JP2020144374A - Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition Download PDF

Info

Publication number
JP2020144374A
JP2020144374A JP2020069311A JP2020069311A JP2020144374A JP 2020144374 A JP2020144374 A JP 2020144374A JP 2020069311 A JP2020069311 A JP 2020069311A JP 2020069311 A JP2020069311 A JP 2020069311A JP 2020144374 A JP2020144374 A JP 2020144374A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
photosensitive resin
carboxyl group
acid
compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2020069311A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
倫也 樋口
Michiya Higuchi
倫也 樋口
橋本 壯一
Soichi Hashimoto
壯一 橋本
貴 荒井
Takashi Arai
貴 荒井
浩信 川里
Hironobu Kawasato
浩信 川里
真司 稲葉
Shinji Inaba
真司 稲葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Goo Chemical Industries Co Ltd
Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Original Assignee
Goo Chemical Industries Co Ltd
Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Goo Chemical Industries Co Ltd, Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd filed Critical Goo Chemical Industries Co Ltd
Priority to JP2020069311A priority Critical patent/JP2020144374A/en
Publication of JP2020144374A publication Critical patent/JP2020144374A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

To provide a photosensitive resin composition having excellent developability with an alkali aqueous solution and giving a cured product having high electric insulation property and plating durability.SOLUTION: The photosensitive resin composition comprises a carboxyl group-containing resin, an unsaturated compound having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator and an epoxy compound, in which the carboxyl group-containing resin comprises a carboxyl group-containing resin that is a reaction product of an acid anhydride and an intermediate which is a reaction product of an epoxy compound having a bisphenol fluorene skeleton represented by the following formula (1) and an unsaturated group-containing carboxylic acid; the content of the unsaturated compound with respect to the carboxyl group-containing resin is 21 to 40 mass%; and the epoxy compound comprises a crystalline epoxy resin.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、ドライフィルム、プリント配線板、及びカルボキシル基含有樹脂の製造方法に関し、詳しくはプリント配線板に、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するための感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含有する層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a photosensitive resin composition, a dry film, a printed wiring board, and a carboxyl group-containing resin. Specifically, the printed wiring board has a solder resist layer, a plated resist layer, an etching resist layer, an interlayer insulating layer, and the like. A photosensitive resin composition for forming an electrically insulating layer, a dry film containing the photosensitive resin composition, and a printed wiring board provided with an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition. The present invention relates to a printed wiring board provided with a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a method for producing the photosensitive resin composition.

従来、プリント配線板の製造のためには、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために種々の電気絶縁性の樹脂組成物が使用されており、樹脂組成物としては例えば感光性樹脂組成物が使用されている。 Conventionally, for the production of printed wiring boards, various electrically insulating resin compositions have been used to form electrically insulating layers such as a solder resist layer, a plated resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer. As the resin composition, for example, a photosensitive resin composition is used.

感光性樹脂組成物から形成される層に高い耐熱性を付与するために、感光性樹脂組成物にビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を配合することが提案されている。例えば特許文献1には、フルオレンエポキシ(メタ)アクリレートを多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られるフルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂を用いることが開示されている。 In order to impart high heat resistance to the layer formed from the photosensitive resin composition, it has been proposed to add a carboxyl group-containing resin having a bisphenol fluorene skeleton to the photosensitive resin composition. For example, Patent Document 1 discloses the use of a carboxyl group-containing resin having a fluorene skeleton obtained by reacting a fluorene epoxy (meth) acrylate with a polyvalent carboxylic acid or an anhydride thereof.

しかし、感光性樹脂組成物にビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を配合すると、感光性樹脂組成物の現像性が低下してしまうという問題がある。感光性樹脂組成物の現像性が低い場合、十分な厚みを有する電気絶縁性の層を、フォトリソグラフィー法で形成することが困難になってしまう。 However, when a carboxyl group-containing resin having a bisphenol fluorene skeleton is blended with the photosensitive resin composition, there is a problem that the developability of the photosensitive resin composition is lowered. When the developability of the photosensitive resin composition is low, it becomes difficult to form an electrically insulating layer having a sufficient thickness by a photolithography method.

特許第4508929号公報Japanese Patent No. 4508929

本発明は上記事由に鑑みてなされたものであり、ビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を含有しながら、優れた現像性を備える感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above reasons, and is a photosensitive resin composition having excellent developability while containing a carboxyl group-containing resin having a bisphenol fluorene skeleton, and a dry containing the photosensitive resin composition. A film, a printed wiring board having an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, a printed wiring board having a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and the photosensitive resin composition. The purpose is to provide a manufacturing method.

本発明に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、
エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、
光重合開始剤(C)と、
エポキシ化合物(D)とを含有し、
前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)を含み、
前記カルボキシル基含有樹脂(A)に対する前記不飽和化合物(B)の含有量が、21〜40質量%であり、
前記エポキシ化合物(D)が、結晶性エポキシ樹脂を含有する。
The photosensitive resin composition according to the present invention includes a carboxyl group-containing resin (A) and
An unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule,
Photopolymerization initiator (C) and
Containing with epoxy compound (D),
The carboxyl group-containing resin (A) is represented by the following formula (1), and in the formula (1), R 1 to R 8 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen, bisphenol fluorene. It contains an intermediate which is a reaction product of an epoxy compound (a1) having a skeleton, an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), and a carboxyl group-containing resin (A1) which is a reaction product of an acid anhydride.
The content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is 21 to 40% by mass.
The epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

本発明に係るドライフィルムは、前記感光性樹脂組成物を含有する。 The dry film according to the present invention contains the photosensitive resin composition.

本発明に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備える。 The printed wiring board according to the present invention includes an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition.

本発明に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備える。 The printed wiring board according to the present invention includes a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition.

本発明に係る感光性樹脂組成物の製造方法は、
下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)のうち少なくとも一方を含む酸無水物と、を反応させることにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成し、
前記カルボキシル基含有樹脂(A1)を含むカルボキシル基含有樹脂(A)と、
エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、
光重合開始剤(C)と、
エポキシ化合物(D)とを混合することを含み、
前記カルボキシル基含有樹脂(A)に対する前記不飽和化合物(B)の含有量が、21〜40質量%であり、
前記エポキシ化合物(D)が、結晶性エポキシ樹脂を含有する。
The method for producing a photosensitive resin composition according to the present invention is
Represented by the following formula (1), in the formula (1), R 1 to R 8 are independently hydrogen, an epoxy compound (a1) having a bisphenol fluorene skeleton which is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen, and The unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) was reacted, and the resulting intermediate was mixed with an acid anhydride containing at least one of an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4). By reacting, a carboxyl group-containing resin (A1) is synthesized.
The carboxyl group-containing resin (A) containing the carboxyl group-containing resin (A1) and
An unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule,
Photopolymerization initiator (C) and
Including mixing with epoxy compound (D)
The content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is 21 to 40% by mass.
The epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

本発明によれば、ビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を含有しながら、優れた現像性を備える感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の製造方法が得られる。 According to the present invention, a photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin having a bisphenol fluorene skeleton and having excellent developability, a dry film containing the photosensitive resin composition, and the photosensitive resin composition. A printed wiring board having an interlayer insulating layer containing a cured product of the above, a printed wiring board having a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a method for producing the photosensitive resin composition can be obtained.

図1A乃至図1Eは、多層プリント配線板を製造する工程を示す断面図である。1A to 1E are cross-sectional views showing a process of manufacturing a multilayer printed wiring board.

本発明を実施するための形態について説明する。尚、以下の説明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」と「メタクリル」のうち少なくとも一方を意味する。例えば、(メタ)アクリレートは、アクリレートとメタクリレートとのうち少なくとも一方を意味する。 A mode for carrying out the present invention will be described. In the following description, "(meth) acrylic" means at least one of "acrylic" and "methacrylic". For example, (meth) acrylate means at least one of acrylate and methacrylate.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有する。 The photosensitive resin composition according to the present embodiment includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (C). And the epoxy compound (D).

カルボキシル基含有樹脂(A)はカルボキシル基含有樹脂(A1)を含む。このカルボキシル基含有樹脂(A1)は、例えば、下記式(1)で示され、式(1)中、R〜Rは各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物である。このカルボキシル基含有樹脂(A1)は、例えば、下記式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸無水物とを反応させることで合成される。 The carboxyl group-containing resin (A) contains a carboxyl group-containing resin (A1). This carboxyl group-containing resin (A1) is represented by, for example, the following formula (1), and in the formula (1), R 1 to R 8 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen, respectively. It is a reaction product of an epoxy compound (a1) having a bisphenol fluorene skeleton, an intermediate which is a reaction product of an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), and an acid anhydride. This carboxyl group-containing resin (A1) is obtained, for example, by reacting an epoxy compound (a1) having a bisphenol fluorene skeleton represented by the following formula (1) with an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). It is synthesized by reacting the intermediate with an acid anhydride.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンである。すなわち、式(1)におけるR1〜R8の各々は、水素でもよいが、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンでもよい。芳香環における水素が低分子量のアルキル基又はハロゲンで置換されても、カルボキシル基含有樹脂(A1)の物性に悪影響は与えられず、むしろ置換されることでカルボキシル基含有樹脂(A1)を含む感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性或いは難燃性が向上する場合もあるからである。 In the formula (1), R 1 to R 8 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen. That is, each of R 1 to R 8 in the formula (1) may be hydrogen, but may be an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen. Even if hydrogen in the aromatic ring is replaced with a low molecular weight alkyl group or halogen, the physical properties of the carboxyl group-containing resin (A1) are not adversely affected, but rather the substitution causes the photosensitivity containing the carboxyl group-containing resin (A1). This is because the heat resistance or flame retardancy of the cured product of the sex resin composition may be improved.

本実施形態ではカルボキシル基含有樹脂(A1)がエポキシ化合物(a1)に由来する式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)を含む感光性樹脂組成物の硬化物に高い耐熱性及び絶縁信頼性を付与できる。 In the present embodiment, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenol fluorene skeleton represented by the formula (1) derived from the epoxy compound (a1), so that the photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin (A1) is contained. High heat resistance and insulation reliability can be imparted to the cured product.

本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の含有量は、21〜40質量%の範囲内である。これにより、感光性樹脂組成物に優れた光硬化性を付与させながら、感光性樹脂組成物の現像性を向上させることができると共に、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を抑制することができる。すなわち、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の含有量が21質量%以上であることにより、感光性樹脂組成部の光硬化性を向上させながら、感光性樹脂組成物の現像性を向上させることができる。また、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の含有量が40質量%以下であることにより、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性が抑制される。 In the present embodiment, the content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 21 to 40% by mass. This makes it possible to improve the developability of the photosensitive resin composition while imparting excellent photocurability to the photosensitive resin composition, and suppress the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition. can do. That is, when the content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is 21% by mass or more, the photocurability of the photosensitive resin composition portion is improved, and the photosensitive resin composition is developed. The sex can be improved. Further, when the content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is 40% by mass or less, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition is suppressed.

本実施形態では、エポキシ化合物(D)が結晶性エポキシ樹脂を含有することにより、感光性樹脂組成物の現像性を向上させることができ、感光性樹脂組成物を、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液で現像可能とすることもできる。 In the present embodiment, since the epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin, the developability of the photosensitive resin composition can be improved, and the photosensitive resin composition can be prepared with an alkali metal salt and an alkali metal water. It can also be developed with an alkaline aqueous solution containing at least one of the oxides.

更に、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の含有量が、21〜40質量%の範囲内であり、かつ、エポキシ化合物(D)が結晶性エポキシ樹脂を含有することにより、優れた解像性が得られる。 Further, the content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 21 to 40% by mass, and the epoxy compound (D) contains the crystalline epoxy resin. Excellent resolution can be obtained.

これらのことから、本実施形態の感光性樹脂組成物は、ビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有しながら、優れた現像性を備える。 From these facts, the photosensitive resin composition of the present embodiment has excellent developability while containing a carboxyl group-containing resin (A1) having a bisphenol fluorene skeleton.

以下、本実施形態の感光性樹脂組成物について、更に詳しく説明する。 Hereinafter, the photosensitive resin composition of the present embodiment will be described in more detail.

まず、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基含有樹脂(A1)について、より具体的に説明する。カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成するためには、まず式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基(式(2)参照)の少なくとも一部と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させることで、中間体を合成する。中間体は、エポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた下記式(3)に示す構造を有する。すなわち、中間体は、式(3)に示す構造中に、エポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた二級の水酸基を有する。式(3)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基である。 First, the carboxyl group-containing resin (A1) contained in the carboxyl group-containing resin (A) will be described more specifically. In order to synthesize the carboxyl group-containing resin (A1), first, at least a part of the epoxy group (see formula (2)) in the epoxy compound (a1) having a bisphenol fluorene skeleton represented by the formula (1) and unsaturated. An intermediate is synthesized by reacting with a group-containing carboxylic acid (a2). The intermediate has a structure represented by the following formula (3) generated by a cycloaddition reaction between an epoxy group and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). That is, the intermediate has a secondary hydroxyl group generated by a cycloaddition reaction between an epoxy group and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the structure represented by the formula (3). In formula (3), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

Figure 2020144374
Figure 2020144374

次に中間体の二級の水酸基と、酸無水物とを反応させる。酸無水物は、例えば、酸二無水物(a3)と酸一無水物(a4)のうち、少なくとも一方を含有する。酸無水物が酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)を含有する場合、例えば、中間体中の二級の水酸基のうちの一部と酸二無水物(a3)とを反応させ、中間体中の二級の水酸基のうちの別の一部と酸一無水物(a4)とを反応させる。これにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成できる。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有し、酸無水物が酸一無水物(a4)を含有する場合は下記式(4)に示す構造を有し、酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合は下記式(5)に示す構造も有する。 Next, the secondary hydroxyl group of the intermediate is reacted with the acid anhydride. The acid anhydride contains, for example, at least one of an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4). When the acid anhydride contains an acid dianhydride (a3) and an acid dianhydride (a4), for example, a part of the secondary hydroxyl groups in the intermediate is reacted with the acid dianhydride (a3). Then, another part of the secondary hydroxyl groups in the intermediate is reacted with the acid dianhydride (a4). As a result, the carboxyl group-containing resin (A1) can be synthesized. Therefore, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenol fluorene skeleton represented by the formula (1), and when the acid anhydride contains the acid anhydride (a4), the structure represented by the following formula (4). When the acid anhydride contains an acid dianhydride (a3), it also has a structure represented by the following formula (5).

式(4)に示す構造は、中間体の式(3)で示す構造中の二級の水酸基と、酸一無水物(a4)における酸無水物基とが反応することで生じる。式(4)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Bは酸一無水物残基である。 The structure represented by the formula (4) is formed by the reaction of the secondary hydroxyl group in the structure represented by the formula (3) of the intermediate with the acid anhydride group in the acid anhydride (a4). In formula (4), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue and B is an acid monoanhydride residue.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

式(5)に示す構造は、酸二無水物(a3)中の二つの酸無水物基と、中間体における二つの二級の水酸基とが、それぞれ反応することで生じる。すなわち、式(5)に示す構造は、二つの二級の水酸基同士を酸二無水物(a3)が架橋することで生成する。なお、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合とが、ありうる。中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋されると、分子量の増大が得られる。式(5)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。 The structure represented by the formula (5) is formed by the reaction between the two acid anhydride groups in the acid dianhydride (a3) and the two secondary hydroxyl groups in the intermediate. That is, the structure represented by the formula (5) is formed by cross-linking the two secondary hydroxyl groups with the acid dianhydride (a3). In addition, there are cases where two secondary hydroxyl groups existing in one molecule of the intermediate are crosslinked, and cases where two secondary hydroxyl groups existing in each of the two molecules of the intermediate are crosslinked. But it is possible. When the two secondary hydroxyl groups present in each of the two molecules of the intermediate are crosslinked, an increase in molecular weight is obtained. In formula (5), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue and D is an acid dianhydride residue.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

カルボキシル基含有樹脂(A1)が、更に下記式(6)で示す構造を有することもありうる。式(6)で示す構造は、酸二無水物(a3)中の二つの酸無水物基のうち、一つのみが、中間体における二級の水酸基と反応することで生じる。式(6)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。 The carboxyl group-containing resin (A1) may further have a structure represented by the following formula (6). The structure represented by the formula (6) is formed by reacting only one of the two acid anhydride groups in the acid dianhydride (a3) with the secondary hydroxyl group in the intermediate. In formula (6), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue and D is an acid dianhydride residue.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

中間体の合成時にエポキシ化合物(a1)中のエポキシ基の一部が未反応のまま残存する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は式(2)に示す構造、すなわちエポキシ基を有することがありうる。また、中間体における式(3)に示す構造の一部が未反応のまま残存する場合に、カルボキシル基含有樹脂(A1)は式(3)に示す構造を有することもありうる。 When a part of the epoxy group in the epoxy compound (a1) remains unreacted during the synthesis of the intermediate, the carboxyl group-containing resin (A1) may have a structure represented by the formula (2), that is, an epoxy group. sell. Further, the carboxyl group-containing resin (A1) may have the structure represented by the formula (3) when a part of the structure represented by the formula (3) in the intermediate remains unreacted.

ただし、本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件を最適化することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)中の式(2)に示す構造、及び式(6)に示す構造を低減し、或いは殆どなくすことが可能である。 However, in the present embodiment, by optimizing the reaction conditions at the time of synthesizing the carboxyl group-containing resin (A1), the structure represented by the formula (2) and the formula (6) in the carboxyl group-containing resin (A1) can be obtained. It is possible to reduce or almost eliminate the structures shown.

以上により、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有し、酸無水物が酸一無水物(a4)を含有する場合は式(4)に示す構造を有し、酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合は式(5)に示す構造も有する。さらに、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(2)に示す構造と、式(3)に示す構造と、式(6)に示す構造とのうち少なくとも一種を有することがある。 As described above, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenol fluorene skeleton represented by the formula (1), and when the acid anhydride contains the acid anhydride (a4), the structure represented by the formula (4) is obtained. When the acid anhydride contains an acid dianhydride (a3), it also has a structure represented by the formula (5). Further, the carboxyl group-containing resin (A1) may have at least one of a structure represented by the formula (2), a structure represented by the formula (3), and a structure represented by the formula (6).

また、エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合、すなわち、例えば後述する式(7)においてn=1以上である場合には、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基と酸無水物が反応することで生じる構造を有することもある。 Further, when the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group, that is, when n = 1 or more in the formula (7) described later, for example, the carboxyl group-containing resin (A1) is the epoxy compound (a1). ) May have a structure formed by the reaction of the secondary hydroxyl group and the acid anhydride.

なお、上述のカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造は技術常識に基づいて合理的に類推されたものであり、カルボキシル基含有樹脂(A1)の構造を分析によって同定することは現実にはできない。その理由は次の通りである。エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合(例えば式(7)においてnが1以上である場合)には、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基の数によってカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造が大きく変化してしまう。また、中間体と酸二無水物(a3)とが反応する際には、上述の通り、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合とが、ありうる。このため、最終的に得られるカルボキシル基含有樹脂(A1)は、互いに構造の異なる複数の分子を含み、カルボキシル基含有樹脂(A1)を分析してもその構造を同定できなくなる。 The structure of the above-mentioned carboxyl group-containing resin (A1) is reasonably inferred based on common general technical knowledge, and it is not possible to identify the structure of the carboxyl group-containing resin (A1) by analysis. The reason is as follows. When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group (for example, when n is 1 or more in the formula (7)), the carboxyl group-containing resin depends on the number of secondary hydroxyl groups in the epoxy compound (a1). The structure of (A1) changes significantly. Further, when the intermediate reacts with the acid dianhydride (a3), as described above, the two secondary hydroxyl groups existing in one molecule of the intermediate are formed by the acid dianhydride (a3). There may be cases where the two secondary hydroxyl groups existing in the two molecules of the intermediate are cross-linked with the acid dianhydride (a3). Therefore, the finally obtained carboxyl group-containing resin (A1) contains a plurality of molecules having different structures from each other, and the structure cannot be identified even by analyzing the carboxyl group-containing resin (A1).

カルボキシル基含有樹脂(A1)は、不飽和基含有カルボン酸(a2)に由来するエチレン性不飽和基を有することで光反応性を有する。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は感光性樹脂組成物に感光性、具体的には紫外線硬化性、を付与できる。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸無水物に由来するカルボキシル基を有することで、感光性樹脂組成物に、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液による現像性を付与できる。さらに、酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸二無水物(a3)によって架橋されていることで分子量が調整されている。このため、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が得られる。すなわち、酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)の量、並びに酸二無水物(a3)に対する酸一無水物(a4)の量を制御することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量及び酸価を容易に調整できる。 The carboxyl group-containing resin (A1) has a photoreactivity because it has an ethylenically unsaturated group derived from an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). Therefore, the carboxyl group-containing resin (A1) can impart photosensitivity, specifically, ultraviolet curability, to the photosensitive resin composition. Further, the carboxyl group-containing resin (A1) is based on an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide in the photosensitive resin composition because it has a carboxyl group derived from an acid anhydride. Developability can be imparted. Further, when the acid anhydride contains an acid dianhydride (a3), the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is adjusted by being crosslinked by the acid dianhydride (a3). Therefore, a carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted can be obtained. That is, by controlling the amount of acid dianhydride (a3) and acid monoanhydride (a4) and the amount of acid dianhydride (a4) with respect to the acid dianhydride (a3), the carboxyl group-containing resin (A1) ) Can be easily adjusted in molecular weight and acid value.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の原料、並びにカルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件について詳しく説明する。 The raw material of the carboxyl group-containing resin (A1) and the reaction conditions at the time of synthesizing the carboxyl group-containing resin (A1) will be described in detail.

エポキシ化合物(a1)は、例えば下記式(7)に示す構造を有する。式(7)中のnは、例えば0〜20の範囲内の数である。カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量を適切に制御するためには、nの平均は0〜1の範囲内であることが特に好ましい。nの平均が0〜1の範囲内であれば、酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、酸二無水物(a3)の付加による過剰な分子量の増大が抑制されやすくなる。 The epoxy compound (a1) has, for example, a structure represented by the following formula (7). N in the formula (7) is, for example, a number in the range of 0 to 20. In order to appropriately control the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1), the average of n is particularly preferably in the range of 0 to 1. When the average of n is in the range of 0 to 1, when the acid anhydride contains the acid dianhydride (a3), the excessive increase in molecular weight due to the addition of the acid dianhydride (a3) is likely to be suppressed. ..

Figure 2020144374
Figure 2020144374

不飽和基含有カルボン酸(a2)は、例えばエチレン性不飽和基を1個のみ有する化合物を含有できる。より具体的には、不飽和基含有カルボン酸(a2)は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、クロトン酸、桂皮酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、2−アクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルマレイン酸、2−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、β−カルボキシエチルアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、及び2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。好ましくは、不飽和基含有カルボン酸(a2)がアクリル酸を含有する。 The unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) can contain, for example, a compound having only one ethylenically unsaturated group. More specifically, the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) includes, for example, acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, crotonic acid, cinnamic acid, 2-acryloyloxyethyl succinate. Acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, 2-acryloyloxyethyl phthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl phthalic acid, 2-acryloyloxypropylphthalic acid, 2-methacryloyloxypropylphthalic acid, 2-acryloyloxyethyl maleic acid, 2-methacryloyloxyethyl maleic acid, β-carboxyethyl acrylate, 2-acryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, and 2-methacryloyloxyethyl hexahydro It can contain one or more compounds selected from the group consisting of phthalic acids. Preferably, the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) contains acrylic acid.

エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えばエポキシ化合物(a1)の溶剤溶液に不飽和基含有カルボン酸(a2)を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、中間体を得ることができる。溶剤は、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、及びトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、及び酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類、及びジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。熱重合禁止剤は例えばハイドロキノン及びハイドロキノンモノメチルエーテルのうち少なくとも一方を含有する。触媒は例えばベンジルジメチルアミン、トリエチルアミン等の第3級アミン類、トリメチルベンジルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド等の第4級アンモニウム塩類、トリフェニルフォスフィン、及びトリフェニルスチビンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 A known method can be adopted in reacting the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). For example, an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) is added to a solvent solution of the epoxy compound (a1), and if necessary, a thermal polymerization inhibitor and a catalyst are added and mixed by stirring to obtain a reactive solution. An intermediate can be obtained by reacting this reactive solution by a conventional method at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C. Solvents include, for example, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate and propylene glycol monomethyl ether. It can contain at least one component selected from the group consisting of acetic acid esters such as acetate and dialkyl glycol ethers. The thermal polymerization inhibitor contains, for example, at least one of hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether. The catalyst is selected from the group consisting of, for example, tertiary amines such as benzyldimethylamine and triethylamine, quaternary ammonium salts such as trimethylbenzylammonium chloride and methyltriethylammonium chloride, triphenylphosphine, and triphenylstibine. Can contain a kind of ingredient.

触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させることが好ましい。この場合、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応が特に促進され、95%以上、或いは97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(3)に示す構造を有する中間体が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 It is preferred that the catalyst particularly contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the presence of triphenylphosphine. In this case, the ring-opening addition reaction between the epoxy group and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the epoxy compound (a1) is particularly promoted, and the reaction rate (conversion) is 95% or more, 97% or more, or almost 100%. Rate) can be achieved. Therefore, an intermediate having the structure represented by the formula (3) can be obtained in a high yield. In addition, the occurrence of ion migration in the layer containing the cured product of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing the cured product is further improved.

エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させる際のエポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する不飽和基含有カルボン酸(a2)の量は0.8〜1.2モルの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の優れた感光性と保存安定性が得られる。 When the epoxy compound (a1) is reacted with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), the amount of the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) is 0.8 to 1. It is preferably in the range of 2 mol. In this case, excellent photosensitivity and storage stability of the photosensitive resin composition can be obtained.

エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、不飽和基の付加重合反応を抑制して、中間体の分子量の増大及び中間体の溶液のゲル化を抑制できる。また、最終生成物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な着色を抑制できる。 It is also preferable to react the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) under air bubbling. In this case, the addition polymerization reaction of the unsaturated group can be suppressed, and the increase in the molecular weight of the intermediate and the gelation of the solution of the intermediate can be suppressed. In addition, excessive coloring of the final product, the carboxyl group-containing resin (A1), can be suppressed.

このようにして得られる中間体は、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)におけるカルボキシル基とが反応することで生成した水酸基を備える。 The intermediate thus obtained comprises a hydroxyl group generated by the reaction of the epoxy group in the epoxy compound (a1) and the carboxyl group in the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2).

酸二無水物(a3)は、酸無水物基を二つ有する化合物である。酸二無水物(a3)は、テトラカルボン酸の無水物を含有できる。酸二無水物(a3)は、例えば1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、エチレンテトラカルボン酸二無水物、9,9’−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、グリセリンビスアンヒドロトリメリテートモノアセテート、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)ナフト〔1,2−c〕フラン−1,3−ジオン、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。特に酸二無水物(a3)が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含有することが好ましい。すなわち、式(5)及び式(6)におけるDが3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸二無水物(a3)全体に対して、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これに限られない。 The acid dianhydride (a3) is a compound having two acid anhydride groups. The acid dianhydride (a3) can contain an anhydride of a tetracarboxylic acid. The acid dianhydride (a3) is, for example, 1,2,4,5-benzenetetracarboxylic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, methylcyclohexenetetracarboxylic dianhydride, tetracarboxylic dianhydride, Naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, ethylenetetracarboxylic dianhydride, 9,9'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, glycerin bisuanhydrotri Melitate monoacetate, ethylene glycol bisanehydrotrimericate, 3,3', 4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5 (tetrahydro) -2,5-dioxo-3-furanyl) naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride and 3,3', 4, It can contain at least one compound selected from the group consisting of 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. In particular, the acid dianhydride (a3) preferably contains 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride. That is, it is preferable that D in the formulas (5) and (6) contains 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition can be further suppressed, and the insulation reliability and plating resistance of the cured product can be further improved. .. The amount of 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferably in the range of 20 to 100 mol%, preferably 40 to 100 mol%, based on the whole acid dianhydride (a3). It is more preferably, but not limited to, within the range.

酸一無水物(a4)は、酸無水物基を一つ有する化合物である。酸一無水物(a4)は、ジカルボン酸の無水物を含有できる。酸一無水物(a4)は、例えばフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、コハク酸無水物、メチルコハク酸無水物、マレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、グルタル酸無水物、及びイタコン酸無水物からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。特に酸一無水物(a4)が1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸を含有することが好ましい。すなわち、式(4)におけるBが1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸一無水物(a4)全体に対して、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これに限られない。 The acid anhydride (a4) is a compound having one acid anhydride group. The acid monoanhydride (a4) can contain an anhydride of a dicarboxylic acid. The acid monoanhydride (a4) is, for example, phthalic anhydride, 1,2,3,6-tetrahydroanhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexa. It can contain one or more compounds selected from the group consisting of hydrophthalic anhydride, succinic anhydride, methylsuccinic anhydride, maleic anhydride, citraconic acid anhydride, glutaric acid anhydride, and itaconic acid anhydride. .. In particular, the acid monoanhydride (a4) preferably contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. That is, it is preferable that B in the formula (4) contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition can be further suppressed, and the insulation reliability and plating resistance of the cured product can be further improved. .. 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride is preferably in the range of 20 to 100 mol%, preferably in the range of 40 to 100 mol%, based on the whole acid monoanhydride (a4). Is more preferable, but is not limited to this.

中間体と酸無水物とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えば中間体の溶剤溶液に酸無水物を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、カルボキシル基含有樹脂(A1)を得ることができる。溶剤、触媒及び重合禁止剤としては、適宜のものが使用でき、中間体の合成時に使用した溶剤、触媒及び重合禁止剤をそのまま使用することもできる。 A known method can be adopted in reacting the intermediate with the acid anhydride. For example, an acid anhydride is added to a solvent solution of an intermediate, and if necessary, a thermal polymerization inhibitor and a catalyst are added and mixed by stirring to obtain a reactive solution. The carboxyl group-containing resin (A1) can be obtained by reacting this reactive solution by a conventional method at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C. As the solvent, catalyst and polymerization inhibitor, appropriate ones can be used, and the solvent, catalyst and polymerization inhibitor used at the time of synthesizing the intermediate can also be used as they are.

触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、中間体と酸無水物とを反応させることが好ましい。この場合、中間体における二級の水酸基と酸無水物との反応が特に促進され、90%以上、95%以上、97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(4)に示す構造及び式(5)に示す構造を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 It is preferred that the catalyst particularly contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the intermediate with the acid anhydride in the presence of triphenylphosphine. In this case, the reaction between the secondary hydroxyl group and the acid anhydride in the intermediate is particularly promoted, and a reaction rate (conversion rate) of 90% or more, 95% or more, 97% or more, or almost 100% can be achieved. It is possible. Therefore, the carboxyl group-containing resin (A1) having the structure represented by the formula (4) and the structure represented by the formula (5) can be obtained in a high yield. In addition, the occurrence of ion migration in the layer containing the cured product of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing the cured product is further improved.

中間体と、酸無水物とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、生成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な分子量増大が抑制されることで、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。 It is also preferable to react the intermediate with the acid anhydride under air bubbling. In this case, by suppressing an excessive increase in the molecular weight of the produced carboxyl group-containing resin (A1), the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved.

酸無水物が酸二無水物(a4)と酸一無水物(a4)とを含有する場合、中間体と、酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)とを反応させる際、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸二無水物(a3)の量は、0.05〜0.24モルの範囲内であることが好ましい。また、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸一無水物(a4)の量は0.3〜0.7モルの範囲内であることが好ましい。この場合、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が容易に得られる。また、生成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な分子量増大が抑制されることで、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。 When the acid anhydride contains an acid dianhydride (a4) and an acid monoanhydride (a4), when the intermediate is reacted with the acid dianhydride (a4) and the acid dianhydride (a3), The amount of acid dianhydride (a3) is preferably in the range of 0.05 to 0.24 mol with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1). The amount of acid monoanhydride (a4) is preferably in the range of 0.3 to 0.7 mol with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1). In this case, a carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted can be easily obtained. Further, by suppressing an excessive increase in the molecular weight of the generated carboxyl group-containing resin (A1), the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみを含有してもよく、カルボキシル基含有樹脂(A1)以外のカルボキシル基含有樹脂(以下、カルボキシル基含有樹脂(F)ともいう)を更に含有してもよい。 The carboxyl group-containing resin (A) may contain only the carboxyl group-containing resin (A1), and is a carboxyl group-containing resin other than the carboxyl group-containing resin (A1) (hereinafter, also referred to as a carboxyl group-containing resin (F)). May be further contained.

カルボキシル基含有樹脂(F)は、例えば、カルボキシル基を有し光重合性を有さない化合物(以下、(F1)成分という)を含有できる。(F1)成分は、例えばカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含むエチレン性不飽和単量体の重合体を含有する。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、アクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート等の化合物を含有できる。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等と二塩基酸無水物との反応物も含有できる。エチレン性不飽和単量体は、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。 The carboxyl group-containing resin (F) can contain, for example, a compound having a carboxyl group and no photopolymerizability (hereinafter, referred to as (F1) component). The component (F1) contains, for example, a polymer of an ethylenically unsaturated monomer containing an ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can contain a compound such as acrylic acid, methacrylic acid, and ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can also contain a reaction product of pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate and the like with a dibasic acid anhydride. The ethylenically unsaturated monomer is 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, a linear or branched aliphatic or alicyclic group (however, however). It may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group, such as a (meth) acrylic acid ester (which may have a partially unsaturated bond in the ring).

カルボキシル基含有樹脂(F)は、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する化合物(以下、(F2)成分という)を含有してもよい。(F2)成分は、例えば一分子中に二個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(g1)とエチレン性不飽和化合物(g2)との反応物である中間体と、多価カルボン酸及びその無水物の群から選択される少なくとも一種の化合物(g3)との反応物である樹脂(第一の樹脂(g)という)を含有する。第一の樹脂(g)は、例えばエポキシ化合物(g1)中のエポキシ基と、エチレン性不飽和化合物(g2)中のカルボキシル基とを反応させて得られた中間体に化合物(g3)を付加させて得られる。エポキシ化合物(g1)は、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂等の適宜のエポキシ樹脂を含有できる。エポキシ化合物(g1)は、エチレン性不飽和化合物(h)の重合体を含有してもよい。エチレン性不飽和化合物(h)は、例えばグリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する化合物(h1)を含有し、或いは更に2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート等のエポキシ基を有さない化合物(h2)を含有する。エチレン性不飽和化合物(g2)は、アクリル酸及びメタクリル酸のうち少なくとも一方を含有することが好ましい。化合物(g3)は、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸等の多価カルボン酸と、これらの多価カルボン酸の無水物とからなる群から選択される一種以上の化合物を含有する。 The carboxyl group-containing resin (F) may contain a compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group (hereinafter, referred to as a component (F2)). The component (F2) is, for example, an intermediate which is a reaction product of an epoxy compound (g1) having two or more epoxy groups in one molecule and an ethylenically unsaturated compound (g2), a polyvalent carboxylic acid and its anhydride. It contains a resin (referred to as the first resin (g)) which is a reaction product with at least one compound (g3) selected from the group of substances. In the first resin (g), for example, the compound (g3) is added to an intermediate obtained by reacting an epoxy group in an epoxy compound (g1) with a carboxyl group in an ethylenically unsaturated compound (g2). You can get it. The epoxy compound (g1) can contain an appropriate epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin and a phenol novolac type epoxy resin. The epoxy compound (g1) may contain a polymer of the ethylenically unsaturated compound (h). The ethylenically unsaturated compound (h) contains a compound (h1) having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, or further has no epoxy group such as 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate. Contains compound (h2). The ethylenically unsaturated compound (g2) preferably contains at least one of acrylic acid and methacrylic acid. The compound (g3) contains one or more compounds selected from the group consisting of polyvalent carboxylic acids such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, and methyltetrahydrophthalic acid and anhydrides of these polyvalent carboxylic acids. ..

(F2)成分は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含有するエチレン性不飽和単量体の重合体とエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物との反応物である樹脂(第二の樹脂(i)という)を含有してもよい。エチレン性不飽和単量体はカルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。第二の樹脂(i)は、重合体におけるカルボキシル基の一部にエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物を反応させることで得られる。エチレン性不飽和単量体は、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等の化合物を含有する。カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物は、例えば2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の化合物を含有する。エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物は、グリシジル(メタ)アクリレートを含有することが好ましい。 The component (F2) is a resin (second resin) which is a reaction product of a polymer of an ethylenically unsaturated monomer containing an ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group. (I)) may be contained. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. The second resin (i) is obtained by reacting an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group with a part of the carboxyl groups in the polymer. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group contains, for example, a compound such as acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol trimethacrylate. Ethyl unsaturated compounds having no carboxyl group include, for example, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or fat. It contains a compound such as a cyclic (meth) acrylic acid ester, which may have a partially unsaturated bond in the ring. The ethylenically unsaturated compound having an epoxy group preferably contains glycidyl (meth) acrylate.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみ、又はカルボキシル基含有樹脂(A1)とカルボキシル基含有樹脂(F)とを含む。本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A)が、カルボキシル基含有樹脂(A1)を30質量%以上含有することが好ましく、50質量%以上含有することがより好ましく、100質量%含有することがさらに好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性及び絶縁信頼性を特に向上させることができる。また、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を十分に抑制することができる。更に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を確保することができる。 The carboxyl group-containing resin (A) includes only the carboxyl group-containing resin (A1), or the carboxyl group-containing resin (A1) and the carboxyl group-containing resin (F). In the present embodiment, the carboxyl group-containing resin (A) preferably contains the carboxyl group-containing resin (A1) in an amount of 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, and preferably 100% by mass. More preferred. In this case, the heat resistance and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition can be particularly improved. In addition, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition can be sufficiently suppressed. Further, the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution can be ensured.

本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量が、1000〜5000の範囲内であることが好ましい。カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量が1000以上であると、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性が更に抑制されると共に、感光性樹脂組成物の硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量が5000以下であると、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量は、例えば、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィによる次の条件での測定結果から算出され得る。 In the present embodiment, the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 1000 to 5000. When the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is 1000 or more, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition is further suppressed, and the insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition is further suppressed. And the plating resistance can be further improved. Further, when the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is 5000 or less, the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) can be calculated, for example, from the measurement results under the following conditions by gel permeation chromatography.

GPC装置:昭和電工社製 SHODEX SYSTEM 11、
カラム:SHODEX KF−800P,KF−005,KF−003,KF−001の4本直列、
移動相:THF、
流量:1ml/分、
カラム温度:45℃、
検出器:RI、
換算:ポリスチレン。
GPC device: Showa Denko SHODEX SYSTEM 11,
Column: 4 series of SHODEX KF-800P, KF-005, KF-003, KF-001,
Mobile phase: THF,
Flow rate: 1 ml / min,
Column temperature: 45 ° C,
Detector: RI,
Conversion: Polystyrene.

本実施形態では、感光性樹脂組成物中のカルボキシル基含有樹脂(A1)の固形分酸価は60〜140mgKOH/gの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性が特に向上する。酸価が80〜135mgKOH/gの範囲内であればより好ましく、酸価が90〜130mgKOH/gの範囲内であれば更に好ましい。 In the present embodiment, the solid acid value of the carboxyl group-containing resin (A1) in the photosensitive resin composition is preferably in the range of 60 to 140 mgKOH / g. In this case, the developability of the photosensitive resin composition is particularly improved. It is more preferable if the acid value is in the range of 80 to 135 mgKOH / g, and further preferably if the acid value is in the range of 90 to 130 mgKOH / g.

本実施形態の感光性樹脂組成物は、上記のカルボキシル基含有樹脂(A)以外に、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有する。 The photosensitive resin composition of the present embodiment contains an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (in addition to the above-mentioned carboxyl group-containing resin (A)). It contains C) and an epoxy compound (D).

不飽和化合物(B)は、感光性樹脂組成物に光硬化性を付与できる。不飽和化合物(B)は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレート;並びにジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε―カプロラクトン変性ペンタエリストールヘキサアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。 The unsaturated compound (B) can impart photocurability to the photosensitive resin composition. The unsaturated compound (B) is a monofunctional (meth) acrylate such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; as well as a diethylene glycol di (meth) acrylate, a trimethylol propandi (meth) acrylate, and a trimethyl propanthry (meth). Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone-modified pentaeristol hexaacrylate, tricyclodecandy It can contain at least one compound selected from the group consisting of polyfunctional (meth) acrylates such as methanol di (meth) acrylate.

特に不飽和化合物(B)が、三官能の化合物、すなわち一分子中に不飽和結合を3つ有する化合物を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される皮膜を露光・現像する場合の解像性が向上すると共に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。三官能の化合物は、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリストールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート及びε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート及びエトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。 In particular, the unsaturated compound (B) preferably contains a trifunctional compound, that is, a compound having three unsaturated bonds in one molecule. In this case, the resolvability when the film formed from the photosensitive resin composition is exposed and developed is improved, and the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Trifunctional compounds include, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaeristoltri (meth) acrylate, ethoxylated isocyanurate tri (meth) acrylate and ε-caprolactone-modified. It can contain at least one compound selected from the group consisting of tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate and ethoxylated glycerin tri (meth) acrylate.

不飽和化合物(B)が、リン含有化合物(リン含有不飽和化合物)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有不飽和化合物は、例えば2−メタクリロイロキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトエステルP−1M、及びライトエステルP−2M)、2−アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトアクリレートP−1A)、ジフェニル−2−メタクリロイルオキシエチルフォスフェート(具体例として大八工業株式会社製の品番MR−260)、並びに昭和高分子株式会社製のHFAシリーズ(具体例としてジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCAとの付加反応物である品番HFAー6003、及びHFA−6007、カプロラクトン変性ジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCAとの付加反応物である品番HFAー3003、及びHFA−6127等)からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。 It is also preferable that the unsaturated compound (B) contains a phosphorus-containing compound (phosphorus-containing unsaturated compound). In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Examples of the phosphorus-containing unsaturated compound include 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate (specific examples, product numbers Light Ester P-1M and Light Ester P-2M manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and 2-acryloyloxyethyl acid phosphate. (Specific example, product number light acrylate P-1A manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), diphenyl-2-methacryloyloxyethyl phosphate (part number MR-260 manufactured by Daihachi Kogyo Co., Ltd.), and Showa Polymer Co., Ltd. HFA series (for example, product number HFA-6003, which is an addition reaction product of dipentaerystol hexaacrylate and HCA, and HFA-6007, an addition reaction product of caprolactone-modified dipentaerystol hexaacrylate and HCA. It can contain one or more compounds selected from the group consisting of product numbers HFA-303, HFA-6127, etc.).

不飽和化合物(B)が、プレポリマーを含有してもよい。プレポリマーは、例えばエチレン性不飽和結合を有するモノマーを重合させてからエチレン性不飽和基を付加して得られるプレポリマー、並びにオリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。オリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類は、例えばエポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコーン樹脂(メタ)アクリレート、及びスピラン樹脂(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 The unsaturated compound (B) may contain a prepolymer. The prepolymer is at least one selected from the group consisting of, for example, a prepolymer obtained by polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated bond and then adding an ethylenically unsaturated group, and oligo (meth) acrylate prepolymers. Can contain the compounds of. Oligo (meth) acrylate prepolymers include, for example, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, and spirane resin (meth) acrylate. It can contain at least one component selected from the group consisting of.

光重合開始剤(C)は、例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。すなわち、感光性樹脂組成物は例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。この場合、感光性樹脂組成物がカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有するにもかかわらず、感光性樹脂組成物を紫外線で露光する場合に感光性樹脂組成物に高い感光性を付与できる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 The photopolymerization initiator (C) contains, for example, an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1). That is, the photosensitive resin composition contains, for example, an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1). In this case, even though the photosensitive resin composition contains the carboxyl group-containing resin (A1), high photosensitive can be imparted to the photosensitive resin composition when the photosensitive resin composition is exposed to ultraviolet rays. In addition, the occurrence of ion migration in the layer containing the cured product of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing the cured product is further improved.

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)は、例えば2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−エチル−フェニル−フォスフィネート等のモノアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、並びにビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、(2,5,6−トリメチルベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。特にアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドを含有することが好ましく、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドのみを含有することも好ましい。 The acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1) is a monoacyl such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide or 2,4,6-trimethylbenzoyl-ethyl-phenyl-phosphinate. Phosphine oxide-based photopolymerization initiator, and bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2) , 6-Dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4,6) -Trimethylbenzoyl) Selected from the group consisting of bisacylphosphine oxide-based photopolymerization initiators such as phenylphosphine oxide and (2,5,6-trimethylbenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide. It can contain one or more components. In particular, the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1) preferably contains 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, and the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1) contains 2, It is also preferable to contain only 4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide.

光重合開始剤(C)がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に加えてヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。すなわち感光性樹脂組成物がヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。この場合、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有しない場合と比べて、感光性樹脂組成物に更に高い感光性を付与できる。これにより、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に紫外線を照射して硬化させる場合、塗膜をその表面から深部に亘って十分に硬化させることが可能となる。ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)としては、例えば1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、フェニルグリオキシックアシッドメチルエステル、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン及び2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンが挙げられる。 It is preferable that the photopolymerization initiator (C) contains a hydroxyketone-based photopolymerization initiator (C2) in addition to the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1). That is, it is preferable that the photosensitive resin composition contains a hydroxyketone-based photopolymerization initiator (C2). In this case, higher photosensitivity can be imparted to the photosensitive resin composition as compared with the case where the hydroxyketone-based photopolymerization initiator (C2) is not contained. As a result, when the coating film formed from the photosensitive resin composition is cured by irradiating it with ultraviolet rays, the coating film can be sufficiently cured from the surface to the deep part. Examples of the hydroxyketone-based photopolymerization initiator (C2) include 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, phenylglycoxyacid methyl ester, and 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy. -2-Methyl-1-propane-1-one, 2-hydroxy-1-{4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propane-1- On and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-one can be mentioned.

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)とヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)との質量比は、1:0.01〜1:10の範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜の表面付近における硬化性と深部における硬化性とを、バランス良く向上させることができる。 The mass ratio of the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1) to the hydroxyketone-based photopolymerization initiator (C2) is preferably in the range of 1: 0.01 to 1:10. In this case, the curability near the surface of the coating film formed from the photosensitive resin composition and the curability in the deep part can be improved in a well-balanced manner.

光重合開始剤(C)がビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。すなわち、感光性樹脂組成物がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有し、或いはアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を部分的に露光してから現像する場合、露光されない部分の硬化が抑制されることで、解像性が特に高くなる。このため感光性樹脂組成物の硬化物で非常に微細なパターンを形成することが可能となる。特に、感光性樹脂組成物から多層プリント配線板の層間絶縁層を作製すると共にこの層間絶縁層にスルーホールのための小径の穴をフォトリソグラフィー法で設ける場合(図1参照)、小径の穴を精密且つ容易に形成することが可能となる。 It is also preferable that the photopolymerization initiator (C) contains bis (diethylamino) benzophenone (C3). That is, the photosensitive resin composition contains an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1) and a bis (diethylamino) benzophenone (C3), or an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1), a hydroxyketone-based. It is also preferable to contain a photopolymerization initiator (C2) and a bis (diethylamino) benzophenone (C3). In this case, when the coating film formed from the photosensitive resin composition is partially exposed and then developed, the curing of the unexposed portion is suppressed, so that the resolution is particularly high. Therefore, it is possible to form a very fine pattern with the cured product of the photosensitive resin composition. In particular, when an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board is prepared from a photosensitive resin composition and a small-diameter hole for a through hole is provided in the interlayer insulating layer by a photolithography method (see FIG. 1), the small-diameter hole is formed. It can be formed precisely and easily.

ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に対して0.5〜20質量%の範囲内であることが好ましい。ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が0.5質量%以上であると、解像性が特に高くなる。また、ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が20質量%以下であると、感光性樹脂組成物の硬化物の電気絶縁性をビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が阻害しにくい。 The bis (diethylamino) benzophenone (C3) is preferably in the range of 0.5 to 20% by mass with respect to the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1). When the bis (diethylamino) benzophenone (C3) is 0.5% by mass or more, the resolution is particularly high. Further, when the bis (diethylamino) benzophenone (C3) is 20% by mass or less, the bis (diethylamino) benzophenone (C3) is less likely to inhibit the electrical insulating property of the cured product of the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物は、更に公知の光重合促進剤、増感剤等を含有してもよい。例えば感光性樹脂組成物は、ベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド等のベンゾフェノン類;2,4−ジイソプロピルキサントン等のキサントン類;並びに2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等の窒素原子を含む化合物からなる群から選択される少なくとも一種を成分を含有できる。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、p−ジメチル安息香酸エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、2−ジメチルアミノエチルベンゾエート等の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤や増感剤等を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、必要に応じて、可視光露光用の光重合開始剤及び近赤外線露光用の光重合開始剤のうちの少なくとも一種を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、レーザ露光法用増感剤である7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン等のクマリン誘導体、カルボシアニン色素系、キサンテン色素系等を含有してもよい。 The photosensitive resin composition may further contain a known photopolymerization accelerator, sensitizer and the like. For example, the photosensitive resin composition includes benzoin and its alkyl ethers; acetophenones such as acetophenone and benzyl dimethyl ketal; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone; 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2- Thioxanthones such as isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; benzophenones such as benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide; xanthones such as 2,4-diisopropylxanthone; and 2- Α-Hydroxyketones such as hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one; nitrogen atoms such as 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone The component can contain at least one selected from the group consisting of the containing compounds. The photosensitive resin composition, together with the photopolymerization initiator (C), is known as a tertiary amine type such as p-dimethylbenzoic acid ethyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, 2-dimethylaminoethylbenzoate and the like. It may contain a photopolymerization accelerator, a sensitizer, and the like. The photosensitive resin composition may contain at least one of a photopolymerization initiator for visible light exposure and a photopolymerization initiator for near-infrared exposure, if necessary. The photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator (C), a coumarin derivative such as 7-diethylamino-4-methylcoumarin, which is a sensitizer for a laser exposure method, a carbocyanine dye system, a xanthene dye system, and the like. You may.

エポキシ化合物(D)は、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。エポキシ化合物(D)は、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有することが好ましい。エポキシ化合物(D)は、溶剤難溶性エポキシ化合物であってもよく、汎用の溶剤可溶性エポキシ化合物であってもよい。エポキシ化合物(D)はフェノールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−775)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−695)、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−865)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER1001)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER4004P)、ビスフェノールS型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−1514)、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX4000)、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番NC−3000)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番ST−4000D)、ナフタレン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−4032、EPICLON HP−4700、EPICLON HP−4770)、ハイドロキノン型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学社製の品番YDC−1312)、ターシャリーブチルカテコール型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−820)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC製の品番EPICLON HP−7200)、アダマンタン型エポキシ樹脂(具体例として出光興産株式会社製の品番ADAMANTATE X−E−201)、ビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)、ビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、ビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ樹脂(具体例として式(7)に示す構造を有するエポキシ樹脂)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−156)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−136)、並びに特殊二官能型エポキシ樹脂(具体例として、三菱化学株式会社製の品番YL7175−500、及びYL7175−1000;DIC株式会社製の品番EPICLON TSR−960、EPICLON TER−601、EPICLON TSR−250−80BX、EPICLON 1650−75MPX、EPICLON EXA−4850、EPICLON EXA−4816、EPICLON EXA−4822、及びEPICLON EXA−9726;新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−120TE)からなる群から選択される一種以上の成分を含有することが好ましい。 The epoxy compound (D) can impart thermosetting property to the photosensitive resin composition. The epoxy compound (D) preferably has at least two epoxy groups in one molecule. The epoxy compound (D) may be a solvent-insoluble epoxy compound or a general-purpose solvent-soluble epoxy compound. The epoxy compound (D) is a phenol novolac type epoxy resin (specific example, product number EPICLON N-775 manufactured by DIC Co., Ltd.), cresol novolac type epoxy resin (specific example, product number EPICLON N-695 manufactured by DIC Co., Ltd.), bisphenol A. Novolak type epoxy resin (specific example, product number EPICLON N-865 manufactured by DIC Co., Ltd.), bisphenol A type epoxy resin (specific example, product number jER1001 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol F type epoxy resin (specific example, Mitsubishi Chemical) Part number jER4004P manufactured by Co., Ltd.), bisphenol S type epoxy resin (specific example, product number EPICLON EXA-1514 manufactured by DIC Co., Ltd.), bisphenol AD type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin (specific example, product number manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) YX4000), biphenyl novolac type epoxy resin (specific example, product number NC-3000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), hydrogenated bisphenol A type epoxy resin (specific example, product number ST-4000D manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Chemical Co., Ltd.), naphthalene. Type epoxy resin (specific example, product number EPICLON HP-4032, EPICLON HP-4700, EPICLON HP-4770 manufactured by DIC Co., Ltd.), hydroquinone type epoxy resin (specific example, product number YDC-1312 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation), Tasha Lee butyl catechol type epoxy resin (specific example, product number EPICLON HP-820 manufactured by DIC Co., Ltd.), dicyclopentadiene type epoxy resin (specific example, product number EPICLON HP-7200 manufactured by DIC), adamantan type epoxy resin (specific example). Idemitsu Kosan Co., Ltd. product number ADAMANTATE X-E-201), bisphenol type epoxy resin (specific example, Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. product number YSLV-80XY), biphenyl ether type epoxy resin (specific example, Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) Product number YSLV-80DE), epoxy resin with a bisphenol fluorene skeleton (specific example, epoxy resin with the structure shown in formula (7)), rubber-like core-shell polymer-modified bisphenol A type epoxy resin (specific example, product number manufactured by Kaneka Co., Ltd.) MX-156), rubber-like core-shell polymer-modified bisphenol F-type epoxy resin (specific example, product number MX-136 manufactured by Kaneka Co., Ltd.), and special officials Noh type epoxy resin (for example, part numbers YL7175-500 and YL7175-1000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; part numbers EPICLON TSR-960, EPICLON TER-601, EPICLON TSR-250-80BX, EPICLON 1650 manufactured by DIC Corporation. Contains one or more components selected from the group consisting of -75MPX, EPICLON EXA-4850, EPICLON EXA-4816, EPICLON EXA-4822, and EPICLON EXA-9726; part number YSLV-120TE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Corporation). Is preferable.

本実施形態では、エポキシ化合物(D)が結晶性エポキシ樹脂を含有する。結晶性エポキシ樹脂とは、融点を有するエポキシ樹脂である。このため、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を向上させることができ、感光性樹脂組成物をアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液で現像することができる。この結晶性エポキシ樹脂は、例えば、1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)トリオン、ハイドロキノン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品名YDC−1312)、ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX−4000)、ジフェニルエーテル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80XY)、テトラキスフェノールエタン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番GTR−1800)、ビスフェノールフルオレン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として式(7)に示す構造を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 In this embodiment, the epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin. The crystalline epoxy resin is an epoxy resin having a melting point. Therefore, the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution can be improved, and the photosensitive resin composition can be developed with an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide. it can. This crystalline epoxy resin is, for example, 1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) trione, hydroquinone type crystal. Sex epoxy resin (specific example, product name YDC-1312 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation), biphenyl type crystalline epoxy resin (specific example, product number YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), diphenyl ether type crystalline epoxy resin (specific) For example, product number YSLV-80DE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), bisphenol type crystalline epoxy resin (specific example, product number YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), tetrakisphenol ethane type crystalline epoxy resin (as a specific example). It can contain at least one component selected from the group consisting of product number GTR-1800 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and a bisphenol fluorene type crystalline epoxy resin (as a specific example, an epoxy resin having a structure represented by the formula (7)). ..

また本実施形態では、結晶性エポキシ樹脂は、N原子を含有しないことが好ましい。結晶性エポキシ樹脂がN原子を含有すると、このN原子が電気的にイオンを引き付けやすいため、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層又はソルダーレジスト層を備えるプリント配線板において、マイグレーションが生じやすくなり、電気的信頼性が低下しうる。このため、結晶性エポキシ樹脂がN原子を含有しないことにより、プリント配線板のマイグレーションの発生を抑制することができ、プリント配線板の電気的信頼性を確保することができる。N原子を含有する結晶性エポキシ樹脂として、例えば、1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)トリオン等が挙げられる。 Further, in the present embodiment, it is preferable that the crystalline epoxy resin does not contain N atoms. When the crystalline epoxy resin contains N atoms, the N atoms easily attract ions electrically, so that migration can occur in a printed wiring board provided with an interlayer insulating layer or a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition. It is more likely to occur and electrical reliability can be reduced. Therefore, since the crystalline epoxy resin does not contain N atoms, the occurrence of migration of the printed wiring board can be suppressed, and the electrical reliability of the printed wiring board can be ensured. Crystalline epoxy resins containing N atoms include, for example, 1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) trions. And so on.

エポキシ化合物(D)がリン含有エポキシ樹脂を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有エポキシ樹脂としては、リン酸変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−9726、及びEPICLON EXA−9710)、新日鉄住金化学株式会社製の品番エポトートFX−305等が挙げられる。 The epoxy compound (D) may contain a phosphorus-containing epoxy resin. In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Phosphorus-containing epoxy resins include phosphoric acid-modified bisphenol F-type epoxy resins (specific examples, product numbers EPICLON EXA-9726 and EPICLON EXA-9710 manufactured by DIC Corporation), product numbers Epototo FX-305 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., etc. Can be mentioned.

感光性樹脂組成物はメラミン(E)を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物と銅などの金属との間の密着性が高くなる。このため、感光性樹脂組成物が、プリント配線板用の絶縁材料として特に適する。また、感光性樹脂組成物の硬化物の耐メッキ性、すなわち無電解ニッケル/金メッキ処理時の白化耐性が向上する。 The photosensitive resin composition may contain melamine (E). In this case, the adhesion between the cured product of the photosensitive resin composition and the metal such as copper is increased. Therefore, the photosensitive resin composition is particularly suitable as an insulating material for printed wiring boards. Further, the plating resistance of the cured product of the photosensitive resin composition, that is, the whitening resistance during the electroless nickel / gold plating treatment is improved.

感光性樹脂組成物は、有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤は、感光性樹脂組成物の液状化又はワニス化、粘度調整、塗布性の調整、造膜性の調整などの目的で使用される。 The photosensitive resin composition may contain an organic solvent. The organic solvent is used for the purpose of liquefaction or varnishing of the photosensitive resin composition, adjusting the viscosity, adjusting the coatability, adjusting the film-forming property, and the like.

有機溶剤は、例えばエタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ヘキサノール、エチレングリコール等の直鎖、分岐、2級或いは多価のアルコール類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;スワゾールシリーズ(丸善石油化学社製)、ソルベッソシリーズ(エクソン・ケミカル社製)等の石油系芳香族系混合溶剤;セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類;カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;プロピレングリコールメチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエーテル類;ジプロピレングリコールメチルエーテル等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類;並びにジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。 Organic solvents include linear, branched, secondary or polyhydric alcohols such as ethanol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, hexanol and ethylene glycol; ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene. Classes: Petroleum-based aromatic mixed solvents such as Swazol series (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) and Solbesso series (manufactured by Exxon Chemical Co., Ltd.); Cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve; Calvi such as carbitol and butylcarbitol. Thor; propylene glycol alkyl ethers such as propylene glycol methyl ether; polypropylene glycol alkyl ethers such as dipropylene glycol methyl ether; acetate esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, carbitol acetate; and dialkyl glycol ethers. It can contain one or more compounds selected from the group consisting of classes.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、感光性樹脂組成物の固形分量に対して5〜85質量%の範囲内であれば好ましく、10〜75質量%の範囲内であればより好ましく、30〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。 The carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 5 to 85% by mass, more preferably in the range of 10 to 75% by mass, and more preferably 30 to 60% with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. It is more preferable if it is within the range of mass%.

不飽和化合物(B)は、上記の通り、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して21〜40質量%の範囲内である。不飽和化合物(B)は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して、23〜36質量%の範囲内であれば更に好ましい。 As described above, the unsaturated compound (B) is in the range of 21 to 40% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A). The unsaturated compound (B) is more preferably in the range of 23 to 36% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A).

光重合開始剤(C)は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して0.1〜30質量%の範囲内であることが好ましく、1〜25質量%の範囲内であれば更に好ましい。 The photopolymerization initiator (C) is preferably in the range of 0.1 to 30% by mass, more preferably in the range of 1 to 25% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A).

エポキシ化合物(D)の量に関しては、エポキシ化合物(D)に含まれるエポキシ基の当量の合計が、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して0.7〜2.5の範囲内であることが好ましく、0.7〜2.3の範囲内であればより好ましく、0.7〜2.0の範囲内であれば更に好ましい。更に、結晶性エポキシ樹脂は、エポキシ化合物(D)に対して10〜100質量%の範囲内であることが好ましく、30〜100質量%の範囲内であることがより好ましく、35〜100質量%の範囲内であることが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の熱硬化前までの工程においてカルボキシル基含有樹脂とエポキシ樹脂の熱硬化反応性が抑制され、現像性を向上することができる。 Regarding the amount of the epoxy compound (D), the total equivalent of the epoxy groups contained in the epoxy compound (D) is 0.7 to 2.5 with respect to one equivalent of the carboxyl groups contained in the carboxyl group-containing resin (A). It is preferably in the range of 0.7 to 2.3, more preferably in the range of 0.7 to 2.0, and even more preferably in the range of 0.7 to 2.0. Further, the crystalline epoxy resin is preferably in the range of 10 to 100% by mass, more preferably in the range of 30 to 100% by mass, and 35 to 100% by mass with respect to the epoxy compound (D). It is more preferable that it is within the range of. In this case, the thermosetting reactivity of the carboxyl group-containing resin and the epoxy resin is suppressed in the steps before the thermosetting of the photosensitive resin composition, and the developability can be improved.

感光性樹脂組成物がメラミン(E)を含有する場合、メラミン(E)はカルボキシル基含有樹脂(A)に対して0.1〜10質量%の範囲内であることが好ましく、0.5〜5質量%の範囲内であれば更に好ましい。 When the photosensitive resin composition contains melamine (E), the melamine (E) is preferably in the range of 0.1 to 10% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A), and is 0.5 to 10% by mass. It is more preferable if it is within the range of 5% by mass.

感光性樹脂組成物が有機溶剤を含有する場合、有機溶剤の量は、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を乾燥させる際に速やかに有機溶剤が揮散するように、すなわち有機溶剤が乾燥膜に残存しないように、調整されることが好ましい。特に、感光性樹脂組成物全体に対して、有機溶剤が0〜99.5質量%の範囲内であることが好ましく、15〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。尚、有機溶剤の好適な割合は、塗布方法などにより異なるので、塗布方法に応じて割合が適宜調節されることが好ましい。 When the photosensitive resin composition contains an organic solvent, the amount of the organic solvent is such that the organic solvent volatilizes quickly when the coating film formed from the photosensitive resin composition is dried, that is, the organic solvent is dried. It is preferable to adjust so that it does not remain on the film. In particular, the organic solvent is preferably in the range of 0 to 99.5% by mass, and more preferably in the range of 15 to 60% by mass with respect to the entire photosensitive resin composition. Since the preferable ratio of the organic solvent differs depending on the coating method and the like, it is preferable that the ratio is appropriately adjusted according to the coating method.

尚、固形分量とは、感光性樹脂組成物から溶剤などの揮発性成分を除いた、全成分の合計量のことである。 The solid content is the total amount of all the components excluding the volatile components such as the solvent from the photosensitive resin composition.

本発明の主旨を逸脱しない限りにおいて、感光性樹脂組成物は、上記成分以外の成分を更に含有してもよい。 The photosensitive resin composition may further contain components other than the above components as long as the gist of the present invention is not deviated.

例えば、感光性樹脂組成物が無機充填材を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される膜の硬化収縮が低減する。無機充填材は、例えば硫酸バリウム、結晶性シリカ、ナノシリカ、カーボンナノチューブ、タルク、ベントナイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、及び酸化チタンからなる群から選択される一種以上の材料を含有できる。無機充填材に酸化チタン、酸化亜鉛等の白色の材料を含有させることで、感光性樹脂組成物及びその硬化物を白色化してもよい。感光性樹脂組成物中の無機充填材の割合は適宜設定されるが、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して0〜300質量%の範囲内であることが好ましい。 For example, the photosensitive resin composition may contain an inorganic filler. In this case, the curing shrinkage of the film formed from the photosensitive resin composition is reduced. The inorganic filler can contain, for example, one or more materials selected from the group consisting of barium sulfate, crystalline silica, nanosilica, carbon nanotubes, talc, bentonite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, and titanium oxide. The photosensitive resin composition and its cured product may be whitened by containing a white material such as titanium oxide or zinc oxide in the inorganic filler. The proportion of the inorganic filler in the photosensitive resin composition is appropriately set, but is preferably in the range of 0 to 300% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A).

感光性樹脂組成物は、カプロラクタム、オキシム、マロン酸エステル等でブロックされたトリレンジイソシアネート系、モルホリンジイソシアネート系、イソホロンジイソシアネート系及びヘキサメチレンジイソシアネート系のブロックドイソシアネート;メラミン樹脂、n−ブチル化メラミン樹脂、イソブチル化メラミン樹脂、ブチル化尿素樹脂、ブチル化メラミン尿素共縮合樹脂、ベンゾグアナミン系共縮合樹脂等のアミノ樹脂;前記以外の各種熱硬化性樹脂;紫外線硬化性エポキシ(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、脂環型等のエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を付加して得られる樹脂;並びにジアリルフタレート樹脂、フェノキシ樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂等の高分子化合物からなる群から選択される一種以上の樹脂を含有してもよい。 The photosensitive resin composition is a tolylene diisocyanate-based, morpholini diisocyanate-based, isophorone diisocyanate-based and hexamethylene diisocyanate-based blocked isocyanate blocked with caprolactam, oxime, malonic acid ester or the like; melamine resin, n-butylated melamine resin. , Isobutylated melamine resin, butylated urea resin, butylated melamine urea cocondensate resin, benzoguanamine-based cocondensate resin and other amino resins; various thermocurable resins other than the above; ultraviolet curable epoxy (meth) acrylate; bisphenol A type , Phenol novolak type, cresol novolak type, alicyclic type and other epoxy resins with (meth) acrylic acid added; and diallyl phthalate resin, phenoxy resin, urethane resin, fluororesin and other polymer compounds. It may contain one or more resins selected from the group.

感光性樹脂組成物は、エポキシ化合物(D)を硬化させるための硬化剤を含有してもよい。硬化剤は、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物;アジピン酸ヒドラジド、セバシン酸ヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルフォスフィン等のリン化合物;酸無水物;フェノール;メルカプタン;ルイス酸アミン錯体;及びオニウム塩からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。これらの成分の市販品の例として、四国化成株式会社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)が挙げられる。 The photosensitive resin composition may contain a curing agent for curing the epoxy compound (D). The curing agent is, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl imidazole, 2-ethyl-4-methyl imidazole, 2-phenyl imidazole, 4-phenyl imidazole, 1-cyanoethyl-2-phenyl imidazole, 1- (2). -Imidazole derivatives such as -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, Amine compounds such as 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid hydrazide and sevacinate hydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine; acid anhydrides; phenols; mercaptans; amine amine complexes; And one or more components selected from the group consisting of onium salts. Examples of commercially available products of these components are 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both are trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., and U-CAT3503N, U manufactured by San Apro Co., Ltd. Examples thereof include -CAT3502T (trade name of a blocked isocyanate compound of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, and U-CAT5002 (all of which are bicyclic amidine compounds and salts thereof).

感光性樹脂組成物は、メラミン(E)以外の密着性付与剤を含有してもよい。密着性付与剤としては、例えばグアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、並びに2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体が、挙げられる。 The photosensitive resin composition may contain an adhesion-imparting agent other than melamine (E). Adhesion-imparting agents include, for example, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl-. Examples thereof include S-triazine derivatives such as 4,6-diamino-S-triazine / isocyanuric acid adduct and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct.

感光性樹脂組成物は、硬化促進剤;着色剤;シリコーン、アクリレート等の共重合体;レベリング剤;シランカップリング剤等の密着性付与剤;チクソトロピー剤;重合禁止剤;ハレーション防止剤;難燃剤;消泡剤;酸化防止剤;界面活性剤;並びに高分子分散剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有してもよい。 The photosensitive resin composition is a curing accelerator; a colorant; a copolymer such as silicone or acrylate; a leveling agent; an adhesion imparting agent such as a silane coupling agent; a thixotropy agent; a polymerization inhibitor; an antihalation agent; a flame retardant. It may contain one or more components selected from the group consisting of antifoaming agents; antioxidants; surfactants; and polymer dispersants.

感光性樹脂組成物中のアミン化合物の含有量はできるだけ少ないことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層の電気絶縁性が損なわれにくい。特にカルボキシル基含有樹脂(A)に対してアミン化合物が6質量%以下であることが好ましく、4質量%以下であれば更に好ましい。 The content of the amine compound in the photosensitive resin composition is preferably as low as possible. In this case, the electrical insulation of the layer made of the cured product of the photosensitive resin composition is not easily impaired. In particular, the amine compound is preferably 6% by mass or less, more preferably 4% by mass or less, based on the carboxyl group-containing resin (A).

本実施系形態の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A1)を含むカルボキシル基含有樹脂(A)と、不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを混合することにより、製造される。 The photosensitive resin composition of the present embodiment includes a carboxyl group-containing resin (A) containing a carboxyl group-containing resin (A1), an unsaturated compound (B), a photopolymerization initiator (C), and an epoxy compound ( Manufactured by mixing with D).

具体的には、上記のような感光性樹脂組成物の原料が配合され、例えば三本ロール、ボールミル、サンドミル等を用いる公知の混練方法によって混練されることにより、感光性樹脂組成物が調製され得る。感光性樹脂組成物の原料に液状の成分、粘度の低い成分等が含まれる場合には、原料のうち液状の成分、粘度の低い成分等を除く部分をまず混練し、得られた混合物に、液状の成分、粘度の低い成分等を加えて混合することで、感光性樹脂組成物を調製してもよい。 Specifically, the photosensitive resin composition is prepared by blending the raw materials of the photosensitive resin composition as described above and kneading them by a known kneading method using, for example, a three-roll, a ball mill, a sand mill, or the like. obtain. When the raw material of the photosensitive resin composition contains a liquid component, a low-viscosity component, etc., the portion of the raw material excluding the liquid component, the low-viscosity component, etc. is first kneaded, and the resulting mixture is added. A photosensitive resin composition may be prepared by adding a liquid component, a component having a low viscosity, or the like and mixing them.

保存安定性等を考慮して、感光性樹脂組成物の成分の一部を混合することで第一剤を調製し、成分の残部を混合することで第二剤を調製してもよい。すなわち、感光性樹脂組成物は、第一剤と第二剤とを備えてもよい。この場合、例えば、感光性樹脂組成物の成分のうち不飽和化合物(B)及び有機溶剤の一部及び熱硬化性成分を予め混合して分散させることで第一剤を調製し、感光性樹脂組成物の成分のうち残部を混合して分散させることで第二剤を調製してもよい。この場合、適時必要量の第一剤と第二剤とを混合して混合液を調製し、この混合液を硬化させて硬化物を得ることができる。 In consideration of storage stability and the like, a first agent may be prepared by mixing a part of the components of the photosensitive resin composition, and a second agent may be prepared by mixing the rest of the components. That is, the photosensitive resin composition may include a first agent and a second agent. In this case, for example, the first agent is prepared by previously mixing and dispersing the unsaturated compound (B), a part of the organic solvent, and the thermosetting component among the components of the photosensitive resin composition, and the photosensitive resin. The second agent may be prepared by mixing and dispersing the rest of the components of the composition. In this case, a required amount of the first agent and the second agent can be mixed in a timely manner to prepare a mixed solution, and the mixed solution can be cured to obtain a cured product.

本実施形態による感光性樹脂組成物は、プリント配線板用の電気絶縁性材料として適している。特に感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の、電気絶縁性の層を形成するために適している。 The photosensitive resin composition according to this embodiment is suitable as an electrically insulating material for a printed wiring board. In particular, the photosensitive resin composition is suitable for forming an electrically insulating layer such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer.

感光性樹脂組成物が厚み25μmの皮膜に成形された場合に、皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることが好ましい。この場合、十分に厚みの大きい電気絶縁性の層を、感光性樹脂組成物からフォトリソグラフィー法で作製することが可能であるため、感光性樹脂組成物を、プリント配線板における層間絶縁層、ソルダーレジスト層等を作製するために広く適用可能である。勿論、感光性樹脂組成物から厚み25μmより薄い電気絶縁性の層を作製することも可能である。 When the photosensitive resin composition is formed into a film having a thickness of 25 μm, it is preferable that the film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution. In this case, since it is possible to prepare an electrically insulating layer having a sufficiently large thickness from the photosensitive resin composition by a photolithography method, the photosensitive resin composition can be obtained from the interlayer insulating layer and the solder in the printed wiring board. It can be widely applied to prepare a resist layer or the like. Of course, it is also possible to prepare an electrically insulating layer having a thickness of less than 25 μm from the photosensitive resin composition.

皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることは、次の方法で確認できる。適当な基材上に感光性樹脂組成物を塗布することで湿潤塗膜を形成し、この湿潤塗膜を80℃で40分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成する。この皮膜に紫外線を透過する露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを有するネガマスクを直接当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に500mJ/cm2の条件で紫外線を照射する。露光後の皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射する。この処理後の皮膜を観察した結果、皮膜における非露光部に対応する部分が除去されて残渣が認められない場合に、現像可能であると判断できる。 It can be confirmed by the following method that the film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution. A wet coating film is formed by applying the photosensitive resin composition on a suitable substrate, and the wet coating film is heated at 80 ° C. for 40 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. A negative mask having an exposed portion that transmits ultraviolet rays and a non-exposed portion that shields ultraviolet rays is directly applied to the film, and the film is irradiated with ultraviolet rays under the condition of 500 mJ / cm 2 through the negative mask. A 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is injected onto the exposed film at an injection pressure of 0.2 MPa for 90 seconds, and then pure water is injected at an injection pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. As a result of observing the film after this treatment, it can be determined that development is possible when the portion of the film corresponding to the non-exposed portion is removed and no residue is observed.

以下に、本実施形態による感光性樹脂組成物から形成された層間絶縁層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を、図1A乃至図1Eを参照して説明する。本方法では、層間絶縁層にフォトリソグラフィー法でスルーホールを形成する。 Hereinafter, an example of a method for manufacturing a printed wiring board provided with an interlayer insulating layer formed from the photosensitive resin composition according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1A to 1E. In this method, through holes are formed in the interlayer insulating layer by a photolithography method.

まず、図1Aに示すようにコア材1を用意する。コア材1は、例えば少なくとも一つの絶縁層2と少なくとも一つの導体配線3とを備える。コア材1の一面上に設けられている導体配線3を、以下、第一の導体配線3という。図1Bに示すように、コア材1の第一の導体配線3が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜4を形成する。皮膜4の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。 First, the core material 1 is prepared as shown in FIG. 1A. The core material 1 includes, for example, at least one insulating layer 2 and at least one conductor wiring 3. The conductor wiring 3 provided on one surface of the core material 1 is hereinafter referred to as the first conductor wiring 3. As shown in FIG. 1B, a film 4 is formed from the photosensitive resin composition on the surface of the core material 1 on which the first conductor wiring 3 is provided. Examples of the method for forming the film 4 include a coating method and a dry film method.

塗布法では、例えばコア材1上に感光性樹脂組成物を塗布して湿潤塗膜を形成する。感光性樹脂組成物の塗布方法は、公知の方法、例えば浸漬法、スプレー法、スピンコート法、ロールコート法、カーテンコート法、及びスクリーン印刷法からなる群から選択される。続いて、感光性樹脂組成物中の有機溶剤を揮発させるために、例えば60〜120℃の範囲内の温度下で湿潤塗膜を乾燥させて、皮膜4を得ることができる。 In the coating method, for example, the photosensitive resin composition is coated on the core material 1 to form a wet coating film. The method for applying the photosensitive resin composition is selected from the group consisting of known methods such as a dipping method, a spray method, a spin coating method, a roll coating method, a curtain coating method, and a screen printing method. Subsequently, in order to volatilize the organic solvent in the photosensitive resin composition, the wet coating film can be dried at a temperature in the range of, for example, 60 to 120 ° C. to obtain the film 4.

ドライフィルム法では、まずポリエステル製などの適宜の支持体上に感光性樹脂組成物を塗布してから乾燥することで、支持体上に感光性樹脂組成物を含むドライフィルムを形成する。これにより、ドライフィルムと、ドライフィルムを支持する支持体とを備える支持体付きドライフィルムが得られる。この支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、ドライフィルムとコア材1に圧力をかけ、続いて支持体をドライフィルムから剥離することで、ドライフィルムを支持体上からコア材1上へ転写する。これにより、コア材1上に、ドライフィルムからなる皮膜4が設けられる。 In the dry film method, a dry film containing the photosensitive resin composition is formed on the support by first applying the photosensitive resin composition on an appropriate support made of polyester or the like and then drying the support. As a result, a dry film with a support including a dry film and a support for supporting the dry film can be obtained. The dry film in the dry film with a support is superposed on the core material 1, pressure is applied to the dry film and the core material 1, and then the support is peeled off from the dry film, whereby the dry film is cored from above the support. Transfer onto material 1. As a result, a film 4 made of a dry film is provided on the core material 1.

皮膜4を露光することで図1Cに示すように部分的に光硬化させる。そのために、例えばネガマスクを皮膜4に当てがってから、ネガマスクを介して皮膜4に紫外線を照射する。ネガマスクは、紫外線を透過させる露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを備え、非露光部はスルーホール10の位置と合致する位置に設けられる。ネガマスクは、例えばマスクフィルム、乾板等のフォトツールである。紫外線の光源は、例えばケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ及びメタルハライドランプからなる群から選択される。 By exposing the film 4, it is partially photocured as shown in FIG. 1C. Therefore, for example, after applying a negative mask to the film 4, the film 4 is irradiated with ultraviolet rays via the negative mask. The negative mask includes an exposed portion that transmits ultraviolet rays and a non-exposed portion that shields ultraviolet rays, and the non-exposed portion is provided at a position that matches the position of the through hole 10. The negative mask is, for example, a photo tool such as a mask film or a dry plate. The ultraviolet light source is selected from the group consisting of, for example, a chemical lamp, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a xenon lamp and a metal halide lamp.

なお、露光方法として、ネガマスクを用いる方法以外の方法が採用されてもよい。例えば光源から発せられる紫外線を皮膜4上の露光すべき部分のみに照射する直接描画法で皮膜を露光してもよい。直接描画法に適用される光源は、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、並びにg線、h線及びi線のうちの二種以上の組み合わせからなる群から選択される。 As the exposure method, a method other than the method using a negative mask may be adopted. For example, the film may be exposed by a direct drawing method in which ultraviolet rays emitted from a light source are applied only to a portion of the film 4 to be exposed. Light sources applied to the direct drawing method include, for example, high-pressure mercury lamps, ultra-high pressure mercury lamps, metal halide lamps, g-line (436 nm), h-line (405 nm), i-line (365 nm), and g-line, h-line, and i-line. It is selected from a group consisting of two or more combinations of.

また、ドライフィルム法では、支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、支持体を剥離することなく、支持体を透過させて紫外線をドライフィルムからなる皮膜4に照射することで皮膜4を露光し、続いて現像処理前に皮膜4から支持体を剥離してもよい。 Further, in the dry film method, after the dry film in the dry film with a support is laminated on the core material 1, the support is transmitted through the support and the film 4 made of the dry film is irradiated with ultraviolet rays without peeling the support. The film 4 may be exposed with, and then the support may be peeled off from the film 4 before the development process.

続いて、皮膜4に現像処理を施すことで、図1Cに示す皮膜4の露光されていない部分5を除去し、これにより、図1Dに示すようにスルーホール10が形成される位置に穴6を設ける。現像処理では、感光性樹脂組成物の組成に応じた適宜の現像液を使用できる。現像液は、例えばアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液、又は有機アミンである。アルカリ性水溶液は、より具体的には例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム及び水酸化リチウムからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。アルカリ性水溶液中の溶媒は、水のみであっても、水と低級アルコール類等の親水性有機溶媒との混合物であってもよい。有機アミンは、例えばモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン及びトリイソプロパノールアミンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。 Subsequently, the film 4 is subjected to a developing process to remove the unexposed portion 5 of the film 4 shown in FIG. 1C, whereby the hole 6 is formed at a position where the through hole 10 is formed as shown in FIG. 1D. Is provided. In the developing process, an appropriate developing solution can be used according to the composition of the photosensitive resin composition. The developer is, for example, an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, or an organic amine. More specifically, the alkaline aqueous solution includes, for example, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium hydrogencarbonate, potassium hydrogencarbonate, ammonium hydrogencarbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide and water. It contains at least one component selected from the group consisting of lithium oxide. The solvent in the alkaline aqueous solution may be water alone or a mixture of water and a hydrophilic organic solvent such as lower alcohols. The organic amine contains, for example, at least one component selected from the group consisting of monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monoisopropanolamine, diisopropanolamine and triisopropanolamine.

現像液は、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液であることが好ましく、炭酸ナトリウム水溶液であることが特に好ましい。この場合、作業環境の向上及び廃棄物処理の負担軽減を達成できる。 The developing solution is preferably an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, and particularly preferably a sodium carbonate aqueous solution. In this case, it is possible to improve the working environment and reduce the burden of waste treatment.

続いて、皮膜4を加熱することで熱硬化させる。加熱の条件は、例えば加熱温度120〜200℃の範囲内、加熱時間30〜120分間の範囲内である。このようにして皮膜4を熱硬化させると、層間絶縁層7の強度、硬度、耐薬品性等の性能が向上する。 Subsequently, the film 4 is thermoset by heating. The heating conditions are, for example, a heating temperature in the range of 120 to 200 ° C. and a heating time in the range of 30 to 120 minutes. When the film 4 is thermoset in this way, the performance such as strength, hardness, and chemical resistance of the interlayer insulating layer 7 is improved.

必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜4に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜4の光硬化を更に進行させることができる。 If necessary, the film 4 may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, the photocuring of the film 4 can be further advanced.

以上により、コア材1上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層間絶縁層7が設けられる。この層間絶縁層7上に、アディティブ法などの公知の方法で、第二の導体配線8及びホールめっき9を設けることができる。これにより、図1Eに示すように、第一の導体配線3、第二の導体配線8、第一の導体配線3と第二の導体配線8との間に介在する層間絶縁層7、並びに第一の導体配線3と第二の導体配線8とを電気的に接続するスルーホール10を備えるプリント配線板11が得られる。なお、図1Eにおいて、ホールめっき9は穴6の内面を覆う筒状の形状を有するが、穴6の内側全体にホールめっき9が充填されていてもよい。 As described above, the interlayer insulating layer 7 made of a cured product of the photosensitive resin composition is provided on the core material 1. The second conductor wiring 8 and the hole plating 9 can be provided on the interlayer insulating layer 7 by a known method such as an additive method. As a result, as shown in FIG. 1E, the first conductor wiring 3, the second conductor wiring 8, the interlayer insulating layer 7 interposed between the first conductor wiring 3 and the second conductor wiring 8, and the second conductor wiring 8. A printed wiring board 11 having a through hole 10 for electrically connecting the first conductor wiring 3 and the second conductor wiring 8 can be obtained. In FIG. 1E, the hole plating 9 has a tubular shape that covers the inner surface of the hole 6, but the hole plating 9 may be filled in the entire inside of the hole 6.

本実施形態による感光性樹脂組成物から形成されたソルダーレジスト層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を説明する。 An example of a method for manufacturing a printed wiring board provided with a solder resist layer formed from the photosensitive resin composition according to the present embodiment will be described.

まず、コア材を用意する。コア材は、例えば少なくとも一つの絶縁層と少なくとも一つの導体配線とを備える。コア材の導体配線が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜を形成する。皮膜の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。塗布法とドライフィルム法としては、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。皮膜を露光することで部分的に光硬化させる。露光方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。続いて、皮膜に現像処理を施すことで、皮膜の露光されていない部分を除去し、これにより、コア材上に、皮膜の露光された部分が残存する。続いて、コア材上の皮膜を加熱することで熱硬化させる。現像方法及び加熱方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜の光硬化を更に進行させることができる。 First, prepare the core material. The core material includes, for example, at least one insulating layer and at least one conductor wiring. A film is formed from the photosensitive resin composition on the surface of the core material on which the conductor wiring is provided. Examples of the film forming method include a coating method and a dry film method. As the coating method and the dry film method, the same method as in the case of forming the above-mentioned interlayer insulating layer can be adopted. Partially photocured by exposing the film. As the exposure method, the same method as in the case of forming the interlayer insulating layer can be adopted. Subsequently, the film is developed to remove the unexposed portion of the film, whereby the exposed portion of the film remains on the core material. Subsequently, the film on the core material is thermoset by heating. As the developing method and the heating method, the same method as in the case of forming the interlayer insulating layer can be adopted. If necessary, the film may be further irradiated with ultraviolet light before or after heating. In this case, the photocuring of the film can be further advanced.

以上により、コア材上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなるソルダーレジスト層が設けられる。これにより、絶縁層とその上の導体配線とを備えるコア材、並びにコア材における導体配線が設けられている面を部分的に覆うソルダーレジスト層を備える、プリント配線板が得られる。 As described above, a solder resist layer made of a cured product of the photosensitive resin composition is provided on the core material. As a result, a printed wiring board including a core material having an insulating layer and a conductor wiring on the core material and a solder resist layer partially covering a surface of the core material on which the conductor wiring is provided can be obtained.

(1)カルボキシル基含有樹脂の合成
下記の方法でカルボキシル基含有樹脂を合成した。
(1) Synthesis of carboxyl group-containing resin A carboxyl group-containing resin was synthesized by the following method.

(合成例A−1〜A−10、合成例B−2)
還流冷却器、温度計、空気吹き込み管及び攪拌機を取付けた四つ口フラスコ内に、表1中の「第一反応」欄に示す成分を加えて、これらをエアバブリング下で攪拌することで混合物を調製した。この混合物をフラスコ内でエアバブリング下で攪拌しながら、「反応条件」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、中間体の溶液を調製した。
(Synthesis Examples A-1 to A-10, Synthesis Example B-2)
In a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, an air blow tube and a stirrer, the components shown in the "First reaction" column in Table 1 are added, and these are stirred under air bubbling to form a mixture. Was prepared. The mixture was heated in a flask at the reaction temperature and reaction time shown in the "Reaction Conditions" column while stirring under air bubbling. This prepared a solution of the intermediate.

続いて、フラスコ内の中間体の溶液に表1の「第二反応」欄に示す成分を投入し、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(1)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。続いて、合成例B−2を除き、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(2)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、カルボキシル基含有樹脂の65質量%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量及び酸価は表1中に示す通りである。 Subsequently, the components shown in the "second reaction" column of Table 1 were added to the solution of the intermediate in the flask, and the reaction temperature and reaction time shown in the "reaction conditions (1)" column were adjusted while stirring under air bubbling. It was heated. Subsequently, except for Synthesis Example B-2, the mixture was heated at the reaction temperature and reaction time shown in the “Reaction conditions (2)” column while stirring under air bubbling. As a result, a 65% by mass solution of the carboxyl group-containing resin was obtained. The weight average molecular weight and acid value of the carboxyl group-containing resin are as shown in Table 1.

なお、表1中の(a1)欄に示す成分の詳細は次の通りである。
・エポキシ化合物1:式(7)で示され、式(7)中のR1〜R8がすべて水素であるエポキシ当量250g/eqのビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物。
・エポキシ化合物2:式(7)で示され、式(7)中のR1及びR5がいずれもメチル基、R2〜R4及びR6〜R8がいずれも水素であるエポキシ当量279g/eqのビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物。
・エポキシ化合物3:エポキシ当量203g/eqのクレゾールノボラック型エポキシ樹脂。
The details of the components shown in column (a1) in Table 1 are as follows.
-Epoxy compound 1: A bisphenol fluorene-type epoxy compound having an epoxy equivalent of 250 g / eq, which is represented by the formula (7) and in which R 1 to R 8 in the formula (7) are all hydrogen.
-Epoxy compound 2: Epoxy equivalent 279 g represented by the formula (7) in which R 1 and R 5 in the formula (7) are all methyl groups and R 2 to R 4 and R 6 to R 8 are all hydrogen. / eq bisphenol fluorene type epoxy compound.
-Epoxy compound 3: Cresol novolac type epoxy resin having an epoxy equivalent of 203 g / eq.

(合成例B−1)
還流冷却器、温度計、空気吹き込み管及び攪拌機を取付けた四つ口フラスコ内に、メタクリル酸48質量部、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート(東亜合成株式会社製のアロニックスM−5300)50質量部、メチルメタクリレート92質量部、スチレン10質量部、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル430質量部、及びアゾビスイソブチロニトリル3.5質量部を加えた。この四つ口フラスコ内の溶液を窒素気流下で75℃で5時間加熱を行い、重合反応を進行させた。これにより、濃度32%の中間体の溶液を調製した。
(Synthesis Example B-1)
48 parts by mass of methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate (Aronix M manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.) in a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, an air blow tube and a stirrer. -5300) 50 parts by mass, 92 parts by mass of methyl methacrylate, 10 parts by mass of styrene, 430 parts by mass of dipropylene glycol monomethyl ether, and 3.5 parts by mass of azobisisobutyronitrile were added. The solution in the four-necked flask was heated at 75 ° C. for 5 hours under a nitrogen stream to allow the polymerization reaction to proceed. As a result, a solution of the intermediate having a concentration of 32% was prepared.

続いて、フラスコ内の中間体の溶液にハイドロキノン0.1質量部、グリシジルメタクリレート64質量部、及びジメチルベンジルアミン0.8質量部を投入し、80℃で24時間加熱して、付加反応を進行させた。これにより、カルボキシル基含有樹脂の38質量%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂の酸価は67mgKOH/gであった。 Subsequently, 0.1 part by mass of hydroquinone, 64 parts by mass of glycidyl methacrylate, and 0.8 part by mass of dimethylbenzylamine were added to the solution of the intermediate in the flask and heated at 80 ° C. for 24 hours to proceed with the addition reaction. I let you. As a result, a 38% by mass solution of the carboxyl group-containing resin was obtained. The acid value of the carboxyl group-containing resin was 67 mgKOH / g.

(2)感光性樹脂組成物の調製
後掲の表に示す成分を3本ロールで混練してから、フラスコ内で撹拌混合することで、感光性樹脂組成物を得た。なお、表に示される成分の詳細は次の通りである。
・不飽和化合物A:トリメチロールプロパントリアクリレート。
・不飽和化合物B:トリメチロールプロパントリメタクリレート。
・不飽和化合物C:ジペンタエリストールヘキサアクリレート、日本化薬株式会社製、品番KAYARAD DPHA。
・光重合開始剤A:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、BASF社製、品番Irgacure TPO。
・光重合開始剤B:1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、BASF社製、品番Irgacure 184。
・光重合開始剤C:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン。
・結晶性エポキシ樹脂A:1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(高融点タイプ)、融点150〜158℃、エポキシ当量99g/eq。
・結晶性エポキシ樹脂B:ハイドロキノン型結晶性エポキシ樹脂、新日鉄化学株式会社製の品番YDC−1312、融点138〜145℃、エポキシ当量176g/eq。
・結晶性エポキシ樹脂C:ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂、三菱化学株式会社製の品番YX−4000、融点105℃、エポキシ当量187g/eq。
・結晶性エポキシ樹脂D:ジフェニルエーテル型結晶性エポキシ樹脂、新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE、融点80〜90℃、エポキシ当量163g/eq。
・結晶性エポキシ樹脂E;ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂、新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80XY、融点75〜85℃、エポキシ当量192g/eq。
・非晶性エポキシ樹脂溶液A:非晶性のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、DIC株式会社製の品番EPICLON N−695、軟化点90〜100℃、エポキシ当量214g/eqを固形分70%でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解した溶液。
・非晶性エポキシ樹脂溶液B:長鎖炭素鎖含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂、DIC株式会社製、品番EPICLON EXA−4816、液状樹脂、エポキシ当量410g/eqを固形分90%でジエチレングリコールモノエチルアセテートに溶解した溶液。
・非晶性エポキシ樹脂C:ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂、株式会社カネカ製、品番MX−120、液状樹脂、エポキシ当量243g/eq。
・メラミン:日産化学工業株式会社製、微粉メラミン。
・酸化防止剤:ヒンダードフェノール系酸化防止剤、BASF社製、品番IRGANOX 1010。
・青色顔料:フタロシアニンブルー。
・黄色顔料:1,1’−[(6−フェニル−1,3,5−トリアジン−2,4−ジイル)ビス(イミノ)]ビス(9,10−アントラセンジオン)。
・硫酸バリウム:堺化学工業株式会社製、品番バリエースB31。
・タルク:日本タルク社製、品番SG−2000。
・ベントナイト:レオックス社製、品番ベントンSD−2。
・消泡剤:信越シリコーン株式会社製、品番KS−66。
・界面活性剤:DIC製、品番メガファックF−477。
・レオロジーコントロール剤:ビッグケミー・ジャパン株式会社製、品番BYK−430。
・溶剤A:ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート。
・溶剤B:メチルエチルケトン。
(2) Preparation of Photosensitive Resin Composition The components shown in the table below were kneaded with three rolls and then stirred and mixed in a flask to obtain a photosensitive resin composition. The details of the components shown in the table are as follows.
-Unsaturated compound A: Trimethylolpropane triacrylate.
-Unsaturated compound B: trimethylolpropane trimethacrylate.
-Unsaturated compound C: Dipentaeristol hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product number KAYARAD DPHA.
-Photopolymerization initiator A: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, manufactured by BASF, product number Irgacure TPO.
-Photopolymerization initiator B: 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, manufactured by BASF, product number Irgacure 184.
-Photopolymerization initiator C: 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.
Crystalline epoxy resin A: 1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione (high melting point type) , Melting point 150-158 ° C., epoxy equivalent 99 g / eq.
Crystalline epoxy resin B: Hydroquinone type crystalline epoxy resin, product number YDC-1312 manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., melting point 138 to 145 ° C., epoxy equivalent 176 g / eq.
Crystalline epoxy resin C: Biphenyl type crystalline epoxy resin, product number YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, melting point 105 ° C., epoxy equivalent 187 g / eq.
Crystalline epoxy resin D: Diphenyl ether type crystalline epoxy resin, product number YSLV-80DE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., melting point 80 to 90 ° C., epoxy equivalent 163 g / eq.
Crystalline epoxy resin E; bisphenol type crystalline epoxy resin, product number YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., melting point 75 to 85 ° C., epoxy equivalent 192 g / eq.
Acrystalline epoxy resin solution A: Acrystalline cresol novolac type epoxy resin, product number EPICLON N-695 manufactured by DIC Corporation, softening point 90 to 100 ° C., epoxy equivalent 214 g / eq with 70% solid content, diethylene glycol mono A solution dissolved in ethyl ether acetate.
-Amorphous epoxy resin solution B: Long-chain carbon chain-containing bisphenol A type epoxy resin, manufactured by DIC Corporation, product number EPICLON EXA-4816, liquid resin, epoxy equivalent 410 g / eq to diethylene glycol monoethyl acetate with 90% solid content Dissolved solution.
Aspherical epoxy resin C: rubber-like core-shell polymer-modified bisphenol A type epoxy resin, manufactured by Kaneka Co., Ltd., product number MX-120, liquid resin, epoxy equivalent 243 g / eq.
-Melamine: Fine powder melamine manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.
-Antioxidant: Hindered phenolic antioxidant, manufactured by BASF, product number IRGANOX 1010.
-Blue pigment: Phthalocyanine blue.
-Yellow pigment: 1,1'-[(6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diyl) bis (imino)] bis (9,10-anthracene dione).
-Barium sulfate: manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., product number Variace B31.
-Talc: Made by Japan Talc, product number SG-2000.
-Bentonite: Made by Leox, product number Benton SD-2.
-Defoamer: manufactured by Shinetsu Silicone Co., Ltd., product number KS-66.
-Surfactant: Made by DIC, product number Megafuck F-477.
-Rheology control agent: manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd., product number BYK-430.
-Solvent A: Diethylene glycol monoethyl ether acetate.
-Solvent B: Methyl ethyl ketone.

(3)テストピースの作製
実施例20を除く各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を用いる場合は、次のようにしてテストピースを作製した。
(3) Preparation of Test Piece When the photosensitive resin compositions of Examples and Comparative Examples except Example 20 were used, a test piece was prepared as follows.

厚み35μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の一面全面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分加熱して予備乾燥することで、膜厚25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、直径50μmの円形形状を含むパターンを有する非露光部を有するネガマスクを直接当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に500mJ/cm2の条件で紫外線を照射した。露光後の皮膜に現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。続いて皮膜に純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射することで洗浄した。これにより、皮膜における露光されていない部分を除去して、穴を形成した。続いて、皮膜に1000mJ/cm2の条件で紫外線を照射してから、160℃で60分間加熱した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper-clad laminate (FR-4 type) provided with a copper foil having a thickness of 35 μm was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper-clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. A wet coating film was formed by applying the photosensitive resin composition to the entire surface of the core material by a screen printing method. This wet coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes and pre-dried to form a film having a film thickness of 25 μm. A negative mask having a non-exposed portion having a pattern including a circular shape having a diameter of 50 μm was directly applied to the film, and the film was irradiated with ultraviolet rays under the condition of 500 mJ / cm 2 through the negative mask. The film after exposure was developed. In the developing treatment, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was injected onto the film at an injection pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. Subsequently, the film was washed by injecting pure water at an injection pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. As a result, the unexposed portion of the film was removed to form a hole. Subsequently, the film was irradiated with ultraviolet rays under the condition of 1000 mJ / cm 2 , and then heated at 160 ° C. for 60 minutes. As a result, a layer made of a cured product of the photosensitive resin composition was formed on the core material. This gave a test piece.

実施例20の感光性樹脂組成物を用いる場合は、次のようにしてテストピースを作製した。 When the photosensitive resin composition of Example 20 was used, a test piece was prepared as follows.

感光性樹脂組成物を、ポリエチレンテレフタレート製のフィルム上にアプリケータで塗布してから、95℃で25分加熱することで乾燥させることにより、フィルム上に厚み25μmのドライフィルムを形成した。 The photosensitive resin composition was applied to a film made of polyethylene terephthalate with an applicator and then dried by heating at 95 ° C. for 25 minutes to form a dry film having a thickness of 25 μm on the film.

厚み35μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の一面全面にドライフィルムを真空ラミネーターで加熱ラミネートし、続いてドライフィルムからポリエチレンテレフタレート製のフィルムを剥離した。加熱ラミネートの条件は、0.5MPa、80℃、1分間である。これにより、コア材上にドライフィルムからなる膜厚25μmの皮膜を形成した。この皮膜に対し、上記の場合と同じ条件で露光、現像及び紫外線照射の処理を施した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物(ドライフィルムの硬化物ともいえる)からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper-clad laminate (FR-4 type) provided with a copper foil having a thickness of 35 μm was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper-clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. A dry film was heat-laminated on the entire surface of the core material with a vacuum laminator, and then a polyethylene terephthalate film was peeled off from the dry film. The conditions for heat laminating are 0.5 MPa, 80 ° C., and 1 minute. As a result, a film having a film thickness of 25 μm made of a dry film was formed on the core material. This film was exposed, developed and irradiated with ultraviolet rays under the same conditions as in the above case. As a result, a layer made of a cured product of the photosensitive resin composition (which can be said to be a cured product of the dry film) was formed on the core material. This gave a test piece.

(4)評価試験
(4−1)タック性
実施例20を除く各実施例及び比較例について、テストピースの作製時に、皮膜の露光後に皮膜からネガマスクを取り外す際の皮膜の粘着性の程度を、次に示すように評価した。
A:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられず、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められない。
B:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられ、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められた。
C:皮膜からネガマスクを取り外すことが困難であり、無理にネガマスクを取り外すと皮膜が破損した。
(4) Evaluation test (4-1) Tackiness For each of the Examples and Comparative Examples except Example 20, the degree of adhesiveness of the film when the negative mask was removed from the film after exposure of the film during the production of the test piece. It was evaluated as shown below.
A: No resistance is felt when removing the negative mask from the film, and no sticking marks are observed on the film after the negative mask is removed.
B: Resistance was felt when removing the negative mask from the film, and sticking marks were observed on the film after removing the negative mask.
C: It was difficult to remove the negative mask from the film, and when the negative mask was forcibly removed, the film was damaged.

なお、タック性の評価がCである比較例3、6及び8については、(4−3)〜(4−7)の評価を行っていない。 In Comparative Examples 3, 6 and 8 in which the tackiness is evaluated as C, the evaluations of (4-3) to (4-7) are not performed.

(4−2)現像性
実施例20を除く各実施例及び比較例について、プリント配線板の一面全面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分又は60分加熱することで皮膜を形成した。この皮膜に、露光することなく現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。処理後のプリント配線板を観察し、その結果を次のように評価した。
A:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜が全て除去されている。
B:湿潤塗膜の加熱時間が40分である場合には皮膜が全て除去されたが、60分では皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
C:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
(4-2) Developability For each of Examples and Comparative Examples except Example 20, a photosensitive resin composition was applied to the entire surface of one surface of a printed wiring board by a screen printing method to form a wet coating film. A film was formed by heating this wet coating film at 80 ° C. for 40 minutes or 60 minutes. This film was developed without exposure. In the developing treatment, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was injected onto the film at an injection pressure of 0.2 MPa for 90 seconds, and then pure water was injected at an injection pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. The printed wiring board after the treatment was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The coating film is completely removed regardless of whether the heating time of the wet coating film is 40 minutes or 60 minutes.
B: When the heating time of the wet coating film was 40 minutes, all the film was removed, but in 60 minutes, a part of the film remained on the printed wiring board.
C: A part of the film remained on the printed wiring board regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.

なお、現像性の評価がCである比較例1、2、4及び5については、下記(4−3)〜(4−7)の評価を行っていない。 In Comparative Examples 1, 2, 4 and 5 in which the evaluation of developability is C, the following evaluations (4-3) to (4-7) are not performed.

(4−3)解像性
各実施例及び比較例について、テストピースにおける硬化物からなる層に形成された穴を観察し、その結果を次のように評価した。
A:穴の底の直径が40μm以上である。
B:穴の底の直径が25μm以上40μm未満である。
C:穴の底の直径が25μm未満であり、或いは明確な穴が形成されない。
(4-3) Resolution For each Example and Comparative Example, holes formed in the layer made of the cured product in the test piece were observed, and the results were evaluated as follows.
A: The diameter of the bottom of the hole is 40 μm or more.
B: The diameter of the bottom of the hole is 25 μm or more and less than 40 μm.
C: The diameter of the bottom of the hole is less than 25 μm, or a clear hole is not formed.

(4−4)耐メッキ性
各実施例及び比較例のテストピースの導体配線における外部に露出する部分の上に、市販の無電解ニッケルメッキ浴を用いてニッケルメッキ層を形成してから、市販の無電解金メッキ浴を用いて金メッキ層を形成した。これにより、ニッケルメッキ層及び金メッキ層からなる金属層を形成した。硬化物からなる層及び金属層を目視で観察した。また、硬化物からなる層に対してセロハン粘着テープ剥離試験をおこなった。その結果を次のように評価した。
A:硬化物からなる層及び金属層の外観に異常は認められず、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
B:硬化物からなる層に変色が認められるが、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
C:硬化物からなる層の浮き上がりが認められ、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離が生じた。
(4-4) Plating resistance A nickel plating layer is formed on the externally exposed portion of the conductor wiring of the test pieces of each Example and Comparative Example using a commercially available electroless nickel plating bath, and then commercially available. A gold-plated layer was formed using the electroless gold-plated bath of. As a result, a metal layer composed of a nickel-plated layer and a gold-plated layer was formed. The layer made of the cured product and the metal layer were visually observed. In addition, a cellophane adhesive tape peeling test was performed on the layer made of the cured product. The results were evaluated as follows.
A: No abnormality was observed in the appearance of the cured product layer and the metal layer, and the cured product layer was not peeled off by the cellophane adhesive tape peeling test.
B: Discoloration was observed in the layer made of the cured product, but the layer made of the cured product was not peeled off by the cellophane adhesive tape peeling test.
C: Lifting of the layer made of the cured product was observed, and the layer made of the cured product was peeled off by the cellophane adhesive tape peeling test.

(4−5)線間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける導体配線(くし型電極)にDC30Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に150時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層のくし型電極間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から150時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から100時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から150時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から100時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-5) Line Insulation While applying a bias voltage of DC30V to the conductor wiring (comb electrode) in the test pieces of each example and comparative example, the test piece was heated at 121 ° C. and 97% R. H. Was exposed for 150 hours in the test environment of. The electrical resistance values between the comb-shaped electrodes of the cured product layer under this test environment were constantly measured, and the results were evaluated according to the following evaluation criteria.
A: Between the start of the study until after 150 hours, the electric resistance value was always maintained above 10 6 Omega.
B: The electric resistance value until passage 100 hours from the start test is always maintained more than 10 6 Omega, the electric resistance value is less than 10 6 Omega for a period shorter 150 h from the time of start of the test.
C: electrical resistance was less than 10 6 Omega before lapse of 100 hours from the start the test.

(4−6)層間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける硬化物からなる層の上に導電テープを貼り付けた。この導電テープにDC100Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に60時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層の導体配線と導電テープとの間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から60時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から50時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から60時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から50時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-6) Interlayer insulation A conductive tape was attached on the layer made of the cured product in the test pieces of each example and comparative example. While applying a bias voltage of DC100V to this conductive tape, the test piece was heated at 121 ° C. and 97% R. H. Was exposed for 60 hours under the test environment of. The electric resistance value between the conductor wiring of the layer made of the cured product and the conductive tape under this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: Between the start of the study until after 60 hours, the electric resistance value was always maintained above 10 6 Omega.
B: The electric resistance value from the start of the study until after 50 hours was always maintained above 10 6 Omega, the electric resistance value is less than 10 6 Omega before after 60 hours from the time of start of the test.
C: electrical resistance was less than 10 6 Omega for a period shorter 50 hours from the time of start of the test.

(4−7)PCT
各実施例及び比較例のテストピースを121℃、100%R.H.の環境下で100時間放置した後、硬化物からなる層の外観を次の評価基準により評価した。
A:硬化物からなる層に異常は見られなかった。
B:硬化物からなる層に変色が見られた。
C:硬化物からなる層に大きな変色が見られ、一部膨れが発生していた。
(4-7) PCT
The test pieces of each Example and Comparative Example were heated at 121 ° C. and 100% R. H. After being left in the environment of 100 hours, the appearance of the layer made of the cured product was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: No abnormality was found in the layer made of the cured product.
B: Discoloration was observed in the layer made of the cured product.
C: A large discoloration was observed in the layer made of the cured product, and some swelling occurred.

以上の評価試験の結果を下記表2乃至表5に示す。 The results of the above evaluation tests are shown in Tables 2 to 5 below.

Figure 2020144374
Figure 2020144374

Figure 2020144374
Figure 2020144374

Figure 2020144374
Figure 2020144374

Figure 2020144374
Figure 2020144374

Figure 2020144374
Figure 2020144374

Claims (11)

カルボキシル基含有樹脂(A)と、
エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、
光重合開始剤(C)と、
エポキシ化合物(D)とを含有し、
前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有し、前記カルボキシル基含有樹脂(A)に対する前記不飽和化合物(B)の含有量が、21〜40質量%であり、
前記エポキシ化合物(D)が、結晶性エポキシ樹脂を含有する、
感光性樹脂組成物。
Figure 2020144374
Carboxylic acid group-containing resin (A) and
An unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule,
Photopolymerization initiator (C) and
Containing with epoxy compound (D),
The carboxyl group-containing resin (A) is represented by the following formula (1), and in the formula (1), R 1 to R 8 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen, bisphenol fluorene. It contains an intermediate which is a reaction product of an epoxy compound (a1) having a skeleton, an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), and a carboxyl group-containing resin (A1) which is a reaction product of an acid anhydride. The content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is 21 to 40% by mass.
The epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin.
Photosensitive resin composition.
Figure 2020144374
前記不飽和化合物(B)が、一分子中に不飽和結合を3つ有する化合物を含有する請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the unsaturated compound (B) contains a compound having three unsaturated bonds in one molecule. 前記酸無水物が、酸二無水物を含有する請求項1又は2のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 or 2, wherein the acid anhydride contains an acid dianhydride. 前記酸二無水物が、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含有する請求項3に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 3, wherein the acid dianhydride contains 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride. 前記カルボキシル基含有樹脂(A1)の固形分酸価が60〜140mgKOH/gの範囲内である請求項1乃至4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the solid acid value of the carboxyl group-containing resin (A1) is in the range of 60 to 140 mgKOH / g. 前記酸無水物が、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物を含有する請求項1乃至5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the acid anhydride contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. 前記結晶性エポキシ樹脂がN原子を含有しない請求項1乃至6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the crystalline epoxy resin does not contain N atoms. 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム。 A dry film containing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7. 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板。 A printed wiring board provided with an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7. 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板。 A printed wiring board comprising a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7. 下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)のうち少なくとも一方を含む酸無水物と、を反応させることにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成し、
前記カルボキシル基含有樹脂(A1)を含むカルボキシル基含有樹脂(A)と、
エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、
光重合開始剤(C)と、
エポキシ化合物(D)とを混合することを含み、
前記カルボキシル基含有樹脂(A)に対する前記不飽和化合物(B)の含有量が、21〜40質量%であり、
前記エポキシ化合物(D)が、結晶性エポキシ樹脂を含有する、
感光性樹脂組成物の製造方法。
Figure 2020144374
Represented by the following formula (1), in the formula (1), R 1 to R 8 are independently hydrogen, an epoxy compound (a1) having a bisphenol fluorene skeleton which is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen, and The unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) was reacted, and the resulting intermediate was mixed with an acid anhydride containing at least one of an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4). By reacting, a carboxyl group-containing resin (A1) is synthesized.
The carboxyl group-containing resin (A) containing the carboxyl group-containing resin (A1) and
An unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule,
Photopolymerization initiator (C) and
Including mixing with epoxy compound (D)
The content of the unsaturated compound (B) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is 21 to 40% by mass.
The epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin.
A method for producing a photosensitive resin composition.
Figure 2020144374
JP2020069311A 2020-04-07 2020-04-07 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition Pending JP2020144374A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020069311A JP2020144374A (en) 2020-04-07 2020-04-07 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020069311A JP2020144374A (en) 2020-04-07 2020-04-07 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015215705A Division JP2017090490A (en) 2015-01-28 2015-11-02 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing the photosensitive resin composition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020144374A true JP2020144374A (en) 2020-09-10

Family

ID=72354175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020069311A Pending JP2020144374A (en) 2020-04-07 2020-04-07 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2020144374A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023032605A1 (en) * 2021-09-01 2023-03-09 株式会社カネカ Composition and method for producing composition

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11242330A (en) * 1998-02-24 1999-09-07 Nippon Steel Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, multilayered printed circuit board using that, and its production
WO2000058788A1 (en) * 1999-03-26 2000-10-05 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Photopolymerizable layered product with high resolution and semiconductor device made with the same
JP2001354735A (en) * 2000-06-12 2001-12-25 Nagase Chemtex Corp Photopolymerizable unsaturated compound, method for producing the same and alkali-soluble radiation- sensitive resin composition using the same
JP2006210811A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Nippon Steel Chem Co Ltd Manufacturing method for printed wiring board
JP2007264433A (en) * 2006-03-29 2007-10-11 Nippon Steel Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and color filter
CN101591423A (en) * 2008-05-29 2009-12-02 新日铁化学株式会社 Alkali soluble resin and manufacture method thereof and the photosensitive polymer combination, cured article and the colour filter that have used alkali soluble resin
JP2011248354A (en) * 2010-04-28 2011-12-08 Fujifilm Corp Photosensitive composition, forming method of photosensitive film, photosensitive laminate and permanent pattern, and printed board
JP2015137663A (en) * 2014-01-20 2015-07-30 豊生ブレーキ工業株式会社 Automatic drum brake shoe clearance adjusting device
JP2017021136A (en) * 2015-07-09 2017-01-26 新日鉄住金化学株式会社 Photosensitive resin composition for color filter, production method of the same, cured film of the same, and color filter having the cured film as constituent

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11242330A (en) * 1998-02-24 1999-09-07 Nippon Steel Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, multilayered printed circuit board using that, and its production
WO2000058788A1 (en) * 1999-03-26 2000-10-05 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Photopolymerizable layered product with high resolution and semiconductor device made with the same
JP2001354735A (en) * 2000-06-12 2001-12-25 Nagase Chemtex Corp Photopolymerizable unsaturated compound, method for producing the same and alkali-soluble radiation- sensitive resin composition using the same
JP2006210811A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Nippon Steel Chem Co Ltd Manufacturing method for printed wiring board
JP2007264433A (en) * 2006-03-29 2007-10-11 Nippon Steel Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and color filter
CN101591423A (en) * 2008-05-29 2009-12-02 新日铁化学株式会社 Alkali soluble resin and manufacture method thereof and the photosensitive polymer combination, cured article and the colour filter that have used alkali soluble resin
JP2011248354A (en) * 2010-04-28 2011-12-08 Fujifilm Corp Photosensitive composition, forming method of photosensitive film, photosensitive laminate and permanent pattern, and printed board
JP2015137663A (en) * 2014-01-20 2015-07-30 豊生ブレーキ工業株式会社 Automatic drum brake shoe clearance adjusting device
JP2017021136A (en) * 2015-07-09 2017-01-26 新日鉄住金化学株式会社 Photosensitive resin composition for color filter, production method of the same, cured film of the same, and color filter having the cured film as constituent

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023032605A1 (en) * 2021-09-01 2023-03-09 株式会社カネカ Composition and method for producing composition

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102493938B1 (en) Method for producing carboxyl group-containing resin, photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and carboxyl group-containing resin
KR101799845B1 (en) Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board
KR102497682B1 (en) Film manufacturing method and printed wiring board
JP6391121B2 (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing photosensitive resin composition
KR101900355B1 (en) Dry film layered product
TWI656403B (en) Photo-sensitive resin composition, dry film, and printed wiring board (1)
JP6767090B2 (en) Photosensitive resin composition, printed wiring board, dry film with support, and multilayer printed wiring board
JP6204518B2 (en) Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board
JP6478351B2 (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing printed wiring board
JP6082083B1 (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing photosensitive resin composition
JP2017191204A (en) Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board
JP2017129687A (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board and production method of photosensitive resin composition
JP6172816B2 (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing photosensitive resin composition
JP2020144374A (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition
JP6927664B2 (en) Method for manufacturing photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board and photosensitive resin composition
JP7150230B2 (en) Carboxyl group-containing resin, photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing carboxyl group-containing resin
JP6140246B2 (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing photosensitive resin composition
JP7104397B2 (en) Black photosensitive resin composition, dry film and printed wiring board
JP2017090490A (en) Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing the photosensitive resin composition
JP2017197663A (en) Carboxyl group-containing resin, photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing carboxyl group-containing resin
JP2017088640A (en) Carboxyl group-containing resin, photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing carboxyl group-containing resin
JP2017125163A (en) Carboxyl group-containing resin, photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing carboxyl group-containing resin

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200507

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210226

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210316

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20211005