JP2017197663A - Carboxyl group-containing resin, photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing carboxyl group-containing resin - Google Patents

Carboxyl group-containing resin, photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing carboxyl group-containing resin Download PDF

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倫也 樋口
Michiya Higuchi
倫也 樋口
橋本 壯一
Soichi Hashimoto
壯一 橋本
貴 荒井
Takashi Arai
貴 荒井
浩信 川里
Hironobu Kawasato
浩信 川里
真司 稲葉
Shinji Inaba
真司 稲葉
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a carboxyl group-containing resin that can impart high electric insulation and plating resistance to a cured product of a photosensitive resin composition.SOLUTION: A carboxyl group-containing resin (A1) is a reactant between: an intermediate, which is a reactant of an epoxy compound (a1) with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and a polycarboxylic acid (a6); and acid anhydride. The epoxy compound (a1) has a bisphenol fluorene skeleton represented by formula (1) (Rindependently represent H, alkyl or halogen).SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、カルボキシル基含有樹脂、前記カルボキシル基含有樹脂を含有する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物の乾燥物を含むドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び前記カルボキシル基含有樹脂の製造方法に関する。   The present invention relates to a carboxyl group-containing resin, a photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin, a dry film containing a dried product of the photosensitive resin composition, and an interlayer insulation containing a cured product of the photosensitive resin composition. It is related with the manufacturing method of the printed wiring board provided with a layer, the printed wiring board provided with the soldering resist layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition, and the said carboxyl group containing resin.

従来、プリント配線板の、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために電気絶縁性の樹脂組成物が使用されている。このような樹脂組成物は、例えば感光性樹脂組成物である。   Conventionally, an electrically insulating resin composition has been used to form electrically insulating layers such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer of a printed wiring board. Such a resin composition is, for example, a photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物から形成される層に高い耐熱性を付与するために、感光性樹脂組成物にビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を配合することが提案されている。例えば特許文献1には、フルオレンエポキシ(メタ)アクリレートを多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られるフルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂を用いることが開示されている。   In order to give high heat resistance to the layer formed from the photosensitive resin composition, it has been proposed to add a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton to the photosensitive resin composition. For example, Patent Document 1 discloses that a carboxyl group-containing resin having a fluorene skeleton obtained by reacting fluorene epoxy (meth) acrylate with a polyvalent carboxylic acid or an anhydride thereof is used.

しかし、フルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂を含有する感光性樹脂組成物の現像性は低い。このため、この感光性樹脂組成物からソルダーレジスト層、層間絶縁層等のための十分な厚みを有する電気絶縁性の層をフォトリソグラフィー法で作製するのは困難であった。特に、近年、作業環境の向上、廃棄物処理の負担軽減などのために、現像液としてアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液を用いることが要請されているが、フルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂を含有する感光性樹脂組成物をアルカリ性水溶液で現像することは困難であった。また、現像性を向上させるにはフルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂の分子量を下げる必要があるが、その場合、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性が増大したり、ソルダーレジスト層の電気絶縁性及び耐メッキ性が低下したりするという問題が生じる。   However, the developability of the photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin having a fluorene skeleton is low. For this reason, it has been difficult to produce an electrically insulating layer having a sufficient thickness for a solder resist layer, an interlayer insulating layer and the like from this photosensitive resin composition by a photolithography method. In particular, in recent years, it has been required to use an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide as a developing solution in order to improve the working environment and reduce the burden of waste disposal. It has been difficult to develop a photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin having a fluorene skeleton with an alkaline aqueous solution. Further, in order to improve developability, it is necessary to lower the molecular weight of the carboxyl group-containing resin having a fluorene skeleton. In that case, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition increases, or the solder resist layer There arises a problem that the electrical insulation property and plating resistance of the material deteriorate.

特許第4508929号公報Japanese Patent No. 4508929

本発明の目的は、感光性樹脂組成物の成分として好適であり、フルオレン骨格を有しながら、感光性樹脂組成物に優れたアルカリ性水溶液による現像性を付与でき、しかも感光性樹脂組成物の硬化物に高い電気絶縁性及び耐メッキ性を付与できるカルボキシル基含有樹脂、前記カルボキシル基含有樹脂を含有する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物の乾燥物を含むドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及びカルボキシル基含有樹脂の製造方法を提供することである。   An object of the present invention is suitable as a component of a photosensitive resin composition, and can impart developability with an alkaline aqueous solution excellent in the photosensitive resin composition while having a fluorene skeleton, and also cures the photosensitive resin composition. Carboxy group-containing resin capable of imparting high electrical insulation and plating resistance to a product, photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin, dry film containing a dried product of the photosensitive resin composition, and the photosensitive resin It is to provide a printed wiring board provided with an interlayer insulating layer containing a cured product of the composition, a printed wiring board provided with a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a method for producing a carboxyl group-containing resin. .

本発明の一態様に係るカルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)との反応物である中間体と、酸無水物と、の反応物である。前記エポキシ化合物(a1)は、ビスフェノールフルオレン骨格を有し、前記ビスフェノールフルオレン骨格は、下記式(1)で示される。下記式(1)中、R1〜R8は、各々独立に、水素、炭素数1〜5のアルキル基、又はハロゲンである。 The carboxyl group-containing resin (A1) according to one embodiment of the present invention includes an intermediate that is a reaction product of the epoxy compound (a1), the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2), and the polyvalent carboxylic acid (a6). , And a reaction product of an acid anhydride. The epoxy compound (a1) has a bisphenol fluorene skeleton, and the bisphenol fluorene skeleton is represented by the following formula (1). In the following formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen.

本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有し、前記カルボキシル基含有樹脂(A)は、前記カルボキシル基含有樹脂(A1)を含有する。   A photosensitive resin composition according to one embodiment of the present invention includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator ( C) and an epoxy compound (D), and the carboxyl group-containing resin (A) contains the carboxyl group-containing resin (A1).

本発明の一態様に係るドライフィルムは、前記感光性樹脂組成物の乾燥物を含む。   The dry film which concerns on 1 aspect of this invention contains the dried material of the said photosensitive resin composition.

本発明の一態様に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備える。   The printed wiring board which concerns on 1 aspect of this invention is equipped with the interlayer insulation layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.

本発明の一態様に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備える。   The printed wiring board which concerns on 1 aspect of this invention is equipped with the soldering resist layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.

本発明の一態様に係るカルボキシル基含有樹脂(A1)の製造方法は、エポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)を反応させて、中間体を合成することと、前記中間体と酸無水物とを反応させて、前記カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成することとを含む。前記エポキシ化合物(a1)は、ビスフェノールフルオレン骨格を有する。前記ビスフェノールフルオレン骨格は、上記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は、各々独立に、水素、炭素数1〜5のアルキル基、又はハロゲンである。 In the method for producing a carboxyl group-containing resin (A1) according to one embodiment of the present invention, an epoxy compound (a1), an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2), and a polyvalent carboxylic acid (a6) are reacted. And synthesizing the carboxyl group-containing resin (A1) by reacting the intermediate with an acid anhydride. The epoxy compound (a1) has a bisphenolfluorene skeleton. The bisphenolfluorene skeleton is represented by the above formula (1), and in the formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen.

本発明の一態様によれば、感光性樹脂組成物の成分として好適であり、フルオレン骨格を有しながら、感光性樹脂組成物に優れたアルカリ性水溶液による現像性を付与でき、しかも感光性樹脂組成物から形成される皮膜に高い電気絶縁性及び耐メッキ性を付与できるカルボキシル基含有樹脂、前記カルボキシル基含有樹脂を含有する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び前記カルボキシル基含有樹脂の製造方法が得られる。   According to one embodiment of the present invention, it is suitable as a component of a photosensitive resin composition, and can impart developability with an alkaline aqueous solution excellent in the photosensitive resin composition while having a fluorene skeleton. A carboxyl group-containing resin capable of imparting high electrical insulation and plating resistance to a film formed from the product, a photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin, a dry film containing the photosensitive resin composition, A printed wiring board provided with an interlayer insulating layer containing a cured product of a photosensitive resin composition, a printed wiring board provided with a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a method for producing the carboxyl group-containing resin are obtained. It is done.

図1A乃至図1Eは、多層プリント配線板を製造する工程を示す断面図である。1A to 1E are cross-sectional views showing a process for manufacturing a multilayer printed wiring board.

以下、本発明の一実施形態について説明する。なお、以下の説明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」と「メタクリル」のうち少なくとも一方を意味する。例えば、(メタ)アクリレートは、アクリレートとメタクリレートとのうち少なくとも一方を意味する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described. In the following description, “(meth) acryl” means at least one of “acryl” and “methacryl”. For example, (meth) acrylate means at least one of acrylate and methacrylate.

本実施形態に係るカルボキシル基含有樹脂(A1)は、感光性樹脂組成物の成分として好適である。感光性樹脂組成物は、例えば、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)と、を含有し、カルボキシル基含有樹脂(A)がカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有する。   The carboxyl group-containing resin (A1) according to this embodiment is suitable as a component of the photosensitive resin composition. The photosensitive resin composition includes, for example, a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator (C), and an epoxy. Compound (D), and carboxyl group-containing resin (A) contains carboxyl group-containing resin (A1).

カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)との反応物である中間体と、酸無水物と、の反応物である。エポキシ化合物(a1)は、下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンである、ビスフェノールフルオレン骨格を有する。 The carboxyl group-containing resin (A1) includes an epoxy compound (a1), an intermediate that is a reaction product of the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and the polyvalent carboxylic acid (a6), and an acid anhydride. It is a reactant. The epoxy compound (a1) is represented by the following formula (1). In the formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen, and a bisphenolfluorene skeleton. Have.

カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸無水物とを反応させることで合成される。   The carboxyl group-containing resin (A1) is obtained by reacting an epoxy compound (a1) with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and a polyvalent carboxylic acid (a6), and an intermediate obtained thereby. It is synthesized by reacting things.

式(1)におけるR1〜R8の各々は、水素でもよいが、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンでもよい。なぜなら、芳香環における水素が低分子量のアルキル基又はハロゲンで置換されても、カルボキシル基含有樹脂(A1)の物性に悪影響はなく、むしろカルボキシル基含有樹脂(A1)を含む感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性或いは難燃性が向上する場合もあるからである。 Each of R 1 to R 8 in Formula (1) may be hydrogen, but may be an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen. This is because even if hydrogen in the aromatic ring is substituted with a low molecular weight alkyl group or halogen, the physical properties of the carboxyl group-containing resin (A1) are not adversely affected, but rather the photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin (A1). This is because the heat resistance or flame retardancy of the cured product may be improved.

本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A1)がエポキシ化合物(a1)に由来するビスフェノールフルオレン骨格を有しているから、カルボキシル基含有樹脂(A1)を含有する感光性樹脂組成物の硬化物に高い耐熱性及び絶縁信頼性を付与できる。   In this embodiment, since the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton derived from the epoxy compound (a1), the cured product of the photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin (A1) is used. High heat resistance and insulation reliability can be imparted.

さらに、カルボキシル基含有樹脂(A1)が、エポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)との反応物である中間体と、酸無水物と、の反応物であることで、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、適切な分子量を有するとともに、適切な酸価を有しうる。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)を含有する感光性樹脂組成物の現像性を向上でき、感光性樹脂組成物にアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液による現像性を付与することも可能となる。また、感光性樹脂組成物の硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性が向上する。   Further, the carboxyl group-containing resin (A1) is an intermediate that is a reaction product of the epoxy compound (a1), the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2), and the polyvalent carboxylic acid (a6), an acid anhydride, The carboxyl group-containing resin (A1) can have an appropriate molecular weight and an appropriate acid value. For this reason, the developability of the photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin (A1) can be improved, and the photosensitive resin composition contains an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide. It is also possible to impart developability. Further, the insulation reliability and plating resistance of the cured product of the photosensitive resin composition are improved.

カルボキシル基含有樹脂(A1)について、より具体的に説明する。カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成するためには、まずエポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基(式(2)参照)のうちの一部と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)とを反応させ、エポキシ基のうちの別の一部と多価カルボン酸(a6)とを反応させることで、中間体を合成する。   The carboxyl group-containing resin (A1) will be described more specifically. In order to synthesize the carboxyl group-containing resin (A1), first, a part of the epoxy group (see formula (2)) in the epoxy compound (a1) is reacted with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2). The intermediate is synthesized by reacting another part of the epoxy group with the polyvalent carboxylic acid (a6).

中間体は、エポキシ基と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた下記式(3)に示す構造(S3)と、エポキシ基と多価カルボン酸(a6)との開環付加反応により生じた下記式(4)に示す構造(S4)とを有する。すなわち、中間体は、構造(S3)中に、エポキシ基と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた二級の水酸基を有するとともに、構造(S4)中に、エポキシ基と多価カルボン酸(a6)との開環付加反応により生じた二級の水酸基とカルボキシル基とを有する。式(3)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、式(4)においてYは多価カルボン酸残基である。なお、エポキシ化合物(a1)の二つの分子のエポキシ基と、多価カルボン酸(a6)の一つの分子とが反応することで、式(4)に示す構造(S4)が生じると、この構造(S4)は二つのエポキシ化合物(a1)の分子間を架橋する。この場合、中間体の分子量が増大しうる。   The intermediate includes a structure (S3) represented by the following formula (3) generated by a ring-opening addition reaction between an epoxy group and an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2), an epoxy group, a polyvalent carboxylic acid (a6), and And a structure (S4) represented by the following formula (4) produced by the ring-opening addition reaction. That is, the intermediate has a secondary hydroxyl group generated by the ring-opening addition reaction between the epoxy group and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) in the structure (S3), and in the structure (S4), It has a secondary hydroxyl group and a carboxyl group produced by a ring-opening addition reaction between an epoxy group and a polyvalent carboxylic acid (a6). In the formula (3), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue, and in the formula (4), Y is a polyvalent carboxylic acid residue. In addition, when the structure (S4) shown by Formula (4) arises by the reaction of the epoxy group of two molecules of the epoxy compound (a1) and one molecule of the polyvalent carboxylic acid (a6), this structure (S4) bridges the molecules of the two epoxy compounds (a1). In this case, the molecular weight of the intermediate can be increased.

なお、多価カルボン酸(a6)における一部のカルボキシル基がエポキシ基と反応せずに中間体中に残存することもある。すなわち、中間体は、多価カルボン酸(a6)に由来するカルボキシル基を有することがある。   In addition, some carboxyl groups in the polyvalent carboxylic acid (a6) may remain in the intermediate without reacting with the epoxy group. That is, the intermediate may have a carboxyl group derived from the polyvalent carboxylic acid (a6).

次に、中間体中の二級の水酸基の少なくとも一部と、酸無水物とを反応させる。酸無水物は、例えば酸二無水物(a3)と酸一無水物(a4)とのうち少なくとも一方を含有する。これにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成できる。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有する。   Next, at least a part of the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with the acid anhydride. The acid anhydride contains, for example, at least one of acid dianhydride (a3) and acid monoanhydride (a4). Thereby, carboxyl group-containing resin (A1) can be synthesized. Therefore, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1).

酸無水物が酸一無水物(a4)を含有する場合は、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、下記式(5)に示す構造(S5)と下記式(6)に示す構造(S6)も有する。構造(S5)は、構造(S3)における二級の水酸基に酸一無水物(a4)が付加することで生成する。構造(S6)は、構造(S4)における二級の水酸基に酸一無水物(a4)が付加することで生成する。式(5)及び式(6)において、Bは酸一無水物残基である。この場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸一無水物(a4)に由来するカルボキシル基を有する。   When the acid anhydride contains acid monoanhydride (a4), the carboxyl group-containing resin (A1) includes a structure (S5) shown in the following formula (5) and a structure (S6) shown in the following formula (6). Have. The structure (S5) is generated by adding an acid monoanhydride (a4) to the secondary hydroxyl group in the structure (S3). The structure (S6) is generated by adding an acid monoanhydride (a4) to the secondary hydroxyl group in the structure (S4). In Formula (5) and Formula (6), B is an acid monoanhydride residue. In this case, the carboxyl group-containing resin (A1) has a carboxyl group derived from the acid monoanhydride (a4).

酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、下記式(7)に示す構造(S7)と、下記式(8)に示す構造(S8)と、下記式(9)に示す構造(S9)とを有する。構造(S7)〜(S9)は、酸二無水物(a3)中の二つの酸無水物基と、中間体における二つの二級の水酸基とが、それぞれ反応することで生じる。すなわち、構造(S7)〜(S9)は、二つの二級の水酸基同士を酸二無水物(a3)が架橋することで生成する。このうち、構造(S7)は、二つの構造(S3)にそれぞれある二つの二級の水酸基同士を酸二無水物(a3)が架橋することで生成する。構造(S8)は、二つの構造(S4)にそれぞれある二つの二級の水酸基同士を酸二無水物(a3)が架橋することで生成する。構造(S9)は、構造(S3)と構造(S4)にそれぞれある二つの二級の水酸基同士を酸二無水物(a3)が架橋することで生成する。式(7)及び式(8)において、Dは酸二無水物残基である。このようにカルボキシル基含有樹脂(A)が構造(S7)〜(S9)を有すると、カルボキシル基含有樹脂(A)は、酸二無水物(a3)に由来するカルボキシル基を有する。感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を特に向上させるためには、カルボキシル基含有樹脂(A1)中のカルボキシル基全量に対する、構造(S8)中のカルボキシル基の量は、50モル%以下であることが好ましく、30モル%以下であれば更に好ましい。   When the acid anhydride contains acid dianhydride (a3), the carboxyl group-containing resin (A1) includes a structure (S7) represented by the following formula (7) and a structure (S8) represented by the following formula (8): And a structure (S9) represented by the following formula (9). Structures (S7) to (S9) are generated by the reaction between two acid anhydride groups in the acid dianhydride (a3) and two secondary hydroxyl groups in the intermediate. That is, the structures (S7) to (S9) are generated by crosslinking the two secondary hydroxyl groups with the acid dianhydride (a3). Of these, the structure (S7) is generated by the acid dianhydride (a3) cross-linking two secondary hydroxyl groups in the two structures (S3). The structure (S8) is generated by the acid dianhydride (a3) cross-linking two secondary hydroxyl groups in the two structures (S4). The structure (S9) is generated by the acid dianhydride (a3) cross-linking two secondary hydroxyl groups in the structure (S3) and the structure (S4), respectively. In Formula (7) and Formula (8), D is an acid dianhydride residue. When the carboxyl group-containing resin (A) has the structures (S7) to (S9) as described above, the carboxyl group-containing resin (A) has a carboxyl group derived from the acid dianhydride (a3). In order to particularly improve the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution, the amount of carboxyl groups in the structure (S8) with respect to the total amount of carboxyl groups in the carboxyl group-containing resin (A1) is 50 mol% or less. It is preferable that it is 30 mol% or less.

なお、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合とが、ありうる。中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋されると、カルボキシル基含有樹脂(A)の分子量が増大する。   In addition, the case where two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are crosslinked and the case where two secondary hydroxyl groups present in each of the two molecules of the intermediate are crosslinked It is possible. When two secondary hydroxyl groups respectively present in the two molecules of the intermediate are cross-linked, the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A) increases.

中間体の合成時にエポキシ化合物(a1)中のエポキシ基の一部が未反応のまま残存する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は構造(S2)、すなわちエポキシ基を有することがありうる。また、中間体における構造(S3)及び構造(S4)の一部が未反応のまま残存する場合に、カルボキシル基含有樹脂(A1)は構造(S3)及び構造(S4)を有することもありうる。また、構造(S4)における二つの二級の水酸基のうちの一方が未反応のまま残存することもありうる。   When some of the epoxy groups in the epoxy compound (a1) remain unreacted during the synthesis of the intermediate, the carboxyl group-containing resin (A1) may have a structure (S2), that is, an epoxy group. Further, when a part of the structure (S3) and the structure (S4) in the intermediate remains unreacted, the carboxyl group-containing resin (A1) may have the structure (S3) and the structure (S4). . In addition, one of the two secondary hydroxyl groups in the structure (S4) may remain unreacted.

ただし、本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件を最適化することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)中の構造(S2)に由来するエポキシ基、並びに構造(S3)及び構造(S4)に由来する水酸基の数を低減し、或いはこれらのエポキシ基及び水酸基を殆どなくしうる。   However, in this embodiment, the epoxy group derived from the structure (S2) in the carboxyl group-containing resin (A1) and the structure (S3) are optimized by optimizing the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1). ) And the structure (S4), or the number of these epoxy groups and hydroxyl groups can be almost eliminated.

また、エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合、すなわち例えば後述する式(10)においてn=1以上である場合には、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基と酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)とのうち少なくとも一方との反応により生じる構造を有することもある。   When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group, that is, for example, when n = 1 or more in the formula (10) described later, the carboxyl group-containing resin (A1) is an epoxy compound (a1). The secondary secondary hydroxyl group may have a structure produced by a reaction with at least one of acid dianhydride (a3) and acid dianhydride (a4).

なお、上述のカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造は技術常識に基づいて合理的に類推されており、カルボキシル基含有樹脂(A1)の構造を分析によって特定することは現実にはできない。その理由は次の通りである。エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合(例えば式(10)においてnが1以上である場合)には、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基の数によってカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造が大きく変化してしまう。また、中間体と酸二無水物(a3)とが反応する際には、上述の通り、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合とが、ありうる。また、中間体の合成時に多価カルボン酸(a6)のカルボキシル基の一部がエポキシ化合物(a1)と反応せずに中間体に残存し、これがカルボキシル基含有樹脂(A1)に残存することがありうる。また中間体における二級の水酸基の一部が酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)と反応せずに残存することもありうる。また、酸二無水物(a3)における酸無水物基の一部が反応せずに残存することもありうる。これらの場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は更に種々の構造を有しうる。このため、最終的に得られるカルボキシル基含有樹脂(A1)は、互いに構造の異なる複数の分子を含み、カルボキシル基含有樹脂(A1)を分析してもその構造を特定できない。   In addition, the structure of the above-mentioned carboxyl group-containing resin (A1) is reasonably inferred based on technical common sense, and the structure of the carboxyl group-containing resin (A1) cannot be specified by analysis. The reason is as follows. When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group (for example, when n is 1 or more in the formula (10)), the carboxyl group-containing resin depends on the number of secondary hydroxyl groups in the epoxy compound (a1). The structure of (A1) changes greatly. When the intermediate and the acid dianhydride (a3) react, as described above, two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are acid dianhydrides (a3). There may be a case where two secondary hydroxyl groups respectively present in two molecules of the intermediate are crosslinked with an acid dianhydride (a3). Further, at the time of synthesizing the intermediate, a part of the carboxyl group of the polyvalent carboxylic acid (a6) does not react with the epoxy compound (a1) and remains in the intermediate, which may remain in the carboxyl group-containing resin (A1). It is possible. In addition, a part of the secondary hydroxyl group in the intermediate may remain without reacting with the acid dianhydride (a3) and the acid monoanhydride (a4). In addition, a part of the acid anhydride group in the acid dianhydride (a3) may remain without reacting. In these cases, the carboxyl group-containing resin (A1) can further have various structures. For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) finally obtained contains a plurality of molecules having different structures, and even when the carboxyl group-containing resin (A1) is analyzed, the structure cannot be specified.

カルボキシル基含有樹脂(A1)は、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)に由来するエチレン性不飽和基を有しているから、光反応性を有する。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、感光性樹脂組成物に、感光性(具体的には紫外線硬化性)を付与できる。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸無水物に由来するカルボキシル基を有しているから、感光性樹脂組成物に、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液による現像性を付与できる。さらに、カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量は、多価カルボン酸(a6)による架橋の数に依存する。このため、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が得られる。すなわち、酸無水物の量、並びに多価カルボン酸(a6)に対する不飽和基含有モノカルボン酸(a2)の量を制御することで、所望の分子量及び酸価を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)が容易に得られる。   Since the carboxyl group-containing resin (A1) has an ethylenically unsaturated group derived from the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2), it has photoreactivity. For this reason, carboxyl group-containing resin (A1) can impart photosensitivity (specifically, ultraviolet curable) to the photosensitive resin composition. Moreover, since the carboxyl group-containing resin (A1) has a carboxyl group derived from an acid anhydride, the photosensitive resin composition contains at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide. It is possible to impart developability with an aqueous solution. Furthermore, the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) depends on the number of crosslinks by the polyvalent carboxylic acid (a6). For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted is obtained. That is, by controlling the amount of acid anhydride and the amount of unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) relative to polyvalent carboxylic acid (a6), a carboxyl group-containing resin (A1) having a desired molecular weight and acid value Is easily obtained.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量は1000〜5000の範囲内であることが好ましい。重量平均分子量が1000以上であると、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性が更に抑制されると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性が更に向上する。また、重量平均分子量が5000以下であると、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィによる次の条件での分子量の測定結果から算出される。   The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 1000 to 5000. When the weight average molecular weight is 1000 or more, tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition is further suppressed, and insulation reliability and plating resistance of the cured product are further improved. Moreover, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition improves especially that a weight average molecular weight is 5000 or less. The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is calculated from the measurement result of the molecular weight under the following conditions by gel permeation chromatography.

GPC装置:昭和電工社製 SHODEX SYSTEM 11、
カラム:SHODEX KF−800P,KF−005,KF−003,KF−001の4本直列、
移動相:THF、
流量:1ml/分、
カラム温度:45℃、
検出器:RI、
換算:ポリスチレン。
GPC device: SHODEX SYSTEM 11, manufactured by Showa Denko KK
Column: 4 series of SHODEX KF-800P, KF-005, KF-003, KF-001,
Mobile phase: THF,
Flow rate: 1 ml / min
Column temperature: 45 ° C
Detector: RI,
Conversion: Polystyrene.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の固形分酸価は60〜140mgKOH/gの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性が特に向上する。固形分酸価は、より好ましくは80〜135mgKOH/gの範囲内であり、更に好ましくは90〜130mgKOH/gの範囲内である。   The solid content acid value of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 60 to 140 mgKOH / g. In this case, the developability of the photosensitive resin composition is particularly improved. The solid content acid value is more preferably in the range of 80 to 135 mgKOH / g, and still more preferably in the range of 90 to 130 mgKOH / g.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の原料、並びにカルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件について詳しく説明する。   The raw material of the carboxyl group-containing resin (A1) and the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1) will be described in detail.

エポキシ化合物(a1)は、例えば下記式(10)に示す構造(S10)を有する。式(10)中のnは、例えば0〜20の範囲内の数である。カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量を適切な値にするためには、nの平均は0〜1の範囲内であることが特に好ましい。nの平均が0〜1の範囲内であれば、特に酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合に、酸二無水物(a3)の付加による過剰な分子量の増大が抑制されやすい。   The epoxy compound (a1) has a structure (S10) represented by the following formula (10), for example. N in Formula (10) is a number within the range of 0-20, for example. In order to adjust the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) to an appropriate value, the average of n is particularly preferably in the range of 0-1. If the average of n is in the range of 0 to 1, particularly when the acid anhydride contains acid dianhydride (a3), an excessive increase in molecular weight due to addition of acid dianhydride (a3) is suppressed. Cheap.

不飽和基含有モノカルボン酸(a2)は、例えば一分子中にエチレン性不飽和基を1個のみ有する化合物を含有できる。より具体的には、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、クロトン酸、桂皮酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、2−アクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルマレイン酸、2−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、β−カルボキシエチルアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、及び2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。好ましくは、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)はアクリル酸を含有する。   The unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) can contain, for example, a compound having only one ethylenically unsaturated group in one molecule. More specifically, the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) is, for example, acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, crotonic acid, cinnamic acid, 2-acryloyloxyethyl. Succinic acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, 2-acryloyloxyethyl phthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl phthalic acid, 2-acryloyloxypropyl phthalic acid, 2-methacryloyloxypropyl phthalic acid, 2-acryloyloxyethyl maleic acid 2-methacryloyloxyethyl maleic acid, β-carboxyethyl acrylate, 2-acryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalate It can contain at least one compound selected from the group consisting of phosphoric acid and 2-methacryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid. Preferably, the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) contains acrylic acid.

多価カルボン酸(a6)は、一分子中に二つ以上のカルボキシル基を有する化合物である。多価カルボン酸(a6)は、一分子中に二つのカルボキシル基を有する化合物であるジカルボン酸を含有することが好ましい。この場合、過剰な分子量の増大を防ぐことができる。多価カルボン酸(a6)は、ジカルボン酸のみを含有してもよい。多価カルボン酸(a6)は、エチレン性不飽和基を有していてもよく、有していなくてもよい。より具体的には、多価カルボン酸(a6)は、例えばシュウ酸、マロン酸、コハク酸、メチルコハク酸、イタコン酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、メタントリカルボン酸、トリカルバリル酸、ベンゼントリカルボン酸、ベンゼンテトラカルボン酸、4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸、トリメリット酸、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、及びビフェニルテトラカルボン酸からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有する。   The polyvalent carboxylic acid (a6) is a compound having two or more carboxyl groups in one molecule. The polyvalent carboxylic acid (a6) preferably contains a dicarboxylic acid that is a compound having two carboxyl groups in one molecule. In this case, an excessive increase in molecular weight can be prevented. The polyvalent carboxylic acid (a6) may contain only a dicarboxylic acid. The polyvalent carboxylic acid (a6) may or may not have an ethylenically unsaturated group. More specifically, the polyvalent carboxylic acid (a6) is, for example, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, methyl succinic acid, itaconic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, maleic acid. Acid, fumaric acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, methanetricarboxylic acid, tricarballylic acid, benzenetricarboxylic acid, benzenetetracarboxylic acid, 4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid, trimellitic acid, cyclohexane-1, It contains at least one compound selected from the group consisting of 2,4-tricarboxylic acid, pyromellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, and biphenyl tetracarboxylic acid.

エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えば、エポキシ化合物(a1)の溶剤溶液に不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、中間体を得ることができる。溶剤は、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、及びトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、及び酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類、及びジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。熱重合禁止剤は例えばハイドロキノン及びハイドロキノンモノメチルエーテルのうち少なくとも一方を含有する。触媒は例えばベンジルジメチルアミン、トリエチルアミン等の第3級アミン類、トリメチルベンジルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド等の第4級アンモニウム塩類、トリフェニルフォスフィン、及びトリフェニルスチビンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   In reacting the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and the polyvalent carboxylic acid (a6), a known method may be employed. For example, an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and a polyvalent carboxylic acid (a6) are added to a solvent solution of the epoxy compound (a1), and if necessary, a thermal polymerization inhibitor and a catalyst are added and mixed with stirring. To obtain a reactive solution. An intermediate can be obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. Solvents include, for example, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, and aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether It can contain at least one component selected from the group consisting of acetates such as acetate and dialkyl glycol ethers. The thermal polymerization inhibitor contains, for example, at least one of hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether. The catalyst is at least selected from the group consisting of tertiary amines such as benzyldimethylamine and triethylamine, quaternary ammonium salts such as trimethylbenzylammonium chloride and methyltriethylammonium chloride, triphenylphosphine, and triphenylstibine. A kind of component can be contained.

触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)とを反応させることが好ましい。この場合、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)との開環付加反応が特に促進され、95%以上、或いは97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成できる。このため、構造(S3)を有する中間体が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、同層の絶縁信頼性が更に向上する。   It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and the polyvalent carboxylic acid (a6) in the presence of triphenylphosphine. In this case, the ring-opening addition reaction of the epoxy group in the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and the polyvalent carboxylic acid (a6) is particularly promoted, 95% or more, or 97% or more, Alternatively, a reaction rate (conversion rate) of almost 100% can be achieved. For this reason, the intermediate body which has a structure (S3) is obtained with a high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the same layer improves further.

エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)とを反応させる際の、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)中のカルボキシル基の合計は、0.5〜0.95モルの範囲内であることが好ましい。また、エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)とを反応させる際のエポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)中のカルボキシル基の合計は、0.8〜1.2モルの範囲内であることが好ましい。この場合、優れた保存安定性を有する感光性樹脂組成物が得られる。また、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)中のカルボキシル基1モルに対する多価カルボン酸(a6)中のカルボキシル基の量は、0.05〜2モルの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物は特に良好な感光性を有することができ、感光性樹脂組成物から形成される皮膜は特に良好な感光性を有するとともに特に低いタック性を有することができ、また感光性樹脂組成物の硬化物は特に良好な絶縁信頼性及び耐メッキ性を有することができる。   When reacting the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and the polyvalent carboxylic acid (a6), the unsaturated group-containing monocarboxylic acid with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) The total of carboxyl groups in (a2) is preferably in the range of 0.5 to 0.95 mol. Moreover, the unsaturated group containing monocarboxylic acid with respect to 1 mol of epoxy groups of the epoxy compound (a1) at the time of making an epoxy compound (a1) react with unsaturated group containing monocarboxylic acid (a2) and polyhydric carboxylic acid (a6) The total of carboxyl groups in (a2) and polyvalent carboxylic acid (a6) is preferably in the range of 0.8 to 1.2 mol. In this case, a photosensitive resin composition having excellent storage stability can be obtained. Moreover, it is preferable that the quantity of the carboxyl group in polyhydric carboxylic acid (a6) with respect to 1 mol of carboxyl groups in unsaturated group containing monocarboxylic acid (a2) exists in the range of 0.05-2 mol. In this case, the photosensitive resin composition can have particularly good photosensitivity, and the film formed from the photosensitive resin composition can have particularly good photosensitivity and particularly low tackiness. The cured product of the photosensitive resin composition can have particularly good insulation reliability and plating resistance.

エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、不飽和基の付加重合反応が抑制されるから、中間体の分子量の増大及び中間体の溶液のゲル化を抑制できる。また、最終生成物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な着色を抑制できる。   It is also preferable to react the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and the polyvalent carboxylic acid (a6) under air bubbling. In this case, since the addition polymerization reaction of the unsaturated group is suppressed, the increase in the molecular weight of the intermediate and the gelation of the intermediate solution can be suppressed. Moreover, the excessive coloring of carboxyl group-containing resin (A1) which is a final product can be suppressed.

このようにして得られる中間体は、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基と不飽和基含有モノカルボン酸(a2)のカルボキシル基との反応で生成された水酸基、及びエポキシ化合物(a1)のエポキシ基と多価カルボン酸(a6)のカルボキシル基との反応で生成された水酸基を、有する。   The intermediate obtained in this way is a hydroxyl group produced by the reaction of the epoxy group of the epoxy compound (a1) and the carboxyl group of the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2), and the epoxy group of the epoxy compound (a1). And a hydroxyl group produced by a reaction of the carboxyl group of the polyvalent carboxylic acid (a6).

上述の通り、酸無水物は、酸二無水物(a3)と酸一無水物(a4)とのうち、少なくとも一方を含有できる。   As described above, the acid anhydride can contain at least one of acid dianhydride (a3) and acid monoanhydride (a4).

酸二無水物(a3)は、酸無水物基を二つ有する化合物である。酸二無水物(a3)は、テトラカルボン酸の無水物を含有できる。酸二無水物(a3)は、例えば1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、エチレンテトラカルボン酸二無水物、9,9’−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、グリセリンビスアンヒドロトリメリテートモノアセテート、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)ナフト〔1,2−c〕フラン−1,3−ジオン、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。特に酸二無水物(a3)が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含有することが好ましい。すなわち、式(5)及び式(6)におけるDが3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸二無水物(a3)全体に対する3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の量は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これらの範囲に限られない。   The acid dianhydride (a3) is a compound having two acid anhydride groups. The acid dianhydride (a3) can contain an anhydride of tetracarboxylic acid. Acid dianhydride (a3) is, for example, 1,2,4,5-benzenetetracarboxylic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, methylcyclohexene tetracarboxylic dianhydride, tetracarboxylic dianhydride, Naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, ethylenetetracarboxylic dianhydride, 9,9'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, glycerin bisanhydrotri Melitate monoacetate, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5 (tetrahydro -2,5-dioxo-3-furanyl) naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione, 1,2,3,4-buta Tetracarboxylic dianhydride, and 3,3 ', may contain at least one compound selected from the group consisting of 4,4'-biphenyl tetracarboxylic acid dianhydride. In particular, the acid dianhydride (a3) preferably contains 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. That is, it is preferable that D in Formula (5) and Formula (6) includes a 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, it is possible to further suppress the tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition and further improve the insulation reliability and plating resistance of the cured product. . The amount of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride relative to the total amount of acid dianhydride (a3) is preferably in the range of 20 to 100 mol%, and in the range of 40 to 100 mol%. Although it is more preferable to be within, it is not restricted to these ranges.

酸一無水物(a4)は、酸無水物基を一つ有する化合物である。酸一無水物(a4)は、ジカルボン酸の無水物を含有できる。酸一無水物(a4)は、例えばフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、コハク酸無水物、メチルコハク酸無水物、マレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、グルタル酸無水物、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物、及びイタコン酸無水物からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。特に酸一無水物(a4)が1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸を含有することが好ましい。すなわち、式(4)におけるBが1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸一無水物(a4)全体に対する1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸の量は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これらの範囲に限られない。   The acid monoanhydride (a4) is a compound having one acid anhydride group. The acid monoanhydride (a4) can contain an anhydride of a dicarboxylic acid. Examples of the acid monoanhydride (a4) include phthalic anhydride, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexa Hydrophthalic anhydride, succinic anhydride, methyl succinic anhydride, maleic anhydride, citraconic anhydride, glutaric anhydride, cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride, and It can contain at least one compound selected from the group consisting of itaconic anhydride. In particular, it is preferable that the acid monoanhydride (a4) contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. That is, it is preferable that B in Formula (4) contains a 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, it is possible to further suppress the tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition and further improve the insulation reliability and plating resistance of the cured product. . The amount of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride relative to the total amount of acid monoanhydride (a4) is preferably in the range of 20 to 100 mol%, and preferably in the range of 40 to 100 mol%. Although more preferable, it is not limited to these ranges.

酸二無水物(a3)と酸一無水物(a4)とのうち少なくとも一方が、カルボキシル基を有し、かつ脂環式骨格を有する酸無水物(a5)を含んでもよい。この場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)中に含まれるカルボキシル基の量を増加させることができる。これにより、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が更に向上する。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)が酸無水物(a5)に由来する脂環式骨格を有しているから、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性が更に抑制されると共に耐メッキ性及びはんだ耐熱性が更に向上する。   At least one of the acid dianhydride (a3) and the acid monoanhydride (a4) may include an acid anhydride (a5) having a carboxyl group and having an alicyclic skeleton. In this case, the amount of carboxyl groups contained in the carboxyl group-containing resin (A1) can be increased. Thereby, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition further improves. Further, since the carboxyl group-containing resin (A1) has an alicyclic skeleton derived from the acid anhydride (a5), the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition is further suppressed and the resistance to resistance is increased. Plating property and solder heat resistance are further improved.

酸無水物(a5)は、酸一無水物(a4)に含まれることが好ましい。すなわち、式(5)及び式(6)におけるBが酸無水物(a5)の残基を含むことが好ましい。酸無水物(a5)は、例えばシクロアルカン、シクロアルケン、二環式化合物、多環式化合物、スピロ化合物などの脂環式化合物のうち少なくとも一種を含有する。特に酸無水物(a5)がシクロアルカンを含有する化合物であることが好ましい。シクロアルカンとは、例えば、シクロプロパン、シクロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロへプタン、シクロオクタンなどがある。酸無水物(a5)がシクロヘキサンを含有する化合物であることがさらに好ましい。また、酸無水物(a5)は、脂環式骨格に直接結合されたカルボキシル基を有することが好ましい。さらに、酸無水物(a5)における酸無水物基は、脂環式骨格に直接結合されていることが好ましい。酸無水物(a5)は、芳香環を含まなくてもよい。また、酸無水物(a5)は、トリカルボン酸の無水物であってよい。   The acid anhydride (a5) is preferably contained in the acid monoanhydride (a4). That is, it is preferable that B in Formula (5) and Formula (6) includes a residue of acid anhydride (a5). The acid anhydride (a5) contains at least one alicyclic compound such as cycloalkane, cycloalkene, bicyclic compound, polycyclic compound, and spiro compound. In particular, the acid anhydride (a5) is preferably a compound containing a cycloalkane. Examples of cycloalkane include cyclopropane, cyclobutane, cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane, and cyclooctane. More preferably, the acid anhydride (a5) is a compound containing cyclohexane. The acid anhydride (a5) preferably has a carboxyl group directly bonded to the alicyclic skeleton. Furthermore, the acid anhydride group in the acid anhydride (a5) is preferably directly bonded to the alicyclic skeleton. The acid anhydride (a5) may not contain an aromatic ring. The acid anhydride (a5) may be a tricarboxylic acid anhydride.

酸無水物(a5)がシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物を含有することがより好ましい。すなわち、式(5)及び式(6)におけるBがシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物残基を含むことが好ましい。この場合、構造(S4)が、二つのカルボキシル基と、脂環式骨格とを有することになり、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性が低減され硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性が向上すると共に、良好な現像性が確保される。また、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物は水溶性が高く、反応性もよいから、カルボキシル基含有樹脂(A1)の製造が容易になる。   More preferably, the acid anhydride (a5) contains cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. That is, it is preferable that B in Formula (5) and Formula (6) includes a cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride residue. In this case, the structure (S4) has two carboxyl groups and an alicyclic skeleton, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition is reduced, and the insulation reliability and resistance of the cured product are reduced. Plating properties are improved and good developability is ensured. Further, since cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride has high water solubility and good reactivity, the production of the carboxyl group-containing resin (A1) is facilitated.

中間体と酸無水物とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えば中間体の溶剤溶液に酸無水物を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、カルボキシル基含有樹脂(A1)が得られる。溶剤、触媒及び熱重合禁止剤としては、適宜のものが使用でき、中間体の合成時に使用した溶剤、触媒及び熱重合禁止剤をそのまま使用することもできる。   In reacting the intermediate with the acid anhydride, a known method can be employed. For example, an acid anhydride is added to the solvent solution of the intermediate, and a thermal polymerization inhibitor and a catalyst are further added as necessary, followed by stirring and mixing to obtain a reactive solution. A carboxyl group-containing resin (A1) is obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. As the solvent, catalyst and thermal polymerization inhibitor, appropriate ones can be used, and the solvent, catalyst and thermal polymerization inhibitor used in the synthesis of the intermediate can be used as they are.

触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、中間体と、酸無水物とを反応させることが好ましい。この場合、中間体における二級の水酸基と酸無水物との反応が特に促進され、90%以上、95%以上、97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成できる。このため、構造(S4)及び構造(S5)を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、同層の絶縁信頼性が更に向上する。   It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react an intermediate with an acid anhydride in the presence of triphenylphosphine. In this case, the reaction between the secondary hydroxyl group and the acid anhydride in the intermediate is particularly accelerated, and a reaction rate (conversion rate) of 90%, 95%, 97%, or almost 100% can be achieved. For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) having the structure (S4) and the structure (S5) is obtained in a high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the same layer improves further.

中間体と、酸無水物とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、生成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な分子量の増大が抑制されるから、多分散度の過度の増大が抑制され、これにより、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。   It is also preferable to react the intermediate and the acid anhydride under air bubbling. In this case, since an excessive increase in molecular weight of the produced carboxyl group-containing resin (A1) is suppressed, an excessive increase in polydispersity is suppressed, whereby the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is suppressed. Is particularly improved.

酸無水物が酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)を含有する場合、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸二無水物(a3)の量は、0.05〜0.24モルの範囲内であることが好ましい。また、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸一無水物(a4)の量は0.3〜0.7モルの範囲内であることが好ましい。この場合、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が容易に得られる。また、生成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な分子量の増大が抑制される。   When the acid anhydride contains acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3), the amount of acid dianhydride (a3) is 0 with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1). It is preferably within the range of 0.05 to 0.24 mol. Moreover, it is preferable that the quantity of acid monoanhydride (a4) exists in the range of 0.3-0.7 mol with respect to 1 mol of epoxy groups of an epoxy compound (a1). In this case, the carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted can be easily obtained. Moreover, the excessive increase in molecular weight of the produced carboxyl group-containing resin (A1) is suppressed.

酸無水物が酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)を含有する場合、中間体と、酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)とを一度に反応させてもよい。   When the acid anhydride contains acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3), the intermediate is reacted with acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3) at a time. Also good.

酸無水物が酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)を含有する場合、まず中間体と酸二無水物(a3)とを反応させることで生成物を合成してから、この生成物と酸一無水物(a4)とを反応させてもよい。すなわち、カルボキシル基含有樹脂(A1)が、中間体と酸二無水物(a3)との反応物である生成物と酸一無水物(a4)との反応物であってもよい。この場合、中間体と酸二無水物(a3)との反応が、酸一無水物(a4)との反応と競合せずに安定して進行するから、構造(S7)が安定して生成しやすい。さらに、生成物中の分子同士の構造のばらつきが生じにくい。このため、生成物と酸一無水物(a4)とを反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂(A1)にも、その分子同士の構造のばらつきが生じにくい。このため、例えば重量平均分子量が1000〜5000の範囲内にあり、或いは更に特定の酸価を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)を、安定して製造できる。   When the acid anhydride contains acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3), the product is first synthesized by reacting the intermediate with acid dianhydride (a3). The product and acid monoanhydride (a4) may be reacted. That is, the carboxyl group-containing resin (A1) may be a reaction product of a product that is a reaction product of an intermediate and an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4). In this case, since the reaction between the intermediate and the acid dianhydride (a3) proceeds stably without competing with the reaction with the acid monoanhydride (a4), the structure (S7) is stably generated. Cheap. Furthermore, the structure of the molecules in the product is less likely to vary. For this reason, also in the carboxyl group-containing resin (A1) obtained by reacting the product with the acid monoanhydride (a4), the structure of the molecules is less likely to vary. Therefore, for example, a carboxyl group-containing resin (A1) having a weight average molecular weight in the range of 1000 to 5000 or having a specific acid value can be produced stably.

感光性樹脂組成物中の、カルボキシル基含有樹脂(A1)以外の成分について説明する。   Components other than the carboxyl group-containing resin (A1) in the photosensitive resin composition will be described.

上述の通り、感光性樹脂組成物は、例えばカルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有し、カルボキシル基含有樹脂(A)がカルボキシルキ含有樹脂(A1)を含有する。   As described above, the photosensitive resin composition includes, for example, a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (C). And an epoxy compound (D), and the carboxyl group-containing resin (A) contains a carboxyl group-containing resin (A1).

カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみを含有してもよく、カルボキシル基含有樹脂(A1)以外のカルボキシル基含有樹脂(以下、カルボキシル基含有樹脂(F)ともいう)を更に含有してもよい。   The carboxyl group-containing resin (A) may contain only the carboxyl group-containing resin (A1), or a carboxyl group-containing resin other than the carboxyl group-containing resin (A1) (hereinafter also referred to as carboxyl group-containing resin (F)). May further be contained.

カルボキシル基含有樹脂(F)は、例えば、カルボキシル基を有し光重合性を有さない化合物(以下、(F1)成分という)を含有できる。(F1)成分は、例えばカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含むエチレン性不飽和単量体の重合体を含有する。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、アクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート等の化合物を含有できる。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等と二塩基酸無水物との反応物も含有できる。エチレン性不飽和単量体は、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。   The carboxyl group-containing resin (F) can contain, for example, a compound having a carboxyl group and not having photopolymerizability (hereinafter referred to as (F1) component). (F1) A component contains the polymer of the ethylenically unsaturated monomer containing the ethylenically unsaturated compound which has a carboxyl group, for example. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can contain compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, and ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can also contain a reaction product of pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate and the like with a dibasic acid anhydride. The ethylenically unsaturated monomer is 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or alicyclic (provided that It may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group, such as (meth) acrylic acid ester (which may partially have an unsaturated bond in the ring).

カルボキシル基含有樹脂(F)は、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する化合物(以下、(F2)成分という)を含有してもよい。またカルボキシル基含有樹脂(F)は、(F2)成分のみを含有してもよい。(F2)成分は、例えば一分子中に二個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(g1)とエチレン性不飽和化合物(g2)との反応物である中間体と、多価カルボン酸及びその無水物の群から選択される少なくとも一種の化合物(g3)との反応物である樹脂(第一の樹脂(g)という)を含有する。第一の樹脂(g)は、例えばエポキシ化合物(g1)中のエポキシ基と、エチレン性不飽和化合物(g2)中のカルボキシル基とを反応させて得られた中間体に化合物(g3)を付加させて得られる。エポキシ化合物(g1)は、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂等の適宜のエポキシ樹脂を含有できる。エポキシ化合物(g1)は、エチレン性不飽和化合物(h)の重合体を含有してもよい。エチレン性不飽和化合物(h)は、例えばグリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する化合物(h1)を含有し、或いは更に2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート等のエポキシ基を有さない化合物(h2)を含有する。エチレン性不飽和化合物(g2)は、アクリル酸及びメタクリル酸のうち少なくとも一方を含有することが好ましい。化合物(g3)は、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸等の多価カルボン酸と、これらの多価カルボン酸の無水物とからなる群から選択される一種以上の化合物を含有する。   The carboxyl group-containing resin (F) may contain a compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group (hereinafter referred to as (F2) component). Moreover, carboxyl group-containing resin (F) may contain only the (F2) component. The component (F2) includes, for example, an intermediate that is a reaction product of an epoxy compound (g1) having two or more epoxy groups in one molecule and an ethylenically unsaturated compound (g2), a polyvalent carboxylic acid and its anhydride. A resin (referred to as a first resin (g)) that is a reaction product with at least one compound (g3) selected from the group of substances. For example, the first resin (g) is obtained by adding the compound (g3) to an intermediate obtained by reacting the epoxy group in the epoxy compound (g1) with the carboxyl group in the ethylenically unsaturated compound (g2). Can be obtained. The epoxy compound (g1) can contain an appropriate epoxy resin such as a cresol novolac epoxy resin or a phenol novolac epoxy resin. The epoxy compound (g1) may contain a polymer of the ethylenically unsaturated compound (h). The ethylenically unsaturated compound (h) contains a compound (h1) having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, or further has no epoxy group such as 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate. Contains compound (h2). The ethylenically unsaturated compound (g2) preferably contains at least one of acrylic acid and methacrylic acid. The compound (g3) contains one or more compounds selected from the group consisting of polyvalent carboxylic acids such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, and methyltetrahydrophthalic acid, and anhydrides of these polyvalent carboxylic acids. .

(F2)成分は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含有するエチレン性不飽和単量体の重合体とエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物との反応物である樹脂(第二の樹脂(i)という)を含有してもよい。エチレン性不飽和単量体はカルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。第二の樹脂(i)は、重合体におけるカルボキシル基の一部にエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物を反応させることで得られる。エチレン性不飽和単量体は、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等の化合物を含有する。カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物は、例えば2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の化合物を含有する。エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物は、グリシジル(メタ)アクリレートを含有することが好ましい。   The component (F2) is a resin (second resin) that is a reaction product of a polymer of an ethylenically unsaturated monomer containing an ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group. (I)) may be contained. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. The second resin (i) can be obtained by reacting an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group with a part of the carboxyl group in the polymer. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. Examples of the ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group include compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol trimethacrylate. Examples of the ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group include 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or oil It contains a compound such as a (meth) acrylic acid ester of a cyclic group (however, it may have some unsaturated bonds in the ring). The ethylenically unsaturated compound having an epoxy group preferably contains glycidyl (meth) acrylate.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみ、又はカルボキシル基含有樹脂(A1)とカルボキシル基含有樹脂(F)とを含有する。カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)を30質量%以上含有することが好ましく、50質量%以上含有することがより好ましく、100質量%含有することが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性及び絶縁信頼性を特に向上させることができる。また、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を十分に低減できる。更に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を確保できる。   The carboxyl group-containing resin (A) contains only the carboxyl group-containing resin (A1) or the carboxyl group-containing resin (A1) and the carboxyl group-containing resin (F). The carboxyl group-containing resin (A) preferably contains 30% by mass or more of the carboxyl group-containing resin (A1), more preferably 50% by mass or more, and still more preferably 100% by mass. In this case, the heat resistance and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition can be particularly improved. Moreover, the tackiness of the film | membrane formed from the photosensitive resin composition can fully be reduced. Furthermore, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition is securable.

不飽和化合物(B)は、感光性樹脂組成物に光硬化性を付与できる。不飽和化合物(B)は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレート;並びにジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε―カプロラクトン変性ペンタエリストールヘキサアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。   The unsaturated compound (B) can impart photocurability to the photosensitive resin composition. The unsaturated compound (B) is, for example, a monofunctional (meth) acrylate such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; and diethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone modified pentaerythritol hexaacrylate, tricyclodecandi At least one compound selected from the group consisting of polyfunctional (meth) acrylates such as methanol di (meth) acrylate can be contained.

特に不飽和化合物(B)は、三官能の化合物、すなわち一分子中に不飽和結合を3つ有する化合物を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される皮膜を露光・現像する場合の解像性が向上すると共に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。三官能の化合物は、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリストールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート及びε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート及びエトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。   In particular, the unsaturated compound (B) preferably contains a trifunctional compound, that is, a compound having three unsaturated bonds in one molecule. In this case, the resolution when the film formed from the photosensitive resin composition is exposed and developed is improved, and the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Trifunctional compounds include, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethoxylated isocyanuric acid tri (meth) acrylate and ε-caprolactone modified It can contain at least one compound selected from the group consisting of tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate and ethoxylated glycerin tri (meth) acrylate.

不飽和化合物(B)は、リン含有化合物(リン含有不飽和化合物)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有不飽和化合物は、例えば2−メタクリロイロキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトエステルP−1M、及びライトエステルP−2M)、2−アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトアクリレートP−1A)、ジフェニル−2−メタクリロイルオキシエチルフォスフェート(具体例として大八工業株式会社製の品番MR−260)、並びに昭和高分子株式会社製のHFAシリーズ(具体例としてジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCA(9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキサイド)との付加反応物である品番HFA−6003、及びHFA−6007、カプロラクトン変性ジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCA(9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキサイド)との付加反応物である品番HFA−3003、及びHFA−6127等)からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。   The unsaturated compound (B) also preferably contains a phosphorus-containing compound (phosphorus-containing unsaturated compound). In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Phosphorus-containing unsaturated compounds include, for example, 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate (as specific examples, product number light ester P-1M and light ester P-2M manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), 2-acryloyloxyethyl acid phosphate (As a specific example, product number light acrylate P-1A manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), diphenyl-2-methacryloyloxyethyl phosphate (as a specific example, product number MR-260 manufactured by Daihachi Kogyo Co., Ltd.), and Showa Polymer Co., Ltd. HFA series (part number HFA-6003 which is an addition reaction product of dipentaerystol hexaacrylate and HCA (9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide) as a specific example, and HFA-6007, caprolactone Product No. HFA-3003, HFA-6127, etc., which are addition reaction products of modified dipentaerystol hexaacrylate and HCA (9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide) It can contain at least one compound selected from the group.

不飽和化合物(B)は、プレポリマーを含有してもよい。プレポリマーは、例えばエチレン性不飽和結合を有するモノマーを重合させてからエチレン性不飽和基を付加して得られるプレポリマー、並びにオリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。オリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類は、例えばエポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコーン樹脂(メタ)アクリレート、及びスピラン樹脂(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   The unsaturated compound (B) may contain a prepolymer. The prepolymer is at least one selected from the group consisting of, for example, a prepolymer obtained by polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated bond and then adding an ethylenically unsaturated group, and oligo (meth) acrylate prepolymers These compounds can be contained. Oligo (meth) acrylate prepolymers include, for example, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, and spirane resin (meth) acrylate At least one component selected from the group consisting of:

光重合開始剤(C)は、例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。すなわち、感光性樹脂組成物は例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。この場合、感光性樹脂組成物がカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有するにもかかわらず、感光性樹脂組成物に、紫外線に対する高い感光性を付与できる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、同層の絶縁信頼性が更に向上する。   The photopolymerization initiator (C) contains, for example, an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1). That is, the photosensitive resin composition contains, for example, an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1). In this case, although the photosensitive resin composition contains the carboxyl group-containing resin (A1), high sensitivity to ultraviolet rays can be imparted to the photosensitive resin composition. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the same layer improves further.

また、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)は硬化物の電気絶縁性を阻害しにくい。このため、感光性樹脂組成物を露光硬化することで、電気的絶縁性に優れた硬化物が得られ、この硬化物は、例えばソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層として好適である。   Further, the acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is unlikely to inhibit the electrical insulation of the cured product. For this reason, by curing the photosensitive resin composition by exposure, a cured product having excellent electrical insulation can be obtained. This cured product can be used as, for example, a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, or an interlayer insulating layer. Is preferred.

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)は、例えば2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−エチル−フェニル−フォスフィネート等のモノアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、並びにビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、(2,5,6−トリメチルベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。特にアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドを含有することが好ましく、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドのみを含有することも好ましい。   Acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is, for example, monoacyl such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-ethyl-phenyl-phosphinate Phosphine oxide photopolymerization initiator, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2 , 6-dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxyben Yl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine Contains at least one component selected from the group consisting of bisacylphosphine oxide photopolymerization initiators such as fin oxide and (2,5,6-trimethylbenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide it can. In particular, the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) preferably contains 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, and the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is 2, It is also preferred to contain only 4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide.

光重合開始剤(C)はアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に加えてヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。すなわち感光性樹脂組成物はヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。この場合、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有しない場合と比べて、感光性樹脂組成物に更に高い感光性を付与できる。これにより、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に紫外線を照射して硬化させる場合、塗膜をその表面から深部に亘って十分に硬化させることが可能となる。ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)としては、例えば1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、フェニルグリオキシックアシッドメチルエステル、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン及び2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンが挙げられる。   The photopolymerization initiator (C) preferably contains a hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) in addition to the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1). That is, the photosensitive resin composition preferably contains a hydroxyketone photopolymerization initiator (C2). In this case, higher photosensitivity can be imparted to the photosensitive resin composition as compared with the case where the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) is not contained. Thereby, when irradiating and hardening an ultraviolet-ray to the coating film formed from the photosensitive resin composition, it becomes possible to fully harden a coating film over the deep part from the surface. Examples of the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) include 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, phenylglyoxyc acid methyl ester, and 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy. 2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propane-1- On and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one.

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)とヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)との質量比は、1:0.01〜1:10の範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜の表面付近における硬化性と深部における硬化性とを、バランス良く向上させることができる。   The mass ratio of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) and the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) is preferably in the range of 1: 0.01 to 1:10. In this case, the curability in the vicinity of the surface of the coating film formed from the photosensitive resin composition and the curability in the deep portion can be improved in a well-balanced manner.

光重合開始剤(C)は、ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。すなわち、感光性樹脂組成物がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有し、或いはアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を部分的に露光してから現像する場合、露光されない部分の硬化が抑制されるから、解像性が特に高くなる。このため、非常に微細なパターンの感光性樹脂組成物の硬化物を形成できる。特に、感光性樹脂組成物から多層プリント配線板の層間絶縁層を作製すると共にこの層間絶縁層にスルーホールのための小径の穴をフォトリソグラフィー法で設ける場合(図1参照)、小径の穴を精密且つ容易に形成できる。   The photopolymerization initiator (C) also preferably contains bis (diethylamino) benzophenone (C3). That is, the photosensitive resin composition contains an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1) and bis (diethylamino) benzophenone (C3), or an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1), a hydroxyketone type. It is also preferable to contain a photopolymerization initiator (C2) and bis (diethylamino) benzophenone (C3). In this case, when developing after partially exposing the coating film formed from the photosensitive resin composition, since the hardening of the part which is not exposed is suppressed, resolution becomes especially high. For this reason, the hardened | cured material of the photosensitive resin composition of a very fine pattern can be formed. In particular, when an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board is prepared from a photosensitive resin composition and a small-diameter hole for a through hole is provided in the interlayer insulating layer by a photolithography method (see FIG. 1), the small-diameter hole is formed. Precise and easy to form.

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に対するビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)の量は、0.5〜20質量%の範囲内であることが好ましい。アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に対するビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)の量が0.5質量%以上であると、解像性が特に高くなる。また、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に対するビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)の量が20質量%以下であると、感光性樹脂組成物の硬化物の電気絶縁性をビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が阻害しにくい。   The amount of bis (diethylamino) benzophenone (C3) relative to the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is preferably in the range of 0.5 to 20% by mass. When the amount of bis (diethylamino) benzophenone (C3) with respect to the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is 0.5% by mass or more, the resolution is particularly high. Further, when the amount of bis (diethylamino) benzophenone (C3) relative to the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C1) is 20% by mass or less, the electrical insulation of the cured product of the photosensitive resin composition is increased to bis (diethylamino). ) Benzophenone (C3) is difficult to inhibit.

感光性樹脂組成物は、更に公知の光重合促進剤、増感剤等を含有してもよい。例えば感光性樹脂組成物は、ベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド等のベンゾフェノン類;2,4−ジイソプロピルキサントン等のキサントン類;並びに2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等の窒素原子を含む化合物からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(C)と共に、p−ジメチル安息香酸エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、2−ジメチルアミノエチルベンゾエート等の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤や増感剤等を含有してもよい。感光性樹脂組成物は、必要に応じて、可視光露光用の光重合開始剤及び近赤外線露光用の光重合開始剤のうちの少なくとも一種を含有してもよい。感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(C)と共に、レーザ露光法用増感剤である7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン等のクマリン誘導体、カルボシアニン色素系、キサンテン色素系等を含有してもよい。   The photosensitive resin composition may further contain a known photopolymerization accelerator, sensitizer and the like. For example, the photosensitive resin composition includes benzoin and its alkyl ethers; acetophenones such as acetophenone and benzyldimethyl ketal; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone; 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2- Thioxanthones such as isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; benzophenones such as benzophenone and 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide; xanthones such as 2,4-diisopropylxanthone; Α-hydroxyketones such as hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone It can contain at least one component selected from the group consisting of compounds containing a nitrogen atom. The photosensitive resin composition includes known photopolymerization initiators (C) and tertiary amines such as p-dimethylbenzoic acid ethyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, and 2-dimethylaminoethylbenzoate. You may contain a photoinitiator, a sensitizer, etc. The photosensitive resin composition may contain at least one of a photopolymerization initiator for visible light exposure and a photopolymerization initiator for near infrared exposure, if necessary. The photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator (C) and a coumarin derivative such as 7-diethylamino-4-methylcoumarin, which is a sensitizer for laser exposure, a carbocyanine dye system, a xanthene dye system, and the like. May be.

エポキシ化合物(D)は、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。エポキシ化合物(D)は、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有することが好ましい。エポキシ化合物(D)は、溶剤難溶性エポキシ化合物であってもよく、汎用の溶剤可溶性エポキシ化合物であってもよい。エポキシ化合物(D)はフェノールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−775)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−695)、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−865)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER1001)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER4004P)、ビスフェノールS型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−1514)、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX4000)、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番NC−3000)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番ST−4000D)、ナフタレン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−4032、EPICLON HP−4700、EPICLON HP−4770)、ハイドロキノン型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学社製の品番YDC−1312)、ターシャリーブチルカテコール型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−820)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC製の品番EPICLON HP−7200)、アダマンタン型エポキシ樹脂(具体例として出光興産株式会社製の品番ADAMANTATE X−E−201)、ビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)、ビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE))、テトラキスフェノールエタン型エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番GTR−1800)ビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ樹脂(具体例として構造(S7)を有するエポキシ樹脂)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−156)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−136)、並びに特殊二官能型エポキシ樹脂(具体例として、三菱化学株式会社製の品番YL7175−500、及びYL7175−1000;DIC株式会社製の品番EPICLON TSR−960、EPICLON TER−601、EPICLON TSR−250−80BX、EPICLON 1650−75MPX、EPICLON EXA−4850、EPICLON EXA−4816、EPICLON EXA−4822、及びEPICLON EXA−9726;新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−120TE)からなる群から選択される一種以上の成分を含有することが好ましい。   The epoxy compound (D) can impart thermosetting properties to the photosensitive resin composition. The epoxy compound (D) preferably has at least two epoxy groups in one molecule. The epoxy compound (D) may be a solvent-insoluble epoxy compound or a general-purpose solvent-soluble epoxy compound. The epoxy compound (D) is a phenol novolac type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-775 manufactured by DIC Corporation), a cresol novolak type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-695 manufactured by DIC Corporation), bisphenol A. Novolac type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-865 manufactured by DIC Corporation), bisphenol A type epoxy resin (specific example, product number jER1001 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol F type epoxy resin (specifically, Mitsubishi Chemical Corporation) (Product number jER4004P manufactured by Co., Ltd.), bisphenol S type epoxy resin (specific example, product number EPICLON EXA-1514 manufactured by DIC Corporation), bisphenol AD type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin (specific) As a product number YX4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), biphenyl novolac type epoxy resin (specifically, product number NC-3000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), hydrogenated bisphenol A type epoxy resin (specifically manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) Product number ST-4000D), naphthalene type epoxy resin (specific examples: product numbers EPICLON HP-4032, EPICLON HP-4700, EPICLON HP-4770, manufactured by DIC Corporation), hydroquinone type epoxy resin (specific examples, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) Product number YDC-1312), tertiary butyl catechol type epoxy resin (specifically, product number EPICLON HP-820 manufactured by DIC Corporation), dicyclopentadiene type epoxy resin (specific example, product number EPICLON H manufactured by DIC) -7200), adamantane type epoxy resin (part number ADAMANTATE X-E-201 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), bisphenol type epoxy resin (part number YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), biphenyl ether type epoxy Resin (part number YSLV-80DE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), tetrakisphenolethane type epoxy resin (part number GTR-1800 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) Epoxy resin having bisphenolfluorene skeleton (specific example As an example, an epoxy resin having a structure (S7), a rubbery core-shell polymer modified bisphenol A type epoxy resin (as a specific example, product number MX-156 manufactured by Kaneka Corporation), a rubbery core shell polymer modified bisphenol F type epoxy resin. As specific examples, product number MX-136 manufactured by Kaneka Co., Ltd., and special bifunctional epoxy resin (as specific examples, product numbers YL7175-500 and YL7175-1000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; product number EPICLON TSR manufactured by DIC Corporation) -960, EPICLON TER-601, EPICLON TSR-250-80BX, EPICLON 1650-75MPX, EPICLON EXA-4850, EPICLON EXA-4816, EPICLON EXA-4822, and EPICLON EXA-9726; It is preferable to contain one or more components selected from the group consisting of -120TE).

エポキシ化合物(D)は、結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性を向上させることができる。なお、結晶性エポキシ樹脂とは、融点を有するエポキシ樹脂のことである。結晶性エポキシ樹脂は、例えば、トリグリシジルイソシアヌレート(1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン)、ハイドロキノン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品名YDC−1312)、ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX−4000)、ジフェニルエーテル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80XY)、テトラキスフェノールエタン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番GTR−1800)、ビスフェノールフルオレン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として構造(S7)を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   The epoxy compound (D) preferably contains a crystalline epoxy resin. In this case, the developability of the photosensitive resin composition can be improved. The crystalline epoxy resin is an epoxy resin having a melting point. The crystalline epoxy resin is, for example, triglycidyl isocyanurate (1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H)- Trione), hydroquinone type crystalline epoxy resin (as a specific example, product name YDC-1312 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), biphenyl type crystalline epoxy resin (as a specific example, product number YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), diphenyl ether type Crystalline epoxy resin (part number YSLV-80DE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), bisphenol type crystal epoxy resin (part number YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), tetrakisphenol ethane type crystallinity Epoxy resin (as a specific example, product number GTR-1800 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. It may contain at least one component selected from the group consisting of bisphenol fluorene type crystalline epoxy resin (epoxy resin having a structure (S7) as a specific example).

エポキシ化合物(D)に対する結晶性エポキシ樹脂の量は、10〜100質量%の範囲内であることが好ましく、30〜100質量%の範囲内であることがより好ましく、35〜100質量%の範囲内であることが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の熱硬化前までの工程においてカルボキシル基含有樹脂とエポキシ樹脂の熱硬化反応が抑制され、現像性を向上させることができる。   The amount of the crystalline epoxy resin relative to the epoxy compound (D) is preferably in the range of 10 to 100% by mass, more preferably in the range of 30 to 100% by mass, and in the range of 35 to 100% by mass. More preferably, it is within. In this case, the thermosetting reaction between the carboxyl group-containing resin and the epoxy resin is suppressed in the process before the thermosetting of the photosensitive resin composition, and the developability can be improved.

特に結晶性エポキシ樹脂は、融点110℃以下の結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。すなわち、エポキシ化合物(D)は、融点110℃以下の結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。融点110℃以下の結晶性エポキシ樹脂は、例えばビフェニル型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX4000)、ビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、及びビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   In particular, the crystalline epoxy resin preferably contains a crystalline epoxy resin having a melting point of 110 ° C. or lower. That is, the epoxy compound (D) preferably contains a crystalline epoxy resin having a melting point of 110 ° C. or lower. In this case, the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Crystalline epoxy resins having a melting point of 110 ° C. or lower are, for example, biphenyl type epoxy resins (specifically, product number YX4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), biphenyl ether type epoxy resins (specifically, product number YSLV-80DE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.). ), And at least one component selected from the group consisting of bisphenol type epoxy resins (specifically, Nippon Steel & Sumikin Chemicals product number YSLV-80XY).

エポキシ化合物(D)はトリグリシジルイソシアヌレートを含有してもよい。トリグリシジルイソシアヌレートは、特にS−トリアジン環骨格面に対し3個のエポキシ基が同一方向に結合した構造をもつβ体であることが好ましく、或いはこのβ体と、S−トリアジン環骨格面に対し1個のエポキシ基が他の2個のエポキシ基と異なる方向に結合した構造をもつα体との混合物であることが好ましい。   The epoxy compound (D) may contain triglycidyl isocyanurate. Triglycidyl isocyanurate is preferably a β-form having a structure in which three epoxy groups are bonded in the same direction with respect to the S-triazine ring skeleton, or the β-form and the S-triazine ring skeleton. On the other hand, it is preferable that one epoxy group is a mixture with an α-form having a structure in which the other two epoxy groups are bonded in different directions.

結晶性エポキシ樹脂は、融点100℃未満の結晶性エポキシ樹脂を含有することも好ましい。すなわち、エポキシ化合物(D)は、融点100℃未満の結晶性エポキシ樹脂を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性を更に向上させることができる。また、融点が100℃未満の結晶性エポキシ樹脂は、感光性樹脂組成物中のエポキシ樹脂(D)以外の成分や溶媒等との相溶性が高いから、感光性樹脂組成物中で分散されて、均一化されやすい。さらに、感光性樹脂組成物が融点100℃未満の結晶性エポキシ樹脂を含有すると、低温でも結晶化が生じにくい。このため、感光性樹脂組成物に高い保存安定性を付与できる。さらに、低温では感光性樹脂組成物中のカルボキシル基とエポキシ基の架橋反応が抑制されるから、感光性樹脂組成物の良好な現像性を維持しつつ、感光性樹脂組成物に高い保存安定性を付与できる。   It is also preferred that the crystalline epoxy resin contains a crystalline epoxy resin having a melting point of less than 100 ° C. That is, the epoxy compound (D) preferably contains a crystalline epoxy resin having a melting point of less than 100 ° C. In this case, the developability of the photosensitive resin composition can be further improved. In addition, a crystalline epoxy resin having a melting point of less than 100 ° C. is highly compatible with components and solvents other than the epoxy resin (D) in the photosensitive resin composition, so that it is dispersed in the photosensitive resin composition. Easy to homogenize. Furthermore, when the photosensitive resin composition contains a crystalline epoxy resin having a melting point of less than 100 ° C., crystallization hardly occurs even at a low temperature. For this reason, high storage stability can be provided to the photosensitive resin composition. Furthermore, since the crosslinking reaction between the carboxyl group and the epoxy group in the photosensitive resin composition is suppressed at a low temperature, the photosensitive resin composition has high storage stability while maintaining good developability. Can be granted.

融点100℃未満の結晶性エポキシ樹脂は、例えばビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、及びビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)、ビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ樹脂(具体例として構造(S7)を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   Crystalline epoxy resins having a melting point of less than 100 ° C. are, for example, biphenyl ether type epoxy resins (specifically, product number YSLV-80DE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) and bisphenol type epoxy resins (specifically, product number YSLV manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.). -80XY), at least one component selected from the group consisting of epoxy resins having a bisphenolfluorene skeleton (an epoxy resin having the structure (S7) as a specific example) can be contained.

エポキシ化合物(D)が融点100℃未満の結晶性エポキシ樹脂を含有する場合、融点100℃未満の結晶性エポキシ樹脂に含まれるエポキシ基の当量は、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して、0.2〜2.0の範囲内であれば好ましく、0.25〜1.7の範囲内であればより好ましく、0.3〜1.5の範囲内であれば更に好ましい。   When the epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin having a melting point of less than 100 ° C., the equivalent of the epoxy group contained in the crystalline epoxy resin having a melting point of less than 100 ° C. is the carboxyl group contained in the carboxyl group-containing resin (A). It is preferably within a range of 0.2 to 2.0, more preferably within a range of 0.25 to 1.7, and within a range of 0.3 to 1.5 with respect to 1 equivalent. Further preferred.

エポキシ化合物(D)はリン含有エポキシ樹脂を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有エポキシ樹脂は、例えば、リン酸変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−9726、及びEPICLON EXA−9710)、新日鉄住金化学株式会社製の品番エポトートFX−305等である。   The epoxy compound (D) may contain a phosphorus-containing epoxy resin. In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Examples of the phosphorus-containing epoxy resin include phosphoric acid-modified bisphenol F type epoxy resins (specific examples, product numbers EPICLON EXA-9726 and EPICLON EXA-9710 manufactured by DIC Corporation), and product number Epototo FX-305 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Etc.

感光性樹脂組成物はメラミンを含有してもよい。感光性樹脂組成物は、メラミンとメラミン誘導体とのうち少なくとも一方を含有する成分(E)を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物と銅などの金属との間の密着性が高くなる。このため、感光性樹脂組成物は、プリント配線板用の絶縁材料として特に適する。また、感光性樹脂組成物の硬化物の耐メッキ性、すなわち無電解ニッケル/金メッキ処理時の白化耐性が向上する。   The photosensitive resin composition may contain melamine. The photosensitive resin composition may contain a component (E) containing at least one of melamine and a melamine derivative. In this case, the adhesion between the cured product of the photosensitive resin composition and a metal such as copper is increased. For this reason, the photosensitive resin composition is particularly suitable as an insulating material for a printed wiring board. Moreover, the plating resistance of the cured product of the photosensitive resin composition, that is, the whitening resistance during the electroless nickel / gold plating process is improved.

メラミンは、2,4,6−トリアミノ−1,3,5−トリアジンであり、一般的に市販されている化合物から入手可能である。また、メラミン誘導体は、その一分子中に1つのトリアジン環と、アミノ基とを有する化合物であるとよい。メラミン誘導体としては、例えばグアナミン;アセトグアナミン;ベンゾグアナミン;2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体;並びにメラミン−テトラヒドロフタル酸塩等のメラミンと酸無水物との反応物が、挙げられる。メラミン誘導体の、より詳細な具体例として、四国化成工業株式会社の製品名VD−1、製品名VD−2、製品名VD−3が挙げられる。   Melamine is 2,4,6-triamino-1,3,5-triazine and is generally available from commercially available compounds. The melamine derivative may be a compound having one triazine ring and an amino group in one molecule. Examples of melamine derivatives include guanamine; acetoguanamine; benzoguanamine; 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6. -S-triazine derivatives such as diamino-S-triazine isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine isocyanuric acid adduct; and melamine such as melamine-tetrahydrophthalate A reaction product with an acid anhydride is mentioned. Specific examples of the melamine derivative include Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. product name VD-1, product name VD-2, and product name VD-3.

感光性樹脂組成物は、有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤は、感光性樹脂組成物の液状化又はワニス化、粘度調整、塗布性の調整、造膜性の調整などの目的で使用される。   The photosensitive resin composition may contain an organic solvent. The organic solvent is used for the purpose of liquefaction or varnishing of the photosensitive resin composition, viscosity adjustment, application property adjustment, film formation property adjustment, and the like.

有機溶剤は、例えばエタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ヘキサノール、エチレングリコール等の直鎖、分岐、2級或いは多価のアルコール類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;スワゾールシリーズ(丸善石油化学社製)、ソルベッソシリーズ(エクソン・ケミカル社製)等の石油系芳香族系混合溶剤;セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類;カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;プロピレングリコールメチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエーテル類;ジプロピレングリコールメチルエーテル等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類;並びにジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。   Organic solvents include, for example, linear, branched, secondary or polyhydric alcohols such as ethanol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, hexanol and ethylene glycol; ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene Petroleum aromatic mixed solvents such as Swazol series (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) and Solvesso series (manufactured by Exxon Chemical Co.); cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve; Tolls; propylene glycol alkyl ethers such as propylene glycol methyl ether; polypropylene glycol alkyl ethers such as dipropylene glycol methyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, carb Acetic esters such Lumpur acetate; as well as containing at least one compound selected from the group consisting of dialkyl glycol ethers.

感光性樹脂組成物中の成分の量は、感光性樹脂組成物が光硬化性を有しアルカリ性溶液で現像可能であるように、適宜調整される。   The amount of the component in the photosensitive resin composition is appropriately adjusted so that the photosensitive resin composition has photocurability and can be developed with an alkaline solution.

感光性樹脂組成物の固形分量に対するカルボキシル基含有樹脂(A)の量は、5〜85質量%の範囲内であれば好ましく、10〜75質量%の範囲内であればより好ましく、30〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。   The amount of the carboxyl group-containing resin (A) relative to the solid content of the photosensitive resin composition is preferably in the range of 5 to 85% by mass, more preferably in the range of 10 to 75% by mass, and 30 to 60%. If it is in the range of mass%, it is still more preferable.

カルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の量は、1〜50質量%の範囲内であれば好ましく、10〜45質量%の範囲内であればより好ましく、21〜40質量%の範囲内であれば更に好ましい。特にカルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の量が21〜40質量%の範囲内であると、感光性樹脂組成物に優れた光硬化性を付与させながら、感光性樹脂組成物の現像性をさらに向上させることができると共に、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性をさらに低減できる。すなわち、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の量が21質量%以上であると、感光性樹脂組成物の光硬化性を向上させながら、感光性樹脂組成物の現像性をさらに向上させることができる。また、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する不飽和化合物(B)の量が40以下であると、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性がさらに低減される。   The amount of the unsaturated compound (B) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 1 to 50% by mass, more preferably in the range of 10 to 45% by mass, and 21 to 40% by mass. If it is in the range, it is more preferable. In particular, when the amount of the unsaturated compound (B) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 21 to 40% by mass, the photosensitive resin composition is imparted with excellent photocurability while being imparted to the photosensitive resin composition. The developability of the product can be further improved, and the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition can be further reduced. That is, when the amount of the unsaturated compound (B) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is 21% by mass or more, the developability of the photosensitive resin composition is improved while improving the photocurability of the photosensitive resin composition. Further improvement can be achieved. Moreover, the tackiness of the film | membrane formed from the photosensitive resin composition is further reduced as the quantity of the unsaturated compound (B) with respect to carboxyl group-containing resin (A) is 40 or less.

カルボキシル基含有樹脂(A)に対する光重合開始剤(C)の量は、0.1〜30質量%の範囲内であることが好ましく、1〜25質量%の範囲内であれば更に好ましい。   The amount of the photopolymerization initiator (C) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 0.1 to 30% by mass, and more preferably in the range of 1 to 25% by mass.

エポキシ化合物(D)の量に関しては、エポキシ化合物(D)に含まれるエポキシ基の当量の合計が、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して0.7〜2.5の範囲内であることが好ましく、0.7〜2.3の範囲内であればより好ましく、0.7〜2.0の範囲内であれば更に好ましい。   Regarding the amount of the epoxy compound (D), the total equivalent of the epoxy groups contained in the epoxy compound (D) is 0.7 to 2.5 with respect to 1 equivalent of the carboxyl group contained in the carboxyl group-containing resin (A). Is preferably within the range of 0.7 to 2.3, more preferably within the range of 0.7 to 2.0.

感光性樹脂組成物がメラミンを含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A)に対するメラミンの量は、0.1〜10質量%の範囲内であることが好ましく、0.5〜5質量%の範囲内であれば更に好ましい。   When the photosensitive resin composition contains melamine, the amount of melamine relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 0.1 to 10% by mass, and in the range of 0.5 to 5% by mass. If it is in, it is more preferable.

感光性樹脂組成物が、メラミン及びメラミン誘導体のうち少なくとも一方を含有する成分(E)を含有する場合は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する成分(E)の量は、0.1〜10質量%の範囲内であることが好ましく、0.5〜5質量%の範囲内であれば更に好ましい。   When the photosensitive resin composition contains the component (E) containing at least one of melamine and melamine derivatives, the amount of the component (E) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is 0.1 to 10 mass. %, Preferably in the range of 0.5 to 5% by mass.

感光性樹脂組成物が有機溶剤を含有する場合、有機溶剤の量は、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を乾燥させる際に速やかに有機溶剤が揮散して無くなるように、すなわち有機溶剤が皮膜に残存しないように、調整されることが好ましい。特に、感光性樹脂組成物全体に対する有機溶剤の量は、0〜99.5質量%の範囲内であることが好ましく、15〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。なお、有機溶剤の好適な割合は塗布方法などにより異なるので、塗布方法に応じて割合が適宜調節されることが好ましい。   When the photosensitive resin composition contains an organic solvent, the amount of the organic solvent is such that when the coating film formed from the photosensitive resin composition is dried, the organic solvent is quickly volatilized and eliminated, that is, the organic solvent. It is preferable to adjust so that does not remain in the film. In particular, the amount of the organic solvent relative to the entire photosensitive resin composition is preferably in the range of 0 to 99.5% by mass, and more preferably in the range of 15 to 60% by mass. In addition, since the suitable ratio of an organic solvent changes with application methods etc., it is preferable to adjust a ratio suitably according to the application method.

なお、固形分量とは、感光性樹脂組成物から溶剤などの揮発性成分を除いた、全成分の合計量のことである。   In addition, solid content is a total amount of all components remove | excluding volatile components, such as a solvent, from the photosensitive resin composition.

本実施形態の効果を阻害しない限りにおいて、感光性樹脂組成物は、上記成分以外の成分を更に含有してもよい。   As long as the effect of this embodiment is not impaired, the photosensitive resin composition may further contain components other than the said component.

例えば、感光性樹脂組成物は無機充填材を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される膜の硬化収縮が低減される。無機充填材は、例えば、硫酸バリウム、結晶性シリカ、ナノシリカ、カーボンナノチューブ、タルク、ベントナイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、及び酸化チタンからなる群から選択される少なくとも一種の材料を含有できる。無機充填材に酸化チタン、酸化亜鉛等の白色の材料を含有させることで、感光性樹脂組成物及びその硬化物を白色化してもよい。感光性樹脂組成物中の無機充填材の割合は適宜設定されるが、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する無機充填材の量は0〜300質量%の範囲内であることが好ましい。   For example, the photosensitive resin composition may contain an inorganic filler. In this case, the curing shrinkage of the film formed from the photosensitive resin composition is reduced. The inorganic filler can contain, for example, at least one material selected from the group consisting of barium sulfate, crystalline silica, nanosilica, carbon nanotubes, talc, bentonite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, and titanium oxide. You may whiten the photosensitive resin composition and its hardened | cured material by making an inorganic filler contain white materials, such as a titanium oxide and a zinc oxide. Although the ratio of the inorganic filler in the photosensitive resin composition is appropriately set, the amount of the inorganic filler relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 0 to 300% by mass.

感光性樹脂組成物は、カプロラクタム、オキシム、マロン酸エステル等でブロックされたトリレンジイソシアネート系、モルホリンジイソシアネート系、イソホロンジイソシアネート系及びヘキサメチレンジイソシアネート系のブロックドイソシアネート;メラミン樹脂、n−ブチル化メラミン樹脂、イソブチル化メラミン樹脂、ブチル化尿素樹脂、ブチル化メラミン尿素共縮合樹脂、ベンゾグアナミン系共縮合樹脂等のアミノ樹脂;前記以外の各種熱硬化性樹脂;紫外線硬化性エポキシ(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、脂環型等のエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を付加して得られる樹脂;並びにジアリルフタレート樹脂、フェノキシ樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂等の高分子化合物からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂を含有してもよい。   Photosensitive resin composition comprising tolylene diisocyanate, morpholine diisocyanate, isophorone diisocyanate and hexamethylene diisocyanate blocked isocyanates blocked with caprolactam, oxime, malonic acid ester, etc .; melamine resin, n-butylated melamine resin , Amino resins such as isobutylated melamine resin, butylated urea resin, butylated melamine urea cocondensation resin, benzoguanamine cocondensation resin; various other thermosetting resins; ultraviolet curable epoxy (meth) acrylate; bisphenol A type , Resins obtained by adding (meth) acrylic acid to phenolic novolac type, cresol novolac type, alicyclic type epoxy resins; and diallyl phthalate resin, phenoxy resin, urethane resin, fluorine resin, etc. It may contain at least one resin selected from the group consisting of a polymer compound.

感光性樹脂組成物は、エポキシ化合物(D)を硬化させるための硬化剤を含有してもよい。硬化剤は、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物;アジピン酸ヒドラジド、セバシン酸ヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルフォスフィン等のリン化合物;酸無水物;フェノール;メルカプタン;ルイス酸アミン錯体;及びオニウム塩からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。これらの成分の市販品は、例えば、四国化成株式会社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)である。   The photosensitive resin composition may contain a curing agent for curing the epoxy compound (D). Examples of the curing agent include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1- (2 Imidazole derivatives such as -cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, Amine compounds such as 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic hydrazide and sebacic acid hydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine; acid anhydrides; phenols; mercaptans; And It can contain at least one component selected from the group consisting um salt. Commercial products of these components include, for example, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., U-CAT3503N, U manufactured by San Apro Co., Ltd. -CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof).

感光性樹脂組成物は、成分(E)以外の密着性付与剤を含有してもよい。密着性付与剤は、例えば、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、並びに2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体である。   The photosensitive resin composition may contain an adhesion-imparting agent other than the component (E). Examples of the adhesion-imparting agent include guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl- S-triazine derivatives such as 4,6-diamino-S-triazine / isocyanuric acid adduct and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct.

感光性樹脂組成物は、硬化促進剤;着色剤;シリコーン、アクリレート等の共重合体;レベリング剤;シランカップリング剤等の密着性付与剤;チクソトロピー剤;熱重合禁止剤;ハレーション防止剤;難燃剤;消泡剤;酸化防止剤;界面活性剤;並びに高分子分散剤からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有してもよい。   Photosensitive resin composition includes curing accelerator; colorant; copolymer such as silicone and acrylate; leveling agent; adhesion imparting agent such as silane coupling agent; thixotropic agent; thermal polymerization inhibitor; The composition may contain at least one component selected from the group consisting of a flame retardant, an antifoaming agent, an antioxidant, a surfactant, and a polymer dispersant.

感光性樹脂組成物中のアミン化合物の含有量はできるだけ少ないことが好ましい。このようにすれば、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層の電気絶縁性が損なわれにくい。特にカルボキシル基含有樹脂(A)に対するアミン化合物の量は6質量%以下であることが好ましく、4質量%以下であれば更に好ましい。   The content of the amine compound in the photosensitive resin composition is preferably as small as possible. If it does in this way, the electrical insulation of the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition will not be impaired easily. In particular, the amount of the amine compound relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably 6% by mass or less, and more preferably 4% by mass or less.

上記のような感光性樹脂組成物の原料が配合され、例えば三本ロール、ボールミル、サンドミル等を用いる公知の混練方法によって混練されることにより、感光性樹脂組成物が調製され得る。感光性樹脂組成物の原料に液状の成分、粘度の低い成分等が含まれる場合には、原料のうち液状の成分、粘度の低い成分等を除く部分をまず混練し、得られた混合物に、液状の成分、粘度の低い成分等を加えて混合することで、感光性樹脂組成物を調製してもよい。   The raw material of the photosensitive resin composition as described above is blended, and the photosensitive resin composition can be prepared by kneading by a known kneading method using, for example, a three roll, ball mill, sand mill or the like. In the case where the raw material of the photosensitive resin composition contains a liquid component, a low viscosity component, etc., the part of the raw material excluding the liquid component, the low viscosity component, etc. is first kneaded, and the resulting mixture is The photosensitive resin composition may be prepared by adding and mixing a liquid component, a component having a low viscosity, and the like.

保存安定性等を考慮して、感光性樹脂組成物の成分の一部を混合することで第一剤を調製し、成分の残部を混合することで第二剤を調製してもよい。すなわち、感光性樹脂組成物は、第一剤と第二剤とを備えてもよい。この場合、例えば、感光性樹脂組成物の成分のうち、不飽和化合物(B)、有機溶剤の一部、及び熱硬化性成分を予め混合して分散させることで第一剤を調製し、感光性樹脂組成物の成分のうち、残部を混合して分散させることで第二剤を調製してもよい。この場合、適時必要量の第一剤と第二剤とを混合して混合液を調製し、この混合液を硬化させて硬化物を得ることができる。   In consideration of storage stability and the like, the first agent may be prepared by mixing a part of the components of the photosensitive resin composition, and the second agent may be prepared by mixing the rest of the components. That is, the photosensitive resin composition may include a first agent and a second agent. In this case, for example, among the components of the photosensitive resin composition, the unsaturated compound (B), a part of the organic solvent, and the thermosetting component are mixed in advance and dispersed to prepare the first agent. The second agent may be prepared by mixing and dispersing the remainder of the components of the conductive resin composition. In this case, it is possible to prepare a mixed solution by mixing the necessary amount of the first agent and the second agent in a timely manner and curing the mixed solution to obtain a cured product.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、プリント配線板用の電気絶縁性材料に適している。特に感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の、電気絶縁性の層の材料に適している。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment is suitable for an electrically insulating material for a printed wiring board. In particular, the photosensitive resin composition is suitable for materials for electrically insulating layers such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、厚み25μmの皮膜であっても炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であるような性質を有することが好ましい。この場合、十分に厚い電気絶縁性の層を感光性樹脂組成物からフォトリソグラフィー法で作製することが可能であるから、感光性樹脂組成物を、プリント配線板における層間絶縁層、ソルダーレジスト層等を作製するために広く適用可能である。勿論、感光性樹脂組成物から厚み25μmより薄い電気絶縁性の層を作製することも可能である。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment preferably has such a property that even a 25 μm thick film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution. In this case, since it is possible to produce a sufficiently thick electrically insulating layer from the photosensitive resin composition by photolithography, the photosensitive resin composition can be used as an interlayer insulating layer, a solder resist layer, etc. in a printed wiring board. It can be widely applied to fabricate. Of course, it is also possible to produce an electrically insulating layer having a thickness of less than 25 μm from the photosensitive resin composition.

厚み25μmの皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であるかどうかは、次の方法で確認できる。適当な基材上に感光性樹脂組成物を塗布することで湿潤塗膜を形成し、この湿潤塗膜を80℃で40分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成する。この皮膜に紫外線を透過する露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを有するネガマスクを直接当てた状態で、皮膜に500mJ/cm2の条件で紫外線を照射して露光を行う。露光後に、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射する処理を行う。この処理後に皮膜を観察した結果、皮膜における非露光部に対応する部分が除去されて残渣が認められない場合に、厚み25μmの皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であると判断できる。 Whether or not a 25 μm thick film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution can be confirmed by the following method. A wet paint film is formed by applying the photosensitive resin composition on a suitable substrate, and this wet paint film is heated at 80 ° C. for 40 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. The film is exposed by irradiating the film with ultraviolet rays under a condition of 500 mJ / cm 2 with a negative mask having an exposed part that transmits ultraviolet rays and a non-exposed part that blocks ultraviolet rays directly applied. After the exposure, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is jetted for 90 seconds at a jetting pressure of 0.2 MPa, and then pure water is jetted for 90 seconds at a jetting pressure of 0.2 MPa. As a result of observing the film after this treatment, it can be determined that the film having a thickness of 25 μm can be developed with an aqueous sodium carbonate solution when a portion corresponding to the non-exposed portion of the film is removed and no residue is observed.

以下に、本実施形態による感光性樹脂組成物から形成された層間絶縁層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を、図1Aから図1Eを参照して説明する。本方法では、層間絶縁層にフォトリソグラフィー法でスルーホールを形成する。   Below, an example of the method of manufacturing a printed wiring board provided with the interlayer insulation layer formed from the photosensitive resin composition by this embodiment is demonstrated with reference to FIG. 1A to FIG. 1E. In this method, a through hole is formed in the interlayer insulating layer by photolithography.

まず、図1Aに示すようにコア材1を用意する。コア材1は、例えば少なくとも一つの絶縁層2と少なくとも一つの導体配線3とを備える。コア材1の一面上に設けられている導体配線3を、以下、第一の導体配線3という。図1Bに示すように、コア材1の一面上に、感光性樹脂組成物から皮膜4を形成する。皮膜4の形成方法は、例えば、塗布法とドライフィルム法とがある。   First, the core material 1 is prepared as shown in FIG. 1A. The core material 1 includes, for example, at least one insulating layer 2 and at least one conductor wiring 3. The conductor wiring 3 provided on one surface of the core material 1 is hereinafter referred to as a first conductor wiring 3. As shown in FIG. 1B, a film 4 is formed on one surface of the core material 1 from a photosensitive resin composition. Examples of the method for forming the film 4 include a coating method and a dry film method.

塗布法では、例えばコア材1上に感光性樹脂組成物を塗布して湿潤塗膜を形成する。感光性樹脂組成物の塗布方法は、公知の方法、例えば浸漬法、スプレー法、スピンコート法、ロールコート法、カーテンコート法、及びスクリーン印刷法からなる群から選択される。続いて、感光性樹脂組成物中の有機溶剤を揮発させるために、例えば60〜120℃の範囲内の温度下で湿潤塗膜を乾燥させ、これによって、皮膜4を得ることができる。   In the coating method, for example, a photosensitive resin composition is coated on the core material 1 to form a wet coating film. The method for applying the photosensitive resin composition is selected from the group consisting of known methods such as dipping, spraying, spin coating, roll coating, curtain coating, and screen printing. Subsequently, in order to volatilize the organic solvent in the photosensitive resin composition, for example, the wet coating film is dried at a temperature in the range of 60 to 120 ° C., whereby the coating film 4 can be obtained.

ドライフィルム法では、まずポリエステルなどでできた適宜の支持体上に感光性樹脂組成物を塗布してから乾燥することで、支持体上に感光性樹脂組成物の乾燥物であるドライフィルムを形成する。これにより、ドライフィルムと、ドライフィルムを支持する支持体とを備える積層体が得られる。この積層体におけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、ドライフィルムとコア材1に圧力をかけ、続いて支持体をドライフィルムから剥離することで、ドライフィルムを支持体上からコア材1上へ転写する。これにより、コア材1上に、ドライフィルムからなる皮膜4が設けられる。   In the dry film method, a photosensitive resin composition is first applied on an appropriate support made of polyester or the like and then dried to form a dry film that is a dried product of the photosensitive resin composition on the support. To do. Thereby, a laminated body provided with a dry film and the support body which supports a dry film is obtained. After the dry film in this laminate is overlaid on the core material 1, pressure is applied to the dry film and the core material 1, and then the support is peeled from the dry film, so that the dry film is placed on the core material 1 from the support. Transfer to Thereby, the coating 4 made of a dry film is provided on the core material 1.

皮膜4を露光することで図1Cに示すように皮膜4を部分的に硬化させる。そのために、例えばネガマスクを皮膜4に当ててから、皮膜4に紫外線を照射する。ネガマスクは、紫外線を透過させる露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを備え、非露光部はスルーホール10の位置と合致する位置に設けられる。ネガマスクは、例えばマスクフィルム、乾板等のフォトツールである。紫外線の光源は、例えばケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ及びメタルハライドランプからなる群から選択される。   By exposing the film 4, the film 4 is partially cured as shown in FIG. 1C. For this purpose, for example, a negative mask is applied to the film 4 and then the film 4 is irradiated with ultraviolet rays. The negative mask includes an exposure part that transmits ultraviolet light and a non-exposure part that blocks ultraviolet light, and the non-exposure part is provided at a position that matches the position of the through hole 10. The negative mask is a photo tool such as a mask film or a dry plate. The ultraviolet light source is selected from the group consisting of, for example, a chemical lamp, a low-pressure mercury lamp, a medium-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a xenon lamp, and a metal halide lamp.

なお、露光方法は、ネガマスクを用いる方法以外の方法であってもよい。例えば光源から発せられる紫外線を皮膜4の露光すべき部分のみに照射する直接描画法で皮膜4を露光してもよい。直接描画法に適用される光源は、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、並びにg線、h線及びi線のうちの二種以上の組み合わせからなる群から選択される。   The exposure method may be a method other than a method using a negative mask. For example, the film 4 may be exposed by a direct drawing method in which only the portion of the film 4 to be exposed is irradiated with ultraviolet rays emitted from a light source. The light source applied to the direct drawing method is, for example, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, g line (436 nm), h line (405 nm), i line (365 nm), and g line, h line and i line. It is selected from the group consisting of two or more kinds of combinations.

また、ドライフィルム法では、積層体におけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、支持体を剥離することなく、支持体を通して紫外線をドライフィルムからなる皮膜4に照射することで皮膜4を露光し、続いて現像処理前に皮膜4から支持体を剥離してもよい。   In the dry film method, the film 4 is exposed by irradiating the film 4 made of the dry film with ultraviolet rays through the support without peeling the support after the dry film in the laminate is stacked on the core material 1. Subsequently, the support may be peeled off from the film 4 before development processing.

続いて、皮膜4に現像処理を施すことで、図1Cに示す皮膜4の露光されていない部分5を除去し、これにより、図1Dに示すようにスルーホール10が形成される位置に穴6を設ける。現像処理では、感光性樹脂組成物の組成に応じた適宜の現像液を使用できる。現像液は、例えばアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液、又は有機アミンである。アルカリ性水溶液は、より具体的には例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム及び水酸化リチウムからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。アルカリ性水溶液中の溶媒は、水のみであっても、水と低級アルコール類等の親水性有機溶媒との混合物であってもよい。有機アミンは、例えばモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン及びトリイソプロパノールアミンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。   Subsequently, the coating 4 is developed to remove the unexposed portion 5 of the coating 4 shown in FIG. 1C, whereby the hole 6 is formed at the position where the through hole 10 is formed as shown in FIG. 1D. Is provided. In the development process, an appropriate developer according to the composition of the photosensitive resin composition can be used. The developer is, for example, an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, or an organic amine. More specifically, the alkaline aqueous solution is, for example, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, ammonium hydrogen carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonium hydroxide, tetramethyl ammonium hydroxide and water. It contains at least one component selected from the group consisting of lithium oxide. The solvent in the alkaline aqueous solution may be water alone or a mixture of water and a hydrophilic organic solvent such as lower alcohols. The organic amine contains, for example, at least one component selected from the group consisting of monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monoisopropanolamine, diisopropanolamine and triisopropanolamine.

現像液は、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液であることが好ましく、炭酸ナトリウム水溶液であることが特に好ましい。この場合、作業環境の向上及び廃棄物処理の負担軽減を達成できる。   The developer is preferably an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, and particularly preferably an aqueous sodium carbonate solution. In this case, it is possible to improve the work environment and reduce the burden of waste disposal.

続いて、皮膜4を加熱することで硬化させる。加熱の条件は、例えば加熱温度120〜200℃の範囲内、加熱時間30〜120分間の範囲内である。このようにして皮膜4を熱硬化させると、層間絶縁層7の強度、硬度、耐薬品性等の性能が向上する。   Subsequently, the coating 4 is cured by heating. The heating conditions are, for example, within a heating temperature range of 120 to 200 ° C. and within a heating time range of 30 to 120 minutes. When the film 4 is thermally cured in this manner, the performance of the interlayer insulating layer 7 such as strength, hardness, and chemical resistance is improved.

必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜4に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜4の光硬化を更に進行させることができる。   If necessary, the coating 4 may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, photocuring of the film 4 can be further advanced.

以上により、コア材1上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層間絶縁層7が設けられる。この層間絶縁層7上に、アディティブ法などの公知の方法で、第二の導体配線8及びホールめっき9を設けることができる。これにより、図1Eに示すように、第一の導体配線3、第二の導体配線8、第一の導体配線3と第二の導体配線8との間に介在する層間絶縁層7、並びに第一の導体配線3と第二の導体配線8とを電気的に接続するスルーホール10を備えるプリント配線板11が得られる。なお、図1Eにおいて、ホールめっき9は穴6の内面を覆う筒状の形状を有するが、穴6の内側全体にホールめっき9が充填されていてもよい。   As described above, the interlayer insulating layer 7 made of a cured product of the photosensitive resin composition is provided on the core material 1. The second conductor wiring 8 and the hole plating 9 can be provided on the interlayer insulating layer 7 by a known method such as an additive method. As a result, as shown in FIG. 1E, the first conductor wiring 3, the second conductor wiring 8, the interlayer insulating layer 7 interposed between the first conductor wiring 3 and the second conductor wiring 8, and the first conductor wiring A printed wiring board 11 having a through hole 10 for electrically connecting the first conductor wiring 3 and the second conductor wiring 8 is obtained. In FIG. 1E, the hole plating 9 has a cylindrical shape that covers the inner surface of the hole 6, but the entire inner side of the hole 6 may be filled with the hole plating 9.

本実施形態による感光性樹脂組成物から形成されたソルダーレジスト層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を説明する。   An example of a method for producing a printed wiring board provided with a solder resist layer formed from the photosensitive resin composition according to the present embodiment will be described.

まず、コア材を用意する。コア材は、例えば少なくとも一つの絶縁層と少なくとも一つの導体配線とを備える。コア材の導体配線が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜を形成する。皮膜の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。塗布法とドライフィルム法としては、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。皮膜を露光することで部分的に硬化させる。露光方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。続いて、皮膜に現像処理を施すことで、皮膜の露光されていない部分を除去し、これにより、コア材上に、皮膜の露光された部分が残存する。続いて、コア材上の皮膜を加熱することで熱硬化させる。現像方法及び加熱方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜の光硬化を更に進行させることができる。   First, a core material is prepared. The core material includes, for example, at least one insulating layer and at least one conductor wiring. A film is formed from the photosensitive resin composition on the surface of the core material where the conductor wiring is provided. Examples of the method for forming the film include a coating method and a dry film method. As the coating method and the dry film method, the same method as that for forming the interlayer insulating layer can be employed. The film is partially cured by exposure. The exposure method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. Subsequently, the film is subjected to a development process to remove the unexposed part of the film, whereby the exposed part of the film remains on the core material. Subsequently, the coating on the core material is heated and cured. The developing method and the heating method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. If necessary, the film may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, photocuring of the film can be further advanced.

以上により、コア材上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなるソルダーレジスト層が設けられる。これにより、絶縁層とその上の導体配線とを備えるコア材、並びにコア材における導体配線が設けられている面を部分的に覆うソルダーレジスト層を備える、プリント配線板が得られる。   By the above, the soldering resist layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition is provided on a core material. Thereby, a printed wiring board provided with the core material provided with an insulating layer and the conductor wiring on it, and the soldering resist layer which partially covers the surface in which the conductor wiring in a core material is provided is obtained.

(1)実施例A−1〜A−7及び比較例B−1〜B−2
以下のようにして、カルボキシル基含有樹脂の65質量%溶液である実施例A−1〜A−7及び比較例B−1〜B−2を合成した。
(1) Examples A-1 to A-7 and Comparative Examples B-1 to B-2
Examples A-1 to A-7 and Comparative Examples B-1 to B-2, which are 65% by mass solutions of carboxyl group-containing resins, were synthesized as follows.

還流冷却器、温度計、空気吹き込み管及び攪拌機を取付けた四つ口フラスコ内に、表1中の「第一反応」欄の「原料成分」欄に示す原料成分を加えて、これらをエアバブリング下で攪拌することで混合物を調製した。この混合物を四つ口フラスコ内でエアバブリング下で攪拌しながら、「第一反応」欄の「反応条件」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、中間体の溶液を調製した。   In the four-necked flask equipped with a reflux condenser, thermometer, air blowing tube and stirrer, the raw material components shown in the “raw material components” column of the “first reaction” column in Table 1 are added, and these are air bubbled. The mixture was prepared by stirring under. The mixture was heated at the reaction temperature and reaction time shown in the “Reaction Conditions” column of the “First Reaction” column while stirring under air bubbling in a four-necked flask. This prepared an intermediate solution.

続いて、四つ口フラスコ内の中間体の溶液に表1の「第二反応」欄の「原料成分」欄に示す原料成分を投入し、エアバブリング下で四つ口フラスコ内の溶液を攪拌しながら「第二反応」欄の「反応条件(1)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。続いて、実施例A−5の場合は、エアバブリング下で四つ口フラスコ内の溶液を攪拌しながら「第二反応」欄の「反応条件(2)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、カルボキシル基含有樹脂の65質量%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量及び酸価は表1中に示す通りである。   Subsequently, the raw material components shown in the “raw material component” column of the “second reaction” column of Table 1 are added to the intermediate solution in the four-necked flask, and the solution in the four-necked flask is stirred under air bubbling. While heating, the reaction was carried out at the reaction temperature and reaction time shown in the “Reaction Conditions (1)” column of the “Second Reaction” column. Subsequently, in the case of Example A-5, the reaction temperature and reaction time indicated in the “Reaction Conditions (2)” column of the “Second Reaction” column are being stirred while the solution in the four-necked flask is stirred under air bubbling. Heated. This obtained a 65 mass% solution of carboxyl group-containing resin. The weight average molecular weight and acid value of the carboxyl group-containing resin are as shown in Table 1.

なお、表1中のエポキシ樹脂1は式(2)で示され、R1〜R8がすべて水素であるエポキシ当量252のビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂
であり、エポキシ樹脂2は式(2)で示され、R1〜R8がすべて水素であるエポキシ当量250のビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂である。
In addition, the epoxy resin 1 in Table 1 is a bisphenolfluorene type epoxy resin having an epoxy equivalent of 252 in which R 1 to R 8 are all hydrogen, and the epoxy resin 2 is represented by the formula (2). And R 1 to R 8 are all bisphenolfluorene type epoxy resins having an epoxy equivalent of 250, which is hydrogen.

(2)感光性樹脂組成物の調製
以下のようにして、感光性樹脂組成物である実施例1〜9及び比較例1〜2を調製した。
(2) Preparation of photosensitive resin composition Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 and 2 as photosensitive resin compositions were prepared as follows.

後掲の表2の「組成」の欄に示す成分を3本ロールで混練してから、これらの成分をフラスコ内で撹拌混合することで、感光性樹脂組成物を得た。なお、成分の詳細は次の通りである。
・不飽和化合物A:1分子あたり2個のカプロラクトンで変性されたジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬株式会社製、品番KAYARAD DPCA−20。
・不飽和化合物B:トリメチロールプロパントリアクリレート。
・光重合開始剤A:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、BASF社製、品番Irgacure TPO。
・光重合開始剤B:1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、BASF社製、品番Irgacure 184。
・光重合開始剤C:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン。
・エポキシ樹脂A:ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂、三菱化学株式会社社製、品番YX4000。融点105℃。
・エポキシ樹脂溶液B:クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製、品番EPICLON N−695)を、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解させて調製した、固形分濃度75質量%の溶液。
・エポキシ樹脂溶液C:長鎖炭素鎖含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC株式会社製、品番エピクロンEXA−4816)を、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解させて調製した、固形分濃度90質量%の溶液。
・メラミン:日産化学工業株式会社製、微粉メラミン。
・酸化防止剤:ヒンダードフェノール系酸化防止剤、BASF社製、品番IRGANOX 1010。
・青色顔料:フタロシアニンブルー。
・黄色顔料:1,1’−[(6−フェニル−1,3,5−トリアジン−2,4−ジイル)ビス(イミノ)]ビス(9,10−アントラセンジオン)。
・硫酸バリウム:堺化学工業株式会社製、品番バリエースB31。
・タルク:日本タルク株式会社製、品番SG−2000。
・ベントナイト:レオックス社製、品番ベントンSD−2
・消泡剤:信越シリコーン株式会社製、品番KS−66。
・レオロジーコントロール剤:ビッグケミー・ジャパン株式会社製、品番BYK−430。
・溶剤A:芳香族系混合溶剤(石油ナフサ)、丸善石油化学株式会社製、品番スワゾール1500。
・溶剤B:ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート。
・溶剤C:メチルエチルケトン。
The components shown in the “Composition” column of Table 2 below were kneaded with three rolls, and these components were stirred and mixed in a flask to obtain a photosensitive resin composition. Details of the components are as follows.
Unsaturated compound A: dipentaerythritol hexaacrylate modified with 2 caprolactones per molecule, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product number KAYARAD DPCA-20.
Unsaturated compound B: trimethylolpropane triacrylate.
Photopolymerization initiator A: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, manufactured by BASF, product number Irgacure TPO.
Photopolymerization initiator B: 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, manufactured by BASF, product number Irgacure 184
Photopolymerization initiator C: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone
Epoxy resin A: Biphenyl type crystalline epoxy resin, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, product number YX4000. Melting point 105 ° C.
Epoxy resin solution B: A solution having a solid content concentration of 75% by mass prepared by dissolving a cresol novolac type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, product number EPICLON N-695) in diethylene glycol monoethyl ether acetate.
Epoxy resin solution C: a solution having a solid content concentration of 90% by mass, prepared by dissolving a long-chain carbon chain-containing bisphenol A type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, part number Epicron EXA-4816) in diethylene glycol monoethyl ether acetate .
Melamine: manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., fine melamine.
Antioxidant: A hindered phenol antioxidant, manufactured by BASF, product number IRGANOX 1010.
Blue pigment: phthalocyanine blue.
Yellow pigment: 1,1 ′-[(6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diyl) bis (imino)] bis (9,10-anthracenedione).
Barium sulfate: manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., product number Variace B31.
-Talc: Nippon Talc Co., Ltd. product number SG-2000.
Bentonite: manufactured by Leox, part number Benton SD-2
Antifoaming agent: manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., product number KS-66.
-Rheology control agent: Product number BYK-430 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.
Solvent A: Aromatic mixed solvent (petroleum naphtha), manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd., product number Swazol 1500.
Solvent B: diethylene glycol monoethyl ether acetate.
Solvent C: methyl ethyl ketone.

(3)テストピースの作製
実施例1〜8及び比較例1〜2については、次のようにしてテストピースを作製した。
(3) Preparation of test piece About Examples 1-8 and Comparative Examples 1-2, the test piece was produced as follows.

厚み17.5μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の一面全面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、塗膜を形成した。この塗膜を80℃で40分加熱して予備乾燥することで、厚み25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、直径40μm及び60μmの円形状の非露光部を有するネガマスクを直接当てた状態で、ネガマスクを介して皮膜に、実施例1〜7及び比較例1〜2を用いる場合は500mJ/cm2の条件で、実施例8を用いる場合は300mJ/cm2の条件で、紫外線を照射した。露光後の皮膜に、現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。続いて皮膜に純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射することで皮膜を洗浄した。これにより、皮膜における露光されていない部分を除去して、穴を形成した。この皮膜を160℃で60分間加熱した後、1000mJ/cm2の条件で紫外線を照射した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper clad laminate (FR-4 type) provided with a copper foil having a thickness of 17.5 μm was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. The coating film was formed by apply | coating the photosensitive resin composition to one whole surface of this core material with the screen printing method. This coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes and pre-dried to form a coating film having a thickness of 25 μm. In the case where Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 and 2 are used for the film through the negative mask with a negative mask having a circular non-exposed portion having a diameter of 40 μm and 60 μm directly applied to this film, 500 mJ / cm When Example 8 was used under the condition 2 , the ultraviolet ray was irradiated under the condition of 300 mJ / cm 2 . The exposed film was developed. In the development process, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed onto the film for 90 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa. Subsequently, the coating film was washed by spraying pure water at a spray pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. Thereby, the part which was not exposed in a film | membrane was removed, and the hole was formed. This film was heated at 160 ° C. for 60 minutes, and then irradiated with ultraviolet rays under the condition of 1000 mJ / cm 2 . Thereby, the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition was formed on the core material. As a result, a test piece was obtained.

実施例9については、次のようにしてテストピースを作製した。   About Example 9, the test piece was produced as follows.

感光性樹脂組成物を、ポリエチレンテレフタレート製のフィルム上にアプリケータで塗布してから、95℃で25分加熱することで乾燥させることにより、フィルム上に厚み25μmのドライフィルムを形成した。   The photosensitive resin composition was coated on a polyethylene terephthalate film with an applicator and then dried by heating at 95 ° C. for 25 minutes to form a dry film having a thickness of 25 μm on the film.

厚み17.5μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材にドライフィルムを真空ラミネーターで加熱ラミネートしてコア材の一面全面にドライフィルムを重ねた。加熱ラミネートの条件は、0.5MPa、80℃、1分間である。これにより、コア材上にドライフィルムからなる膜厚25μmの皮膜を形成した。この皮膜に対し、実施例8の場合と同じ条件で、露光、現像及び紫外線照射の処理を施した。なお、露光後、現像前に、ドライフィルム(皮膜)からポリエチレンテレフタレート製のフィルムを剥離した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物(ドライフィルムの硬化物ともいえる)からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。   A glass epoxy copper clad laminate (FR-4 type) provided with a copper foil having a thickness of 17.5 μm was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. A dry film was laminated on the core material by heating with a vacuum laminator, and the dry film was laminated on the entire surface of the core material. The conditions for heat lamination are 0.5 MPa, 80 ° C., and 1 minute. As a result, a 25 μm-thick film made of a dry film was formed on the core material. This film was subjected to exposure, development and ultraviolet irradiation treatment under the same conditions as in Example 8. In addition, the film made from a polyethylene terephthalate was peeled from the dry film (coating) after exposure and before development. Thereby, the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition (it can also be said to be hardened | cured material of a dry film) was formed on the core material. As a result, a test piece was obtained.

(4)評価試験
(4−1)タック性
実施例1〜8及び比較例1〜2について、テストピースの作製時に、皮膜の露光後に皮膜からネガマスクを取り外す際の皮膜のタック性の程度を、次に示すように評価した。
A:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられず、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められない。
B:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられ、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められた。
C:皮膜からネガマスクを取り外すことが困難であり、無理にネガマスクを取り外すと皮膜が破損した。
(4) Evaluation test (4-1) Tackiness About Examples 1-8 and Comparative Examples 1-2, the degree of tackiness of the film when removing the negative mask from the film after exposure of the film during test piece production, Evaluation was performed as follows.
A: Resistance is not felt when removing the negative mask from the film, and no sticking marks are observed on the film after the negative mask is removed.
B: Resistance was felt when the negative mask was removed from the film, and sticking marks were observed on the film after the negative mask was removed.
C: It was difficult to remove the negative mask from the film, and the film was damaged when the negative mask was forcibly removed.

(4−2)現像性
実施例1〜8及び比較例1〜2について、プリント配線板の一面全面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分又は60分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、露光することなく現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。処理後のプリント配線板を観察し、その結果を次のように評価した。
A:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜が全て除去されている。
B:湿潤塗膜の加熱時間が40分である場合には皮膜が全て除去されたが、60分では皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
C:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
(4-2) Developability About Examples 1-8 and Comparative Examples 1-2, the wet paint film was formed by apply | coating the photosensitive resin composition to the whole surface of the printed wiring board by the screen printing method. This wet coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes or 60 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. This film was developed without exposure. In the development process, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa, and then pure water was sprayed for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa. The printed wiring board after the treatment was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The film was completely removed regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.
B: When the heating time of the wet coating film was 40 minutes, all the coating film was removed, but at 60 minutes, a part of the coating film remained on the printed wiring board.
C: A part of the film remained on the printed wiring board regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.

なお、現像性評価がCである比較例1については、下記(4−3)〜(4−8)の評価を行っていない。また、実施例9の場合は、ドライフィルムから皮膜を形成したため、現像性の評価を行っていない。実施例9の場合は、露光後の現像工程において、問題なく現像できている。   In addition, for Comparative Example 1 in which the developability evaluation is C, the following evaluations (4-3) to (4-8) are not performed. Moreover, in the case of Example 9, since the membrane | film | coat was formed from the dry film, developability evaluation was not performed. In the case of Example 9, development was possible without problems in the development process after exposure.

(4−3)解像性
実施例1〜9及び比較例2について、テストピースにおける硬化物からなる層に形成された穴を観察し、その結果を次のように評価した。
A:直径40μmの非露光部に対応する穴と、直径60μmの非露光部に対応する穴とが、いずれも形成されている。
B:直径60μmの非露光部に対応する穴は形成されているが、直径40μmの非露光部に対応する穴は形成されていない。
C:直径40μmの非露光部に対応する穴と、直径60μmの非露光部に対応する穴とが、いずれも形成されていない。
(4-3) Resolution About Examples 1-9 and Comparative Example 2, the holes formed in the layer made of the cured product in the test piece were observed, and the results were evaluated as follows.
A: A hole corresponding to a non-exposed portion having a diameter of 40 μm and a hole corresponding to a non-exposed portion having a diameter of 60 μm are formed.
B: A hole corresponding to a non-exposed portion having a diameter of 60 μm is formed, but a hole corresponding to a non-exposed portion having a diameter of 40 μm is not formed.
C: Neither a hole corresponding to a non-exposed portion having a diameter of 40 μm or a hole corresponding to a non-exposed portion having a diameter of 60 μm is formed.

(4−4)はんだ耐熱性
実施例1〜9及び比較例2について、テストピースに水溶性フラックス(ロンドンケミカル社製、品番LONCO 3355−11)を塗布してから、このテストピースを260℃の溶融はんだ浴に10秒間浸漬し、続いてこれを水洗した。この一連の操作を3回繰り返した後のテストピースにおけるソルダーレジスト層の外観を観察し、次の評価基準により評価した。
A:異常が認められない。
B:ソルダーレジスト層の変色が少し見られる。
C:ソルダーレジスト層に大きな変色が見られる。あるいは、ソルダーレジスト層の剥離が見られる。
(4-4) Solder heat resistance For Examples 1 to 9 and Comparative Example 2, after applying a water-soluble flux (product number LONCO 3355-11, manufactured by London Chemical Co., Ltd.) to the test piece, It was immersed in a molten solder bath for 10 seconds and subsequently washed with water. The appearance of the solder resist layer in the test piece after repeating this series of operations three times was observed and evaluated according to the following evaluation criteria.
A: No abnormality is observed.
B: Discoloration of the solder resist layer is slightly observed.
C: A large discoloration is observed in the solder resist layer. Or peeling of a soldering resist layer is seen.

(4−5)耐メッキ性
実施例1〜9及び比較例2について、テストピースの導体配線における外部に露出する部分の上に、市販の無電解ニッケルメッキ浴を用いてニッケルメッキ層を形成してから、市販の無電解金メッキ浴を用いて金メッキ層を形成した。これにより、ニッケルメッキ層及び金メッキ層からなる金属層を形成した。硬化物からなる層及び金属層を目視で観察した。また、硬化物からなる層に対してセロハン粘着テープ剥離試験をおこなった。その結果を次のように評価した。
A:硬化物からなる層及び金属層の外観に異常は認められず、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
B:硬化物からなる層に変色が認められるが、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
C:硬化物からなる層の浮き上がりが認められ、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離が生じた。
(4-5) Plating resistance For Examples 1 to 9 and Comparative Example 2, a nickel plating layer was formed on a portion of the conductor wiring of the test piece exposed to the outside using a commercially available electroless nickel plating bath. Then, a gold plating layer was formed using a commercially available electroless gold plating bath. This formed the metal layer which consists of a nickel plating layer and a gold plating layer. The layer and metal layer which consisted of hardened | cured material were observed visually. Moreover, the cellophane adhesive tape peeling test was done with respect to the layer which consists of hardened | cured material. The results were evaluated as follows.
A: No abnormality was observed in the appearance of the layer made of the cured product and the metal layer, and peeling of the layer made of the cured product by the cellophane adhesive tape peeling test did not occur.
B: Although discoloration was recognized in the layer which consists of hardened | cured materials, peeling of the layer which consists of hardened | cured materials by the cellophane adhesive tape peeling test did not arise.
C: Lifting of the layer made of the cured product was observed, and peeling of the layer made of the cured product by the cellophane adhesive tape peeling test occurred.

(4−6)線間絶縁性
実施例1〜9及び比較例2について、テストピースにおける導体配線(くし型電極)にDC30Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に150時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層のくし型電極間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から150時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から120時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から150時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から120時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-6) Insulation between lines For Examples 1 to 9 and Comparative Example 2, while applying a DC 30 V bias voltage to the conductor wiring (comb electrode) in the test piece, the test piece was 121 ° C., 97% R.D. H. The test environment was exposed for 150 hours. The electrical resistance value between the comb-type electrodes of the cured product layer in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 150 hours passed from the start of the test.
B: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 120 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value was less than 10 6 Ω before 150 hours passed from the start of the test.
C: The electric resistance value was less than 10 6 Ω before 120 hours passed from the start of the test.

(4−7)層間絶縁性
実施例1〜9及び比較例2について、テストピースにおける硬化物からなる層の上に導電テープを貼り付けた。この導電テープにDC100Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に50時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層の導体配線と導電テープとの間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から50時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から40時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から50時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から40時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-7) Interlayer insulation About Examples 1-9 and Comparative Example 2, the conductive tape was affixed on the layer which consists of hardened | cured material in a test piece. While applying a bias voltage of DC 100 V to the conductive tape, the test piece was placed at 121 ° C. and 97% R.D. H. The test environment was exposed for 50 hours. The electrical resistance value between the conductive wiring of the layer made of the cured product and the conductive tape in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 50 hours passed from the start of the test.
B: The electric resistance value was always maintained at 10 6 Ω or more until 40 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 50 hours passed from the start of the test.
C: The electric resistance value was less than 10 6 Ω before 40 hours passed from the start of the test.

(4−8)PCT
実施例1〜9及び比較例2について、テストピースを121℃、100%R.H.の環境下で100時間放置した後、硬化物からなる層の外観を次の評価基準により評価した。
A:硬化物からなる層に異常は見られなかった。
B:硬化物からなる層に変色が見られた。
C:硬化物からなる層に大きな変色が見られ、一部膨れが発生していた。
(4-8) PCT
For Examples 1-9 and Comparative Example 2, the test piece was 121 ° C., 100% R.D. H. After being allowed to stand for 100 hours in this environment, the appearance of the layer made of the cured product was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: No abnormality was found in the layer made of the cured product.
B: Discoloration was observed in the layer made of the cured product.
C: A large discoloration was observed in the layer made of the cured product, and partial swelling occurred.

Claims (13)

エポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)との反応物である中間体と、酸無水物と、の反応物であり、
前記エポキシ化合物(a1)は、ビスフェノールフルオレン骨格を有し、
前記ビスフェノールフルオレン骨格は、下記式(1)で示され、
下記式(1)中、R1〜R8は、各々独立に、水素、炭素数1〜5のアルキル基、又はハロゲンである、
カルボキシル基含有樹脂。
An intermediate of a reaction product of an epoxy compound (a1), an unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) and a polyvalent carboxylic acid (a6), and an acid anhydride,
The epoxy compound (a1) has a bisphenolfluorene skeleton,
The bisphenol fluorene skeleton is represented by the following formula (1):
In the following formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen.
Carboxyl group-containing resin.
前記エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する、前記不飽和基含有モノカルボン酸(a2)中のカルボキシル基の合計は、0.5〜0.95モルの範囲内である、
請求項1に記載のカルボキシル基含有樹脂。
The total of carboxyl groups in the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (a2) with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) is in the range of 0.5 to 0.95 mol.
The carboxyl group-containing resin according to claim 1.
前記多価カルボン酸(a6)は、ジカルボン酸を含有する、
請求項1又は2に記載のカルボキシル基含有樹脂。
The polyvalent carboxylic acid (a6) contains a dicarboxylic acid.
The carboxyl group-containing resin according to claim 1 or 2.
前記酸無水物は、酸二無水物(a3)を含有する、
請求項1から3のいずれか一項に記載のカルボキシル基含有樹脂。
The acid anhydride contains an acid dianhydride (a3).
The carboxyl group-containing resin according to any one of claims 1 to 3.
重量平均分子量が1000〜5000の範囲内である、
請求項1から4のいずれか一項に記載のカルボキシル基含有樹脂。
The weight average molecular weight is in the range of 1000-5000,
The carboxyl group-containing resin according to any one of claims 1 to 4.
固形分酸価が60〜140mgKOH/gの範囲内である、
請求項1から5のいずれか一項に記載のカルボキシル基含有樹脂。
The solid content acid value is in the range of 60 to 140 mg KOH / g.
The carboxyl group-containing resin according to any one of claims 1 to 5.
カルボキシル基含有樹脂(A)と、
エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、
光重合開始剤(C)と、
エポキシ化合物(D)とを含有し、
前記カルボキシル基含有樹脂(A)は、請求項1から6のいずれか一項に記載のカルボキシル基含有樹脂を含有する、
感光性樹脂組成物。
A carboxyl group-containing resin (A);
An unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule;
A photopolymerization initiator (C);
Containing an epoxy compound (D),
The carboxyl group-containing resin (A) contains the carboxyl group-containing resin according to any one of claims 1 to 6,
Photosensitive resin composition.
厚み25μmの皮膜に成形された場合に、前記皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能である、
請求項7に記載の感光性樹脂組成物。
When formed into a film having a thickness of 25 μm, the film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution.
The photosensitive resin composition of Claim 7.
前記不飽和化合物(B)は、一分子中に不飽和結合を3つ有する化合物を含有する、
請求項7又は8に記載の感光性樹脂組成物。
The unsaturated compound (B) contains a compound having three unsaturated bonds in one molecule.
The photosensitive resin composition of Claim 7 or 8.
請求項7から9のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の乾燥物を含む、
ドライフィルム。
Including a dry product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 7 to 9,
Dry film.
請求項7から9のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備える、
プリント配線板。
An interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 7 to 9,
Printed wiring board.
請求項7から9のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備える、
プリント配線板。
A solder resist layer comprising a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 7 to 9,
Printed wiring board.
下記式(1)中、R1〜R8は、各々独立に、水素、炭素数1〜5のアルキル基、又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有モノカルボン酸(a2)及び多価カルボン酸(a6)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸無水物とを反応させることによりカルボキシル基含有樹脂(A1)を合成するカルボキシル基含有樹脂の製造方法。
In the following formula (1), R 1 to R 8 are each independently an epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton that is hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen, and an unsaturated group-containing mono Carboxyl group-containing resin that synthesizes carboxyl group-containing resin (A1) by reacting carboxylic acid (a2) and polyvalent carboxylic acid (a6), and reacting the resulting intermediate with an acid anhydride Manufacturing method.
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