JP5593266B2 - Photosensitive composition, photosensitive film, photosensitive laminate, permanent pattern forming method, and printed circuit board - Google Patents

Photosensitive composition, photosensitive film, photosensitive laminate, permanent pattern forming method, and printed circuit board Download PDF

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Description

本発明は、ソルダーレジスト材料として好適な感光性組成物、並びに感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板に関する。   The present invention relates to a photosensitive composition suitable as a solder resist material, a photosensitive film, a photosensitive laminate, a method for forming a permanent pattern, and a printed board.

従来より、ソルダーレジスト等の永久パターンを形成するに際して、支持体上に感光性組成物を塗布し、乾燥することにより感光層を形成させた感光性フィルムが用いられてきている。ソルダーレジスト等の永久パターンを形成する方法としては、例えば、永久パターンが形成される銅張積層板等の基体上に、感光性フィルムを積層させて積層体を形成し、該積層体における感光層に対して露光を行い、該露光後、感光層を現像してパターンを形成させ、その後硬化処理等を行うことにより永久パターンを形成する方法等が知られている。   Conventionally, when forming a permanent pattern such as a solder resist, a photosensitive film in which a photosensitive layer is formed by coating a photosensitive composition on a support and drying it has been used. As a method for forming a permanent pattern such as a solder resist, for example, a photosensitive film is laminated on a substrate such as a copper-clad laminate on which a permanent pattern is formed to form a laminate, and the photosensitive layer in the laminate is formed. There is known a method of forming a permanent pattern by performing exposure on the substrate, developing the photosensitive layer after the exposure to form a pattern, and then performing a curing process or the like.

前記ソルダーレジストのバインダーとしてポリウレタン樹脂を用いた感光性組成物において硬度などの向上を図ることは重要な課題の一つであり、種々の検討がなされている。
例えば、特許文献1には、バインダーポリマーとしてポリウレタン樹脂を含み、耐刷性及び画像形成性に優れたネガ型画像記録材料の画像記録層として好適な重合性組成物が開示されている。
また、特許文献2には、バインダーとしてポリウレタン樹脂を用いたプリント配線板等のソルダーレジストとして好適な樹脂組成物が開示されている。
Improving hardness and the like in a photosensitive composition using a polyurethane resin as a binder for the solder resist is one of important issues, and various studies have been made.
For example, Patent Document 1 discloses a polymerizable composition suitable for an image recording layer of a negative type image recording material containing a polyurethane resin as a binder polymer and having excellent printing durability and image forming properties.
Patent Document 2 discloses a resin composition suitable as a solder resist for a printed wiring board or the like using a polyurethane resin as a binder.

ところで、プリント配線板、印刷版材料を含む、感光性組成物により形成される永久パターンを用いた製品の高機能化に伴って、感光性組成物には更なる微細なパターン形成性が求められている。しかし、前記先行技術文献に記載の技術は、いずれも微細なパターン形成は困難であり、かつ現像残渣除去性、耐熱性、強靭性、解像性、絶縁性などの諸特性について十分満足できる性能を有するものではなく、更なる改良、開発が望まれているのが現状である。   By the way, with the enhancement of functionality of products using permanent patterns formed from a photosensitive composition, including printed wiring boards and printing plate materials, the photosensitive composition is required to have further fine pattern formability. ing. However, all of the techniques described in the above prior art documents are difficult to form a fine pattern, and are sufficiently satisfactory in terms of various properties such as development residue removability, heat resistance, toughness, resolution, and insulation. The present situation is that further improvement and development are desired.

特開2005−250438号公報JP-A-2005-250438 特開2006−243563号公報JP 2006-243563 A

本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであり、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、現像残渣除去性が高く、微細パターンが形成でき、耐熱性、強靭性、解像性、及び絶縁性に優れている感光性組成物、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of this present condition, and makes it a subject to solve the said various problems in the past and to achieve the following objectives. That is, the present invention is a photosensitive composition that has high development residue removability, can form a fine pattern, and is excellent in heat resistance, toughness, resolution, and insulation, and a photosensitive composition using the photosensitive composition. It aims at providing a conductive film, a photosensitive laminated body, a permanent pattern formation method, and a printed circuit board.

前記課題を解決するため本発明者らが鋭意検討を重ねた結果、アルカリ現像性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤及び熱架橋剤を含有する感光性組成物において、前記アルカリ現像性樹脂として、ウレタン基により連結されたポリウレタン樹脂であり、かつ前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有し、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を有するものを用いることにより、反応性が向上し、良好な現像性を付与できることを知見した。   As a result of intensive studies by the present inventors in order to solve the above problems, a photosensitive composition containing an alkali-developable resin, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a thermal cross-linking agent is used as the alkali-developable resin. By using a polyurethane resin linked by a urethane group and having at least one carboxyl group at the end of the main chain of the polyurethane resin and having an ethylenically unsaturated group in the side chain, Has been found to improve, and can impart good developability.

本発明は、本発明者らによる前記知見に基づくものであり、前記課題を解決するための手段はとしては、以下の通りである。即ち、
<1> アルカリ現像性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、及び熱架橋剤を含有する感光性組成物であって、
前記アルカリ現像性樹脂が、ウレタン基により連結されたポリウレタン樹脂であり、かつ前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有し、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を有することを特徴とする感光性組成物である。
<2> ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に2つ以上5つ以下のカルボキシル基を有する前記<1>に記載の感光性組成物である。
<3> ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に下記一般式(I)で表される構造を有する前記<1>から<2>のいずれかに記載の感光性組成物である。
−L−(COOH) ・・・ 一般式(I)
ただし、前記一般式(I)中、Lは、(n+1)価の有機連結鎖を表し、nは1以上の整数を示す。
<4> アルカリ現像性樹脂が、ポリウレタン樹脂の側鎖にカルボキシル基を有するアルカリ現像性ユニットを有する前記<1>から<3>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<5> アルカリ現像性ユニットが下記一般式(II)で表される前記<4>に記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、水素原子又はアルキル基を表し、R及びRは、各々独立に、単結合、エーテル基、エステル基、アミド基、カーボネート基を有していてもよいアルキレン基、及びカーボネート基を有していてもよいアリーレン基のいずれかを表す。
<6> アルカリ現像性樹脂が、下記一般式(VI)で表される構造単位を有する前記<1>から<5>のいずれかに記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(VI)中、Xは、直接結合、−CH−、−C(CH−、−SO−、−S−、−CO−、又は−O−を示す。Yは、−NH−、−NHCO−、−NHCOO−、−CONH−、又は−OCONH−を示す。R11、R12、R13、及びR14は、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよく、それぞれ水素原子、一価の有機基、ハロゲン原子、−OR15、―N(R16)(R17)、又は−SR18を表し、R15、R16、R17、及びR18は、水素原子、又は一価の有機基を表す。
<7> エチレン性不飽和基を有する官能基が(メタ)アクリロイル基である前記<1>から<6>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<8> アルカリ現像性樹脂が、ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を導入してなる前記<1>から<7>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<9> アルカリ現像性樹脂が、ジイソシアネート化合物、ジオール化合物、及び少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を重合して得られる前記<1>から<8>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<10> カルボン酸化合物がジカルボン酸化合物である前記<8>から<9>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<11> ジイソシアネート化合物が芳香族系ジイソシアネート化合物である前記<10>に記載の感光性組成物である。
<12> アルカリ現像性樹脂の重量平均分子量が5,000〜60,000である前記<1>から<11>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<13> 前記<1>から<12>のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を支持体上に有してなることを特徴とする感光性フィルムである。
<14> 基体上に前記<1>から<12>のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体である。
<15> 前記<1>から<12>のいずれかに記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法である。
<16> 前記<15>に記載の永久パターン形成方法により永久パターンを形成されてなることを特徴とするプリント基板である。
The present invention is based on the above findings by the present inventors, and means for solving the above problems are as follows. That is,
<1> A photosensitive composition containing an alkali-developable resin, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a thermal crosslinking agent,
The alkali-developable resin is a polyurethane resin linked by a urethane group, has at least one carboxyl group at the end of the main chain of the polyurethane resin, and has an ethylenically unsaturated group in the side chain. It is the photosensitive composition characterized.
<2> The photosensitive composition according to <1>, wherein the main chain of the polyurethane resin has 2 or more and 5 or less carboxyl groups.
<3> The photosensitive composition according to any one of <1> to <2>, having a structure represented by the following general formula (I) at a terminal of a main chain of the polyurethane resin.
-L 1 - (COOH) n ··· general formula (I)
In the general formula (I), L 1 represents an (n + 1) -valent organic connecting chain, and n represents an integer of 1 or more.
<4> The photosensitive composition according to any one of <1> to <3>, wherein the alkali-developable resin has an alkali-developable unit having a carboxyl group in a side chain of the polyurethane resin.
<5> The photosensitive composition according to <4>, wherein the alkali developable unit is represented by the following general formula (II).
However, in the general formula (II), R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and R 2 and R 3 each independently have a single bond, an ether group, an ester group, an amide group, or a carbonate group. It represents either an alkylene group that may be present or an arylene group that may have a carbonate group.
<6> The photosensitive composition according to any one of <1> to <5>, wherein the alkali-developable resin has a structural unit represented by the following general formula (VI).
However, in the general formula (VI), X represents a direct bond, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —SO 2 —, —S—, —CO—, or —O—. Y represents —NH—, —NHCO—, —NHCOO—, —CONH—, or —OCONH—. R 11 , R 12 , R 13 , and R 14 may be the same as or different from each other, and are each a hydrogen atom, a monovalent organic group, a halogen atom, —OR 15 , —N (R 16) (R 17), or an -SR 18, R 15, R 16 , R 17, and R 18 represents a hydrogen atom, or a monovalent organic group.
<7> The photosensitive composition according to any one of <1> to <6>, wherein the functional group having an ethylenically unsaturated group is a (meth) acryloyl group.
<8> The photosensitive composition according to any one of <1> to <7>, wherein the alkali-developable resin is obtained by introducing a carboxylic acid compound having at least one carboxyl group at the terminal of the main chain of the polyurethane resin. It is a thing.
<9> The photosensitive composition according to any one of <1> to <8>, wherein the alkali-developable resin is obtained by polymerizing a diisocyanate compound, a diol compound, and a carboxylic acid compound having at least one carboxyl group. It is.
<10> The photosensitive composition according to any one of <8> to <9>, wherein the carboxylic acid compound is a dicarboxylic acid compound.
<11> The photosensitive composition according to <10>, wherein the diisocyanate compound is an aromatic diisocyanate compound.
<12> The photosensitive composition according to any one of <1> to <11>, wherein the alkali-developable resin has a weight average molecular weight of 5,000 to 60,000.
<13> A photosensitive film comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to any one of <1> to <12> on a support.
<14> A photosensitive laminate comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to any one of <1> to <12> on a substrate.
<15> A method for forming a permanent pattern, comprising at least exposing a photosensitive layer formed of the photosensitive composition according to any one of <1> to <12>.
<16> A printed board comprising a permanent pattern formed by the method for forming a permanent pattern according to <15>.

本発明によると、従来における諸問題を解決でき、現像残渣除去性が高く、微細パターンが形成でき、耐熱性、強靭性、解像性、及び絶縁性に優れている感光性組成物、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することができる。   According to the present invention, various conventional problems can be solved, development residue removal property is high, a fine pattern can be formed, and a photosensitive composition excellent in heat resistance, toughness, resolution, and insulation, and the photosensitive composition. A photosensitive film, a photosensitive laminate, a permanent pattern forming method, and a printed board using the photosensitive composition can be provided.

図1は、永久パターン形状を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a permanent pattern shape.

(感光性組成物)
本発明の感光性組成物は、アルカリ現像性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、及び熱架橋剤を含有してなり、更に必要に応じてその他の成分を含有してなる。
(Photosensitive composition)
The photosensitive composition of the present invention contains an alkali-developable resin, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a thermal crosslinking agent, and further contains other components as necessary.

<アルカリ現像性樹脂>
前記アルカリ現像性樹脂は、ウレタン基により連結されたポリウレタン樹脂であり、かつ前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有し、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を有する。
<Alkali developable resin>
The alkali-developable resin is a polyurethane resin linked by a urethane group, has at least one carboxyl group at the end of the main chain of the polyurethane resin, and has an ethylenically unsaturated group in the side chain.

−主鎖の末端のカルボキシル基−
前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有し、2つ以上5つ以下のカルボキシル基を有することが好ましく、2つのカルボキシル基を有することが現像性に優れ、微細パターン形成性の点で特に好ましい。
なお、前記ポリウレタン樹脂における主鎖の末端は、2つあるが、片末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有することが好ましく、両末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有していてもよい。
前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、下記一般式(I)で表される構造を有することが好ましい
−L−(COOH) ・・・ 一般式(I)
ただし、前記一般式(I)中、Lは、(n+1)価の有機連結鎖を表し、nは1以上の整数を示し、1〜5が好ましく、2が特に好ましい。
で表される有機連結基は、炭素原子、水素原子、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子から選択される1以上の原子を含んで構成され、具体的には、Lで表される有機連結基の主骨格を構成する原子数は、1〜30が好ましく、1〜25がより好ましく、1〜20が更に好ましく、1〜10が特に好ましい。
なお、前記「有機連結基の主骨格」とは、後述する一般式(III)におけるLと末端COOHとを連結するためのみに使用される原子又は原子団を意味し、連結経路が複数ある場合には、使用される原子数が最も少ない経路を構成する原子又は原子団を指す。
-Carboxyl group at the end of main chain-
The polyurethane resin has at least one carboxyl group at the end of the main chain and preferably has 2 or more and 5 or less carboxyl groups, and having two carboxyl groups is excellent in developability and forms a fine pattern. It is particularly preferable in terms of sex.
The polyurethane resin has two main chain ends, but preferably has at least one carboxyl group at one end, and may have at least one carboxyl group at both ends.
It is preferable that the terminal of the main chain of the polyurethane resin has a structure represented by the following general formula (I): -L 1- (COOH) n ... General formula (I)
In the general formula (I), L 1 is, (n + 1) -valent organic linking chain, n represents an integer of 1 or more, 1 to 5 preferably 2 is particularly preferred.
The organic linking group represented by L 1 includes one or more atoms selected from a carbon atom, a hydrogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom. Specifically, the organic linking group is represented by L 1. The number of atoms constituting the main skeleton of the organic linking group is preferably 1 to 30, more preferably 1 to 25, still more preferably 1 to 20, and particularly preferably 1 to 10.
The “main skeleton of the organic linking group” means an atom or an atomic group used only for linking L 2 and the terminal COOH in the general formula (III) described later, and there are a plurality of linking paths. In some cases, it refers to an atom or atomic group that constitutes the path with the least number of atoms used.

前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリウレタン樹脂製造の原料として、少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を用いる方法などが挙げられる。   The method for introducing at least one carboxyl group at the end of the main chain of the polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, as a raw material for producing a polyurethane resin, at least one Examples include a method using a carboxylic acid compound having a carboxyl group.

−カルボン酸化合物−
前記カルボン酸化合物としては、カルボキシル基を1つ有するモノカルボン酸化合物、カルボキシル基を2つ有するジカルボン酸化合物、カルボキシル基を3つ有するトリカルボン酸化合物、カルボキシル基を4つ有するテトラカルボン酸化合物、カルボキシル基を5つ有するペンタカルボン酸化合物などが挙げられる。これらの中でも、カルボキシル基を2つ有するジカルボン酸化合物が、現像性に優れ、微細パターン形成性の点で特に好ましい。
-Carboxylic acid compound-
Examples of the carboxylic acid compound include a monocarboxylic acid compound having one carboxyl group, a dicarboxylic acid compound having two carboxyl groups, a tricarboxylic acid compound having three carboxyl groups, a tetracarboxylic acid compound having four carboxyl groups, and a carboxyl group. Examples thereof include pentacarboxylic acid compounds having five groups. Among these, a dicarboxylic acid compound having two carboxyl groups is particularly preferable in terms of excellent developability and fine pattern formability.

前記カルボン酸化合物としては、少なくとも1つのカルボキシル基を有すれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、下記一般式(III)で表される化合物が好適である。
ただし、前記一般式(III)中、L及びnは、前記一般式(I)と同じ意味を表す。
The carboxylic acid compound is not particularly limited as long as it has at least one carboxyl group, and can be appropriately selected according to the purpose. However, a compound represented by the following general formula (III) is preferable.
However, in said general formula (III), L < 1 > and n represent the same meaning as the said general formula (I).

前記一般式(III)におけるLは、単結合又は置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。前記アルキレン基としては、炭素原子数1〜20のアルキレン基が好ましく、炭素原子数2〜10のアルキレン基がより好ましい。前記アルキレン基に導入可能な置換基としては、例えばハロゲン原子(−F、−Br、−Cl、−I)、置換基を有していてもよいアルキル基、などが挙げられる。 L 2 in the general formula (III) represents a single bond or an alkylene group which may have a substituent. As said alkylene group, a C1-C20 alkylene group is preferable and a C2-C10 alkylene group is more preferable. Examples of the substituent that can be introduced into the alkylene group include a halogen atom (—F, —Br, —Cl, —I), an alkyl group that may have a substituent, and the like.

前記一般式(III)で表されるカルボン酸化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、乳酸、リンゴ酸、ヒドロキシへキサン酸、クエン酸、ジオール化合物と酸無水物の反応物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、リンゴ酸が特に好ましい。
前記ジオール化合物と酸無水物の反応物としては、例えば、下記構造式で表される化合物などが挙げられる。
The carboxylic acid compound represented by the general formula (III) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include lactic acid, malic acid, hydroxyhexanoic acid, citric acid, and a diol compound. Examples include a reaction product of an acid anhydride. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, malic acid is particularly preferable.
Examples of the reaction product of the diol compound and the acid anhydride include compounds represented by the following structural formulas.

−エチレン性不飽和基−
前記アルカリ現像性樹脂としてのポリウレタン樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和基を有する。
前記エチレン性不飽和基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ビニル基などが挙げられる。
前記エチレン性不飽和基を有する官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基、ビニルフェニル基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基、アリルエーテル基、アリルエステル基などが挙げられる。これらの中でも、架橋硬化膜形成性の点で、メタクリロイル基、アクリロイル基が特に好ましい。
-Ethylenically unsaturated group-
The polyurethane resin as the alkali-developable resin has an ethylenically unsaturated group in the side chain.
There is no restriction | limiting in particular as said ethylenically unsaturated group, According to the objective, it can select suitably, For example, a vinyl group etc. are mentioned.
Examples of the functional group having an ethylenically unsaturated group include acryloyl group, methacryloyl group, acrylamide group, methacrylamide group, vinylphenyl group, vinyl ester group, vinyl ether group, allyl ether group, and allyl ester group. . Among these, a methacryloyl group and an acryloyl group are particularly preferable from the viewpoint of forming a crosslinked cured film.

前記ポリウレタン樹脂の側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物を用いる方法などが挙げられる。   The method for introducing an ethylenically unsaturated group into the side chain of the polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, as a raw material for producing a polyurethane resin, an ethylenically unsaturated group is introduced into the side chain. Examples thereof include a method using a diol compound having a saturated group.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、トリメチロールプロパンモノアリルエーテルのように市販されているものでもよいし、ハロゲン化ジオール化合物、トリオール化合物、アミノジオール化合物等の化合物と、エチレン性不飽和基を含有する、カルボン酸、酸塩化物、イソシアネート、アルコール、アミン、チオール、ハロゲン化アルキル化合物等の化合物との反応により容易に製造される化合物であってもよい。
前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0057〕〜〔0060〕に記載された化合物、下記一般式(G)で表される特開2005−250438号公報の段落〔0064〕〜〔0066〕に記載された化合物、などが挙げられる。これらの中でも、下記一般式(G)で表される特開2005−250438号公報の段落〔0064〕〜〔0066〕に記載された化合物が好ましい。
ただし、前記一般式(G)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表し、前記R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。
The diol compound containing an ethylenically unsaturated group in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, a commercially available product such as trimethylolpropane monoallyl ether may be used. Or compounds such as halogenated diol compounds, triol compounds, aminodiol compounds, and compounds containing ethylenically unsaturated groups, such as carboxylic acids, acid chlorides, isocyanates, alcohols, amines, thiols, alkyl halide compounds, etc. It may be a compound easily produced by the reaction with
There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has an ethylenically unsaturated group in the said side chain, According to the objective, it can select suitably, For example, Paragraph [0057]-[0060] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438. And the compounds described in paragraphs [0064] to [0066] of JP-A-2005-250438 represented by the following general formula (G). Among these, the compounds described in paragraphs [0064] to [0066] of JP-A-2005-250438 represented by the following general formula (G) are preferable.
However, in said general formula (G), R < 1 > -R < 3 > represents a hydrogen atom or a monovalent organic group each independently, A represents a bivalent organic residue, X is an oxygen atom and a sulfur atom. Or -N (R 12 )-, wherein R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.

前記一般式(G)中のRの1価の有機基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。
前記一般式(G)中のRとしては、水素原子、メチル基が好ましい。
The monovalent organic group R 1 in the general formula (G), not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, for example, like an alkyl group which may have a substituent It is done.
R 1 in the general formula (G) is preferably a hydrogen atom or a methyl group.

前記一般式(G)中のR、及びRの1価の有機基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。
前記一般式(G)中のR、及びRとしては、水素原子が好ましい。
The monovalent organic group of R 2 and R 3 in the general formula (G) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, the alkyl which may have a substituent Group and the like.
As R < 2 > and R < 3 > in the said general formula (G), a hydrogen atom is preferable.

前記一般式(G)中のAとしては、2価の有機残基であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有していてもよい2価のアルキレン基などが挙げられる。前記2価の有機残基としては、具体的には、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基などが挙げられる。これらの中でもメチレン基が好ましい。
前記一般式(G)中のXとしては、酸素原子が好ましい。
A in the general formula (G) is not particularly limited as long as it is a divalent organic residue, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, it may have a substituent 2 And a valent alkylene group. Specific examples of the divalent organic residue include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, and a butylene group. Among these, a methylene group is preferable.
X in the general formula (G) is preferably an oxygen atom.

前記一般式(G)中のR12の1価の有機基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 The monovalent organic group R 12 in the general formula (G), not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, for example, like an alkyl group which may have a substituent It is done. Among these, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable.

前記一般式(G)で表される化合物の具体例を以下に示す。
Specific examples of the compound represented by the general formula (G) are shown below.

前記エチレン性不飽和基の前記ポリウレタン樹脂における導入量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、ビニル基当量としては、0.05mmol/g〜3.0mmol/gが好ましく、0.2mmol/g〜2.7mmol/gがより好ましく、0.5mmol/g〜2.5mmol/gが特に好ましい。   The amount of the ethylenically unsaturated group introduced into the polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. The vinyl group equivalent is 0.05 mmol / g to 3.0 mmol / g. Is preferable, 0.2 mmol / g to 2.7 mmol / g is more preferable, and 0.5 mmol / g to 2.5 mmol / g is particularly preferable.

−アルカリ現像性ユニット−
前記アルカリ現像性樹脂としてのポリウレタン樹脂は、側鎖にカルボキシル基を有するアルカリ現像性ユニットを有することが好ましい。
前記アルカリ現像性ユニットとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、下記一般式(II)で表されるユニットが好ましい。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、水素原子又はアルキル基を表し、R及びRは、各々独立に、単結合、エーテル基、エステル基、アミド基、カーボネート基を有していてもよいアルキレン基、及びカーボネート基を有していてもよいアリーレン基のいずれかを表す。
-Alkali developable unit-
The polyurethane resin as the alkali-developable resin preferably has an alkali-developable unit having a carboxyl group in the side chain.
There is no restriction | limiting in particular as said alkali developable unit, Although it can select suitably according to the objective, The unit represented by the following general formula (II) is preferable.
However, in the general formula (II), R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and R 2 and R 3 each independently have a single bond, an ether group, an ester group, an amide group, or a carbonate group. It represents either an alkylene group that may be present or an arylene group that may have a carbonate group.

前記一般式(II)において、Rにおけるアルキル基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、炭素数1〜10が好ましく、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、などが挙げられる。
前記アルキル基に導入可能な置換基としては、例えばハロゲン原子(−F、−Br、−Cl、−I)、シアノ基、ニトロ基などが挙げられる。
前記一般式(II)において、R及びRにおけるアルキレン基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、炭素数1〜10が好ましく、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、などが挙げられる。
及びRにおけるアリーレン基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、炭素数6〜15が好ましく、例えばフェニレン基、などが挙げられる。
In the general formula (II), the alkyl group in R 1 is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, and preferably has 1 to 10 carbon atoms, such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, Etc.
Examples of the substituent that can be introduced into the alkyl group include a halogen atom (—F, —Br, —Cl, —I), a cyano group, a nitro group, and the like.
In the general formula (II), the alkylene group in R 2 and R 3 is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, and preferably has 1 to 10 carbon atoms, such as a methylene group, an ethylene group, A propylene group, a butylene group, etc. are mentioned.
The arylene group for R 2 and R 3, are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, 6 to 15 carbon atoms are preferred, such as a phenylene group, and the like.

前記ポリウレタン樹脂の側鎖に、前記アルカリ現像性ユニットを導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖にカルボキシル基を有するジオール化合物を用いる方法などが挙げられる。   The method for introducing the alkali-developable unit into the side chain of the polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, as a raw material for producing a polyurethane resin, a carboxyl group in the side chain The method using a diol compound having

前記側鎖にカルボキシル基を有するジオール化合物としては、例えば、下記一般式(IV)で表される化合物が挙げられる。
ただし、前記一般式(IV)中、Zは、3価以上の原子を表す。L及びLは、各々独立に、単結合又は置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、L及びLの双方が単結合となることはない。Lは、単結合又は連結基を表す。nは、1〜5の整数を表す。
Examples of the diol compound having a carboxyl group in the side chain include compounds represented by the following general formula (IV).
However, in said general formula (IV), Z represents a trivalent or more atom. L 3 and L 4 each independently represents an alkylene group which may have a single bond or a substituent, and both L 3 and L 4 do not become a single bond. L 5 represents a single bond or a linking group. n represents an integer of 1 to 5.

前記一般式(IV)において、Zは、3価以上の原子を表す。前記3価以上の原子としては、例えば、窒素原子、炭素原子、ケイ素原子、などが挙げられる。これらの中でも、窒素原子、炭素原子が特に好ましい。ここで、Zで表される原子が3価以上であるとは、少なくともZが、L、L及びLを介して末端−COOHが結合する3つの結合手を有することを意味するが、Zは、更に水素原子、又は置換基を有していてもよい。
Zに導入可能な置換基としては、水素原子、酸素原子、硫黄原子、窒素原子及びハロゲン原子から選択される原子を含んで構成される置換基が挙げられる。これらの中でも、炭素原子数1〜50の炭化水素基が好ましく、炭素原子数1〜40の炭化水素基がより好ましく、炭素原子数1〜30の炭化水素基が特に好ましい。
In the general formula (IV), Z represents a trivalent or higher valent atom. Examples of the trivalent or higher atom include a nitrogen atom, a carbon atom, and a silicon atom. Among these, a nitrogen atom and a carbon atom are particularly preferable. Here, the atom represented by Z is trivalent or more means that at least Z has three bonds to which the terminal —COOH is bonded through L 3 , L 4 and L 5. , Z may further have a hydrogen atom or a substituent.
Examples of the substituent that can be introduced into Z include a substituent including an atom selected from a hydrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, a nitrogen atom, and a halogen atom. Among these, a hydrocarbon group having 1 to 50 carbon atoms is preferable, a hydrocarbon group having 1 to 40 carbon atoms is more preferable, and a hydrocarbon group having 1 to 30 carbon atoms is particularly preferable.

前記一般式(IV)におけるL及びLは、各々独立に、単結合又は置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、L及びLの双方が単結合となることはない。前記アルキレン基としては、炭素原子数1〜20のアルキレン基であることが好ましく、炭素原子数2〜10のアルキレン基であることがより好ましい。前記アルキレン基に導入可能な置換基としては、例えばハロゲン原子(−F、−Br、−Cl、−I)、置換基を有していてもよいアルキル基、などが挙げられる。 L 3 and L 4 in the general formula (IV) each independently represent a single bond or an alkylene group which may have a substituent, and both L 3 and L 4 do not become a single bond. . The alkylene group is preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms. Examples of the substituent that can be introduced into the alkylene group include a halogen atom (—F, —Br, —Cl, —I), an alkyl group that may have a substituent, and the like.

前記一般式(IV)において、Lは、単結合又は連結基を表す。Lで表される連結基は、炭素原子、水素原子、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子から選択される1以上の原子を含んで構成される連結基が挙げられる。具体的には、Lで表される連結基の主骨格を構成する原子数が、1〜30が好ましく、1〜25がより好ましく、1〜20が更に好ましく、1〜10が特に好ましい。なお、本発明において、前記「連結基の主骨格」とは、前記一般式(IV)におけるZと末端COOHとを連結するためのみに使用される原子又は原子団を意味し、連結経路が複数ある場合には、使用される原子数が最も少ない経路を構成する原子又は原子団を指す。 In the general formula (IV), L 5 represents a single bond or a linking group. Examples of the linking group represented by L 5 include a linking group including one or more atoms selected from a carbon atom, a hydrogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom. Specifically, the number of atoms constituting the main skeleton of the linking group represented by L 5 is preferably 1 to 30, more preferably 1 to 25, still more preferably 1 to 20, and particularly preferably 1 to 10. In the present invention, the “main skeleton of the linking group” means an atom or an atomic group used only for linking Z and the terminal COOH in the general formula (IV), and there are a plurality of linking paths. In some cases, it refers to an atom or atomic group that constitutes a pathway that uses the least number of atoms.

前記側鎖にカルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、3,5−ジヒドロキシ安息香酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)、2,2−ビス(2−ヒドロキシエチル)プロピオン酸、2,2−ビス(3−ヒドロキシプロピル)プロピオン酸、ビス(ヒドロキシメチル)酢酸、ビス(4−ヒドロキシフェニル)酢酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)酪酸、4,4−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ペンタン酸、酒石酸、N,N−ジヒドロキシエチルグリシン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−カルボキシ−プロピオンアミド、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)が特に好ましい。   The diol compound having a carboxyl group in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include 3,5-dihydroxybenzoic acid and 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid. (DMBA), 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA), 2,2-bis (2-hydroxyethyl) propionic acid, 2,2-bis (3-hydroxypropyl) propionic acid, bis (hydroxy Methyl) acetic acid, bis (4-hydroxyphenyl) acetic acid, 2,2-bis (hydroxymethyl) butyric acid, 4,4-bis (4-hydroxyphenyl) pentanoic acid, tartaric acid, N, N-dihydroxyethylglycine, N, N-bis (2-hydroxyethyl) -3-carboxy-propionamide, and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) are particularly preferable.

前記一般式(II)で表されるアルカリ現像性ユニットの前記ポリウレタン樹脂における含有量は、特に制限はないが、ポリウレタン樹脂の全構造単位を100mol%とした場合に、前記一般式(II)で表されるアルカリ現像性ユニットを80mol%以下含有することが好ましく、2mol%〜70mol%含有することがより好ましい。   The content of the alkali-developable unit represented by the general formula (II) in the polyurethane resin is not particularly limited, but when the total structural unit of the polyurethane resin is 100 mol%, the content of the general formula (II) The alkali-developable unit represented is preferably contained in an amount of 80 mol% or less, and more preferably 2 mol% to 70 mol%.

前記アルカリ現像性樹脂としての主鎖の末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有し、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂は、例えば、ジオール化合物、ジイソシアネート化合物、及び少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を重合させることにより得られる。   The polyurethane resin having at least one carboxyl group at the end of the main chain as the alkali developable resin and having an ethylenically unsaturated group in the side chain is, for example, a diol compound, a diisocyanate compound, and at least one carboxyl group. It is obtained by polymerizing a carboxylic acid compound having

−ジオール化合物−
前記ジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物、カルボキシル基を有するジオール化合物、側鎖にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
-Diol compound-
The diol compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose.For example, a polyether diol compound, a polyester diol compound, a polycarbonate diol compound, a diol compound having a carboxyl group, and an ethylenic group on the side chain. Examples thereof include a diol compound having a saturated group. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

前記ポリエーテルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0068〕〜〔0076〕に記載された化合物などが挙げられる。具体的には、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ペンタエチレングリコール、ヘキサエチレングリコール、ヘプタエチレングリコール、オクタエチレングリコール、ジ−1,2−プロピレングリコール、トリ−1,2−プロピレングリコール、テトラ−1,2−プロピレングリコール、ヘキサ−1,2−プロピレングリコール、ジ−1,3−プロピレングリコール、トリ−1,3−プロピレングリコール、テトラ−1,3−プロピレングリコール、ジ−1,3−ブチレングリコール、トリ−1,3−ブチレングリコール、ヘキサ−1,3−ブチレングリコール、重量平均分子量1000のポリエチレングリコール、重量平均分子量1500のポリエチレングリコール、重量平均分子量2000のポリエチレングリコール、重量平均分子量3000のポリエチレングリコール、重量平均分子量7500のポリエチレングリコール、重量平均分子量400のポリプロピレングリコール、重量平均分子量700のポリプロピレングリコール、重量平均分子量1000のポリプロピレングリコール、重量平均分子量2000のポリプロピレングリコール、重量平均分子量3000のポリプロピレングリコール、重量平均分子量4000のポリプロピレングリコールなどが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polyether diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph [0068]-[0076] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 etc. are mentioned. It is done. Specifically, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, pentaethylene glycol, hexaethylene glycol, heptaethylene glycol, octaethylene glycol, di-1,2-propylene glycol, tri-1,2-propylene glycol, tetra -1,2-propylene glycol, hexa-1,2-propylene glycol, di-1,3-propylene glycol, tri-1,3-propylene glycol, tetra-1,3-propylene glycol, di-1,3- Butylene glycol, tri-1,3-butylene glycol, hexa-1,3-butylene glycol, polyethylene glycol having a weight average molecular weight of 1000, polyethylene glycol having a weight average molecular weight of 1500, polyethylene having a weight average molecular weight of 2000 Ethylene glycol, polyethylene glycol having a weight average molecular weight of 3000, polyethylene glycol having a weight average molecular weight of 7500, polypropylene glycol having a weight average molecular weight of 400, polypropylene glycol having a weight average molecular weight of 700, polypropylene glycol having a weight average molecular weight of 1000, polypropylene glycol having a weight average molecular weight of 2000 And polypropylene glycol having a weight average molecular weight of 3000 and polypropylene glycol having a weight average molecular weight of 4000.

前記ポリエステルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0077〕〜〔0079〕、段落〔0083〕〜〔0085〕におけるNo.1〜No.8及びNo.13〜No.18に記載された化合物などが挙げられる。   The polyester diol compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include paragraphs [0077] to [0079] and paragraphs [0083] to [0085] of JP-A-2005-250438. No. 1-No. 8 and no. 13-No. 18 and the like.

前記ポリカーボネートジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0080〕〜〔0081〕及び段落〔0084〕におけるNo.9〜No.12で記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polycarbonate diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 Paragraph [0080]-[0081] and Paragraph [0084] No. 9-No. 12 and the like.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物としては、上述したエチレン性不飽和基で説明した側鎖にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物と同様のものが挙げられる。
前記カルボキシル基を有するジオール化合物としては、上記一般式(IV)で示すものが挙げられる。
Examples of the diol compound having an ethylenically unsaturated group in the side chain include those similar to the diol compound having an ethylenically unsaturated group in the side chain described above for the ethylenically unsaturated group.
Examples of the diol compound having a carboxyl group include those represented by the general formula (IV).

前記ポリウレタン樹脂を得る際には、上述したジオール化合物の他に、イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物を併用することもできる。
前記イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0087〕〜〔0088〕に記載された化合物などが挙げられる。
When obtaining the said polyurethane resin, the diol compound which has a substituent which does not react with an isocyanate group other than the diol compound mentioned above can also be used together.
There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has a substituent which does not react with the said isocyanate group, According to the objective, it can select suitably, For example, Paragraph [0087]-[0088] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 And the compounds described.

また、前記ポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物を併用することもできる。
前記テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0095〕〜〔0101〕に記載された化合物などが挙げられる。
Moreover, in the synthesis | combination of the said polyurethane resin, the compound which ring-opened tetracarboxylic dianhydride with the diol compound other than the diol compound mentioned above can also be used together.
The compound obtained by ring-opening the tetracarboxylic dianhydride with a diol compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, JP-A-2005-250438, paragraph [0095] to And the compounds described in [0101].

−ジイソシアネート化合物−
前記ジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することできるが、例えば、下記一般式(V)で表されるジイソシアネート化合物などが好ましい。
<一般式(V)>
OCN−L−NCO
ただし、前記一般式(V)中、Lは、置換基を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表す。Lは、必要に応じて、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基を有していてもよい。
-Diisocyanate compound-
There is no restriction | limiting in particular as said diisocyanate compound, Although it can select suitably according to the objective, For example, the diisocyanate compound etc. which are represented with the following general formula (V) are preferable.
<General formula (V)>
OCN-L 6 -NCO
In the general formula (V), L 6 represents a also may divalent substituted aliphatic or aromatic hydrocarbon group. L 6 may have another functional group that does not react with an isocyanate group, for example, an ester group, a urethane group, an amide group, or a ureido group, if necessary.

前記一般式(V)で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記アルカリ現像性樹脂としてのポリウレタン樹脂に、下記一般式(VI)で表される基を含ませることができる点で、下記一般式(VI)で表される基を含むことが好ましい。
ただし、前記一般式(VI)中、Xは、直接結合、−CH−、−C(CH−、−SO−、−S−、−CO−、又は−O−を示す。Yは、−NH−、−NHCO−、−NHCOO−、−CONH−、又は−OCONH−を示す。R11、R12、R13、及びR14は、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよく、それぞれ水素原子、一価の有機基、ハロゲン原子、−OR15、―N(R16)(R17)、又は−SR18を表し、R15、R16、R17、及びR18は、水素原子、又は一価の有機基を表す。
There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound represented by the said general formula (V), Although it can select suitably according to the objective, The following general formula (VI) is used for the polyurethane resin as said alkali developable resin. It is preferable that the group represented by the following general formula (VI) is included at the point which can contain the group represented.
However, in the general formula (VI), X represents a direct bond, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —SO 2 —, —S—, —CO—, or —O—. Y represents —NH—, —NHCO—, —NHCOO—, —CONH—, or —OCONH—. R 11 , R 12 , R 13 , and R 14 may be the same as or different from each other, and are each a hydrogen atom, a monovalent organic group, a halogen atom, —OR 15 , —N (R 16) (R 17), or an -SR 18, R 15, R 16 , R 17, and R 18 represents a hydrogen atom, or a monovalent organic group.

前記Xとしては、現像性の観点で、−CH−、−O−が好ましく、−CH−が特に好ましい。
前記R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、及びR18における一価の有機基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、−OR19(ただし、R19は一価の有機基を表す)、アリール基、アリールオキシ基、アリールアミノ基、ジアリールアミノ基などが挙げられる。
前記ハロゲン原子としては、例えば、フッ素、塩素、臭素などが挙げられる。
前記R11、R12、R13、及びR14としては、解像性の観点から、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、−OR19が好ましく、水素原子が特に好ましい。
X is preferably —CH 2 — or —O—, particularly preferably —CH 2 —, from the viewpoint of developability.
The monovalent organic group in R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 , R 16 , R 17 , and R 18 is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, —OR 19 (where R 19 represents a monovalent organic group), aryl group, aryloxy group, arylamino group, diarylamino Group and the like.
Examples of the halogen atom include fluorine, chlorine, bromine and the like.
Wherein R 11, R 12, R 13 , and as R 14, from the viewpoint of resolution, a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, preferably -OR 19, hydrogen atom is particularly preferred.

前記一般式(VI)で表される芳香族基の質量組成比率としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20質量%以上が好ましく、20質量%〜70質量%がより好ましい。なお、前記芳香族基の質量組成比率は、前記一般式(VI)で表される構造単位を含む場合は、Xは、芳香族に含めて計算する比率を表す。   There is no restriction | limiting in particular as mass composition ratio of the aromatic group represented by the said general formula (VI), Although it can select suitably according to the objective, 20 mass% or more is preferable and 20 mass%-70 mass. % Is more preferable. In addition, when the mass composition ratio of the said aromatic group contains the structural unit represented by the said general formula (VI), X represents the ratio calculated by including in an aromatic.

前記一般式(V)で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、2,4−トリレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネートの二量体、2,6−トリレンジジイソシアネート、p−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)、1,5−ナフチレンジイソシアネート、3,3’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート化合物;ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物;イソホロンジイソシアネート、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、メチルシクロヘキサン−2,4(又は2,6)ジイソシアネート、1,3−(イソシアネートメチル)シクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート化合物;1,3−ブチレングリコール1モルとトリレンジイソシアネート2モルとの付加体等のジオールとジイソシアネートとの反応物であるジイソシアネート化合物;などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、硬度の点で芳香族ジイソシアネート化合物が好ましく、2,4−トリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)が特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound represented by the said general formula (V), According to the objective, it can select suitably, For example, the dimer of 2, 4- tolylene diisocyanate and 2, 4- tolylene diisocyanate 2,6-tolylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI), 1,5-naphthylene diisocyanate, 3,3′-dimethylbiphenyl-4 Aromatic diisocyanate compounds such as 4,4'-diisocyanate; aliphatic diisocyanate compounds such as hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, lysine diisocyanate, dimer acid diisocyanate; isophorone diisocyanate, 4,4 ' Alicyclic diisocyanate compounds such as methylene bis (cyclohexyl isocyanate), methylcyclohexane-2,4 (or 2,6) diisocyanate, 1,3- (isocyanatomethyl) cyclohexane; 1 mol of 1,3-butylene glycol and tolylene diisocyanate 2 A diisocyanate compound which is a reaction product of a diol such as an adduct with a mole and a diisocyanate; These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, an aromatic diisocyanate compound is preferable in terms of hardness, and 2,4-tolylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, and 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI) are particularly preferable.

また、前記一般式(V)で表されるジイソシアネート化合物としては、例えば、トリイソシアネート化合物と、エチレン性不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させて得られる生成物などが挙げられる。
前記トリイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0034〕〜〔0035〕に記載された化合物などが挙げられる。
前記エチレン性不飽和基を有する単官能のアルコール又は前記単官能のアミン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落〔0037〕〜〔0040〕に記載された化合物などが挙げられる。
The diisocyanate compound represented by the general formula (V) is obtained by, for example, subjecting a triisocyanate compound and one equivalent of a monofunctional alcohol or monofunctional amine compound having an ethylenically unsaturated group to an addition reaction. Products to be obtained.
The triisocyanate compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds described in paragraphs [0034] to [0035] of JP-A-2005-250438. .
The monofunctional alcohol having the ethylenically unsaturated group or the monofunctional amine compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, paragraphs of JP 2005-250438 A [ 0037] to [0040] and the like.

−主鎖の末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有し、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂の製造方法−
前記ポリウレタン樹脂の製造方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、上記ジイソシアネート化合物、上記ジオール化合物、上記カルボン酸化合物、及び必要に応じてその他の共重合成分を、非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知の触媒を添加し、加熱することにより合成する方法などが挙げられる。合成に使用されるジイソシアネート及びジオール化合物のモル比(M:M)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1:1〜1.2:1が好ましく、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、分子量あるいは粘度といった所望の物性の生成物が、最終的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。
-Method for producing a polyurethane resin having at least one carboxyl group at the end of the main chain and having an ethylenically unsaturated group in the side chain-
There is no restriction | limiting in particular as a manufacturing method of the said polyurethane resin, According to the objective, it can select suitably, For example, the said diisocyanate compound, the said diol compound, the said carboxylic acid compound, and other copolymerization components as needed And a method in which a known catalyst having an activity corresponding to each reactivity is added in an aprotic solvent and heated. The molar ratio of the diisocyanate used in the synthesis and the diol compound: As the (M a M b), is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, 1: 1 to 1.2: 1, preferably By treatment with alcohols or amines, a product having desired physical properties such as molecular weight or viscosity is synthesized in a form in which no isocyanate group remains finally.

前記アルカリ現像性樹脂としてのポリウレタン樹脂の重量平均分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5,000〜60,000が好ましく、5,000〜50,000がより好ましく、5,000〜30,000が特に好ましい。前記重量平均分子量が、5,000未満であると、硬化膜の高温時の十分な低弾性率が得られないことがあり、60,000を超えると、塗布適性及び現像性が悪化することがある。
ここで、前記重量平均分子量は、例えば、高速GPC装置(東洋曹達株式会社製、HLC−802A)を使用して、0.5質量%のテトラヒドロフラン(THF)溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgel HZM−M 1本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25℃で屈折率検出器又はUV検出器(検出波長254nm)により測定する。次に、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より重量平均分子量を求めることができる。
There is no restriction | limiting in particular as a weight average molecular weight of the polyurethane resin as said alkali developable resin, Although it can select suitably according to the objective, 5,000-60,000 are preferable and 5,000-50,000 are preferable. Is more preferable, and 5,000 to 30,000 is particularly preferable. When the weight average molecular weight is less than 5,000, a sufficiently low elastic modulus at a high temperature of the cured film may not be obtained, and when it exceeds 60,000, coating suitability and developability may deteriorate. is there.
Here, the weight average molecular weight is, for example, a high-speed GPC apparatus (HLC-802A, manufactured by Toyo Soda Co., Ltd.), a 0.5% by mass tetrahydrofuran (THF) solution is used as a sample solution, and the column is TSKgel HZM. -Using one M, inject 200 μL of sample, elute with the THF solution, and measure at 25 ° C. with a refractive index detector or UV detector (detection wavelength 254 nm). Next, the weight average molecular weight can be determined from the molecular weight distribution curve calibrated with standard polystyrene.

前記アルカリ現像性樹脂の酸価としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20mgKOH/g〜120mgKOH/gが好ましく、30mgKOH/g〜110mgKOH/gがより好ましく、35mgKOH/g〜100mgKOH/gが特に好ましい。前記酸価が、20mgKOH/g未満であると、現像性が不十分となることがあり、120mgKOH/gを超えると、現像速度が高すぎるため現像のコントロールが難しくなることがある。
前記酸価は、例えば、JIS K0070に準拠して測定することができる。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。
The acid value of the alkali-developable resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but is preferably 20 mgKOH / g to 120 mgKOH / g, more preferably 30 mgKOH / g to 110 mgKOH / g, / G to 100 mg KOH / g is particularly preferred. If the acid value is less than 20 mgKOH / g, the developability may be insufficient, and if it exceeds 120 mgKOH / g, the development speed may be too high, and the development control may be difficult.
The acid value can be measured, for example, according to JIS K0070. However, when the sample does not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran is used as a solvent.

前記アルカリ現像性樹脂の前記感光性組成物固形分中の含有量は、5質量%〜80質量%が好ましく、30質量%〜60質量%がより好ましい。前記含有量が、5質量%以上であれば、現像性、露光感度が良好となり、80質量%以下であれば、感光層の粘着性が強くなりすぎることを防止できる。   5 mass%-80 mass% are preferable, and, as for content in the said photosensitive composition solid content of the said alkali developable resin, 30 mass%-60 mass% are more preferable. When the content is 5% by mass or more, developability and exposure sensitivity are good, and when the content is 80% by mass or less, the adhesiveness of the photosensitive layer can be prevented from becoming too strong.

<重合性化合物>
前記重合性化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、エチレン性不飽和基を1つ以上有する化合物が好ましい。
<Polymerizable compound>
There is no restriction | limiting in particular as said polymeric compound, Although it can select suitably according to the objective, The compound which has one or more ethylenically unsaturated groups is preferable.

前記エチレン性不飽和基を有する官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基、ビニルフェニル基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基、アリルエーテル基、アリルエステル基などが挙げられる。   Examples of the functional group having an ethylenically unsaturated group include acryloyl group, methacryloyl group, acrylamide group, methacrylamide group, vinylphenyl group, vinyl ester group, vinyl ether group, allyl ether group, and allyl ester group. .

前記エチレン性不飽和結合を1つ以上有する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、(メタ)アクリル基を有するモノマーから選択される少なくとも1種が好適に挙げられる。   The compound having one or more ethylenically unsaturated bonds is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, at least one selected from monomers having a (meth) acryl group is Preferably mentioned.

前記(メタ)アクリル基を有するモノマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタンジメチロールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパン、グリセリン、ビスフェノール等の多官能アルコールに、エチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加反応した後で(メタ)アクリレート化したもの;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレートやメタクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタンジメチロールジ(メタ)アクリレートが特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as a monomer which has the said (meth) acryl group, According to the objective, it can select suitably, For example, polyethyleneglycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) ) Monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as acrylates; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, dicyclopentane dimethylol di (meth) acrylate, trimethylol ethane triacrylate, trimethylol propane triacrylate , Trimethylolpropane diacrylate, neopentylglycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate , Tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; polyfunctional alcohols such as trimethylolpropane, glycerin, bisphenol, and (meth) acrylate after addition reaction of ethylene oxide and propylene oxide; epoxy Examples thereof include polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of resin and (meth) acrylic acid. Among these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dicyclopentane dimethylol di (meth) acrylate Particularly preferred.

前記重合性化合物の前記感光性組成物固形分中の含有量は、5質量%〜50質量%が好ましく、10質量%〜40質量%がより好ましい。前記含有量が5質量%以上であれば、現像性、露光感度が良好となり、50質量%以下であれば、感光層の粘着性が強くなりすぎることを防止できる。   5 mass%-50 mass% are preferable, and, as for content in the said photosensitive composition solid content of the said polymeric compound, 10 mass%-40 mass% are more preferable. When the content is 5% by mass or more, developability and exposure sensitivity are good, and when the content is 50% by mass or less, the adhesiveness of the photosensitive layer can be prevented from becoming too strong.

<光重合開始剤>
前記光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましく、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、前記光重合開始剤は、波長約300nm〜800nmの範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する成分を少なくとも1種含有していることが好ましい。前記波長は330nm〜500nmがより好ましい。
前記光重合開始剤としては、中性の光重合開始剤が好ましい。また、必要に応じてその他の光重合開始剤を含んでいてもよい。
<Photopolymerization initiator>
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate the polymerization of the polymerizable compound, and can be appropriately selected according to the purpose. Those having photosensitivity are preferable, and may be an activator that generates an active radical by causing some action with a photoexcited sensitizer, and is an initiator that initiates cationic polymerization according to the type of monomer. May be.
The photopolymerization initiator preferably contains at least one component having a molecular extinction coefficient of at least about 50 within a wavelength range of about 300 nm to 800 nm. The wavelength is more preferably 330 nm to 500 nm.
As said photoinitiator, a neutral photoinitiator is preferable. Moreover, the other photoinitiator may be included as needed.

前記中性の光重合開始剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、少なくとも芳香族基を有する化合物であることが好ましく、(ビス)アシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物であることがより好ましい。前記中性の光重合開始剤は、2種以上を併用してもよい。   The neutral photopolymerization initiator is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but is preferably a compound having at least an aromatic group, such as (bis) acylphosphine oxide or an ester thereof. More preferred are acetophenone compounds, benzophenone compounds, benzoin ether compounds, ketal derivative compounds, and thioxanthone compounds. Two or more neutral photopolymerization initiators may be used in combination.

前記光重合開始剤としては、例えば、(ビス)アシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物などが挙げられる。これらの中でも、感光層の感度、保存性、及び感光層とプリント配線板形成用基板との密着性等の観点から、オキシム誘導体、(ビス)アシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物が好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator include (bis) acylphosphine oxide or esters thereof, acetophenone compounds, benzophenone compounds, benzoin ether compounds, ketal derivative compounds, thioxanthone compounds, oxime derivatives, organic peroxides, thiols, and the like. Compound etc. are mentioned. Among these, from the viewpoints of the sensitivity and storage stability of the photosensitive layer and the adhesion between the photosensitive layer and the printed wiring board forming substrate, oxime derivatives, (bis) acylphosphine oxide or esters thereof, acetophenone compounds, benzophenone Of these compounds, benzoin ether compounds, ketal derivative compounds, and thioxanthone compounds are preferred.

前記(ビス)アシルホスフィンオキシド、前記アセトフェノン系化合物、前記ベンゾフェノン系化合物、前記ベンゾインエーテル系化合物、前記ケタール誘導体化合物、前記チオキサントン化合物としては、例えば、特開2010−256399号公報の段落〔0042〕に記載された(ビス)アシルホスフィンオキシド、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物などが挙げられる。   Examples of the (bis) acylphosphine oxide, the acetophenone compound, the benzophenone compound, the benzoin ether compound, the ketal derivative compound, and the thioxanthone compound include, for example, paragraph [0042] of JP 2010-256399 A Examples thereof include (bis) acylphosphine oxides, acetophenone compounds, benzophenone compounds, benzoin ether compounds, ketal derivative compounds, and thioxanthone compounds.

前記オキシム誘導体としては、例えば、特開2010−256399号公報の段落〔0043〕〜〔0059〕に記載されたオキシム誘導体などが挙げられる。   Examples of the oxime derivative include oxime derivatives described in paragraphs [0043] to [0059] of JP2010-256399A.

前記光重合開始剤は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
前記光重合開始剤の前記感光性組成物固形分中の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.1質量%〜30質量%が好ましく、0.5質量%〜20質量%がより好ましく、0.5質量%〜15質量%が特に好ましい。
The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition solid content of the said photoinitiator, Although it can select suitably according to the objective, 0.1 mass%-30 mass% are preferable, 0 0.5 mass% to 20 mass% is more preferable, and 0.5 mass% to 15 mass% is particularly preferable.

<熱架橋剤>
前記熱架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、感光層の硬化後の膜強度を改良するために、現像性等に悪影響を与えない範囲で、例えば、エポキシ化合物(例えば、1分子内に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物)、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物を用いることができ、特開2007−47729号公報に記載されているようなオキシラン基を有するエポキシ化合物、β位にアルキル基を有するエポキシ化合物、オキセタニル基を有するオキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート又はその誘導体のイソシアネート基にブロック剤を反応させて得られる化合物(ブロック化ポリイソシアネート化合物)、オキサゾリン誘導体などが挙げられる。
<Thermal crosslinking agent>
The thermal crosslinking agent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose.In order to improve the film strength after curing of the photosensitive layer, in a range that does not adversely affect developability, for example, An epoxy compound (for example, an epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule), an oxetane compound having at least two oxetanyl groups in one molecule can be used, and is described in JP-A-2007-47729. A compound obtained by reacting a blocking agent with an isocyanate group of an epoxy compound having an oxirane group, an epoxy compound having an alkyl group at the β-position, an oxetane compound having an oxetanyl group, a polyisocyanate compound, a polyisocyanate or a derivative thereof ( Blocked polyisocyanate compound), oxazoline derivative And the like.

また、前記熱架橋剤として、メラミン誘導体を用いることができる。該メラミン誘導体としては、例えば、メチロールメラミン、アルキル化メチロールメラミン(メチロール基を、メチル、エチル、ブチル等でエーテル化した化合物)などが挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、保存安定性が良好で、感光層の表面硬度あるいは硬化膜の膜強度自体の向上に有効である点で、アルキル化メチロールメラミンが好ましく、ヘキサメチル化メチロールメラミンが特に好ましい。   Moreover, a melamine derivative can be used as the thermal crosslinking agent. Examples of the melamine derivative include methylol melamine, alkylated methylol melamine (a compound obtained by etherifying a methylol group with methyl, ethyl, butyl or the like). These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, alkylated methylol melamine is preferable and hexamethylated methylol melamine is particularly preferable in that it has good storage stability and is effective in improving the surface hardness of the photosensitive layer or the film strength itself of the cured film.

前記エポキシ化合物としては、例えば、1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも1分子中に2つ含むエポキシ化合物などが挙げられる。   Examples of the epoxy compound include an epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule and an epoxy compound having at least two epoxy groups having an alkyl group at the β-position in one molecule.

前記1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポトートYDF−170、東都化成株式会社製)、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂(「YX4000、ジャパンエポキシレジン社製」等)又はこれらの混合物、イソシアヌレート骨格等を有する複素環式エポキシ樹脂(「TEPIC、日産化学工業株式会社製」、「アラルダイトPT810、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製」等)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾ−ルノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂(例えば低臭素化エポキシ樹脂、高ハロゲン化エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂など)、ビスフェノール縮合型エポキシ樹脂(「VG−3101;プリンテック株式会社製」等)、アリル基含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジフェニルジメタノール型エポキシ樹脂、フェノールビフェニレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(「HP−7200、HP−7200H;大日本インキ化学工業株式会社製」等)、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(ジアミノジフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジグリシジルアニリン、トリグリシジルアミノフェノール等)、グリジジルエステル型エポキシ樹脂(フタル酸ジグリシジルエステル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステル等)ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ジシクロペンタジエンジエポキシド、「GT−300、GT−400、ZEHPE3150;ダイセル化学工業株式会社製」等、)、イミド型脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、グリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂(ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、4官能ナフタレン型エポキシ樹脂、市販品としては「ESN−190,ESN−360;新日鉄化学株式会社製」、「HP−4032,EXA−4750,EXA−4700;大日本インキ化学工業株式会社製」等)、フェノール化合物とジビニルベンゼンやジシクロペンタジエン等のジオレフィン化合物との付加反応によって得られるポリフェノール化合物と、エピクロルヒドリンとの反応物、4−ビニルシクロヘキセン−1−オキサイドの開環重合物を過酢酸等でエポキシ化したもの、線状含リン構造を有するエポキシ樹脂、環状含リン構造を有するエポキシ樹脂、α−メチルスチルベン型液晶エポキシ樹脂、ジベンゾイルオキシベンゼン型液晶エポキシ樹脂、アゾフェニル型液晶エポキシ樹脂、アゾメチンフェニル型液晶エポキシ樹脂、ビナフチル型液晶エポキシ樹脂、アジン型エポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂(「CP−50S,CP−50M;日本油脂株式会社製」等)、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートとの共重合エポキシ樹脂、ビス(グリシジルオキシフェニル)フルオレン型エポキシ樹脂、ビス(グリシジルオキシフェニル)アダマンタン型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the epoxy compound having at least two oxirane groups per molecule include, for example, bisphenol F type epoxy resin (Epototo YDF-170, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), bixylenol type or biphenol type epoxy resin (“YX4000, Japan Epoxy resin "etc.) or a mixture thereof, a heterocyclic epoxy resin having an isocyanurate skeleton, etc. (" TEPIC, Nissan Chemical Industries, Ltd. "," Araldite PT810, Ciba Specialty Chemicals "), Bisphenol A type epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin Resin, halogenated epoxy resin (for example, low brominated epoxy resin, highly halogenated epoxy resin, brominated phenol novolac type epoxy resin, etc.), bisphenol condensation type epoxy resin ("VG-3101; manufactured by Printec Co., Ltd."), Allyl group-containing bisphenol A type epoxy resin, trisphenolmethane type epoxy resin, diphenyldimethanol type epoxy resin, phenol biphenylene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin ("HP-7200, HP-7200H; Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) ”, Etc.), glycidylamine type epoxy resin (diaminodiphenylmethane type epoxy resin, diglycidylaniline, triglycidylaminophenol, etc.), glycidyl ester type epoxy resin (diglycidyl phthalate) Ester, adipic acid diglycidyl ester, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester, dimer acid diglycidyl ester, etc.) Hydantoin type epoxy resin, cycloaliphatic epoxy resin (3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexane) Carboxylate, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, dicyclopentadiene diepoxide, “GT-300, GT-400, ZEHPE3150; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.”, etc.), imide type alicyclic epoxy resin , Trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, tetraphenylol ethane type epoxy resin, glycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group included Epoxy resin (naphthol aralkyl type epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, tetrafunctional naphthalene type epoxy resin, commercially available products such as “ESN-190, ESN-360; manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.”, “HP-4032, EXA-” 4750, EXA-4700; manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), a reaction product of a polyphenol compound obtained by addition reaction of a phenol compound with a diolefin compound such as divinylbenzene or dicyclopentadiene, and epichlorohydrin, 4 -Ring-opening polymer of vinylcyclohexene-1-oxide epoxidized with peracetic acid or the like, epoxy resin having a linear phosphorus-containing structure, epoxy resin having a cyclic phosphorus-containing structure, α-methylstilbene type liquid crystal epoxy resin, Dibenzoyloxybenzene Liquid crystal epoxy resin, azophenyl type liquid crystal epoxy resin, azomethine phenyl type liquid crystal epoxy resin, binaphthyl type liquid crystal epoxy resin, azine type epoxy resin, glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin (“CP-50S, CP-50M; NOF Corporation) And the like, and a copolymerized epoxy resin of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, bis (glycidyloxyphenyl) fluorene type epoxy resin, bis (glycidyloxyphenyl) adamantane type epoxy resin, and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

また、1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有する前記エポキシ化合物以外に、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも1分子中に2つ含むエポキシ化合物を用いることができ、β位がアルキル基で置換されたエポキシ基(より具体的には、β−アルキル置換グリシジル基など)を含む化合物が特に好ましい。
前記β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも含むエポキシ化合物は、1分子中に含まれる2個以上のエポキシ基のすべてがβ−アルキル置換グリシジル基であってもよく、少なくとも1個のエポキシ基がβ−アルキル置換グリシジル基であってもよい。
In addition to the epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule, an epoxy compound containing at least two epoxy groups having an alkyl group at the β-position can be used, and the β-position is an alkyl group. Particularly preferred is a compound containing an epoxy group substituted with a (specifically, a β-alkyl-substituted glycidyl group or the like).
In the epoxy compound containing at least an epoxy group having an alkyl group at the β-position, all of two or more epoxy groups contained in one molecule may be a β-alkyl-substituted glycidyl group, and at least one epoxy group May be a β-alkyl-substituted glycidyl group.

前記オキセタン化合物としては、例えば、特開2010−256399号公報の段落〔0074〕に記載されたオキセタン化合物などが挙げられる。   Examples of the oxetane compound include oxetane compounds described in paragraph [0074] of JP2010-256399A.

前記ポリイソシアネート化合物としては、例えば、特開2010−256399号公報の段落〔0075〕に記載されたポリイソシアネート化合物などが挙げられる。   Examples of the polyisocyanate compound include the polyisocyanate compounds described in paragraph [0075] of JP2010-256399A.

前記ブロック化ポリイソシアネート化合物としては、例えば、特開2010−256399号公報の段落〔0076〕に記載された化合物などが挙げられる。   Examples of the blocked polyisocyanate compound include the compounds described in paragraph [0076] of JP2010-256399A.

前記オキサゾリン誘導体としては、例えば、1,3−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサゾリル)ベンゼン、1,4−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサゾリル)ベンゼン、2,2’−ビス(2−オキサゾリン)などが挙げられる。   Examples of the oxazoline derivative include 1,3-bis (4,5-dihydro-2-oxazolyl) benzene, 1,4-bis (4,5-dihydro-2-oxazolyl) benzene, and 2,2′-bis. (2-oxazoline) and the like.

前記メラミン誘導体としては、例えば、特開2010−256399号公報の段落〔0077〕に記載されたメラミン誘導体などが挙げられる。   Examples of the melamine derivative include melamine derivatives described in paragraph [0077] of JP 2010-256399 A.

前記熱架橋剤の前記感光性組成物固形分中の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1質量%〜50質量%が好ましく、3質量%〜30質量%がより好ましい。前記含有量が、1質量%以上であれば、硬化膜の膜強度が向上され、50質量%以下であれば、現像性、露光感度が良好となる。   There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition solid content of the said thermal crosslinking agent, Although it can select suitably according to the objective, 1 mass%-50 mass% are preferable, and 3 mass%- 30 mass% is more preferable. If the said content is 1 mass% or more, the film | membrane intensity | strength of a cured film will be improved, and if it is 50 mass% or less, developability and exposure sensitivity will become favorable.

<その他の成分>
前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、希釈剤、フィラー、熱硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤、着色剤(着色顔料あるいは染料)などが挙げられ、更に基材表面への密着促進剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を併用してもよい。
これらの成分を適宜含有させることにより、目的とする感光性フィルムの安定性、写真性、膜物性などの性質を調整することができる。
<Other ingredients>
There is no restriction | limiting in particular as said other component, According to the objective, it can select suitably, For example, a diluent, a filler, a thermosetting accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, a coloring agent (a coloring pigment or dye) Furthermore, adhesion promoters to the substrate surface and other auxiliary agents (for example, conductive particles, fillers, antifoaming agents, flame retardants, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances) , Surface tension adjusting agents, chain transfer agents, etc.) may be used in combination.
By appropriately containing these components, properties such as the stability, photographic properties, and film properties of the intended photosensitive film can be adjusted.

−希釈剤(溶媒)−
前記希釈剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、ノルマル−プロパノール、イソプロパノール、ノルマル−ブタノール、セカンダリーブタノール、ノルマル−ヘキサノール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジイソブチルケトン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸−ノルマル−アミル、硫酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安息香酸エチル、メトキシプロピルアセテート等のエステル類;トルエン、キシレン、ベンゼン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;四塩化炭素、トリクロロエチレン、クロロホルム、1,1,1−トリクロロエタン、塩化メチレン、モノクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類;テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール等のエーテル類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、スルホラン等が挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。また、公知の界面活性剤を添加してもよい。
前記希釈剤の前記感光性組成物中の含有量は、0.5質量%〜60質量%が好ましく、5質量%〜50質量%がより好ましい。
-Diluent (solvent)-
The diluent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include alcohols such as methanol, ethanol, normal-propanol, isopropanol, normal-butanol, secondary butanol, and normal-hexanol; acetone , Ketones such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, diisobutyl ketone; esters such as ethyl acetate, butyl acetate, acetic acid-normal amyl, methyl sulfate, ethyl propionate, dimethyl phthalate, ethyl benzoate, methoxypropyl acetate Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, benzene, ethylbenzene; carbon tetrachloride, trichloroethylene, chloroform, 1,1,1-trichloroethane, methylene chloride, monochlorobenzene Halogenated hydrocarbons; ethers such as tetrahydrofuran, diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 1-methoxy-2-propanol; dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, sulfolane, etc. . These may be used alone or in combination of two or more. Moreover, you may add a well-known surfactant.
0.5 mass%-60 mass% are preferable, and, as for content in the said photosensitive composition of the said diluent, 5 mass%-50 mass% are more preferable.

前記フィラーについては、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0098〕〜〔0099〕に詳細に記載されている。
前記熱重合禁止剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0101〕〜〔0102〕に詳細に記載されている。
前記熱硬化促進剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0093〕に詳細に記載されている。
前記可塑剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0103〕〜〔0104〕に詳細に記載されている。
前記着色剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0105〕〜〔0106〕に詳細に記載されている。
前記密着促進剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0107〕〜〔0109〕に詳細に記載されている。
The filler is described in detail, for example, in paragraphs [0098] to [0099] of JP-A-2008-250074.
The thermal polymerization inhibitor is described in detail, for example, in paragraphs [0101] to [0102] of JP-A-2008-250074.
The thermosetting accelerator is described in detail in paragraph [0093] of JP-A-2008-250074, for example.
The plasticizer is described in detail, for example, in paragraphs [0103] to [0104] of JP-A-2008-250074.
The colorant is described in detail, for example, in paragraphs [0105] to [0106] of JP-A-2008-250074.
The adhesion promoter is described in detail in, for example, paragraphs [0107] to [0109] of JP-A-2008-250074.

(感光性フィルム)
本発明の感光性フィルムは、少なくとも、支持体と、該支持体上に本発明の感光性組成物からなる感光層を有してなり、更に必要に応じてその他の層を有してなる。
(Photosensitive film)
The photosensitive film of the present invention comprises at least a support and a photosensitive layer comprising the photosensitive composition of the present invention on the support, and further comprises other layers as necessary.

−支持体−
前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光層を剥離可能であり、かつ光の透過性が良好であるものが好ましく、更に表面の平滑性が良好であることがより好ましい。
-Support-
The support is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. However, it is preferable that the photosensitive layer is peelable and has good light transmittance, and further has a smooth surface. Is more preferable.

前記支持体は、合成樹脂製で、かつ透明であるものが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、ポリ(メタ)アクリル酸アルキルエステル、ポリ(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、セロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド、ポリイミド、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリテトラフロロエチレン、ポリトリフロロエチレン、セルロース系フィルム、ナイロンフィルム等の各種のプラスチックフィルムが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   The support is preferably made of synthetic resin and transparent, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polypropylene, polyethylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate, poly (meth) acrylic acid alkyl ester, poly ( (Meth) acrylic acid ester copolymer, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polystyrene, cellophane, polyvinylidene chloride copolymer, polyamide, polyimide, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer, polytetrafluoroethylene, polytrifluoro Various plastic films, such as ethylene, a cellulose film, and a nylon film, are mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, polyethylene terephthalate is particularly preferable.

前記支持体の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、2μm〜150μmが好ましく、5μm〜100μmがより好ましく、8μm〜50μmが特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, For example, 2 micrometers-150 micrometers are preferable, 5 micrometers-100 micrometers are more preferable, 8 micrometers-50 micrometers are especially preferable.

前記支持体の形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、長尺状が好ましい。前記長尺状の支持体の長さは、特に制限はなく、例えば、10m〜20,000mの長さのものが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a shape of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, A long shape is preferable. There is no restriction | limiting in particular in the length of the said elongate support body, For example, the thing of the length of 10m-20,000m is mentioned.

−感光層−
前記感光層は、感光性組成物からなる層であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
また、前記感光層の積層数としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、1層であってもよく、2層以上であってもよい。
-Photosensitive layer-
If the said photosensitive layer is a layer which consists of photosensitive compositions, there will be no restriction | limiting in particular, According to the objective, it can select suitably.
Further, the number of laminated photosensitive layers is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, it may be one layer or two or more layers.

前記感光層の形成方法としては、前記支持体の上に、本発明の前記感光性組成物を、水又は溶剤に溶解、乳化又は分散させて感光性組成物溶液を調製し、該溶液を直接塗布し、乾燥させることにより積層する方法が挙げられる。   As a method for forming the photosensitive layer, a photosensitive composition solution is prepared by dissolving, emulsifying or dispersing the photosensitive composition of the present invention in water or a solvent on the support, and the solution is directly applied. The method of laminating | stacking by apply | coating and drying is mentioned.

前記感光性組成物溶液の溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記希釈剤と同様なものを用いることができる。   There is no restriction | limiting in particular as a solvent of the said photosensitive composition solution, According to the objective, it can select suitably, For example, the thing similar to the said diluent can be used.

前記塗布の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スピンコーター、スリットスピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーター等を用いて、前記支持体に直接塗布する方法が挙げられる。
前記乾燥の条件としては、各成分、溶媒の種類、使用割合等によっても異なるが、通常60℃〜110℃の温度で30秒間〜15分間程度である。
The application method is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, using a spin coater, slit spin coater, roll coater, die coater, curtain coater, etc. The method of apply | coating is mentioned.
The drying conditions vary depending on each component, the type of solvent, the use ratio, and the like, but are usually about 60 seconds to 110 ° C. for about 30 seconds to 15 minutes.

前記感光層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、1μm〜100μmが好ましく、2μm〜50μmがより好ましく、4μm〜30μmが特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, For example, 1 micrometer-100 micrometers are preferable, 2 micrometers-50 micrometers are more preferable, and 4 micrometers-30 micrometers are especially preferable.

<その他の層>
前記その他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、保護フィルム、熱可塑性樹脂層、バリア層、剥離層、接着層、光吸収層、表面保護層等の層が挙げられる。前記感光性フィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよく、2種以上を有していてもよい。
<Other layers>
The other layer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a protective film, a thermoplastic resin layer, a barrier layer, a release layer, an adhesive layer, a light absorbing layer, a surface protective layer, etc. Layer. The said photosensitive film may have these layers individually by 1 type, and may have 2 or more types.

<<保護フィルム>>
前記感光性フィルムは、前記感光層上に保護フィルムを形成してもよい。
前記保護フィルムとしては、例えば、前記支持体に使用されるもの、紙、ポリエチレン、ポリプロピレンがラミネートされた紙、などが挙げられ、これらの中でも、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが好ましい。
前記保護フィルムの厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、5μm〜100μmが好ましく、8μm〜50μmがより好ましく、10μm〜30μmが特に好ましい。
前記支持体と保護フィルムとの組合せ(支持体/保護フィルム)としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレン、ポリ塩化ビニル/セロフアン、ポリイミド/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレンテレフタレートなどが挙げられる。また、支持体及び保護フィルムの少なくともいずれかを表面処理することにより、層間接着力を調整することができる。前記支持体の表面処理は、前記感光層との接着力を高めるために施されてもよく、例えば、下塗層の塗設、コロナ放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、高周波照射処理、グロー放電照射処理、活性プラズマ照射処理、レーザ光線照射処理などを挙げることができる。
<< Protective film >>
The photosensitive film may form a protective film on the photosensitive layer.
Examples of the protective film include those used for the support, paper, paper laminated with polyethylene, polypropylene, and the like. Among these, polyethylene film and polypropylene film are preferable.
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said protective film, Although it can select suitably according to the objective, For example, 5 micrometers-100 micrometers are preferable, 8 micrometers-50 micrometers are more preferable, 10 micrometers-30 micrometers are especially preferable.
Examples of the combination of the support and the protective film (support / protective film) include polyethylene terephthalate / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene, polyvinyl chloride / cellophane, polyimide / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene terephthalate, and the like. . Moreover, interlayer adhesion can be adjusted by surface-treating at least one of the support and the protective film. The surface treatment of the support may be performed in order to increase the adhesive force with the photosensitive layer. For example, coating of a primer layer, corona discharge treatment, flame treatment, ultraviolet irradiation treatment, high frequency irradiation treatment, glow treatment Examples thereof include a discharge irradiation process, an active plasma irradiation process, and a laser beam irradiation process.

また、前記支持体と前記保護フィルムとの静摩擦係数は、0.3〜1.4が好ましく、0.5〜1.2がより好ましい。
前記静摩擦係数が、0.3以上であれば、滑り過ぎによって、ロール状にした場合に巻ズレが発生することを防止でき、1.4以下であれば、良好なロール状に巻くことができる。
Moreover, 0.3-1.4 are preferable and the static friction coefficient of the said support body and the said protective film has more preferable 0.5-1.2.
If the static friction coefficient is 0.3 or more, it is possible to prevent the occurrence of winding misalignment when the roll is formed due to overslip, and if it is 1.4 or less, it can be wound into a good roll. .

前記感光性フィルムは、例えば、円筒状の巻芯に巻き取って、長尺状でロール状に巻かれて保管されることが好ましい。前記長尺状の感光性フィルムの長さは、特に制限はなく、例えば、10m〜20,000mの範囲から適宜選択することができる。また、ユーザーが使いやすいようにスリット加工し、100m〜1,000mの範囲の長尺体をロール状にしてもよい。なお、この場合には、前記支持体が一番外側になるように巻き取られることが好ましい。また、前記ロール状の感光性フィルムをシート状にスリットしてもよい。保管の際、端面の保護、エッジフュージョンを防止する観点から、端面にはセパレーター(特に防湿性のもの、乾燥剤入りのもの)を設置することが好ましく、また梱包も透湿性の低い素材を用いることが好ましい。   For example, the photosensitive film is preferably wound around a cylindrical core, wound into a long roll, and stored. There is no restriction | limiting in particular in the length of the said elongate photosensitive film, For example, it can select suitably from the range of 10m-20,000m. Further, slitting may be performed so that the user can easily use, and a long body in the range of 100 m to 1,000 m may be formed into a roll. In this case, it is preferable that the support is wound up so as to be the outermost side. Moreover, you may slit the said roll-shaped photosensitive film in a sheet form. From the viewpoint of protecting the end face and preventing edge fusion during storage, it is preferable to install a separator (especially moisture-proof and desiccant-containing) on the end face, and use a low moisture-permeable material for packaging. It is preferable.

前記保護フィルムは、前記保護フィルムと前記感光層との接着性を調整するために表面処理してもよい。前記表面処理は、例えば、前記保護フィルムの表面に、ポリオルガノシロキサン、弗素化ポリオレフィン、ポリフルオロエチレン、ポリビニルアルコール等のポリマーからなる下塗層を形成させる。該下塗層の形成は、前記ポリマーの塗布液を前記保護フィルムの表面に塗布した後、30℃〜150℃で1分間〜30分間乾燥させることにより形成させることができる。前記乾燥の際の温度は50℃〜120℃が特に好ましい。   The protective film may be surface-treated in order to adjust the adhesion between the protective film and the photosensitive layer. In the surface treatment, for example, an undercoat layer made of a polymer such as polyorganosiloxane, fluorinated polyolefin, polyfluoroethylene, or polyvinyl alcohol is formed on the surface of the protective film. The undercoat layer can be formed by applying the polymer coating solution to the surface of the protective film and then drying it at 30 to 150 ° C. for 1 to 30 minutes. As for the temperature in the case of the said drying, 50 to 120 degreeC is especially preferable.

(感光性積層体)
前記感光性積層体は、少なくとも基体と、前記基体上に設けられた感光層と、有してなり、目的に応じて適宜選択されるその他の層を積層してなる。
前記感光層は、上述の製造方法で作製された前記感光性フィルムから転写されたものであり、上述と同様の構成を有する。
(Photosensitive laminate)
The photosensitive laminate has at least a substrate and a photosensitive layer provided on the substrate, and is formed by laminating other layers appropriately selected according to the purpose.
The photosensitive layer is transferred from the photosensitive film produced by the manufacturing method described above, and has the same configuration as described above.

<基体>
前記基体は、感光層が形成される被処理基体、又は本発明の感光性フィルムの少なくとも感光層が転写される被転写体となるもので、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、表面平滑性の高いものから凸凹のある表面を持つものまで任意に選択できる。板状の基体が好ましく、いわゆる基板が使用される。具体的には、公知のプリント配線板製造用の基板(プリント基板)、ガラス板(ソーダガラス板など)、合成樹脂性のフィルム、紙、金属板などが挙げられる。
<Substrate>
The substrate is a substrate to be processed on which a photosensitive layer is formed, or a member to be transferred onto which at least the photosensitive layer of the photosensitive film of the present invention is transferred. For example, it can be arbitrarily selected from those having high surface smoothness to those having a rough surface. A plate-like substrate is preferable, and a so-called substrate is used. Specific examples include known printed wiring board manufacturing substrates (printed substrates), glass plates (soda glass plates, etc.), synthetic resin films, paper, metal plates, and the like.

<感光性積層体の製造方法>
前記感光性積層体の製造方法として、本発明の感光性フィルムにおける少なくとも感光層を加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら転写して積層する方法が挙げられる。
<Method for producing photosensitive laminate>
Examples of the method for producing the photosensitive laminate include a method in which at least the photosensitive layer in the photosensitive film of the present invention is transferred and laminated while performing at least one of heating and pressing.

感光性積層体の製造方法は、前記基体の表面に本発明の感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層する。なお、前記感光性フィルムが前記保護フィルムを有する場合には、該保護フィルムを剥離し、前記基体に前記感光層が重なるようにして積層するのが好ましい。
前記加熱温度は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、15℃〜180℃が好ましく、60℃〜140℃がより好ましい。
前記加圧の圧力は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、0.1MPa〜1.0MPaが好ましく、0.2MPa〜0.8MPaがより好ましい。
In the method for producing a photosensitive laminate, the photosensitive film of the present invention is laminated on the surface of the substrate while at least one of heating and pressing. In addition, when the said photosensitive film has the said protective film, it is preferable to peel this protective film and to laminate | stack so that the said photosensitive layer may overlap with the said base | substrate.
There is no restriction | limiting in particular in the said heating temperature, According to the objective, it can select suitably, For example, 15 to 180 degreeC is preferable and 60 to 140 degreeC is more preferable.
There is no restriction | limiting in particular in the pressure of the said pressurization, According to the objective, it can select suitably, For example, 0.1 MPa-1.0 MPa are preferable and 0.2 MPa-0.8 MPa are more preferable.

前記加熱の少なくともいずれかを行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ラミネータ(例えば、大成ラミネータ株式会社製、VP−II、ニチゴーモートン株式会社製、VP130)などが好適に挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs at least any one of the said heating, According to the objective, it can select suitably, For example, Laminator (For example, Taisei Laminator Co., Ltd. make, VP-II, Nichigo Morton Co., Ltd. make, VP130) is preferable.

本発明の感光性フィルム及び前記感光性積層体は、膜厚が均一でピンホールやハジキ等の面状欠陥の発生割合が極端に低いため、絶縁性に優れ、高精細な永久パターン(保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなど)を効率よく形成可能である。したがって、電子材料分野における高精細な永久パターンの形成用として広く用いることができ、特に、プリント基板の永久パターン形成用に好適に用いることができる。   Since the photosensitive film of the present invention and the photosensitive laminate have a uniform film thickness and an extremely low occurrence rate of surface defects such as pinholes and repellencies, they have excellent insulating properties and high-definition permanent patterns (protective films) , Interlayer insulating film, solder resist pattern, etc.) can be formed efficiently. Therefore, it can be widely used for forming a high-definition permanent pattern in the field of electronic materials, and can be suitably used particularly for forming a permanent pattern on a printed circuit board.

(永久パターン形成方法)
本発明の永久パターン形成方法は、露光工程を少なくとも含み、更に、必要に応じて適宜選択した現像工程等のその他の工程を含む。
(Permanent pattern forming method)
The permanent pattern forming method of the present invention includes at least an exposure step, and further includes other steps such as a development step appropriately selected as necessary.

<露光工程>
前記露光工程は、本発明の感光性積層体における感光層に対し、露光を行う工程である。本発明の感光性積層体については上述の通りである。
<Exposure process>
The said exposure process is a process of exposing with respect to the photosensitive layer in the photosensitive laminated body of this invention. The photosensitive laminate of the present invention is as described above.

前記露光の対象としては、前記感光性積層体における感光層である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、上述のように、基材上に感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層して形成した積層体に対して行われることが好ましい。   The exposure target is not particularly limited as long as it is a photosensitive layer in the photosensitive laminate, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, as described above, a photosensitive film is formed on a substrate. It is preferably performed on a laminate formed by laminating while performing at least one of heating and pressurization.

前記露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、デジタル露光、アナログ露光等が挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said exposure, According to the objective, it can select suitably, Digital exposure, analog exposure, etc. are mentioned.

<その他の工程>
前記その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材の表面処理工程、現像工程、硬化処理工程、ポスト露光工程などが挙げられる。
<Other processes>
There is no restriction | limiting in particular as said other process, According to the objective, it can select suitably, For example, the surface treatment process of a base material, a development process, a hardening process process, a post exposure process etc. are mentioned.

<<現像工程>>
前記現像としては、前記感光層の未露光部分を除去することにより行われる。
前記未硬化領域の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像液を用いて除去する方法などが挙げられる。
<< Development process >>
The development is performed by removing an unexposed portion of the photosensitive layer.
There is no restriction | limiting in particular as the removal method of the said unhardened area | region, According to the objective, it can select suitably, For example, the method etc. which remove using a developing solution are mentioned.

前記現像液としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤などが挙げられ、これらの中でも、弱アルカリ性の水溶液が好ましい。該弱アルカリ水溶液の塩基成分としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム、硼砂などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said developing solution, Although it can select suitably according to the objective, For example, alkaline aqueous solution, an aqueous developing solution, an organic solvent etc. are mentioned, Among these, weakly alkaline aqueous solution is preferable. Examples of the basic component of the weak alkaline aqueous solution include lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium carbonate, sodium carbonate, potassium carbonate, lithium hydrogen carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium phosphate, phosphorus Examples include potassium acid, sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, and borax.

前記弱アルカリ性の水溶液のpHは、例えば、8〜12が好ましく、9〜11がより好ましい。前記弱アルカリ性の水溶液としては、例えば、0.1質量%〜5質量%の炭酸ナトリウム水溶液又は炭酸カリウム水溶液などが挙げられる。
前記現像液の温度は、前記感光層の現像性に合わせて適宜選択することができるが、例えば、約25℃〜40℃が好ましい。
The pH of the weak alkaline aqueous solution is, for example, preferably 8-12, more preferably 9-11. As said weak alkaline aqueous solution, 0.1 mass%-5 mass% sodium carbonate aqueous solution or potassium carbonate aqueous solution etc. are mentioned, for example.
The temperature of the developer can be appropriately selected according to the developability of the photosensitive layer, and is preferably about 25 ° C. to 40 ° C., for example.

前記現像液は、界面活性剤、消泡剤、有機塩基(例えば、エチレンジアミン、エタノールアミン、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド、ジエチレントリアミン、トリエチレンペンタミン、モルホリン、トリエタノールアミン等)や、現像を促進させるため有機溶剤(例えば、アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテル類、アミド類、ラクトン類等)などと併用してもよい。また、前記現像液は、水又はアルカリ水溶液と有機溶剤を混合した水系現像液であってもよく、有機溶剤単独であってもよい。   The developer includes a surfactant, an antifoaming agent, an organic base (for example, ethylenediamine, ethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, diethylenetriamine, triethylenepentamine, morpholine, triethanolamine, etc.) and development. Therefore, it may be used in combination with an organic solvent (for example, alcohols, ketones, esters, ethers, amides, lactones, etc.). The developer may be an aqueous developer obtained by mixing water or an aqueous alkali solution and an organic solvent, or may be an organic solvent alone.

<<硬化処理工程>>
前記硬化処理工程は、前記現像工程が行われた後、形成されたパターンにおける感光層に対して硬化処理を行う工程である。
前記硬化処理工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、全面露光処理、全面加熱処理などが好適に挙げられる。
<< Curing treatment process >>
The curing treatment step is a step of performing a curing treatment on the photosensitive layer in the formed pattern after the development step is performed.
There is no restriction | limiting in particular as said hardening process, Although it can select suitably according to the objective, For example, a whole surface exposure process, a whole surface heat processing, etc. are mentioned suitably.

前記全面露光処理の方法としては、例えば、前記現像後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を露光する方法が挙げられる。該全面露光により、前記感光層を形成する感光性組成物中の樹脂の硬化が促進され、前記永久パターンの表面が硬化される。
前記全面露光を行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、超高圧水銀灯などのUV露光機が好適に挙げられる。
Examples of the entire surface exposure processing method include a method of exposing the entire surface of the laminate on which the permanent pattern is formed after the development. The entire surface exposure accelerates the curing of the resin in the photosensitive composition forming the photosensitive layer, and the surface of the permanent pattern is cured.
There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs the said whole surface exposure, Although it can select suitably according to the objective, For example, UV exposure machines, such as an ultrahigh pressure mercury lamp, are mentioned suitably.

前記全面加熱処理の方法としては、前記現像の後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を加熱する方法が挙げられる。該全面加熱により、前記永久パターンの表面の膜強度が高められる。
前記全面加熱における加熱温度は、120℃〜250℃が好ましく、120℃〜200℃がより好ましい。該加熱温度が120℃以上であれば、加熱処理によって膜強度が向上し、250℃以下であれば、前記感光性組成物中の樹脂の分解が生じ、膜質が弱く脆くなることを防止できる。
前記全面加熱における加熱時間は、10分間〜120分間が好ましく、15分間〜60分間がより好ましい。
前記全面加熱を行う装置としては、特に制限はなく、公知の装置の中から、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ドライオーブン、ホットプレート、IRヒーターなどが挙げられる。
Examples of the entire surface heat treatment method include a method of heating the entire surface of the laminate on which the permanent pattern is formed after the development. By heating the entire surface, the film strength of the surface of the permanent pattern is increased.
The heating temperature in the entire surface heating is preferably 120 ° C to 250 ° C, more preferably 120 ° C to 200 ° C. When the heating temperature is 120 ° C. or higher, the film strength is improved by heat treatment, and when the heating temperature is 250 ° C. or lower, the resin in the photosensitive composition is decomposed to prevent the film quality from being weak and brittle.
The heating time in the entire surface heating is preferably 10 minutes to 120 minutes, more preferably 15 minutes to 60 minutes.
There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs the said whole surface heating, According to the objective, it can select suitably from well-known apparatuses, For example, a dry oven, a hot plate, IR heater etc. are mentioned.

前記永久パターンの形成方法が、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかを形成する永久パターン形成方法である場合には、プリント配線板上に前記永久パターン形成方法により、永久パターンを形成し、更に、以下のように半田付けを行うことができる。
即ち、前記現像により、前記永久パターンである硬化層が形成され、前記プリント配線板の表面に金属層が露出される。該プリント配線板の表面に露出した金属層の部位に対して金メッキを行った後、半田付けを行う。そして、半田付けを行った部位に、半導体、部品などを実装する。このとき、前記硬化層による永久パターンが、保護膜又は絶縁膜(層間絶縁膜)、ソルダーレジストとしての機能を発揮し、外部からの衝撃や隣同士の電極の導通が防止される。
When the permanent pattern forming method is a permanent pattern forming method for forming at least one of a protective film, an interlayer insulating film, and a solder resist pattern, the permanent pattern is formed on the printed wiring board by the permanent pattern forming method. Further, soldering can be performed as follows.
That is, by the development, a hardened layer that is the permanent pattern is formed, and the metal layer is exposed on the surface of the printed wiring board. Gold plating is performed on the portion of the metal layer exposed on the surface of the printed wiring board, and then soldering is performed. And a semiconductor, components, etc. are mounted in the part which soldered. At this time, the permanent pattern by the hardened layer functions as a protective film, an insulating film (interlayer insulating film), or a solder resist, and prevents external impact and conduction between adjacent electrodes.

(プリント基板)
本発明のプリント基板は、少なくとも基体と、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンと、を有してなり、更に、必要に応じて適宜選択した、その他の部材を有する。
その他の部材としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材と前記永久パターン間に、更に絶縁層が設けられたビルドアップ基板などが挙げられる。
(Printed board)
The printed circuit board of the present invention includes at least a substrate and a permanent pattern formed by the permanent pattern forming method, and further includes other members appropriately selected as necessary.
There is no restriction | limiting in particular as another member, According to the objective, it can select suitably, For example, the buildup board | substrate etc. in which the insulating layer was further provided between the base material and the said permanent pattern are mentioned.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。
なお、以下の合成例における酸価、及び重量平均分子量は、以下の方法により測定した。
Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.
In addition, the acid value and weight average molecular weight in the following synthesis examples were measured by the following methods.

<酸価>
前記酸価は、JIS K0070に準拠して測定した。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランを使用した。
<Acid value>
The acid value was measured according to JIS K0070. However, when the sample did not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran was used as a solvent.

<重量平均分子量>
前記重量平均分子量は、高速GPC装置(東洋曹達社製、HLC−802A)を使用して測定した。即ち、0.5質量%のTHF(テトラヒドロフラン)溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelGMH62本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25℃で屈折率検出器により測定した。次に、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より重量平均分子量を求めた。
<Weight average molecular weight>
The said weight average molecular weight was measured using the high-speed GPC apparatus (The Toyo Soda Co., Ltd. make, HLC-802A). That is, 0.5% by mass of THF (tetrahydrofuran) solution was used as a sample solution, 62 columns of TSKgelGMH were used, 200 μL of sample was injected, eluted with the THF solution, and measured with a refractive index detector at 25 ° C. did. Next, the weight average molecular weight was determined from the molecular weight distribution curve calibrated with standard polystyrene.

(合成例1)
−ポリウレタン樹脂U−1の合成−
コンデンサー、及び撹拌機を備えた500mLの3つ口丸底フラスコ内に、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)をシクロヘキサノン73gに溶解した。これに、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)、1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)、2,6−ジ−t−ブチルヒドロキシトルエン0.1g、及び触媒として商品名:ネオスタンU−600(日東化成株式会社製)0.2gを添加し、75℃で5時間加熱撹拌した。その後、メチルアルコール9.61mLにて希釈して30分間撹拌し、165gの下記式で表されるポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を得た。
得られたポリウレタン樹脂U−1溶液は、固形分酸価が68mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が8,500であった。
(Synthesis Example 1)
-Synthesis of polyurethane resin U-1-
In a 500 mL three-necked round bottom flask equipped with a condenser and a stirrer, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid and 8.00 g (0.000 g) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) were added. 054 mol) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate were dissolved in 73 g of cyclohexanone. To this, 30.03 g (0.12 mol) of 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI), 4.80 g (0.03 mol) of 1,4-phenylene diisocyanate (PDI), 2,6-di-t- 0.1 g of butylhydroxytoluene and 0.2 g of a trade name: Neostan U-600 (manufactured by Nitto Kasei Co., Ltd.) were added as a catalyst, and the mixture was heated and stirred at 75 ° C. for 5 hours. Then, it diluted with 9.61 mL of methyl alcohol, and stirred for 30 minutes, The polyurethane resin U-1 solution (solid content 45 mass%) represented by a following formula of 165g was obtained.
The obtained polyurethane resin U-1 solution had a solid content acid value of 68 mgKOH / g, and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) was 8,500.

<ポリウレタン樹脂U−1>
ただし、前記式中、a1、b1、c1、d1、及びe1は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin U-1>
However, in said formula, a1, b1, c1, d1, and e1 represent a composition ratio (mass%).

(合成例2)
−ポリウレタン樹脂U−2の合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、リンゴ酸2.41g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)5.23g(0.039モル)とグリセロールモノメタクリレート17.78g(0.111モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを74gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)とヘキサメチレンジイソシアネート(HMDI)5.05g(0.03モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−2溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−2溶液は、固形分酸価が64mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が6,500であった。
(Synthesis Example 2)
-Synthesis of polyurethane resin U-2-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) was added 2.41 g (0.018 mol) of malic acid, 5.23 g (0.039 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 17.78 g (0.111 of glycerol monomethacrylate). Mol)
Change cyclohexanone 73g to 74g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). Polyurethane resin U-2 represented by the following formula in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 30.03 g (0.12 mol) and hexamethylene diisocyanate (HMDI) were changed to 5.05 g (0.03 mol). A solution (solid content: 45% by mass) was synthesized.
The obtained polyurethane resin U-2 solution had a solid content acid value of 64 mgKOH / g and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) of 6,500.

<ポリウレタン樹脂U−2>
ただし、前記式中、a2、b2、c2、d2、及びe2は組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin U-2>
However, in the said formula, a2, b2, c2, d2, and e2 represent a composition ratio (mass%).

(合成例3)
−ポリウレタン樹脂U−3合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、リンゴ酸2.68g(0.020モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)3.46g(0.023モル)とグリセロールモノメタクリレート22.96g(0.143モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを78gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート(TMHDI)35.05g(0.167モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−3溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−3溶液は、固形分酸価が52mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が7,000であった。
(Synthesis Example 3)
-Synthesis of polyurethane resin U-3-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) was added 2.68 g (0.020 mol) of malic acid, 3.46 g (0.023 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 22.96 g (0.143 of glycerol monomethacrylate). Mol)
Change the cyclohexanone 73g to 78g,
30.03 g (0.12 mol) of 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 4.80 g (0.03 mol) of 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) were added to 35.05 g of trimethylhexamethylene diisocyanate (TMHDI). A polyurethane resin U-3 solution (solid content: 45% by mass) represented by the following formula was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the amount was changed to (0.167 mol).
The obtained polyurethane resin U-3 solution had a solid content acid value of 52 mgKOH / g and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) of 7,000.

<ポリウレタン樹脂U−3>
ただし、前記式中、b3、c3、d3、及びh3は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin U-3>
However, in said formula, b3, c3, d3, and h3 represent a composition ratio (mass%).

(合成例4)
−ポリウレタン樹脂U−4の合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、ヒドロキシへキサン酸3.1g(0.02モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)11.2g(0.08モル)とグリセロールモノメタクリレート23g(0.14モル)とポリプロピレングリコール(PPG1000)4.7g(0.01モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを60gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)58g(0.23モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−4溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−4溶液は、固形分酸価が58mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が9,000であった。
(Synthesis Example 4)
-Synthesis of polyurethane resin U-4-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) was added to 3.1 g (0.02 mol) of hydroxyhexanoic acid, 11.2 g (0.08 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 23 g (0.14 of glycerol monomethacrylate). Mol) and 4.7 g (0.01 mol) of polypropylene glycol (PPG1000),
Change the cyclohexanone 73g to 60g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). A polyurethane resin U-4 solution (solid content: 45% by mass) represented by the following formula was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the amount was changed to 58 g (0.23 mol).
The obtained polyurethane resin U-4 solution had a solid content acid value of 58 mgKOH / g and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) of 9,000.

<ポリウレタン樹脂U−4>
ただし、前記式中、a4、c4、d4、e4、及びh4は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin U-4>
However, in said formula, a4, c4, d4, e4, and h4 represent a composition ratio (mass%).

(合成例5)
−ポリウレタン樹脂U−5の合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、リンゴ酸1.9g(0.01モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)8.4g(0.06モル)とグリセロールモノメタクリレート12.7g(0.08モル)とポリプロピレングリコール(PPG1000)10.6g(0.01モル)とヘキサメチレングリコール10.2g(0.07モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを60gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)48.1g(0.19モル)とヘキサメチレンジイソシアネート(HMDI)8.1g(0.05モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−5溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−5溶液は、固形分酸価が48mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が11,000であった。
(Synthesis Example 5)
-Synthesis of polyurethane resin U-5-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) was added to 1.9 g (0.01 mol) of malic acid, 8.4 g (0.06 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 12.7 g (0.08 of glycerol monomethacrylate). Mol), polypropylene glycol (PPG1000) 10.6 g (0.01 mol) and hexamethylene glycol 10.2 g (0.07 mol)
Change the cyclohexanone 73g to 60g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). Polyurethane resin U-5 represented by the following formula in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 48.1 g (0.19 mol) and hexamethylene diisocyanate (HMDI) 8.1 g (0.05 mol) were used. A solution (solid content: 45% by mass) was synthesized.
The obtained polyurethane resin U-5 solution had a solid content acid value of 48 mg KOH / g, and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) was 11,000.

<ポリウレタン樹脂U−5>
ただし、前記式中、a5、b5、c5、d5、e5、f5、及びh5は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin U-5>
However, in said formula, a5, b5, c5, d5, e5, f5, and h5 represent a composition ratio (mass%).

(合成例6)
−ポリウレタン樹脂U−6の合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、クエン酸2.9g(0.02モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)9.4g(0.07モル)とグリセロールモノメタクリレート28.9g(0.18モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを63gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)37.7g(0.15モル)とトリメチルヘキサメチレンジイソシアネート(TMHDI)21.1g(0.10モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−6溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−6溶液は、固形分酸価が63mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が16,000であった。
(Synthesis Example 6)
-Synthesis of polyurethane resin U-6-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) was added to 2.9 g (0.02 mol) of citric acid, 9.4 g (0.07 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 28.9 g (0.18 of glycerol monomethacrylate). Mol)
Change 73g of cyclohexanone to 63g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). Polyurethane resin U- represented by the following formula in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 37.7 g (0.15 mol) and trimethylhexamethylene diisocyanate (TMHDI) 21.1 g (0.10 mol) were used. Six solutions (solid content 45 mass%) were synthesized.
The obtained polyurethane resin U-6 solution had a solid content acid value of 63 mgKOH / g, and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) was 16,000.

<ポリウレタン樹脂U−6>
ただし、前記式中、a6、b6、c6、d6、及びh6は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin U-6>
However, in said formula, a6, b6, c6, d6, and h6 represent a composition ratio (mass%).

(合成例7)
<ポリウレタン樹脂U−7の合成>
−カルボン酸化合物(A)の合成−
コンデンサー、及び撹拌機を備えた1Lの3つ口丸底フラスコ内に、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)73.8g(0.55モル)、及び水素添加トリメリット酸(三菱ガス化学社製)99.1g(0.5モル)をテトラヒドロフラン(THF)400mLに加えて、60℃で8時間撹拌した。反応終了後、ヘキサン2Lに反応溶液を滴下し、結晶を析出させた。1日静置後、固体を濾取した。真空乾燥し、下記式で表されるカルボン酸化合物(A)158.6gを得た。
<カルボン酸化合物(A)>
(Synthesis Example 7)
<Synthesis of polyurethane resin U-7>
-Synthesis of Carboxylic Acid Compound (A)-
In a 1 L three-necked round bottom flask equipped with a condenser and a stirrer, 73.8 g (0.55 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and hydrogenated trimellitic acid ( 99.1 g (0.5 mol) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) was added to 400 mL of tetrahydrofuran (THF), and the mixture was stirred at 60 ° C. for 8 hours. After completion of the reaction, the reaction solution was added dropwise to 2 L of hexane to precipitate crystals. After standing for 1 day, the solid was collected by filtration. Vacuum drying was performed to obtain 158.6 g of a carboxylic acid compound (A) represented by the following formula.
<Carboxylic acid compound (A)>

−ポリウレタン樹脂U−7の合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、カルボン酸化合物(A)9.4g(0.01モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)4.91g(0.03モル)とグリセロールモノメタクリレート17.43g(0.11モル)とヘキサメチレングリコール10.99g(0.03モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを61gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)53.27g(0.21モル)とヘキサメチレンジイソシアネート(HMDI)3.98g(0.02モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−7溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−7溶液は、固形分酸価が66mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が12,000であった。
<ポリウレタン樹脂U−7>
ただし、前記式中、a、b、c、d、f、及びkは、組成比率(質量%)を表す。
-Synthesis of polyurethane resin U-7-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) was added to 9.4 g (0.01 mol) of carboxylic acid compound (A), 4.91 g (0.03 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 17.43 g of glycerol monomethacrylate. (0.11 mol) and hexamethylene glycol 10.99 g (0.03 mol)
Change the cyclohexanone 73g to 61g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). Polyurethane resin U-7 represented by the following formula in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 53.27 g (0.21 mol) and hexamethylene diisocyanate (HMDI) 3.98 g (0.02 mol) were used. A solution (solid content: 45% by mass) was synthesized.
The obtained polyurethane resin U-7 solution had a solid content acid value of 66 mgKOH / g and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) of 12,000.
<Polyurethane resin U-7>
However, a, b, c, d, f, and k in the said formula represent a composition ratio (mass%).

(合成例8)
−ポリウレタン樹脂U−Xの合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)16.7g(0.12モル)とグリセロールモノメタクリレート26.8g(0.17モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを67gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)39.3g(0.16モル)とヘキサメチレンジイソシアネート(HMDI)17.6g(0.10モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−X溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−X溶液は、固形分酸価が72mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が8,500であった。
(Synthesis Example 8)
-Synthesis of polyurethane resin UX-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) is changed to 16.7 g (0.12 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 26.8 g (0.17 mol) of glycerol monomethacrylate,
Change the cyclohexanone 73g to 67g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). Polyurethane resin UX represented by the following formula in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 39.3 g (0.16 mol) and 17.6 g (0.10 mol) of hexamethylene diisocyanate (HMDI) were used. A solution (solid content: 45% by mass) was synthesized.
The resulting polyurethane resin UX solution had a solid content acid value of 72 mg KOH / g and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) of 8,500.

<ポリウレタン樹脂U−X>
ただし、前記式中、a10、b10、c10、及びd10は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin UX>
However, in said formula, a10, b10, c10, and d10 represent a composition ratio (mass%).

(合成例9)
−ポリウレタン樹脂U−Yの合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、ポリブチレングリコール16.2g(0.09モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)5.23g(0.09モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを65gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)33.2g(0.14モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−Y溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−Y溶液は、固形分酸価が75mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が8,200であった。
(Synthesis Example 9)
-Synthesis of polyurethane resin UY-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) was changed to 16.2 g (0.09 mol) of polybutylene glycol and 5.23 g (0.09 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA),
Change the cyclohexanone 73g to 65g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). A polyurethane resin U-Y solution (solid content: 45% by mass) represented by the following formula was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1, except that the amount was changed to 33.2 g (0.14 mol).
The obtained polyurethane resin UY solution had a solid content acid value of 75 mgKOH / g and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) of 8,200.

<ポリウレタン樹脂U−Y>
ただし、前記式中、a11、b11、及びc11は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin UY>
However, in the said formula, a11, b11, and c11 represent a composition ratio (mass%).

(合成例10)
−ポリウレタン樹脂U−Zの合成−
合成例1において、乳酸1.62g(0.018モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸(DMBA)8.00g(0.054モル)とグリセロールモノメタクリレート15.38g(0.096モル)を、リンゴ酸0.89g(0.007モル)と2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)8.05g(0.06モル)とポリプロピレングリコール(PPG1000)33.51g(0.033モル)とヘキサメチレングリコール7.08g(0.061モル)に変え、
シクロヘキサノン73gを103gに変え、
4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)30.03g(0.12モル)と1,4−フェニレンジイソシアネート(PDI)4.80g(0.03モル)を、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)20.85g(0.083モル)とヘキサメチレンジイソシアネート(HMDI)14.02g(0.083モル)に変えた以外は、合成例1と同様にして、下記式で表されるポリウレタン樹脂U−Z溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたポリウレタン樹脂U−Z溶液は、固形分酸価が40mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が18,000であった。
(Synthesis Example 10)
-Synthesis of polyurethane resin U-Z-
In Synthesis Example 1, 1.62 g (0.018 mol) of lactic acid, 8.00 g (0.054 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA) and 15.38 g (0.096 mol) of glycerol monomethacrylate. Mol) is 0.89 g (0.007 mol) of malic acid, 8.05 g (0.06 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 33.51 g (0 of mol) of polypropylene glycol (PPG1000). 0.033 mol) and 7.08 g (0.061 mol) of hexamethylene glycol,
Change cyclohexanone 73g to 103g,
4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and 30.03 g (0.12 mol) and 1,4-phenylene diisocyanate (PDI) 4.80 g (0.03 mol) were mixed with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI). Polyurethane resin UZ represented by the following formula in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 20.85 g (0.083 mol) and hexamethylene diisocyanate (HMDI) 14.02 g (0.083 mol) were used. A solution (solid content: 45% by mass) was synthesized.
The obtained polyurethane resin UZ solution had a solid content acid value of 40 mgKOH / g, and a weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) was 18,000.

<ポリウレタン樹脂U−Z>
ただし、前記式中、a7、b7、c7、e7、f7、及びh7は、組成比率(質量%)を表す。
<Polyurethane resin U-Z>
However, in the formula, a7, b7, c7, e7, f7, and h7 represent a composition ratio (mass%).

(合成例11)
−ポリエステル樹脂E−1の合成−
テレフタル酸ジメチル699質量部、イソフタル酸ジメチル524質量部、アジピン酸ジメチル226質量部、セバシン酸ジメチル553質量部、2,2−ジメチルプロパンジオール417質量部、ブタンジオール324質量部、エチレングリコール769質量部、酸化防止剤として、イルガノックス1330(チバジャパン株式会社製)2質量部、及びテトラブチルチタネート0.9質量部を反応器内で混合させ、攪拌下室温から260℃まで2時間かけて昇温し、その後260℃で1時間加熱しエステル交換反応を行った。次いで、反応器内を徐々に減圧にすると共に昇温し、30分間かけて245℃、0.5〜2torrにして初期重縮合反応を行った。更に、245℃、0.5〜2torrの状態で4時間重合反応を行った後、乾燥窒素を導入しながら30分間かけて常圧へ戻し、ポリエステルをペレット状に取り出し、ポリエステル樹脂E−1を得た。得られたポリエステル樹脂E−1をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにて60質量%の固形分濃度となるように希釈溶解し、ポリエステル樹脂E−1溶液を得た。
得られたポリエステル樹脂E−1のゲルパーミエーションクロマトグラフィーにて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)は3.4万であった。
(Synthesis Example 11)
-Synthesis of polyester resin E-1-
699 parts by weight of dimethyl terephthalate, 524 parts by weight of dimethyl isophthalate, 226 parts by weight of dimethyl adipate, 553 parts by weight of dimethyl sebacate, 417 parts by weight of 2,2-dimethylpropanediol, 324 parts by weight of butanediol, 769 parts by weight of ethylene glycol As an antioxidant, 2 parts by mass of Irganox 1330 (manufactured by Ciba Japan Co., Ltd.) and 0.9 parts by mass of tetrabutyl titanate were mixed in the reactor, and the temperature was raised from room temperature to 260 ° C. over 2 hours with stirring. Then, the mixture was heated at 260 ° C. for 1 hour to conduct a transesterification reaction. Next, the pressure in the reactor was gradually reduced and the temperature was raised, and an initial polycondensation reaction was performed at 245 ° C. and 0.5 to 2 torr over 30 minutes. Furthermore, after conducting a polymerization reaction at 245 ° C. and 0.5 to 2 torr for 4 hours, the pressure was returned to normal pressure over 30 minutes while introducing dry nitrogen, and the polyester was taken out into pellets to obtain polyester resin E-1. Obtained. The obtained polyester resin E-1 was diluted and dissolved with propylene glycol monomethyl ether acetate so as to have a solid content concentration of 60% by mass to obtain a polyester resin E-1 solution.
The weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography of the obtained polyester resin E-1 was 34,000.

(実施例1)
−感光性フィルムの製造−
支持体としての厚み16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、16FB50)上に、下記の組成からなる感光性組成物溶液1を塗布し、乾燥させて、前記支持体上に厚み30μmの感光層を形成した。前記感光層上に、保護層として、厚み20μmのポリプロピレンフィルム(王子特殊紙株式会社製、アルファンE−200)を積層し、感光性フィルムを製造した。
Example 1
-Production of photosensitive film-
A photosensitive composition solution 1 having the following composition was applied on a polyethylene terephthalate film (16FB50, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 16 μm as a support, dried, and a photosensitive layer having a thickness of 30 μm was formed on the support. Formed. On the photosensitive layer, as a protective layer, a polypropylene film having a thickness of 20 μm (manufactured by Oji Specialty Paper Co., Ltd., Alphan E-200) was laminated to produce a photosensitive film.

−感光性組成物溶液1の組成−
・合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)・・・37.2質量部
・重合性化合物(A−DPH、新中村化学工業株式会社製)・・・11.15質量部
・熱架橋剤(エポトートYDF−170、東都化成株式会社製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂)・・・2.0質量部
・下記構造式C−1で表される光重合開始剤・・・1.0質量部
-Composition of photosensitive composition solution 1-
-Polyurethane resin U-1 solution of Synthesis Example 1 (solid content: 45% by mass) ... 37.2 parts by mass-Polymerizable compound (A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) ... 11.15 masses Part ・ Thermal crosslinking agent (Epototo YDF-170, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., bisphenol F type epoxy resin) 2.0 parts by mass Photopolymerization initiator represented by the following structural formula C-1 1 .0 parts by mass

・ジエチルチオキサントン・・・0.7質量部
・顔料分散液(以下、「G−1」という)・・・36.1質量部
・メガファックF−780F(大日本インキ化学工業株式会社製)の30質量%メチルエチルケトン溶液・・・0.13質量部
・メチルエチルケトン(溶媒)・・・12.0質量部
なお、前記顔料分散液(G−1)は、シリカ(アドマテックス株式会社製、SO−C2)30質量部と、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液48.2質量部と、フタロシアニンブルー0.51質量部と、アントラキノン系黄色顔料(C.I.PY24)0.14質量部と、シクロヘキサノン59.0質量部とを予め混合した後、モーターミルM−250(アイガー社製)で、直径1.0mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sにて3時間分散して調製した。
-Diethylthioxanthone-0.7 parts by mass-Pigment dispersion (hereinafter referred to as "G-1")-36.1 parts by mass-Megafac F-780F (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 30% by mass methyl ethyl ketone solution 0.13 parts by mass Methyl ethyl ketone (solvent) 12.0 parts by mass In addition, the pigment dispersion (G-1) is silica (manufactured by Admatechs Co., Ltd., SO-C2). ) 30 parts by mass, 48.2 parts by mass of the polyurethane resin U-1 solution of Synthesis Example 1, 0.51 parts by mass of phthalocyanine blue, 0.14 parts by mass of anthraquinone yellow pigment (CI PY24), After 59.0 parts by mass of cyclohexanone was mixed in advance, the motor mill M-250 (manufactured by Eiger) was used for 3 hours at a peripheral speed of 9 m / s using zirconia beads having a diameter of 1.0 mm. Prepared by dispersing.

−基体への積層−
前記基体として、銅張積層板(スルーホールなし、銅厚み12μm)の表面に化学研磨処理を施して調製した。該銅張積層板上に、前記感光性フィルムの感光層が前記銅張積層板に接するようにして前記感光性フィルムにおける保護フィルムを剥がしながら、真空ラミネータ(ニチゴーモートン株式会社製、VP130)を用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)とがこの順に積層された積層体を調製した。
圧着条件は、真空引きの時間40秒、圧着温度70℃、圧着圧力0.2MPa、加圧時間10秒とした。
-Lamination on substrate-
The substrate was prepared by subjecting a surface of a copper clad laminate (no through hole, copper thickness: 12 μm) to chemical polishing. A vacuum laminator (manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd., VP130) was used on the copper-clad laminate while peeling off the protective film from the photosensitive film so that the photosensitive layer of the photosensitive film was in contact with the copper-clad laminate. Thus, a laminate in which the copper-clad laminate, the photosensitive layer, and the polyethylene terephthalate film (support) were laminated in this order was prepared.
The pressure bonding conditions were a vacuum drawing time of 40 seconds, a pressure bonding temperature of 70 ° C., a pressure bonding pressure of 0.2 MPa, and a pressure application time of 10 seconds.

得られた積層体について、以下のようにして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。   About the obtained laminated body, surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness were evaluated as follows. The results are shown in Table 1.

<表面硬度の測定>
基板上に各感光性組成物からなるソルダーレジスト層を形成した。これにJIS K−5400の試験法に従って鉛筆硬度試験機を用いて荷重1kgを掛けた際の皮膜にキズが付かない最も高い硬度を、下記基準により評価した。
〔評価基準〕
○:4H超であり、表面硬度が優れる
△:3H〜4Hであり、表面硬度がやや劣る
×:2H以下であり、表面硬度が劣る
<Measurement of surface hardness>
A solder resist layer made of each photosensitive composition was formed on the substrate. According to the test method of JIS K-5400, the highest hardness at which a film was not damaged when a load of 1 kg was applied using a pencil hardness tester was evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: More than 4H, excellent surface hardness Δ: 3H-4H, slightly inferior surface hardness ×: Less than 2H, inferior surface hardness

<微細パターン形成性の評価>
作製した永久パターン形状における、微細パターン形成性を評価するために永久パターン形成後の感光性積層体を切断し、図1に示す永久パターン10の切断面から支持体1側の面2と永久パターンの側面3とのなす角θを、走査型電子顕微鏡(S−4100、日立製作所製)を用いて断面観察を行った。
〔評価基準〕
◎:なす角θが80°より小さい
○:なす角θが80°以上90°未満
○△:なす角θが90°以上100°未満
△:なす角θが100°以上110°未満
×:なす角θが110°以上
<Evaluation of fine pattern formability>
In order to evaluate the fine pattern formability in the produced permanent pattern shape, the photosensitive laminate after the formation of the permanent pattern is cut, and the support 2 side surface 2 and the permanent pattern are cut from the cut surface of the permanent pattern 10 shown in FIG. The cross section of the angle θ formed with the side surface 3 was observed using a scanning electron microscope (S-4100, manufactured by Hitachi, Ltd.).
〔Evaluation criteria〕
◎: formed angle θ is less than 80 ° ○: formed angle θ is 80 ° or more and less than 90 ° ○ △: formed angle θ is 90 ° or more and less than 100 ° △: formed angle θ is 100 ° or more and less than 110 ° ×: eggplant Angle θ is 110 ° or more

<解像性の評価>
前記感光性積層体を室温(23℃)で55%RHにて10分間静置した。得られた感光性積層体のポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)上から、丸穴パターンを用い、丸穴の直径の幅50μm〜200μmの丸穴が形成できるよう、パターン形成装置を用いて最適光エネルギー量で露光を行った。
室温にて10分間静置した後、前記感光性積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)を剥がし取った。
銅張積層板上の感光層の全面に、現像液として30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて前記最短現像時間の2倍の時間スプレーし、未硬化領域を溶解除去した。
このようにして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察し、パターン部の捲くれ乃至剥がれなどの異常が無く、かつスペース形成可能な最小の丸穴パターン幅を測定し、これを解像度とし、下記基準で評価した。
〔評価基準〕
◎:直径80μm以下の丸穴が解像可能で、解像性に優れている
○:直径100μm以下の丸穴が解像可能で、解像性が良好である
△:直径200μm以下の丸穴が解像可能で、解像性がやや劣る
×:丸穴が解像不可で、解像性が劣る
<Evaluation of resolution>
The photosensitive laminate was allowed to stand at 55% RH for 10 minutes at room temperature (23 ° C.). Optimum light energy using a pattern forming device so that round holes with a diameter of 50 μm to 200 μm can be formed from a round hole pattern on the polyethylene terephthalate film (support) of the obtained photosensitive laminate. Exposure was carried out in a quantity.
After standing at room temperature for 10 minutes, the polyethylene terephthalate film (support) was peeled off from the photosensitive laminate.
The entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate is sprayed with a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. as a developer at a spray pressure of 0.15 MPa for twice the shortest development time to dissolve and remove uncured areas. did.
The surface of the copper-clad laminate with a cured resin pattern obtained in this way is observed with an optical microscope, and the minimum round hole pattern width that can form a space without any abnormalities such as curling or peeling of the pattern portion is measured. This was taken as the resolution and evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
A: A round hole with a diameter of 80 μm or less can be resolved, and the resolution is excellent. ○: A round hole with a diameter of 100 μm or less can be resolved, and the resolution is good. Δ: A round hole with a diameter of 200 μm or less. Can be resolved and resolution is slightly inferior ×: Round hole is not resolvable and resolution is inferior

<絶縁性の評価>
厚み12μmの銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント基板の銅箔にエッチングを施して、ライン幅/スペース幅が50μm/50μmであり、互いのラインが接触しておらず、互いに対向した同一面上の櫛形電極を得た。この基板の櫛形電極上にソルダーレジスト層を定法にて形成し、最適露光量(300mJ/cm〜1J/cm)で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液にて60秒間スプレー現像を行い、更に80℃で10分間加熱(乾燥)した。続いて、オーク製作所製紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を150℃で60分間加熱処理を行うことにより、ソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。
加熱後の評価用積層体の櫛形電極間に電圧が印加されるように、ポリテトラフルオロエチレン製のシールド線をSn/Pbはんだによりそれらの櫛形電極に接続した後、評価用積層体に5Vの電圧を印可した状態で、該評価用積層体を130℃で85%RHの超加速高温高湿寿命試験(HAST)槽内に200時間静置した。その後の評価用積層体のソルダーレジストのマイグレーションの発生程度を100倍の金属顕微鏡により観察した。
〔評価基準〕
◎:マイグレーションの発生が確認できず、絶縁性に優れる
○:マイグレーションの発生が銅上僅かに確認されるが、絶縁性が良好である
△:マイグレーションの発生が確認され、絶縁性にやや劣る
×:電極間が短絡し、絶縁性に劣る
<Evaluation of insulation>
The copper foil of the printed circuit board obtained by laminating a copper foil having a thickness of 12 μm on a glass epoxy substrate is etched, the line width / space width is 50 μm / 50 μm, the lines are not in contact with each other, and the same facing each other A comb electrode on the surface was obtained. A solder resist layer was formed on the comb-shaped electrode of this substrate by a conventional method, and exposure was performed with an optimum exposure amount (300 mJ / cm 2 to 1 J / cm 2 ). Next, after standing at room temperature for 1 hour, spray development was performed for 60 seconds with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C., followed by heating (drying) at 80 ° C. for 10 minutes. Subsequently, the photosensitive layer was irradiated with ultraviolet rays with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing. Further, the photosensitive layer was heat-treated at 150 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation substrate on which a solder resist was formed.
After connecting the polytetrafluoroethylene shield wires to the comb electrodes with Sn / Pb solder so that a voltage is applied between the comb electrodes of the evaluation laminate after heating, 5 V is applied to the evaluation laminate. With the voltage applied, the laminate for evaluation was allowed to stand in a super accelerated high temperature and high humidity life test (HAST) bath of 85% RH at 130 ° C. for 200 hours. Thereafter, the degree of migration of the solder resist in the laminate for evaluation was observed with a 100-fold metal microscope.
〔Evaluation criteria〕
A: The occurrence of migration cannot be confirmed, and the insulation is excellent. ○: The occurrence of migration is confirmed slightly on copper, but the insulation is good. Δ: The occurrence of migration is confirmed, and the insulation is slightly inferior. : Short circuit between electrodes and poor insulation

<現像残渣除去性の評価>
前記解像性の評価にて、形成された丸穴パターンのうち、80μm、及び120μmの丸穴の底部の残渣をSEMにて観察し、このようにして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察し、パターンの丸穴底部に残渣が無いこと、パターン部の捲くれ・剥がれなどの異常が無く、かつスペース形成可能な最小の丸穴パターン幅を測定し、下記基準で評価した。
〔評価基準〕
◎:直径80μmの丸穴の基板上に現像残渣はなく、現像残渣除去性に優れている
○:直径120μmの丸穴の基板上に現像残渣はなく、現像残渣除去性が良好である
△:直径120μmの丸穴の基板上に僅かに現像残渣があり、現像残渣除去性がやや劣る
×:直径120μmの丸穴の基板上に現像残渣があり、現像残渣除去性が劣る
<Evaluation of development residue removability>
In the evaluation of the resolution, among the formed round hole patterns, the residue at the bottom of the round holes of 80 μm and 120 μm was observed with SEM, and thus obtained copper-clad laminate with a cured resin pattern Observe the surface of the plate with an optical microscope, measure the minimum round hole pattern width that there is no residue at the bottom of the round hole of the pattern, there is no abnormality such as blistering / peeling of the pattern part, and space can be formed. Evaluated by criteria.
〔Evaluation criteria〕
A: There is no development residue on the substrate having a round hole with a diameter of 80 μm, and the development residue removal property is excellent. ○: There is no development residue on the substrate having a round hole with a diameter of 120 μm, and the development residue removal property is good. The development residue is slightly inferior on the substrate having a round hole with a diameter of 120 μm, and the development residue removal property is slightly inferior.

<耐熱性>
基板上に各感光性組成物からなるソルダーレジスト層を形成しロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め260℃に設定したはんだ槽に30秒間浸漬し、変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ、剥れ、及び変色について、下記基準により評価した。
〔評価基準〕
◎:全く変化が認められず、耐熱性に特に優れる
○:膨れ、剥がれ、変色の何れかが僅かに見られるものの、耐熱性に優れる
○△:膨れ、剥がれが僅かに見られるものの、耐熱性が良好である
△:一部膨れ、剥がれが見られ、耐熱性が劣る
×:塗膜に膨れ、剥れがある
<Heat resistance>
An evaluation substrate on which a solder resist layer made of each photosensitive composition is formed on a substrate and a rosin-based flux is applied is immersed in a solder bath previously set at 260 ° C. for 30 seconds, and the flux is washed with denatured alcohol. The resist layer was swollen, peeled, and discolored by the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
◎: No change is observed and heat resistance is particularly excellent ○: Swelling, peeling, and discoloration are slightly observed, but heat resistance is excellent ○ △: Swelling and peeling are slightly observed, but heat resistance △: Partial swelling and peeling are observed, heat resistance is poor ×: The coating film is swollen and peeled

<強靭性>
厚み12μmの銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント基板上にソルダーレジスト層を有する前記感光性積層体を、定法にて形成し、2mm角フォトマスクを介し、オーク製作所製HMW−201GX型露光機を使用して、2mm角パターンが形成できる最適露光量(300mJ/cm〜1J/cm)で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液にて60秒間スプレー現像を行い、更に80℃で10分間加熱(乾燥)した。続いて、オーク製作所製紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を150℃で60分間加熱処理を行うことにより、2mm角の矩形開口部を有するソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。
得られた基板を−65℃の大気中に15分間晒した後、次いで、150℃の大気中に15分間晒した後、再度−65℃の大気中に晒す熱サイクルを1,000回繰り返した。熱サイクルを通した評価用基板のソルダーレジスト上のひび(皹)及び剥離程度を光学顕微鏡により観察し、下記基準で評価した。
〔評価基準〕
◎:ソルダーレジストにひび(皹)、剥れが無く、強靭性に特に優れる
○:ソルダーレジストにひび(皹)、剥れの何れかが僅かにあるが、強靭性が良好である
△:ソルダーレジストに僅かにひび(皹)、剥れがあり、強靭性がやや劣る
×:ソルダーレジストに明らかなひび(皹)、剥れがあり、強靭性が劣る
<Toughness>
The photosensitive laminate having a solder resist layer is formed on a printed circuit board obtained by laminating a copper foil having a thickness of 12 μm on a glass epoxy base material by a conventional method, and a HMW-201GX type exposure manufactured by Oak Seisakusho through a 2 mm square photomask. The exposure was performed with an optimum exposure dose (300 mJ / cm 2 to 1 J / cm 2 ) that can form a 2 mm square pattern. Next, after standing at room temperature for 1 hour, spray development was performed for 60 seconds with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C., followed by heating (drying) at 80 ° C. for 10 minutes. Subsequently, the photosensitive layer was irradiated with ultraviolet rays with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing. Further, the photosensitive layer was heat-treated at 150 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation substrate on which a solder resist having a 2 mm square opening was formed.
The obtained substrate was exposed to an atmosphere of −65 ° C. for 15 minutes, then exposed to an atmosphere of 150 ° C. for 15 minutes, and then exposed to the air of −65 ° C. again for 1,000 times. . Cracks (cracks) on the solder resist of the evaluation substrate through the thermal cycle and the degree of peeling were observed with an optical microscope and evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
◎: Solder resist has no cracks (cracks) and peeling, and is particularly excellent in toughness ○: The solder resist has cracks (cracks) and peeling slightly, but has good toughness △: Solder The resist has slight cracks (cracks) and peeling, and the toughness is slightly inferior. X: The solder resist has obvious cracks (cracks) and peeling, and the toughness is inferior.

(実施例2)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例2のポリウレタン樹脂U−2溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 2)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content 45 mass%) of Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin U-2 solution (solid content 45 mass%) of Synthesis Example 2 in Example 1. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(実施例3)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例3のポリウレタン樹脂U−3溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 3)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content 45% by mass) in Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin U-3 solution (solid content 45% by mass) in Synthesis Example 3 in Example 1. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(実施例4)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例4のポリウレタン樹脂U−4溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
Example 4
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin U-4 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 4 in Example 1. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(実施例5)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例5のポリウレタン樹脂U−5溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 5)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content 45% by mass) in Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin U-5 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 5 in Example 1. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(実施例6)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例6のポリウレタン樹脂U−6溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 6)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin U-6 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 6 in Example 1. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(実施例7)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、感光性組成物溶液1を下記の感光性組成物溶液2に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 7)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
In Example 1, the photosensitive film, the laminated body, and the permanent pattern were manufactured like Example 1 except having replaced the photosensitive composition solution 1 with the following photosensitive composition solution 2. FIG.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

−感光性組成物溶液2の組成−
下記の各成分を混合し、感光性組成物溶液2を調製した。
・合成例4のポリウレタン樹脂U−4溶液(固形分45質量%)・・・20.3質量部
・重合性化合物:DCP−A(共栄社化学社製)・・・5.3質量部
・熱架橋剤:エポトートYDF−170(東都化成社製)・・・2.9質量部
・開始剤:イルガキュア907(BASF社製)・・・0.6質量部
・増感剤:DETX−S(日本化薬社製)・・・0.005質量部
・反応助剤:EAB−F(保土ヶ谷化学社製)・・・0.019質量部
・顔料分散液(以下、「G−2」という)・・・30.1質量部
・塗布助剤:メガファックF−780F・・・0.2質量部
(大日本インキ化学工業社製:30質量%メチルエチルケトン溶液)
・エラストマー:合成例11のポリエステル樹脂E−1(固形分60質量%)・・・2.7質量部
なお、前記顔料分散液(G−2)は、シリカ(アドマテックス社製、SO−C2)32.0質量部と、ソルスパース24000GR(ルーヴリゾール社製)0.44質量部と、合成例4のポリウレタン樹脂U−4溶液(固形分45質量%)12.0質量部と、フタロシアニンブルー0.21質量部と、アントラキノン系黄色顔料(C.I.PY24)0.06質量部と、IXE−6107(東亞合成社製)1.65質量部と、メラミン(和光純薬工業社製)0.35質量部と、シクロヘキサノン77.4質量部とを予め混合した後、モーターミルM−250(アイガー社製)で、直径1.0mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sにて3時間分散して調製した。
-Composition of photosensitive composition solution 2-
The following each component was mixed and the photosensitive composition solution 2 was prepared.
・ Polyurethane resin U-4 solution of Synthesis Example 4 (solid content 45 mass%) 20.3 mass parts Polymerizable compound: DCP-A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 5.3 mass parts Cross-linking agent: Epototo YDF-170 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) 2.9 parts by mass Initiator: Irgacure 907 (manufactured by BASF) ... 0.6 parts by mass Sensitizer: DETX-S (Japan) Manufactured by Kayaku Co., Ltd.) 0.005 parts by mass Reaction aid: EAB-F (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0.019 parts by mass Pigment dispersion (hereinafter referred to as “G-2”)・ ・ 30.1 parts by mass ・ Coating aid: Megafac F-780F... 0.2 parts by mass (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd .: 30% by mass methyl ethyl ketone solution)
-Elastomer: Polyester resin E-1 of Synthesis Example 11 (solid content 60% by mass) ... 2.7 parts by mass In addition, the pigment dispersion (G-2) is silica (manufactured by Admatechs, SO-C2 ) 32.0 parts by mass, Solsperse 24000GR (manufactured by Louvresol) 0.44 parts by mass, polyurethane resin U-4 solution of Synthesis Example 4 (solid content 45% by mass) 12.0 parts by mass, phthalocyanine blue 0. 21 parts by mass, 0.06 parts by mass of anthraquinone yellow pigment (CI PY24), 1.65 parts by mass of IXE-6107 (manufactured by Toagosei), and melamine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) After 35 parts by mass and 77.4 parts by mass of cyclohexanone were mixed in advance, a motor mill M-250 (manufactured by Eiger) was used to obtain zirconia beads having a diameter of 1.0 mm and a peripheral speed of 9 m / s. Prepared by time dispersion.

(実施例8)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例7において、合成例4のポリウレタン樹脂U−4溶液(固形分45質量%)を合成例5のポリウレタン樹脂U−5溶液(固形分45質量%)に変更した以外は、実施例7と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 8)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 7 is the same as Example 7 except that the polyurethane resin U-4 solution (solid content 45% by mass) in Synthesis Example 4 is changed to the polyurethane resin U-5 solution (solid content 45% by mass) in Synthesis Example 5. Similarly, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(実施例9)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例7において、合成例4のポリウレタン樹脂U−4溶液(固形分45質量%)を合成例7のポリウレタン樹脂U−7溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例7と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
Example 9
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 7 is the same as Example 7 except that the polyurethane resin U-4 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 4 is replaced with the polyurethane resin U-7 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 7. Similarly, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(実施例10)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例7において、熱架橋剤(エポトートYDF−170、東都化成株式会社製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂)を、熱架橋剤(TECHMORE VG−3101、プリンテック株式会社製、ビスフェノール縮合型エポキシ樹脂)に代えた以外は、実施例7と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 10)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
In Example 7, a thermal crosslinking agent (Epototo YDF-170, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., bisphenol F type epoxy resin) was used as a thermal crosslinking agent (TECHMORE VG-3101, manufactured by Printec Co., Ltd., bisphenol condensation type epoxy resin). Except having replaced, it carried out similarly to Example 7, and manufactured the photosensitive film, the laminated body, and the permanent pattern.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、熱架橋剤(エポトートYDF−170、東都化成株式会社製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂)を添加しなかった以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
In Example 1, the photosensitive film, the laminate, and the same as in Example 1 except that the thermal crosslinking agent (Epototo YDF-170, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., bisphenol F type epoxy resin) was not added. A permanent pattern was produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(比較例2)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例10のポリウレタン樹脂U−Z溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 2)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content 45 mass%) of Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin U-Z solution (solid content 45 mass%) of Synthesis Example 10 in Example 1. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(比較例3)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例8のポリウレタン樹脂U−X溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 3)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content: 45% by mass) of Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin U-X solution of Synthesis Example 8 (solid content: 45% by mass). In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

(比較例4)
−感光性フィルム、積層体、及び永久パターンの製造、並びに評価−
実施例1において、合成例1のポリウレタン樹脂U−1溶液(固形分45質量%)を、合成例9のポリウレタン樹脂U−Y溶液(固形分45質量%)に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、表面硬度、微細パターン形成性、解像性、絶縁性、現像残渣除去性、耐熱性、及び強靭性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 4)
-Production and evaluation of photosensitive film, laminate and permanent pattern-
Example 1 Example 1 except that the polyurethane resin U-1 solution (solid content 45% by mass) of Synthesis Example 1 was replaced with the polyurethane resin UY solution of Synthesis Example 9 (solid content 45% by mass) in Example 1. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated surface hardness, fine pattern formation property, resolution, insulation, development residue removal property, heat resistance, and toughness. The results are shown in Table 1.

表1の結果から、実施例1〜10は、比較例1〜4に比べて、現像残渣除去性が高く、微細パターンが形成でき、解像性、耐熱性、強靭性、及び絶縁性に優れていることが分かった。   From the results of Table 1, Examples 1 to 10 have higher development residue removability and can form fine patterns than Comparative Examples 1 to 4, and are excellent in resolution, heat resistance, toughness, and insulation. I found out.

本発明の感光性組成物は、現像残渣除去性が高く、微細パターンが形成でき、耐熱性、強靭性、解像性、及び絶縁性に優れているので、特にソルダーレジストに好適に用いることができる。
本発明の感光性フィルムは、高精細な永久パターンを効率よく形成可能であるため、保護膜、層間絶縁膜、ソルダーレジストパターン等の永久パターン等の各種パターン形成、BGA(ボールグリッドアレイ)、CSP(チップサイズパッケージ)、TCP(テープキャリアパッケージ)等の半導体パッケージ形成用、カラーフィルタ、柱材、リブ材、スペーサー、隔壁などの液晶構造部材の製造、ホログラム、マイクロマシン、プルーフの製造等に好適に用いることができ、特にプリント基板の永久パターン形成用、BGA(ボールグリッドアレイ)、CSP(チップサイズパッケージ)、TCP(テープキャリアパッケージ)等の半導体パッケージの形成に好適に用いることができる。
本発明の永久パターン形成方法は、前記感光性組成物を用いるため、BGA(ボールグリッドアレイ)、CSP(チップサイズパッケージ)、TCP(テープキャリアパッケージ)等の半導体パッケージ形成用、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターン等の永久パターン等の各種パターン形成用、カラーフィルタ、柱材、リブ材、スペーサー、隔壁等の液晶構造部材の製造、ホログラム、マイクロマシン、プルーフの製造等に好適に用いることができ、特にプリント基板の永久パターン形成、BGA(ボールグリッドアレイ)、CSP(チップサイズパッケージ)、TCP(テープキャリアパッケージ)等の半導体パッケージの形成に好適に用いることができる。
The photosensitive composition of the present invention has a high development residue removability, can form a fine pattern, and is excellent in heat resistance, toughness, resolution, and insulation, so it is particularly suitable for use in a solder resist. it can.
Since the photosensitive film of the present invention can efficiently form a high-definition permanent pattern, various patterns such as a permanent pattern such as a protective film, an interlayer insulating film, a solder resist pattern, BGA (ball grid array), CSP Suitable for semiconductor package formation such as (chip size package) and TCP (tape carrier package), manufacturing of liquid crystal structural members such as color filters, pillars, ribs, spacers, partition walls, holograms, micromachines, proofs, etc. In particular, it can be suitably used for forming a permanent pattern of a printed circuit board, forming a semiconductor package such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), TCP (tape carrier package).
Since the permanent pattern forming method of the present invention uses the photosensitive composition, it is used for forming semiconductor packages such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), TCP (tape carrier package), protective film, interlayer insulation. Suitable for forming various patterns such as films and permanent patterns such as solder resist patterns, manufacturing of liquid crystal structural members such as color filters, pillar materials, rib materials, spacers, partition walls, holograms, micromachines, proofs, etc. In particular, it can be suitably used for forming a permanent pattern of a printed circuit board, forming a semiconductor package such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), and TCP (tape carrier package).

1 支持体
2 支持体側の面
3 永久パターンの側面
10 永久パターン
θ なす角
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support body 2 Support side surface 3 Permanent pattern side surface 10 Permanent pattern θ angle

Claims (16)

アルカリ現像性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、及び熱架橋剤を含有する感光性組成物であって、
前記アルカリ現像性樹脂が、ウレタン基により連結されたポリウレタン樹脂であり、かつ前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有し、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を有することを特徴とする感光性組成物。
A photosensitive composition containing an alkali-developable resin, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a thermal crosslinking agent,
The alkali-developable resin is a polyurethane resin linked by a urethane group, has at least one carboxyl group at the end of the main chain of the polyurethane resin, and has an ethylenically unsaturated group in the side chain. A photosensitive composition.
ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に2つ以上5つ以下のカルボキシル基を有する請求項1に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition of Claim 1 which has 2 or more and 5 or less carboxyl groups at the terminal of the principal chain of a polyurethane resin. ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に下記一般式(I)で表される構造を有する請求項1から2のいずれかに記載の感光性組成物。
−L−(COOH) ・・・ 一般式(I)
ただし、前記一般式(I)中、Lは、(n+1)価の有機連結鎖を表し、nは1以上の整数を示す。
The photosensitive composition in any one of Claim 1 to 2 which has a structure represented by the following general formula (I) at the terminal of the principal chain of a polyurethane resin.
-L 1 - (COOH) n ··· general formula (I)
In the general formula (I), L 1 represents an (n + 1) -valent organic connecting chain, and n represents an integer of 1 or more.
アルカリ現像性樹脂が、ポリウレタン樹脂の側鎖にカルボキシル基を有するアルカリ現像性ユニットを有する請求項1から3のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition in any one of Claim 1 to 3 with which alkali developable resin has the alkali developable unit which has a carboxyl group in the side chain of a polyurethane resin. アルカリ現像性ユニットが下記一般式(II)で表される請求項4に記載の感光性組成物。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、水素原子又はアルキル基を表し、R及びRは、各々独立に、単結合、エーテル基、エステル基、アミド基、カーボネート基を有していてもよいアルキレン基、及びカーボネート基を有していてもよいアリーレン基のいずれかを表す。
The photosensitive composition according to claim 4, wherein the alkali-developable unit is represented by the following general formula (II).
However, in the general formula (II), R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and R 2 and R 3 each independently have a single bond, an ether group, an ester group, an amide group, or a carbonate group. It represents either an alkylene group that may be present or an arylene group that may have a carbonate group.
アルカリ現像性樹脂が、下記一般式(VI)で表される構造単位を有する請求項1から5のいずれかに記載の感光性組成物。
ただし、前記一般式(VI)中、Xは、直接結合、−CH−、−C(CH−、−SO−、−S−、−CO−、又は−O−を示す。Yは、−NH−、−NHCO−、−NHCOO−、−CONH−、又は−OCONH−を示す。R11、R12、R13、及びR14は、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよく、それぞれ水素原子、一価の有機基、ハロゲン原子、−OR15、―N(R16)(R17)、又は−SR18を表し、R15、R16、R17、及びR18は、水素原子、又は一価の有機基を表す。
The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the alkali-developable resin has a structural unit represented by the following general formula (VI).
However, in the general formula (VI), X represents a direct bond, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —SO 2 —, —S—, —CO—, or —O—. Y represents —NH—, —NHCO—, —NHCOO—, —CONH—, or —OCONH—. R 11 , R 12 , R 13 , and R 14 may be the same as or different from each other, and are each a hydrogen atom, a monovalent organic group, a halogen atom, —OR 15 , —N (R 16) (R 17), or an -SR 18, R 15, R 16 , R 17, and R 18 represents a hydrogen atom, or a monovalent organic group.
エチレン性不飽和基を有する官能基が(メタ)アクリロイル基である請求項1から6のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the functional group having an ethylenically unsaturated group is a (meth) acryloyl group. アルカリ現像性樹脂が、ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を導入してなる請求項1から7のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the alkali-developable resin is obtained by introducing a carboxylic acid compound having at least one carboxyl group at the terminal of the main chain of the polyurethane resin. アルカリ現像性樹脂が、ジイソシアネート化合物、ジオール化合物、及び少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を重合して得られる請求項1から8のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the alkali-developable resin is obtained by polymerizing a diisocyanate compound, a diol compound, and a carboxylic acid compound having at least one carboxyl group. カルボン酸化合物がジカルボン酸化合物である請求項8から9のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 8, wherein the carboxylic acid compound is a dicarboxylic acid compound. ジイソシアネート化合物が芳香族系ジイソシアネート化合物である請求項10に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 10, wherein the diisocyanate compound is an aromatic diisocyanate compound. アルカリ現像性樹脂の重量平均分子量が5,000〜60,000である請求項1から11のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the alkali-developable resin has a weight average molecular weight of 5,000 to 60,000. 請求項1から12のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を支持体上に有してなることを特徴とする感光性フィルム。   A photosensitive film comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to claim 1 on a support. 基体上に請求項1から12のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体。   A photosensitive laminate comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to claim 1 on a substrate. 請求項1から12のいずれかに記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法。   A method for forming a permanent pattern comprising at least exposing a photosensitive layer formed of the photosensitive composition according to claim 1. 請求項15に記載の永久パターン形成方法により永久パターンを形成されてなることを特徴とするプリント基板。   A printed circuit board comprising a permanent pattern formed by the permanent pattern forming method according to claim 15.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013061639A (en) * 2011-08-19 2013-04-04 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, and photosensitive film, photosensitive laminate, method for forming permanent pattern, and printed substrate using same
JP5591855B2 (en) 2012-03-22 2014-09-17 富士フイルム株式会社 Polymerizable compound precursor
JP2017090490A (en) * 2015-11-02 2017-05-25 互応化学工業株式会社 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing the photosensitive resin composition
CN105159035B (en) * 2015-09-22 2018-05-18 上海华力微电子有限公司 A kind of exposure slide holder for improving wafer deformation
KR102363457B1 (en) * 2015-12-29 2022-02-15 동우 화인켐 주식회사 Colored Photosensitive Resin Composition and Column Spacer Comprising the Same
WO2018030761A1 (en) * 2016-08-09 2018-02-15 주식회사 엘지화학 Insulating layer production method and multilayered printed circuit board production method
JP7028724B2 (en) * 2018-01-26 2022-03-02 大日精化工業株式会社 Photosensitive urethane resin
WO2020243898A1 (en) * 2019-06-04 2020-12-10 Showa Denko Materials Co. Ltd Method for forming cured film
JP2020144374A (en) * 2020-04-07 2020-09-10 互応化学工業株式会社 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition
CN118459749B (en) * 2024-07-12 2024-09-24 华东理工大学 Binaphthyl azo-phenyl group-containing amphiphilic alternating copolymer, polymer film and application thereof

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4373540B2 (en) * 1999-05-20 2009-11-25 関西ペイント株式会社 Positive type active energy linear dry film and pattern forming method
JP4401262B2 (en) * 2004-02-02 2010-01-20 富士フイルム株式会社 Planographic printing plate precursor
JP2006206728A (en) * 2005-01-27 2006-08-10 Hitachi Chem Co Ltd Modified epoxy resin, method for producing the same, photosensitive resin composition, and photosensitive element
JP2007131833A (en) * 2005-10-13 2007-05-31 Hitachi Chem Co Ltd Modified epoxy resin and method for producing the same, and photosensitive resin composition, and photosensitive element using the composition
JP2008189877A (en) * 2007-02-07 2008-08-21 Fujifilm Corp Resin composition for laser-degradation, and pattern-forming material using the same
TWI353488B (en) * 2007-03-21 2011-12-01 Agi Corp Radiation curable and developable polyurethane
JP5513711B2 (en) * 2007-10-01 2014-06-04 太陽ホールディングス株式会社 Photosensitive resin composition and cured product thereof
JP5049175B2 (en) * 2008-03-25 2012-10-17 株式会社カネカ Novel photosensitive resin composition, photosensitive resin composition solution obtained therefrom, photosensitive film, insulating film, and printed wiring board with insulating film
JP2009251585A (en) * 2008-04-11 2009-10-29 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2009271290A (en) * 2008-05-07 2009-11-19 Toyo Ink Mfg Co Ltd Photosensitive resin composition for rigid printed wiring board

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