JP5595902B2 - 基板受けピン、ピンボードユニットおよび基板検査装置 - Google Patents
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Description
たプランジャと、前記プランジャ本体の前記一端側が内部に挿入されるスプリングとを備え、前記スプリングは、一端側の先端部の内径が、前記プランジャ本体の前記一端側の先端部を挿通し、かつ当該プランジャ本体の前記先端部以外の大径な他の部位を挿通不能な寸法に形成され、当該スプリングの前記一端側の前記先端部が当該プランジャ本体の前記一端側の前記大径な他の部位を挿通不能とすることで当該プランジャ本体の当該一端側と係合すると共に当該スプリングの他端側が前記スプリング取付部に取り付けられて、前記突起部が当該スプリング取付部における前記突起部側の端部と当接する向きに前記プランジャ本体を付勢する。
2 ピンボードユニット
3 押さえユニット
4 駆動部
5 測定部
6 処理部
8 検査基板
11 ボード本体
13 基板受けピン
14 コンタクトピン
21 スリーブ
21a スリーブ本体
21b スプリング取付部
22 プランジャ
22a プランジャ本体
22b,22e 突起部
22c 基板受けヘッド
23 コイルスプリング
Claims (4)
- 筒状のスリーブ本体、および内径が当該スリーブ本体の内径と同一で、かつ外径が当該スリーブ本体の外径よりも小径な筒状に形成されて当該スリーブ本体の一端側の端面に当該スリーブ本体と同軸に配設されたスプリング取付部を備えたスリーブと、
前記スリーブ本体内および前記スプリング取付部内に摺動自在に挿通された柱状のプランジャ本体、前記スプリング取付部側から突出する前記プランジャ本体の一端側の外周面に形成された突起部、および前記スリーブ本体側から突出する前記プランジャ本体の他端側の先端部に配設された基板受けヘッドを備え
たプランジャと、
前記プランジャ本体の前記一端側が内部に挿入されるスプリングとを備え、
前記スプリングは、一端側の先端部の内径が、前記プランジャ本体の前記一端側の先端部を挿通し、かつ当該プランジャ本体の前記先端部以外の大径な他の部位を挿通不能な寸法に形成され、当該スプリングの前記一端側の前記先端部が当該プランジャ本体の前記一端側の前記大径な他の部位を挿通不能とすることで当該プランジャ本体の当該一端側と係合すると共に当該スプリングの他端側が前記スプリング取付部に取り付けられて、前記突起部が当該スプリング取付部における前記突起部側の端部と当接する向きに前記プランジャ本体を付勢する基板受けピン。 - 前記突起部は環状リブに形成されると共に、当該環状リブの外周面が前記スプリング取付部側に向かうに従って拡径して当該スプリング取付部の外径と同一の状態または若干小径な状態に至るテーパ面に形成されている請求項1記載の基板受けピン。
- 検査基板の複数の支持位置に対応する各位置に第1取付孔がそれぞれ形成され、かつ当該検査基板の複数のプロービング位置に対応する各位置に第2取付孔がそれぞれ形成された平板状のボード本体と、
前記スリーブが前記各第1取付孔に挿着されることにより、前記ボード本体における前記検査基板の搭載面側に前記基板受けヘッドが位置するように当該ボード本体に取り付けられた請求項1または2記載の複数の基板受けピンと、
前記各第2取付孔に挿着されることにより、前記搭載面側に前記検査基板と接触する先端部が位置するように当該ボード本体に取り付けられた複数のコンタクトピンとを備えているピンボードユニット。 - 請求項3記載のピンボードユニットと、
前記ピンボードユニットに対して接離動自在に前記ボード本体における前記搭載面側に配設されて、前記各基板受けピンの前記基板受けヘッド上に載置された前記検査基板を前記コイルスプリングの付勢力に抗して前記ボード本体側へ押し動かして前記複数のコンタクトピンの前記先端部を前記プロービング位置に接触させるための押さえピンと、
前記押さえピンを前記ピンボードユニットに対して接離動させる駆動部と、
前記複数のコンタクトピンに対して検査用信号を出力すると共に、当該検査用信号の出力に起因して前記検査基板に発生する電気信号を当該複数のコンタクトピンを介して測定する測定部と、
前記検査用信号および前記測定された電気信号に基づいて前記検査基板に対する検査を実行する処理部とを備えている基板検査装置。
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