아레 간섭계 및 이를 이용한 검사방법 |
DE102007034689B4 (de) * | 2007-07-12 | 2009-06-10 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
-
2009
- 2009-04-03 DE DE200910017464 patent/DE102009017464B4/de active Active
-
2010
- 2010-03-26 EP EP10003246A patent/EP2237026A1/de not_active Withdrawn
- 2010-04-05 JP JP2010087387A patent/JP5597014B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010243495A (ja) | 2010-10-28 |
EP2237026A1 (de) | 2010-10-06 |
DE102009017464B4 (de) | 2011-02-17 |
DE102009017464A1 (de) | 2010-10-07 |
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