JP6172816B2 - Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and method for producing photosensitive resin composition - Google Patents
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Description
本発明は、感光性樹脂組成物、ドライフィルム、プリント配線板、及び感光性樹脂組成物の製造方法に関し、詳しくはプリント配線板にソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために適する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の製造方法に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition, a dry film, a printed wiring board, and a method for producing a photosensitive resin composition, and more specifically, to a printed wiring board, a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, an interlayer insulating layer, and the like A photosensitive resin composition suitable for forming an electrically insulating layer, a dry film containing the photosensitive resin composition, a printed wiring board comprising an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, The present invention relates to a printed wiring board including a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a method for producing the photosensitive resin composition.
従来、プリント配線板の製造のためには、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために種々の電気絶縁性の樹脂組成物が使用されており、樹脂組成物としては例えば感光性樹脂組成物が使用されている。 Conventionally, for the production of printed wiring boards, various electrically insulating resin compositions have been used to form electrically insulating layers such as solder resist layers, plating resist layers, etching resist layers, and interlayer insulating layers. For example, a photosensitive resin composition is used as the resin composition.
感光性樹脂組成物から形成される層に高い耐熱性を付与するために、感光性樹脂組成物にビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を配合することが提案されている。例えば特許文献1には、フルオレンエポキシ(メタ)アクリレートを多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られるビスフェノールフルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂を用いることが開示されている。
In order to give high heat resistance to the layer formed from the photosensitive resin composition, it has been proposed to add a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton to the photosensitive resin composition. For example,
近年、作業環境の向上、廃棄物処理の負担軽減などのために有機アミンを含有する現像液の使用が避けられるようになってきていることから、感光性樹脂組成物がアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液で現像可能であることが強く求められている。 In recent years, since the use of a developer containing an organic amine has been avoided for the purpose of improving the working environment and reducing the burden of waste disposal, the photosensitive resin composition is made of an alkali metal salt and an alkali metal. There is a strong demand for development with an alkaline aqueous solution containing at least one of the hydroxides.
さらに、感光性樹脂組成物の硬化物をプリント配線板の永久レジスト層等として使用する場合、冷熱サイクル試験に代表される信頼性試験において十分な効果を発揮することが要求される。すなわち、感光性樹脂組成物の硬化物には高い耐熱衝撃性が要求される。 Furthermore, when using the hardened | cured material of the photosensitive resin composition as a permanent resist layer etc. of a printed wiring board, it is requested | required that a sufficient effect should be exhibited in the reliability test represented by the thermal cycle test. That is, high thermal shock resistance is required for the cured product of the photosensitive resin composition.
本発明は上記事由に鑑みてなされたものであり、耐熱衝撃性に優れる硬化物とすることができ、さらにビスフェノールフルオレン骨格を有しながら、アルカリ性水溶液による現像性に優れる感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び感光性樹脂組成物の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above reasons, can be a cured product having excellent thermal shock resistance, and further has a bisphenolfluorene skeleton, while having a developability with an alkaline aqueous solution, the photosensitive resin composition, A dry film containing a photosensitive resin composition, a printed wiring board provided with an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a printed wiring board provided with a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition And it aims at providing the manufacturing method of the photosensitive resin composition.
本発明に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも1つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有する。カルボキシル基含有樹脂(A)は、下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有する。エポキシ化合物(D)は、ビスフェノールから末端のOH基を除いたビスフェノール型構造単位(d1)と、炭素原子数4以上20以下の直鎖状炭化水素構造単位、及びエーテル酸素原子数3以上20以下のポリアルキレンエーテル構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1種からなる構造単位(d2)と、を有するエポキシ化合物(d)を含有し、前記酸無水物が、酸二無水物を含有する。 The photosensitive resin composition according to the present invention comprises a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator (C), And an epoxy compound (D). The carboxyl group-containing resin (A) is represented by the following formula (1), and in the formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, a C 1-5 alkyl group, or a bisphenolfluorene skeleton. The carboxyl group-containing resin (A1) which is a reaction product of an intermediate product which is a reaction product of the epoxy compound (a1) having an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) and an acid anhydride. The epoxy compound (D) comprises a bisphenol-type structural unit (d1) obtained by removing terminal OH groups from bisphenol, a linear hydrocarbon structural unit having 4 to 20 carbon atoms, and an ether oxygen atom number of 3 to 20 And an epoxy compound (d) having at least one structural unit (d2) selected from the group consisting of polyalkylene ether structural units. The acid anhydride contains an acid dianhydride.
本発明に係るドライフィルムは、前記感光性樹脂組成物を含有する。 The dry film according to the present invention contains the photosensitive resin composition.
本発明に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備える。 The printed wiring board which concerns on this invention is equipped with the interlayer insulation layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.
本発明に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備える。 The printed wiring board which concerns on this invention is equipped with the soldering resist layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.
本発明に係る感光性樹脂組成物の製造方法は、下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸無水物とを反応させることにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成し、前記カルボキシル基含有樹脂(A1)を含有するカルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも1つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを混合することを含む。エポキシ化合物(D)は、ビスフェノールから末端のOH基を除いたビスフェノール型構造単位(d1)と、炭素原子数4以上20以下の直鎖状炭化水素構造単位、及びエーテル酸素原子数3以上20以下のポリアルキレンエーテル構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1種からなる構造単位(d2)と、を有するエポキシ化合物(d)を含有し、前記酸無水物が、酸二無水物を含有する。 The manufacturing method of the photosensitive resin composition which concerns on this invention is shown by following formula (1), and R < 1 > -R < 8 > is hydrogen, a C1-C5 alkyl group, or halogen each independently in Formula (1). The epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) are reacted, and the intermediate obtained thereby is reacted with the acid anhydride, thereby containing a carboxyl group. A resin (A1), a carboxyl group-containing resin (A) containing the carboxyl group-containing resin (A1), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule; Mixing a photoinitiator (C) and an epoxy compound (D) is included. The epoxy compound (D) comprises a bisphenol-type structural unit (d1) obtained by removing terminal OH groups from bisphenol, a linear hydrocarbon structural unit having 4 to 20 carbon atoms, and an ether oxygen atom number of 3 to 20 And an epoxy compound (d) having at least one structural unit (d2) selected from the group consisting of polyalkylene ether structural units. The acid anhydride contains an acid dianhydride.
本発明によれば、耐熱衝撃性に優れる硬化物とすることができ、さらにビスフェノールフルオレン骨格を有しながら、アルカリ性水溶液による現像性に優れる感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の製造方法が得られる。 According to the present invention, a cured product having excellent thermal shock resistance can be obtained. Further, the photosensitive resin composition has excellent developability with an alkaline aqueous solution while having a bisphenolfluorene skeleton, and contains the photosensitive resin composition. Printed wiring board provided with a dry film, an interlayer insulation layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, a printed wiring board provided with a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and the photosensitive resin composition The manufacturing method is obtained.
本発明を実施するための形態について説明する。なお、以下の説明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」と「メタクリル」のうち少なくとも一方を意味する。例えば、(メタ)アクリレートは、アクリレートとメタクリレートとのうち少なくとも一方を意味する。 A mode for carrying out the present invention will be described. In the following description, “(meth) acryl” means at least one of “acryl” and “methacryl”. For example, (meth) acrylate means at least one of acrylate and methacrylate.
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有する。 The photosensitive resin composition according to this embodiment includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (C). And an epoxy compound (D).
カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)を含む。このカルボキシル基含有樹脂(A1)は、下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物である。 The carboxyl group-containing resin (A) includes a carboxyl group-containing resin (A1). This carboxyl group-containing resin (A1) is represented by the following formula (1), and in formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a bisphenolfluorene. It is a reaction product of an intermediate which is a reaction product of an epoxy compound (a1) having a skeleton and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), and an acid anhydride.
カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸無水物とを反応させることで合成される。酸無水物としては、例えば、酸二無水物(a3)、酸一無水物(a4)などが挙げられる。酸無水物は酸二無水物(a3)を含有するのが好ましく、酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)から選ばれる少なくとも1種であるのがより好ましい。酸無水物が酸二無水物(a3)を含有することにより、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制することができる。以下、酸無水物が酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)からなる場合について説明する。 The carboxyl group-containing resin (A1) is synthesized by reacting the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), and reacting the resulting intermediate with an acid anhydride. The Examples of the acid anhydride include acid dianhydride (a3) and acid monoanhydride (a4). The acid anhydride preferably contains an acid dianhydride (a3), more preferably at least one selected from an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4). When the acid anhydride contains the acid dianhydride (a3), tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition can be further suppressed. Hereinafter, the case where an acid anhydride consists of an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4) is demonstrated.
式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンである。すなわち、式(1)におけるR1〜R8の各々は、水素でもよいが、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンでもよい。芳香環における水素が低分子量のアルキル基又はハロゲンで置換されても、カルボキシル基含有樹脂(A1)の物性に悪影響は与えられず、むしろ置換されることでカルボキシル基含有樹脂(A1)を含む感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性或いは難燃性が向上する場合もあるからである。 In formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen. That is, each of R 1 to R 8 in Formula (1) may be hydrogen, but may be an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen. Even if the hydrogen in the aromatic ring is substituted with a low molecular weight alkyl group or halogen, the physical properties of the carboxyl group-containing resin (A1) are not adversely affected. This is because the heat resistance or flame retardancy of the cured product of the conductive resin composition may be improved.
本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A1)がエポキシ化合物(a1)に由来する式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)を含有する感光性樹脂組成物の硬化物に高い耐熱性及び絶縁信頼性を付与できる。 In this embodiment, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1) derived from the epoxy compound (a1), so that the photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin (A1). High heat resistance and insulation reliability can be imparted to the cured product.
カルボキシル基含有樹脂(A1)について、より具体的に説明する。カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成するためには、まず式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基(式(2)参照)の少なくとも一部と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させることで、中間体を合成する。中間体は、エポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた下記式(3)に示す構造を有する。すなわち、中間体は、式(3)に示す構造中に、エポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた二級の水酸基を有する。式(3)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基である。 The carboxyl group-containing resin (A1) will be described more specifically. In order to synthesize the carboxyl group-containing resin (A1), first, at least a part of the epoxy group (see formula (2)) in the epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton represented by formula (1) and unsaturated An intermediate is synthesized by reacting the group-containing carboxylic acid (a2). The intermediate has a structure represented by the following formula (3) generated by a ring-opening addition reaction between an epoxy group and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). That is, the intermediate has a secondary hydroxyl group generated by a ring-opening addition reaction between an epoxy group and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the structure represented by the formula (3). In Formula (3), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue.
次に、中間体中の二級の水酸基のうちの一部と酸二無水物(a3)とを反応させ、中間体中の二級の水酸基のうちの別の一部と酸一無水物(a4)とを反応させる。これにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成できる。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、下記式(4)に示す構造と、下記式(5)に示す構造とを有する。 Next, a part of the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with acid dianhydride (a3), and another part of the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with acid monoanhydride ( a4) is reacted. Thereby, carboxyl group-containing resin (A1) can be synthesized. Therefore, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1), a structure represented by the following formula (4), and a structure represented by the following formula (5).
式(4)に示す構造は、中間体の式(3)で示す構造中の二級の水酸基と、酸一無水物(a4)における酸無水物基とが反応することで生じる。式(4)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Bは酸一無水物残基である。 The structure represented by the formula (4) is generated by the reaction between the secondary hydroxyl group in the structure represented by the formula (3) of the intermediate and the acid anhydride group in the acid monoanhydride (a4). In Formula (4), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue, and B is an acid monoanhydride residue.
式(5)に示す構造は、酸二無水物(a3)中の二つの酸無水物基と、中間体における二つの二級の水酸基とが、それぞれ反応することで生じる。すなわち、式(5)に示す構造は、二つの二級の水酸基同士を酸二無水物(a3)が架橋することで生成する。なお、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合とが、ありうる。中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋されると、分子量の増大が得られる。式(5)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。 The structure represented by the formula (5) is generated by the reaction between two acid anhydride groups in the acid dianhydride (a3) and two secondary hydroxyl groups in the intermediate. That is, the structure shown in Formula (5) is produced by crosslinking two secondary hydroxyl groups with acid dianhydride (a3). In addition, the case where two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are crosslinked and the case where two secondary hydroxyl groups present in each of the two molecules of the intermediate are crosslinked It is possible. When two secondary hydroxyl groups present in the two molecules of the intermediate are cross-linked, an increase in molecular weight is obtained. In Formula (5), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue, and D is an acid dianhydride residue.
カルボキシル基含有樹脂(A1)が、更に下記式(6)で示す構造を有することもありうる。式(6)で示す構造は、酸二無水物(a3)中の二つの酸無水物基のうち、一つのみが、中間体における二級の水酸基と反応することで生じる。式(6)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。 The carboxyl group-containing resin (A1) may further have a structure represented by the following formula (6). The structure represented by the formula (6) occurs when only one of the two acid anhydride groups in the acid dianhydride (a3) reacts with the secondary hydroxyl group in the intermediate. In Formula (6), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue, and D is an acid dianhydride residue.
中間体の合成時にエポキシ化合物(a1)中のエポキシ基の一部が未反応のまま残存する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は式(2)に示す構造、すなわちエポキシ基を有することがありうる。また、中間体における式(3)に示す構造の一部が未反応のまま残存する場合に、カルボキシル基含有樹脂(A1)は式(3)に示す構造を有することもありうる。 When some of the epoxy groups in the epoxy compound (a1) remain unreacted during the synthesis of the intermediate, the carboxyl group-containing resin (A1) may have a structure represented by the formula (2), that is, an epoxy group. sell. In addition, when a part of the structure represented by the formula (3) in the intermediate body remains unreacted, the carboxyl group-containing resin (A1) may have a structure represented by the formula (3).
ただし、本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件を最適化することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)中の式(2)に示す構造、及び式(6)に示す構造を低減し、或いは殆どなくすことが可能である。 However, in this embodiment, by optimizing the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1), the structure shown in the formula (2) in the carboxyl group-containing resin (A1) and the formula (6) It is possible to reduce or almost eliminate the structure shown.
以上により、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、式(4)に示す構造と、式(5)に示す構造を有する。さらに、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(2)に示す構造と、式(3)に示す構造と、式(6)に示す構造とのうち少なくとも一種を有することがある。 As described above, the carboxyl group-containing resin (A1) has the bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1), the structure represented by the formula (4), and the structure represented by the formula (5). Furthermore, the carboxyl group-containing resin (A1) may have at least one of the structure shown in Formula (2), the structure shown in Formula (3), and the structure shown in Formula (6).
また、エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合、すなわち例えば後述する式(7)においてn=1以上である場合には、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基と酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)とのうち少なくとも一方とが反応することで生じる構造を有することもある。 When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group, that is, for example, when n = 1 or more in the formula (7) described later, the carboxyl group-containing resin (A1) is an epoxy compound (a1). The secondary secondary hydroxyl group may have a structure produced by reaction of at least one of acid dianhydride (a3) and acid dianhydride (a4).
なお、上述のカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造は技術常識に基づいて合理的に類推されたものであり、カルボキシル基含有樹脂(A1)の構造を分析によって同定することは現実にはできない。その理由は次の通りである。エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合(例えば式(7)においてnが1以上である場合)には、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基の数によってカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造が大きく変化してしまう。また、中間体と酸二無水物(a3)とが反応する際には、上述の通り、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合とが、ありうる。このため、最終的に得られるカルボキシル基含有樹脂(A1)は、互いに構造の異なる複数の分子を含み、カルボキシル基含有樹脂(A1)を分析してもその構造を同定できなくなる。 In addition, the structure of the above-mentioned carboxyl group-containing resin (A1) is reasonably inferred based on the common general technical knowledge, and the structure of the carboxyl group-containing resin (A1) cannot be identified by analysis. The reason is as follows. When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group (for example, when n is 1 or more in the formula (7)), the carboxyl group-containing resin depends on the number of secondary hydroxyl groups in the epoxy compound (a1). The structure of (A1) changes greatly. When the intermediate and the acid dianhydride (a3) react, as described above, two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are acid dianhydrides (a3). There may be a case where two secondary hydroxyl groups respectively present in two molecules of the intermediate are crosslinked with an acid dianhydride (a3). For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) finally obtained contains a plurality of molecules having different structures, and even when the carboxyl group-containing resin (A1) is analyzed, the structure cannot be identified.
カルボキシル基含有樹脂(A1)は、不飽和基含有カルボン酸(a2)に由来するエチレン性不飽和基を有することで光反応性を有する。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は感光性樹脂組成物に感光性、具体的には紫外線硬化性、を付与できる。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)に由来するカルボキシル基を有することで、感光性樹脂組成物に、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液による現像性を付与できる。さらに、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸二無水物(a3)によって架橋されていることで分子量が調整されている。このため、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が得られる。すなわち、酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)の量、並びに酸二無水物(a3)に対する酸一無水物(a4)の量を制御することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量及び酸価を容易に調整できる。 The carboxyl group-containing resin (A1) has photoreactivity by having an ethylenically unsaturated group derived from the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). For this reason, carboxyl group-containing resin (A1) can provide photosensitivity, specifically, ultraviolet curability, to the photosensitive resin composition. The carboxyl group-containing resin (A1) has a carboxyl group derived from the acid dianhydride (a3) and the acid monoanhydride (a4), so that the photosensitive resin composition has an alkali metal salt and an alkali metal water. The developability by the alkaline aqueous solution containing at least one of the oxides can be imparted. Furthermore, the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is adjusted by crosslinking with the acid dianhydride (a3). For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted is obtained. That is, by controlling the amount of the acid dianhydride (a3) and the acid monoanhydride (a4) and the amount of the acid dianhydride (a4) relative to the acid dianhydride (a3), the carboxyl group-containing resin (A1 ) Can be easily adjusted.
カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量は1000〜5000の範囲内であることが好ましい。重量平均分子量が1000以上であると、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。また、重量平均分子量が5000以下であると、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。 The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 1000 to 5000. When the weight average molecular weight is 1000 or more, tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition can be further suppressed, and insulation reliability and plating resistance of the cured product can be further improved. Moreover, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition improves especially that a weight average molecular weight is 5000 or less.
また、カルボキシル基含有樹脂(A1)の固形分酸価は60〜140mgKOH/gの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性が特に向上する。酸価が80〜135mgKOH/gの範囲内であればより好ましく、酸価が90〜130mgKOH/gの範囲内であれば更に好ましい。 Moreover, it is preferable that the solid content acid value of carboxyl group-containing resin (A1) exists in the range of 60-140 mgKOH / g. In this case, the developability of the photosensitive resin composition is particularly improved. The acid value is more preferably in the range of 80 to 135 mgKOH / g, and the acid value is more preferably in the range of 90 to 130 mgKOH / g.
カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量(Mw)は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィによる分子量測定結果から算出される。ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィでの分子量測定は、例えば、次の条件の下で行うことができる。 The weight average molecular weight (Mw) of the carboxyl group-containing resin (A1) is calculated from the molecular weight measurement result by gel permeation chromatography. The molecular weight measurement by gel permeation chromatography can be performed, for example, under the following conditions.
GPC装置:昭和電工社製 SHODEX SYSTEM 11、
カラム:SHODEX KF−800P,KF−005,KF−003,KF−001の4本直列、
移動相:THF、
流量:1ml/分、
カラム温度:45℃、
検出器:RI、
換算:ポリスチレン。
GPC device: SHODEX SYSTEM 11, manufactured by Showa Denko KK
Column: 4 series of SHODEX KF-800P, KF-005, KF-003, KF-001,
Mobile phase: THF,
Flow rate: 1 ml / min
Column temperature: 45 ° C
Detector: RI,
Conversion: Polystyrene.
カルボキシル基含有樹脂(A1)の原料、並びにカルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件について詳しく説明する。 The raw material of the carboxyl group-containing resin (A1) and the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1) will be described in detail.
エポキシ化合物(a1)は、例えば下記式(7)に示す構造を有する。式(7)中のnは、例えば0〜20の範囲内の数である。カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量を適切に制御するためには、nの平均は0〜1の範囲内であることが特に好ましい。nの平均が0〜1の範囲内であれば、酸二無水物(a3)の付加による過剰な分子量の増大が抑制されやすくなる。 The epoxy compound (a1) has a structure represented by the following formula (7), for example. N in Formula (7) is a number within the range of 0-20, for example. In order to appropriately control the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1), the average of n is particularly preferably in the range of 0-1. If the average of n is in the range of 0 to 1, an excessive increase in molecular weight due to the addition of acid dianhydride (a3) is likely to be suppressed.
不飽和基含有カルボン酸(a2)は、例えばエチレン性不飽和基を1個のみ有する化合物を含有できる。より具体的には、不飽和基含有カルボン酸(a2)は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、クロトン酸、桂皮酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、2−アクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルマレイン酸、2−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、β−カルボキシエチルアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、及び2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。好ましくは、不飽和基含有カルボン酸(a2)がアクリル酸を含有する。 The unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) can contain, for example, a compound having only one ethylenically unsaturated group. More specifically, the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) is, for example, acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, crotonic acid, cinnamic acid, 2-acryloyloxyethyl succinate. Acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, 2-acryloyloxyethyl phthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl phthalic acid, 2-acryloyloxypropyl phthalic acid, 2-methacryloyloxypropyl phthalic acid, 2-acryloyloxyethyl maleic acid, 2-methacryloyloxyethyl maleic acid, β-carboxyethyl acrylate, 2-acryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid And one or more compounds selected from the group consisting of 2-methacryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid. Preferably, unsaturated group containing carboxylic acid (a2) contains acrylic acid.
エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えばエポキシ化合物(a1)の溶剤溶液に不飽和基含有カルボン酸(a2)を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、中間体を得ることができる。溶剤は、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、及びトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、及び酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類、及びジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。熱重合禁止剤は例えばメチルハイドロキノン、ハイドロキノン及びハイドロキノンモノメチルエーテルのうち少なくとも一方を含有する。触媒は例えばベンジルジメチルアミン、トリエチルアミン等の第3級アミン類、トリメチルベンジルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド等の第4級アンモニウム塩類、トリフェニルフォスフィン、及びトリフェニルスチビンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 In reacting the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), a known method may be employed. For example, a reactive solution is obtained by adding an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) to a solvent solution of the epoxy compound (a1), and further adding a thermal polymerization inhibitor and a catalyst as necessary and stirring and mixing. An intermediate can be obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. Solvents include, for example, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, and aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol mono It can contain at least one component selected from the group consisting of acetates such as ethyl ether acetate and dialkyl glycol ethers. The thermal polymerization inhibitor contains, for example, at least one of methyl hydroquinone, hydroquinone, and hydroquinone monomethyl ether. The catalyst is at least selected from the group consisting of tertiary amines such as benzyldimethylamine and triethylamine, quaternary ammonium salts such as trimethylbenzylammonium chloride and methyltriethylammonium chloride, triphenylphosphine, and triphenylstibine. A kind of component can be contained.
触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させることが好ましい。この場合、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応が特に促進され、95%以上、或いは97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(3)に示す構造を有する中間体が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the presence of triphenylphosphine. In this case, the ring-opening addition reaction between the epoxy group and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the epoxy compound (a1) is particularly accelerated, and the reaction rate (conversion) is 95% or more, 97% or more, or almost 100%. Rate). For this reason, the intermediate which has a structure shown in Formula (3) is obtained with a high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.
エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させる際のエポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する不飽和基含有カルボン酸(a2)の量は0.8〜1.2モルの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の優れた感光性と保存安定性が得られる。 When the epoxy compound (a1) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) are reacted, the amount of the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) relative to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) is 0.8 to 1. It is preferably within a range of 2 moles. In this case, excellent photosensitivity and storage stability of the photosensitive resin composition can be obtained.
エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、不飽和基の付加重合反応を抑制して、中間体の分子量の増大及び中間体の溶液のゲル化を抑制できる。また、最終生成物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な着色を抑制できる。 It is also preferable to react the epoxy compound (a1) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) under air bubbling. In this case, the addition polymerization reaction of the unsaturated group can be suppressed, and the increase in the molecular weight of the intermediate and the gelation of the intermediate solution can be suppressed. Moreover, the excessive coloring of carboxyl group-containing resin (A1) which is a final product can be suppressed.
このようにして得られる中間体は、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)におけるカルボキシル基とが反応することで生成した水酸基を備える。 The intermediate obtained in this way has a hydroxyl group produced by the reaction of the epoxy group in the epoxy compound (a1) and the carboxyl group in the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2).
酸二無水物(a3)は、酸無水物基を二つ有する化合物である。酸二無水物(a3)は、テトラカルボン酸の無水物を含有できる。酸二無水物(a3)は、例えば1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、エチレンテトラカルボン酸二無水物、9,9’−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、グリセリンビスアンヒドロトリメリテートモノアセテート、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)ナフト〔1,2−c〕フラン−1,3−ジオン、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。特に酸二無水物(a3)が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含有することが好ましい。すなわち、式(5)及び式(6)におけるDが3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制し、感光性樹脂組成物から形成される皮膜を露光・現像する場合の解像性が向上する。さらに硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上する。酸二無水物(a3)全体に対して、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これに限られない。 The acid dianhydride (a3) is a compound having two acid anhydride groups. The acid dianhydride (a3) can contain an anhydride of tetracarboxylic acid. Acid dianhydride (a3) is, for example, 1,2,4,5-benzenetetracarboxylic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, methylcyclohexene tetracarboxylic dianhydride, tetracarboxylic dianhydride, Naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, ethylenetetracarboxylic dianhydride, 9,9'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, glycerin bisanhydrotri Melitate monoacetate, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5 (tetrahydro -2,5-dioxo-3-furanyl) naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione, 1,2,3,4-buta Tetracarboxylic dianhydride, and 3,3 ', may contain at least one compound selected from the group consisting of 4,4'-biphenyl tetracarboxylic acid dianhydride. In particular, the acid dianhydride (a3) preferably contains 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. That is, it is preferable that D in Formula (5) and Formula (6) includes a 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition is further suppressed, and the film formed from the photosensitive resin composition is exposed and developed. In this case, the resolution is improved. Furthermore, the insulation reliability and plating resistance of the cured product are further improved. The total amount of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferably in the range of 20 to 100 mol%, and preferably 40 to 100 mol%, based on the entire acid dianhydride (a3). Although it is more preferable to be within the range, it is not limited to this.
酸一無水物(a4)は、酸無水物基を一つ有する化合物である。酸一無水物(a4)は、ジカルボン酸の無水物を含有できる。酸一無水物(a4)は、例えばフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、コハク酸無水物、メチルコハク酸無水物、マレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、グルタル酸無水物、及びイタコン酸無水物からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。特に酸一無水物(a4)が1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸を含有することが好ましい。すなわち、式(4)におけるBが1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸一無水物(a4)全体に対して、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これに限られない。 The acid monoanhydride (a4) is a compound having one acid anhydride group. The acid monoanhydride (a4) can contain an anhydride of a dicarboxylic acid. Examples of the acid monoanhydride (a4) include phthalic anhydride, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexa It may contain one or more compounds selected from the group consisting of hydrophthalic anhydride, succinic anhydride, methyl succinic anhydride, maleic anhydride, citraconic anhydride, glutaric anhydride, and itaconic anhydride . In particular, it is preferable that the acid monoanhydride (a4) contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. That is, it is preferable that B in Formula (4) contains a 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, it is possible to further suppress the tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition and further improve the insulation reliability and plating resistance of the cured product. . It is preferable that 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride is in the range of 20 to 100 mol%, and in the range of 40 to 100 mol%, based on the entire acid monoanhydride (a4). Is more preferable, but not limited to this.
中間体と酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えば中間体の溶剤溶液に酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、カルボキシル基含有樹脂(A1)を得ることができる。溶剤、触媒及び重合禁止剤としては、適宜のものが使用でき、中間体の合成時に使用した溶剤、触媒及び重合禁止剤をそのまま使用することもできる。 In reacting the intermediate with the acid dianhydride (a3) and the acid monoanhydride (a4), a known method may be employed. For example, the acid dianhydride (a3) and the acid monoanhydride (a4) are added to the solvent solution of the intermediate, and a thermal polymerization inhibitor and a catalyst are added as necessary, followed by stirring and mixing to obtain a reactive solution. . The carboxyl group-containing resin (A1) can be obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. As the solvent, catalyst and polymerization inhibitor, appropriate ones can be used, and the solvent, catalyst and polymerization inhibitor used in the synthesis of the intermediate can also be used as they are.
触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、中間体と、酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)とを反応させることが好ましい。この場合、中間体における二級の水酸基と酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)との反応が特に促進され、90%以上、95%以上、97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(4)に示す構造及び式(5)に示す構造を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the intermediate with acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3) in the presence of triphenylphosphine. In this case, the reaction of the secondary hydroxyl group in the intermediate with acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3) is particularly promoted, and is 90% or more, 95% or more, 97% or more, or almost 100%. It is possible to achieve a reaction rate (conversion rate) of For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) having the structure represented by the formula (4) and the structure represented by the formula (5) can be obtained with a high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.
中間体と、酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、生成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な分子量増大が抑制されることで、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。 It is also preferred to react the intermediate with acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3) under air bubbling. In this case, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition improves especially by suppressing the excessive molecular weight increase of the produced | generated carboxyl group-containing resin (A1).
中間体と、酸一無水物(a4)及び酸二無水物(a3)とを反応させる際、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸二無水物(a3)の量は、0.05〜0.24モルの範囲内であることが好ましい。また、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸一無水物(a4)の量は0.3〜0.7モルの範囲内であることが好ましい。この場合、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が容易に得られる。また、生成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な分子量増大が抑制されることで、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。 When the intermediate is reacted with the acid monoanhydride (a4) and the acid dianhydride (a3), the amount of the acid dianhydride (a3) with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) is: It is preferably in the range of 0.05 to 0.24 mol. Moreover, it is preferable that the quantity of acid monoanhydride (a4) exists in the range of 0.3-0.7 mol with respect to 1 mol of epoxy groups of an epoxy compound (a1). In this case, the carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted can be easily obtained. Moreover, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition improves especially by suppressing the excessive molecular weight increase of the produced | generated carboxyl group-containing resin (A1).
本実施形態のカルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみを含有してもよく、カルボキシル基含有樹脂(A1)以外のカルボキシル基含有樹脂(以下、カルボキシル基含有樹脂(F)ともいう)を更に含有してもよい。 The carboxyl group-containing resin (A) of this embodiment may contain only the carboxyl group-containing resin (A1), or a carboxyl group-containing resin other than the carboxyl group-containing resin (A1) (hereinafter referred to as carboxyl group-containing resin (F). ))) May be further contained.
カルボキシル基含有樹脂(F)は、例えば、カルボキシル基を有し光重合性を有さない化合物(以下、(F1)成分という)を含有することができる。 The carboxyl group-containing resin (F) can contain, for example, a compound having a carboxyl group and not having photopolymerizability (hereinafter referred to as (F1) component).
(F1)成分は、例えばカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含むエチレン性不飽和単量体の重合体を含有する。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、アクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート等の化合物を含有できる。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等と二塩基酸無水物との反応物も含有できる。エチレン性不飽和単量体は、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。 (F1) A component contains the polymer of the ethylenically unsaturated monomer containing the ethylenically unsaturated compound which has a carboxyl group, for example. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can contain compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, and ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can also contain a reaction product of pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate and the like with a dibasic acid anhydride. The ethylenically unsaturated monomer is 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or alicyclic (provided that It may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group, such as (meth) acrylic acid ester (which may partially have an unsaturated bond in the ring).
カルボキシル基含有樹脂(F)は、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する化合物(以下、(F2)成分という)を含有してもよい。(F2)成分は、例えば一分子中に二個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(g1)とエチレン性不飽和化合物(g2)との反応物である中間体と、多価カルボン酸及びその無水物の群から選択される少なくとも一種の化合物(g3)との反応物である樹脂(第一の樹脂(g)という)を含有する。第一の樹脂(g)は、例えばエポキシ化合物(g1)中のエポキシ基と、エチレン性不飽和化合物(g2)中のカルボキシル基とを反応させて得られた中間体に化合物(g3)を付加させて得られる。エポキシ化合物(g1)は、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂等の適宜のエポキシ樹脂を含有できる。エポキシ化合物(g1)は、エチレン性不飽和化合物(h)の重合体を含有してもよい。エチレン性不飽和化合物(h)は、例えばグリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する化合物(h1)を含有し、或いは更に2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート等のエポキシ基を有さない化合物(h2)を含有する。エチレン性不飽和化合物(g2)は、アクリル酸及びメタクリル酸のうち少なくとも一方を含有することが好ましい。化合物(g3)は、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸等の多価カルボン酸と、これらの多価カルボン酸の無水物とからなる群から選択される一種以上の化合物を含有する。 The carboxyl group-containing resin (F) may contain a compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group (hereinafter referred to as (F2) component). The component (F2) includes, for example, an intermediate that is a reaction product of an epoxy compound (g1) having two or more epoxy groups in one molecule and an ethylenically unsaturated compound (g2), a polyvalent carboxylic acid and its anhydride. A resin (referred to as a first resin (g)) that is a reaction product with at least one compound (g3) selected from the group of substances. For example, the first resin (g) is obtained by adding the compound (g3) to an intermediate obtained by reacting the epoxy group in the epoxy compound (g1) with the carboxyl group in the ethylenically unsaturated compound (g2). Can be obtained. The epoxy compound (g1) can contain an appropriate epoxy resin such as a cresol novolac epoxy resin or a phenol novolac epoxy resin. The epoxy compound (g1) may contain a polymer of the ethylenically unsaturated compound (h). The ethylenically unsaturated compound (h) contains a compound (h1) having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, or further has no epoxy group such as 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate. Contains compound (h2). The ethylenically unsaturated compound (g2) preferably contains at least one of acrylic acid and methacrylic acid. The compound (g3) contains one or more compounds selected from the group consisting of polyvalent carboxylic acids such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, and methyltetrahydrophthalic acid, and anhydrides of these polyvalent carboxylic acids. .
(F2)成分は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含有するエチレン性不飽和単量体の重合体とエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物との反応物である樹脂(第二の樹脂(i)という)を含有してもよい。エチレン性不飽和単量体はカルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。第二の樹脂(i)は、重合体におけるカルボキシル基の一部にエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物を反応させることで得られる。エチレン性不飽和単量体は、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等の化合物を含有する。カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物は、例えば2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の化合物を含有する。エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物は、グリシジル(メタ)アクリレートを含有することが好ましい。 The component (F2) is a resin (second resin) that is a reaction product of a polymer of an ethylenically unsaturated monomer containing an ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group. (I)) may be contained. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. The second resin (i) can be obtained by reacting an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group with a part of the carboxyl group in the polymer. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. Examples of the ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group include compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol trimethacrylate. Examples of the ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group include 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or oil It contains a compound such as a (meth) acrylic acid ester of a cyclic group (however, it may have some unsaturated bonds in the ring). The ethylenically unsaturated compound having an epoxy group preferably contains glycidyl (meth) acrylate.
カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみ、又はカルボキシル基含有樹脂(A1)とカルボキシル基含有樹脂(F)とを含有する。カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)を30質量%以上含有することが好ましく、50質量%以上含有することがより好ましく、100質量%含有することが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性及び絶縁信頼性を特に向上させることができる。また、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を十分に抑制することができる。更に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を確保することができる。 The carboxyl group-containing resin (A) contains only the carboxyl group-containing resin (A1) or the carboxyl group-containing resin (A1) and the carboxyl group-containing resin (F). The carboxyl group-containing resin (A) preferably contains 30% by mass or more of the carboxyl group-containing resin (A1), more preferably 50% by mass or more, and still more preferably 100% by mass. In this case, the heat resistance and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition can be particularly improved. Moreover, the tack property of the film | membrane formed from the photosensitive resin composition can fully be suppressed. Furthermore, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition can be ensured.
感光性樹脂組成物中の、カルボキシル基含有樹脂(A)以外の成分について説明する。 Components other than the carboxyl group-containing resin (A) in the photosensitive resin composition will be described.
上述の通り、感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有する。 As described above, the photosensitive resin composition includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (C). And an epoxy compound (D).
不飽和化合物(B)は、感光性樹脂組成物に光硬化性を付与できる。不飽和化合物(B)は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレート;並びにジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε―カプロラクトン変性ペンタエリストールヘキサアクリレート等の多官能(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。 The unsaturated compound (B) can impart photocurability to the photosensitive resin composition. The unsaturated compound (B) is, for example, a monofunctional (meth) acrylate such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; and diethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) Multifunctional (such as acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone modified pentaerythritol hexaacrylate It can contain at least one compound selected from the group consisting of (meth) acrylate and tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate.
特に不飽和化合物(B)が、三官能の化合物、すなわち一分子中に不飽和結合を3つ有する化合物を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される皮膜を露光・現像する場合の解像性が向上すると共に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。三官能の化合物は、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリストールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート及びε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート及びエトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。 In particular, the unsaturated compound (B) preferably contains a trifunctional compound, that is, a compound having three unsaturated bonds in one molecule. In this case, the resolution when the film formed from the photosensitive resin composition is exposed and developed is improved, and the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Trifunctional compounds include, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethoxylated isocyanuric acid tri (meth) acrylate and ε-caprolactone modified It can contain at least one compound selected from the group consisting of tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate and ethoxylated glycerin tri (meth) acrylate.
不飽和化合物(B)が、リン含有化合物(リン含有不飽和化合物)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有不飽和化合物は、例えば2−メタクリロイロキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトエステルP−1M、及びライトエステルP−2M)、2−アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトアクリレートP−1A)、ジフェニル−2−メタクリロイルオキシエチルフォスフェート(具体例として大八工業株式会社製の品番MR−260)、及び昭和高分子株式会社製のHFAシリーズ(具体例としてジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCAとの付加反応物である品番HFAー6003、及びHFA−6007、カプロラクトン変性ジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCAとの付加反応物である品番HFAー3003、及びHFA−6127等)からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。 It is also preferred that the unsaturated compound (B) contains a phosphorus-containing compound (phosphorus-containing unsaturated compound). In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Phosphorus-containing unsaturated compounds include, for example, 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate (as specific examples, product number light ester P-1M and light ester P-2M manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), 2-acryloyloxyethyl acid phosphate (As a specific example, product number light acrylate P-1A manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), diphenyl-2-methacryloyloxyethyl phosphate (as a specific example, product number MR-260 manufactured by Daihachi Kogyo Co., Ltd.), and Showa Polymer Co., Ltd. HFA series (particularly HFA-6003, which is an addition reaction product of dipentaerystol hexaacrylate and HCA, and HFA-6007, an addition reaction product of caprolactone-modified dipentaerystol hexaacrylate and HCA. Part number HFA-3 03, and it may contain one or more compounds selected from the group consisting of HFA-6127, etc.).
不飽和化合物(B)が、プレポリマーを含有してもよい。プレポリマーは、例えばエチレン性不飽和結合を有するモノマーを重合させてからエチレン性不飽和基を付加して得られるプレポリマー、並びにオリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。オリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類は、例えばエポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコーン樹脂(メタ)アクリレート、及びスピラン樹脂(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 The unsaturated compound (B) may contain a prepolymer. The prepolymer is at least one selected from the group consisting of, for example, a prepolymer obtained by polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated bond and then adding an ethylenically unsaturated group, and oligo (meth) acrylate prepolymers These compounds can be contained. Oligo (meth) acrylate prepolymers include, for example, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, and spirane resin (meth) acrylate At least one component selected from the group consisting of:
光重合開始剤(C)は、例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。すなわち、感光性樹脂組成物は例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。この場合、感光性樹脂組成物がカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有するにもかかわらず、感光性樹脂組成物を紫外線で露光する場合に感光性樹脂組成物に高い感光性を付与できる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 The photopolymerization initiator (C) contains, for example, an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1). That is, the photosensitive resin composition contains, for example, an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1). In this case, although the photosensitive resin composition contains the carboxyl group-containing resin (A1), high photosensitivity can be imparted to the photosensitive resin composition when the photosensitive resin composition is exposed to ultraviolet rays. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.
アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)は、例えば2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−エチル−フェニル−フォスフィネート等のモノアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、並びにビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、(2,5,6−トリメチルベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。特にアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドを含有することが好ましく、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドのみを含有することも好ましい。 Acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is, for example, monoacyl such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-ethyl-phenyl-phosphinate Phosphine oxide photopolymerization initiator, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2 , 6-dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxyben Yl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine Contains one or more components selected from the group consisting of bisacylphosphine oxide photopolymerization initiators such as fin oxide and (2,5,6-trimethylbenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide it can. In particular, the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) preferably contains 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, and the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is 2, It is also preferred to contain only 4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide.
光重合開始剤(C)がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に加えてヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。すなわち感光性樹脂組成物がヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。この場合、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有しない場合と比べて、感光性樹脂組成物に更に高い感光性を付与できる。これにより、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に紫外線を照射して硬化させる場合、塗膜をその表面から深部に亘って十分に硬化させることが可能となる。ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)としては、例えば1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、フェニルグリオキシックアシッドメチルエステル、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン及び2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンが挙げられる。 The photopolymerization initiator (C) preferably contains a hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) in addition to the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1). That is, it is preferable that the photosensitive resin composition contains a hydroxyketone photopolymerization initiator (C2). In this case, higher photosensitivity can be imparted to the photosensitive resin composition as compared with the case where the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) is not contained. Thereby, when irradiating and hardening an ultraviolet-ray to the coating film formed from the photosensitive resin composition, it becomes possible to fully harden a coating film over the deep part from the surface. Examples of the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) include 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, phenylglyoxyc acid methyl ester, and 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy. 2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propane-1- On and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one.
アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)とヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)との質量比は、1:0.01〜1:10の範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜の表面付近における硬化性と深部における硬化性とを、バランス良く向上させることができる。 The mass ratio of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) and the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) is preferably in the range of 1: 0.01 to 1:10. In this case, the curability in the vicinity of the surface of the coating film formed from the photosensitive resin composition and the curability in the deep portion can be improved in a well-balanced manner.
光重合開始剤(C)がビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。すなわち、感光性樹脂組成物がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有し、或いはアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を部分的に露光してから現像する場合、露光されない部分の硬化が抑制されることで、解像性が特に高くなる。このため感光性樹脂組成物の硬化物で非常に微細なパターンを形成することが可能となる。特に、感光性樹脂組成物から多層プリント配線板の層間絶縁層を作製すると共にこの層間絶縁層にスルーホールのための小径の穴をフォトリソグラフィー法で設ける場合(図1参照)、小径の穴を精密且つ容易に形成することが可能となる。 It is also preferred that the photopolymerization initiator (C) contains bis (diethylamino) benzophenone (C3). That is, the photosensitive resin composition contains an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1) and bis (diethylamino) benzophenone (C3), or an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1), a hydroxyketone type. It is also preferable to contain a photopolymerization initiator (C2) and bis (diethylamino) benzophenone (C3). In this case, when developing after partially exposing the coating film formed from the photosensitive resin composition, the resolution is particularly enhanced by suppressing the curing of the unexposed portion. For this reason, it becomes possible to form a very fine pattern with the hardened | cured material of the photosensitive resin composition. In particular, when an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board is prepared from a photosensitive resin composition and a small-diameter hole for a through hole is provided in the interlayer insulating layer by a photolithography method (see FIG. 1), the small-diameter hole is formed. It becomes possible to form precisely and easily.
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に対して0.5〜20質量%の範囲内であることが好ましい。ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が0.5質量%以上であると、解像性が特に高くなる。また、ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が20質量%以下であると、感光性樹脂組成物の硬化物の電気絶縁性をビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が阻害しにくい。 Bis (diethylamino) benzophenone (C3) is preferably in the range of 0.5 to 20% by mass with respect to the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1). When bis (diethylamino) benzophenone (C3) is 0.5% by mass or more, the resolution is particularly high. Further, when the content of bis (diethylamino) benzophenone (C3) is 20% by mass or less, it is difficult for bis (diethylamino) benzophenone (C3) to inhibit the electrical insulation of the cured product of the photosensitive resin composition.
感光性樹脂組成物は、更に公知の光重合促進剤、増感剤等を含有してもよい。例えば感光性樹脂組成物は、ベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド等のベンゾフェノン類;2,4−ジイソプロピルキサントン等のキサントン類;並びに2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等の窒素原子を含む化合物からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、p−ジメチル安息香酸エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、2−ジメチルアミノエチルベンゾエート等の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤や増感剤等を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、必要に応じて、可視光露光用の光重合開始剤及び近赤外線露光用の光重合開始剤のうちの少なくとも一種を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、レーザ露光法用増感剤である7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン等のクマリン誘導体、カルボシアニン色素系、キサンテン色素系等を含有してもよい。 The photosensitive resin composition may further contain a known photopolymerization accelerator, sensitizer and the like. For example, the photosensitive resin composition includes benzoin and its alkyl ethers; acetophenones such as acetophenone and benzyldimethyl ketal; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone; 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2- Thioxanthones such as isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; benzophenones such as benzophenone and 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide; xanthones such as 2,4-diisopropylxanthone; Α-hydroxyketones such as hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone It can contain at least one component selected from the group consisting of compounds containing a nitrogen atom. The photosensitive resin composition is known together with a photopolymerization initiator (C), such as tertiary amines such as p-dimethylbenzoic acid ethyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, and 2-dimethylaminoethylbenzoate. You may contain a photoinitiator, a sensitizer, etc. If necessary, the photosensitive resin composition may contain at least one of a photopolymerization initiator for visible light exposure and a photopolymerization initiator for near-infrared exposure. The photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator (C) and a coumarin derivative such as 7-diethylamino-4-methylcoumarin that is a sensitizer for laser exposure, a carbocyanine dye system, a xanthene dye system, and the like. May be.
エポキシ化合物(D)は、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。エポキシ化合物(D)は、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有することが好ましい。エポキシ化合物(D)は、溶剤難溶性エポキシ化合物であってもよく、汎用の溶剤可溶性エポキシ化合物であってもよい。 The epoxy compound (D) can impart thermosetting properties to the photosensitive resin composition. The epoxy compound (D) preferably has at least two epoxy groups in one molecule. The epoxy compound (D) may be a solvent-insoluble epoxy compound or a general-purpose solvent-soluble epoxy compound.
エポキシ化合物(D)は、ビスフェノール型構造単位(d1)及び構造単位(d2)を有するエポキシ化合物(d)を含有する。エポキシ化合物(D)がエポキシ化合物(d)を含有することで、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱衝撃性を向上させることができる。 The epoxy compound (D) contains an epoxy compound (d) having a bisphenol type structural unit (d1) and a structural unit (d2). When the epoxy compound (D) contains the epoxy compound (d), the thermal shock resistance of the cured product of the photosensitive resin composition can be improved.
ビスフェノール型構造単位(d1)としては、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS由来の構造単位が挙げられる。ビスフェノール型構造単位(d1)としては、具体的には、これらの末端のOH基を除いた単位および以下の式(8)で表される単位が挙げられる。また、式(8)で表される単位中のフェニレン基及びフェニル基の一部が水素添加されていてもよい。更に、式(8)で表される単位中のフェニレン基及フェニル基は、炭化水素基、アルコキシル基、アリール基、アリールオキシ基、ヒドロキシル基などの置換基を有していてもよい。 Examples of the bisphenol type structural unit (d1) include structural units derived from bisphenol A, bisphenol F, and bisphenol S. The bisphenol type structural unit (d1), specifically, units represented by these terminal OH groups excluding units and the following equation (8) below. Moreover, a part of phenylene group and phenyl group in the unit represented by the formula (8) may be hydrogenated. Furthermore, the phenylene group and the phenyl group in the unit represented by the formula (8) may have a substituent such as a hydrocarbon group, an alkoxyl group, an aryl group, an aryloxy group, or a hydroxyl group.
構造単位(d2)は、炭素原子数4以上20以下の直鎖状炭化水素構造単位、及びエーテル酸素原子数3以上20以下のポリアルキレンエーテル構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1種からなる。 The structural unit (d2) is composed of at least one selected from the group consisting of a linear hydrocarbon structural unit having 4 to 20 carbon atoms and a polyalkylene ether structural unit having 3 to 20 ether oxygen atoms.
構造単位(d2)における炭素原子数4以上20以下の直鎖状炭化水素構造単位としては、−(CH2)y−のyが4以上20以下である構造単位である。yは、4〜10であるのが好ましい。なお、−(CH2)y−のyが4以上20以下である構造単位中の水素原子の代わりにヒドロキシル基などの置換基を有していてもよい。更に、−(CH2)y−のyが4以上20以下である構造単位中の水素原子の少なくとも1つが、炭化水素基、アルコキシル基、アリール基、アリールオキシ基などで置換されていてもよい。該置換基としての炭化水素及びアルコキシル基は炭素原子数が4以下であるのが好ましい。アリール基及びアリールオキシ基中のアリール基は、フェニル基であるのが好ましい。構造単位(d2)における炭素原子数4以上20以下の直鎖状炭化水素構造単位は、これらの置換基を、構造単位(d2)の可撓性を損なわない範囲で有していてもよい。 The linear hydrocarbon structural unit having 4 to 20 carbon atoms in the structural unit (d2) is a structural unit in which y of — (CH 2 ) y — is 4 to 20. y is preferably 4 to 10. Incidentally, - (CH 2) y - may have a substituent such as a hydroxyl group in place y is a hydrogen atom in the structural unit is 4 or more 20 or less. Furthermore, at least one hydrogen atom in the structural unit in which y of — (CH 2 ) y — is 4 or more and 20 or less may be substituted with a hydrocarbon group, an alkoxyl group, an aryl group, an aryloxy group, or the like. . The hydrocarbon and alkoxyl groups as the substituent preferably have 4 or less carbon atoms. The aryl group in the aryl group and aryloxy group is preferably a phenyl group. 20 following linear hydrocarbon structural unit having 4 or more carbon atoms in the structural unit (d2) is, these substituents may have a range that does not impair the flexibility of the structural units (d2).
構造単位(d2)におけるポリアルキレンエーテル構造単位としては、エーテル酸素原子数が3以上20以下、好ましくは3〜10である。構造単位(d2)におけるポリアルキレンエーテル構造単位としては、具体的にはエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド、イソブチレンオキサイド、ネオペンチレンオキサイド、テトラメチレンオキサイド等から選ばれる1種または複数のアルキレンオキサイドの重合体由来の構造単位が挙げられる。また、このアルキレンオキサイドの1つ以上の水素原子が例えばヒドロキシル基、アルコキシル基、アリール基、アリールオキシ基、炭化水素基などで置換されていてもよい。該置換基としての炭化水素及びアルコキシル基は炭素原子数が4以下であるのが好ましい。アリール基及びアリールオキシ基中のアリール基は、フェニル基であるのが好ましい。構造単位(d2)におけるポリアルキレンエーテル構造単位は、これらの置換基を、構造単位(d2)の可撓性を損なわない範囲で有していてもよい。 The polyalkylene ether structural unit in the structural unit (d2) has 3 to 20 ether oxygen atoms, preferably 3 to 10 ether atoms. Specific examples of the polyalkylene ether structural unit in the structural unit (d2) include one or more alkylene oxides selected from ethylene oxide, propylene oxide, butylene oxide, isobutylene oxide, neopentylene oxide, tetramethylene oxide, and the like. Examples include structural units derived from polymers. One or more hydrogen atoms of the alkylene oxide may be substituted with, for example, a hydroxyl group, an alkoxyl group, an aryl group, an aryloxy group, a hydrocarbon group, or the like. The hydrocarbon and alkoxyl groups as the substituent preferably have 4 or less carbon atoms. The aryl group in the aryl group and aryloxy group is preferably a phenyl group. Polyalkylene ether structural units in the structural units (d2) is, these substituents may have a range that does not impair the flexibility of the structural units (d2).
構造単位(d1)と構造単位(d2)とのモル比率は10:1〜1:5が好ましく、5:1〜1:3がより好ましい。構造単位(d1)のモル比率が上記範囲より高いと、エポキシ化合物(d)が十分な柔軟性を有さなくなり、感光性樹脂組成物の硬化物にクラックが発生しやすくなるおそれがある。また、構造単位(d1)のモル比率が上記範囲より低いと、エポキシ化合物(d)のTgが低すぎ、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性が低下するおそれがある。 The molar ratio between the structural unit (d1) and the structural unit (d2) is preferably 10: 1 to 1: 5, and more preferably 5: 1 to 1: 3. When the molar ratio of the structural unit (d1) is higher than the above range, the epoxy compound (d) does not have sufficient flexibility and the cured product of the photosensitive resin composition may be easily cracked. Moreover, when the molar ratio of the structural unit (d1) is lower than the above range, the Tg of the epoxy compound (d) is too low, and the heat resistance of the cured product of the photosensitive resin composition may be lowered.
エポキシ化合物(d)は、具体的には、以下の構造式(9−i)〜(9−iv)に示す何れかの1つ以上の構造を有することが好ましい。また、以下に示す構造式の複数の水酸基が架橋反応し、水酸基の酸素原子が不特定の構造を結節していてもよい。 Specifically, the epoxy compound (d) preferably has one or more structures represented by the following structural formulas (9-i) to (9-iv). Further, a plurality of hydroxyl groups in the structural formula shown below may undergo a crosslinking reaction, and the oxygen atom of the hydroxyl group may knot an unspecified structure.
構造式(9−i)〜(9−iv)中、Ar1、Ar2は、水素添加されていてもよい、置換基を有していてもよいビスフェノール型構造単位(d1)である。Ar1、Ar2は同一でも異なっていてもよい。Xは炭素原子数4以上20以下の直鎖状炭化水素基、及びエーテル酸素原子数1以上18以下のポリアルキレンエーテル構造からなる群より選ばれる少なくとも1種である。Xが炭素原子数4以上20以下の直鎖状炭化水素基の場合、Xが構造単位(d2)を構成する。Xがエーテル酸素原子数1以上18以下のポリアルキレンエーテル構造の場合は、−O−X−O−が構造単位(d2)を構成する。また、nは繰り返し単位の平均値で1〜30である。 In the structural formulas (9-i) to (9-iv), Ar 1 and Ar 2 are hydrogenated or optionally substituted bisphenol-type structural units (d1). Ar 1 and Ar 2 may be the same or different. X is at least one selected from the group consisting of a linear hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms and a polyalkylene ether structure having 1 to 18 ether oxygen atoms. When X is a linear hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, X constitutes the structural unit (d2). When X is a polyalkylene ether structure having 1 to 18 ether oxygen atoms, —O—X—O— constitutes the structural unit (d2). Moreover, n is an average value of a repeating unit and is 1-30.
このようなエポキシ化合物(d)を得る方法としては、所定のエポキシ樹脂に硬化剤を用いて硬化させる方法が挙げられる。 Examples of a method for obtaining such an epoxy compound (d) include a method of curing a predetermined epoxy resin using a curing agent.
この所定のエポキシ樹脂としては、上記のように構造単位(d1)及び(d2)を有するエポキシ化合物を使用する方法;構造単位(d1)を有するエポキシ化合物と、構造単位(d2)を有するエポキシ化合物とを組み合わせて使用する方法;構造単位(d1)を有するエポキシ化合物と、該エポキシ化合物に反応により構造単位(d2)を付与しうる鎖延長剤とを組み合わせて使用する方法などが挙げられる。 As this predetermined epoxy resin, a method using an epoxy compound having structural units (d1) and (d2) as described above; an epoxy compound having structural unit (d1) and an epoxy compound having structural unit (d2) And an epoxy compound having the structural unit (d1) and a chain extender that can impart the structural unit (d2) to the epoxy compound by a reaction.
エポキシ化合物(d)の具体例は、DIC株式会社製の品番EPICLON EXA4816、EPICLON EXA4822、三菱化学株式会社製の品番YL7175−500、YL7175−1000等が挙げられる。 Specific examples of the epoxy compound (d) include product numbers EPICLON EXA4816 and EPICLON EXA4822 manufactured by DIC Corporation, and product numbers YL7175-500 and YL7175-1000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.
ビスフェノール型構造単位(d1)及び構造単位(d2)を有するエポキシ化合物のエポキシ当量は、200〜800g/eqであることが好ましく、350〜650g/eqであることがより好ましい。 The epoxy equivalent of the epoxy compound having the bisphenol type structural unit (d1) and the structural unit (d2) is preferably 200 to 800 g / eq, and more preferably 350 to 650 g / eq.
エポキシ化合物(D)はエポキシ化合物(d)以外の化合物をさらに含有してもよい。その化合物はフェノールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLONN−775)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−695)、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLONN−865)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER1001)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER4004P)、ビスフェノールS型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLONEXA−1514)、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX4000)、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番NC−3000)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番ST−4000D)、ナフタレン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLONHP−4032、EPICLON HP−4700、EPICLON HP−4770)、ハイドロキノン型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学社製の品番YDC−1312)、ターシャリーブチルカテコール型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLONHP−820)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC製の品番EPICLON HP−7200)、アダマンタン型エポキシ樹脂(具体例として出光興産株式会社製の品番ADAMANTATEX−E−201)、ビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)、ビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、ビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ樹脂(具体例として式(7)に示す構造を有するエポキシ樹脂)、テトラキスフェノールエタン型エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番GTR−1800)、並びに特殊二官能型エポキシ樹脂(具体例として、DIC株式会社製の品番EPICLONTSR−960、EPICLON TER−601、EPICLON TSR−250−80BX、EPICLON 1650−75MPX、EPICLON EXA−4850及びEPICLONEXA−9726;新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−120TE)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−156)、並びに、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−136)からなる群から選択される一種以上の成分を含有することが好ましい。 The epoxy compound (D) may further contain a compound other than the epoxy compound (d). The compound is a phenol novolac type epoxy resin (specifically, product number EPICLONN-775 manufactured by DIC Corporation), a cresol novolak type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-695 manufactured by DIC Corporation), bisphenol A novolac type epoxy resin. (As a specific example, product number EPICLONN-865 manufactured by DIC Corporation), bisphenol A type epoxy resin (as a specific example, product number jER1001 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol F type epoxy resin (as a specific example, product number manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) jER4004P), bisphenol S type epoxy resin (specifically, product number EPICLONEXA-1514 manufactured by DIC Corporation), bisphenol AD type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin (specifically, Mitsubishi Chemical) (Product number YX4000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), biphenyl novolac type epoxy resin (specifically, product number NC-3000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), hydrogenated bisphenol A type epoxy resin (specifically, product number ST manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) -4000D), naphthalene type epoxy resins (specific examples: product numbers EPICLONP-4032, EPICLON HP-4700, EPICLON HP-4770, manufactured by DIC Corporation), hydroquinone type epoxy resins (specifications, product number YDC- manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) 1312), tertiary butyl catechol type epoxy resin (specific example, product number EPICLONP-820 manufactured by DIC Corporation), dicyclopentadiene type epoxy resin (specific example, product number EPICLON HP-7200 manufactured by DIC), ADA Tantalum type epoxy resin (part number ADAMANTEX-E-201 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), bisphenol type epoxy resin (part number YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), biphenyl ether type epoxy resin (specific example Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. product number YSLV-80DE), epoxy resin having a bisphenolfluorene skeleton (an epoxy resin having a structure represented by formula (7) as a specific example), tetrakisphenolethane type epoxy resin (as a specific example, Nippon Kayaku Product number GTR-1800 manufactured by Co., Ltd.) and special bifunctional epoxy resin (specific examples: product numbers EPICLONTSR-960, EPICLON TER-601, EPICLON TSR-250-80BX, EPICLON manufactured by DIC Corporation) 1650-75MPX, EPICLON EXA-4850 and EPICLONEXA-9726; product number YSLV-120TE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., rubber-like core-shell polymer-modified bisphenol A type epoxy resin (as a specific example, product number MX-156 manufactured by Kaneka Corporation) In addition, it is preferable to contain one or more components selected from the group consisting of rubber-like core-shell polymer-modified bisphenol F-type epoxy resins (specifically, product number MX-136 manufactured by Kaneka Corporation).
特にエポキシ化合物(D)が、1分子中に2個のエポキシ基を有する結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。結晶性エポキシ樹脂とは融点を有するエポキシ樹脂である。この場合、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上すると共に、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱衝撃性が向上する。1分子中に2個のエポキシ基を有する結晶性エポキシ樹脂は、例えばハイドロキノン型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学社製の品番YDC−1312)、ビフェニル型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX4000)、ビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、ビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)、及びビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ樹脂(具体例として式(7)に示す構造を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 In particular, the epoxy compound (D) preferably contains a crystalline epoxy resin having two epoxy groups in one molecule. A crystalline epoxy resin is an epoxy resin having a melting point. In this case, the developability of the photosensitive resin composition with the alkaline aqueous solution is particularly improved, and the thermal shock resistance of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Crystalline epoxy resins having two epoxy groups in one molecule are, for example, hydroquinone type epoxy resin (specifically, product number YDC-1312 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), biphenyl type epoxy resin (specifically, Mitsubishi Chemical Corporation). Manufactured product number YX4000), biphenyl ether type epoxy resin (specifically, product number YSLV-80DE manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), bisphenol type epoxy resin (specific example, product number YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), and bisphenolfluorene It can contain at least one component selected from the group consisting of epoxy resins having a skeleton (an epoxy resin having a structure represented by formula (7) as a specific example).
エポキシ化合物(D)がトリグリシジルイソシアヌレートを含有してもよい。トリグリシジルイソシアヌレートとしては、特にS−トリアジン環骨格面に対し3個のエポキシ基が同一方向に結合した構造をもつβ体が好ましく、或いはこのβ体と、S−トリアジン環骨格面に対し1個のエポキシ基が他の2個のエポキシ基と異なる方向に結合した構造をもつα体との混合物が好ましい。 The epoxy compound (D) may contain triglycidyl isocyanurate. The triglycidyl isocyanurate is preferably a β-form having a structure in which three epoxy groups are bonded in the same direction with respect to the S-triazine ring skeleton plane, or 1 for the β-form and the S-triazine ring skeleton plane. A mixture with an α-isomer having a structure in which one epoxy group is bonded to a different direction from the other two epoxy groups is preferable.
エポキシ化合物(D)がリン含有エポキシ樹脂を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有エポキシ樹脂としては、リン酸変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−9726、及びEPICLON EXA−9710)、新日鉄住金化学株式会社製の品番エポトートFX−305等が挙げられる。 The epoxy compound (D) may contain a phosphorus-containing epoxy resin. In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Examples of phosphorus-containing epoxy resins include phosphoric acid-modified bisphenol F-type epoxy resins (specifically, product numbers EPICLON EXA-9726 and EPICLON EXA-9710 manufactured by DIC Corporation), and product number Epototo FX-305 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Is mentioned.
感光性樹脂組成物はメラミン(E)を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物と銅などの金属との間の密着性が高くなる。このため、感光性樹脂組成物が、プリント配線板用の絶縁材料として特に適する。また、感光性樹脂組成物の硬化物の耐メッキ性、すなわち無電解ニッケル/金メッキ処理時の白化耐性が向上する。 The photosensitive resin composition may contain melamine (E). In this case, the adhesion between the cured product of the photosensitive resin composition and a metal such as copper is increased. For this reason, the photosensitive resin composition is particularly suitable as an insulating material for a printed wiring board. Moreover, the plating resistance of the cured product of the photosensitive resin composition, that is, the whitening resistance during the electroless nickel / gold plating process is improved.
感光性樹脂組成物は、有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤は、感光性樹脂組成物の液状化又はワニス化、粘度調整、塗布性の調整、造膜性の調整などの目的で使用される。 The photosensitive resin composition may contain an organic solvent. The organic solvent is used for the purpose of liquefaction or varnishing of the photosensitive resin composition, viscosity adjustment, application property adjustment, film formation property adjustment, and the like.
有機溶剤は、例えばエタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ヘキサノール、エチレングリコール等の直鎖、分岐、2級或いは多価のアルコール類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;スワゾールシリーズ(丸善石油化学社製)、ソルベッソシリーズ(エクソン・ケミカル社製)等の石油系芳香族系混合溶剤;セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類;カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;プロピレングリコールメチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエーテル類;ジプロピレングリコールメチルエーテル等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類;並びにジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。 Organic solvents include, for example, linear, branched, secondary or polyhydric alcohols such as ethanol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, hexanol and ethylene glycol; ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene Petroleum aromatic mixed solvents such as Swazol series (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) and Solvesso series (manufactured by Exxon Chemical Co.); cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve; Tolls; propylene glycol alkyl ethers such as propylene glycol methyl ether; polypropylene glycol alkyl ethers such as dipropylene glycol methyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, carb It can contain, as well as one or more compounds selected from the group consisting of dialkyl glycol ethers; Lumpur acid esters such as acetate.
感光性樹脂組成物中の成分の量は、感光性樹脂組成物が光硬化性を有しアルカリ性溶液で現像可能であるように、適宜調整される。 The amount of the component in the photosensitive resin composition is appropriately adjusted so that the photosensitive resin composition has photocurability and can be developed with an alkaline solution.
カルボキシル基含有樹脂(A)は、感光性樹脂組成物の固形分量に対して5〜85質量%の範囲内であれば好ましく、10〜75質量%の範囲内であればより好ましく、15〜70質量%の範囲内であれば更に好ましく、30〜60質量%の範囲内であれば特に好ましい。 The carboxyl group-containing resin (A) is preferably within a range of 5 to 85% by mass, more preferably within a range of 10 to 75% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition, and more preferably 15 to 70. If it is in the range of mass%, it is still more preferable, and if it exists in the range of 30-60 mass%, it is especially preferable.
不飽和化合物(B)は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して1〜50質量%の範囲内であれば好ましく、10〜45質量%の範囲内であればより好ましく、21〜40質量%の範囲内であれば更に好ましい。 The unsaturated compound (B) is preferably in the range of 1 to 50% by mass, more preferably in the range of 10 to 45% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A), and more preferably 21 to 40% by mass. If it is in the range, it is more preferable.
光重合開始剤(C)は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して0.1〜30質量%の範囲内であることが好ましく、1〜25質量%の範囲内であれば更に好ましい。 The photopolymerization initiator (C) is preferably in the range of 0.1 to 30% by mass and more preferably in the range of 1 to 25% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A).
エポキシ化合物(D)の量に関しては、エポキシ化合物(D)に含まれるエポキシ基の当量の合計が、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して0.7〜2.5の範囲内であることが好ましく、0.7〜2.3の範囲内であればより好ましく、0.7〜2.0の範囲内であれば更に好ましい。 Regarding the amount of the epoxy compound (D), the total equivalent of the epoxy groups contained in the epoxy compound (D) is 0.7 to 2.5 with respect to 1 equivalent of the carboxyl group contained in the carboxyl group-containing resin (A). Is preferably within the range of 0.7 to 2.3, more preferably within the range of 0.7 to 2.0.
エポキシ化合物(d)は、エポキシ化合物(D)に対して5〜100質量%の範囲内であることが好ましく、10〜80質量%の範囲内であればより好ましく、20〜70質量%の範囲内であれば更に好ましい。エポキシ化合物(d)の含有割合が上記範囲内であれば、感光性樹脂組成物の現像性を向上させ、さらに、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱衝撃性を向上させることができる。 The epoxy compound (d) is preferably in the range of 5 to 100% by mass relative to the epoxy compound (D), more preferably in the range of 10 to 80% by mass, and in the range of 20 to 70% by mass. If it is in, it is more preferable. If the content rate of an epoxy compound (d) exists in the said range, the developability of the photosensitive resin composition can be improved, and also the thermal shock resistance of the hardened | cured material of the photosensitive resin composition can be improved.
感光性樹脂組成物がメラミン(E)を含有する場合、メラミン(E)はカルボキシル基含有樹脂(A)に対して0.1〜10質量%の範囲内であることが好ましく、0.5〜5質量%の範囲内であれば更に好ましい。 When the photosensitive resin composition contains melamine (E), the melamine (E) is preferably in the range of 0.1 to 10% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A), 0.5 to More preferably within the range of 5% by mass.
感光性樹脂組成物が有機溶剤を含有する場合、有機溶剤の量は、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を乾燥させる際に速やかに有機溶剤が揮散するように、すなわち有機溶剤が乾燥膜に残存しないように、調整されることが好ましい。特に、感光性樹脂組成物全体に対して、有機溶剤が0〜99.5質量%の範囲内であることが好ましく、15〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。なお、有機溶剤の好適な割合は、塗布方法などにより異なるので、塗布方法に応じて割合が適宜調節されることが好ましい。 When the photosensitive resin composition contains an organic solvent, the amount of the organic solvent is determined so that the organic solvent is volatilized quickly when the coating film formed from the photosensitive resin composition is dried, that is, the organic solvent is dried. It is preferable to adjust so as not to remain in the film. In particular, the organic solvent is preferably in the range of 0 to 99.5% by mass and more preferably in the range of 15 to 60% by mass with respect to the entire photosensitive resin composition. In addition, since the suitable ratio of an organic solvent changes with application methods etc., it is preferable that a ratio is suitably adjusted according to the application method.
なお、固形分量とは、感光性樹脂組成物から溶剤などの揮発性成分を除いた、全成分の合計量のことである。 In addition, solid content is a total amount of all components remove | excluding volatile components, such as a solvent, from the photosensitive resin composition.
本発明の主旨を逸脱しない限りにおいて、感光性樹脂組成物は、上記成分以外の成分を更に含有してもよい。 Unless it deviates from the main point of this invention, the photosensitive resin composition may further contain components other than the said component.
例えば、感光性樹脂組成物が無機充填材を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される膜の硬化収縮が低減する。無機充填材は、例えば硫酸バリウム、結晶性シリカ、ナノシリカ、カーボンナノチューブ、タルク、ベントナイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、及び酸化チタンからなる群から選択される一種以上の材料を含有できる。無機充填材に酸化チタン、酸化亜鉛等の白色の材料を含有させることで、感光性樹脂組成物及びその硬化物を白色化してもよい。感光性樹脂組成物中の無機充填材の割合は適宜設定されるが、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して0〜300質量%の範囲内であることが好ましい。 For example, the photosensitive resin composition may contain an inorganic filler. In this case, the curing shrinkage of the film formed from the photosensitive resin composition is reduced. The inorganic filler can contain, for example, one or more materials selected from the group consisting of barium sulfate, crystalline silica, nano silica, carbon nanotubes, talc, bentonite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, and titanium oxide. You may whiten the photosensitive resin composition and its hardened | cured material by making an inorganic filler contain white materials, such as a titanium oxide and a zinc oxide. Although the ratio of the inorganic filler in the photosensitive resin composition is appropriately set, it is preferably in the range of 0 to 300% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A).
感光性樹脂組成物は、カプロラクタム、オキシム、マロン酸エステル等でブロックされたトリレンジイソシアネート系、モルホリンジイソシアネート系、イソホロンジイソシアネート系及びヘキサメチレンジイソシアネート系のブロックドイソシアネート;メラミン樹脂、n−ブチル化メラミン樹脂、イソブチル化メラミン樹脂、ブチル化尿素樹脂、ブチル化メラミン尿素共縮合樹脂、ベンゾグアナミン系共縮合樹脂等のアミノ樹脂;前記以外の各種熱硬化性樹脂;紫外線硬化性エポキシ(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、脂環型等のエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を付加して得られる樹脂;並びにジアリルフタレート樹脂、フェノキシ樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂等の高分子化合物からなる群から選択される一種以上の樹脂を含有してもよい。 Photosensitive resin composition comprising tolylene diisocyanate, morpholine diisocyanate, isophorone diisocyanate and hexamethylene diisocyanate blocked isocyanates blocked with caprolactam, oxime, malonic acid ester, etc .; melamine resin, n-butylated melamine resin , Amino resins such as isobutylated melamine resin, butylated urea resin, butylated melamine urea cocondensation resin, benzoguanamine cocondensation resin; various other thermosetting resins; ultraviolet curable epoxy (meth) acrylate; bisphenol A type , Resins obtained by adding (meth) acrylic acid to phenolic novolac type, cresol novolac type, alicyclic type epoxy resins; and diallyl phthalate resin, phenoxy resin, urethane resin, fluorine resin, etc. It may contain one or more resins that are selected from the group consisting of a polymer compound.
感光性樹脂組成物は、エポキシ化合物(D)を硬化させるための硬化剤を含有してもよい。硬化剤は、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物;アジピン酸ヒドラジド、セバシン酸ヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルフォスフィン等のリン化合物;酸無水物;フェノール;メルカプタン;ルイス酸アミン錯体;及びオニウム塩からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。これらの成分の市販品の例として、四国化成株式会社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)が挙げられる。 The photosensitive resin composition may contain a curing agent for curing the epoxy compound (D). Examples of the curing agent include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1- (2 Imidazole derivatives such as -cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, Amine compounds such as 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic hydrazide and sebacic acid hydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine; acid anhydrides; phenols; mercaptans; And It may contain one or more components selected from the group consisting um salt. Examples of commercially available products of these components include 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., U-CAT3503N, U manufactured by San Apro Co., Ltd. -CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof).
感光性樹脂組成物は、メラミン(E)以外の密着性付与剤を含有してもよい。密着性付与剤としては、例えばグアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、並びに2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体が、挙げられる。 The photosensitive resin composition may contain an adhesion-imparting agent other than melamine (E). Examples of the adhesion-imparting agent include guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl- Examples thereof include S-triazine derivatives such as 4,6-diamino-S-triazine / isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct.
感光性樹脂組成物は、硬化促進剤;着色剤;シリコーン、アクリレート等の共重合体;レベリング剤;シランカップリング剤等の密着性付与剤;チクソトロピー剤;重合禁止剤;ハレーション防止剤;難燃剤;消泡剤;酸化防止剤;界面活性剤;並びに高分子分散剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有してもよい。 Photosensitive resin composition includes curing accelerator; colorant; copolymer such as silicone and acrylate; leveling agent; adhesion imparting agent such as silane coupling agent; thixotropic agent; polymerization inhibitor; antihalation agent; One or more components selected from the group consisting of: an antifoaming agent, an antioxidant, a surfactant, and a polymer dispersant.
感光性樹脂組成物中のアミン化合物の含有量はできるだけ少ないことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層の電気絶縁性が損なわれにくい。特にカルボキシル基含有樹脂(A)に対してアミン化合物が6質量%以下であることが好ましく、4質量%以下であれば更に好ましい。 The content of the amine compound in the photosensitive resin composition is preferably as small as possible. In this case, the electrical insulation of the layer made of a cured product of the photosensitive resin composition is unlikely to be impaired. In particular, the amine compound is preferably 6% by mass or less, more preferably 4% by mass or less, based on the carboxyl group-containing resin (A).
上記のような感光性樹脂組成物の原料が配合され、例えば三本ロール、ボールミル、サンドミル等を用いる公知の混練方法によって混練されることにより、感光性樹脂組成物が調製され得る。感光性樹脂組成物の原料に液状の成分、粘度の低い成分等が含まれる場合には、原料のうち液状の成分、粘度の低い成分等を除く部分をまず混練し、得られた混合物に、液状の成分、粘度の低い成分等を加えて混合することで、感光性樹脂組成物を調製してもよい。 The raw material of the photosensitive resin composition as described above is blended, and the photosensitive resin composition can be prepared by kneading by a known kneading method using, for example, a three roll, ball mill, sand mill or the like. In the case where the raw material of the photosensitive resin composition contains a liquid component, a low viscosity component, etc., the part of the raw material excluding the liquid component, the low viscosity component, etc. is first kneaded, and the resulting mixture is The photosensitive resin composition may be prepared by adding and mixing a liquid component, a component having a low viscosity, and the like.
保存安定性等を考慮して、感光性樹脂組成物の成分の一部を混合することで第一剤を調製し、成分の残部を混合することで第二剤を調製してもよい。すなわち、感光性樹脂組成物は、第一剤と第二剤とを備えてもよい。この場合、例えば、感光性樹脂組成物の成分のうち不飽和化合物(B)及び有機溶剤の一部及び熱硬化性成分を予め混合して分散させることで第一剤を調製し、感光性樹脂組成物の成分のうち残部を混合して分散させることで第二剤を調製してもよい。この場合、適時必要量の第一剤と第二剤とを混合して混合液を調製し、この混合液を硬化させて硬化物を得ることができる。 In consideration of storage stability and the like, the first agent may be prepared by mixing a part of the components of the photosensitive resin composition, and the second agent may be prepared by mixing the rest of the components. That is, the photosensitive resin composition may include a first agent and a second agent. In this case, for example, the first agent is prepared by previously mixing and dispersing the unsaturated compound (B), a part of the organic solvent, and the thermosetting component among the components of the photosensitive resin composition. You may prepare a 2nd agent by mixing and disperse | distributing the remainder among the components of a composition. In this case, it is possible to prepare a mixed solution by mixing the necessary amount of the first agent and the second agent in a timely manner and curing the mixed solution to obtain a cured product.
本実施形態による感光性樹脂組成物は、プリント配線板用の電気絶縁性材料として適している。特に感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の、電気絶縁性の層を形成するために適している。 The photosensitive resin composition according to the present embodiment is suitable as an electrically insulating material for a printed wiring board. In particular, the photosensitive resin composition is suitable for forming an electrically insulating layer such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer.
感光性樹脂組成物が厚み25μmの皮膜に成形された場合に、皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることが好ましい。この場合、十分に厚みの大きい電気絶縁性の層を感光性樹脂組成物からフォトリソグラフィー法で作製することが可能であるため、感光性樹脂組成物を、プリント配線板における層間絶縁層、ソルダーレジスト層等を作製するために広く適用可能である。勿論、感光性樹脂組成物から厚み25μmより薄い電気絶縁性の層を作製することも可能である。 When the photosensitive resin composition is formed into a film having a thickness of 25 μm, the film is preferably developable with an aqueous sodium carbonate solution. In this case, since a sufficiently thick electrically insulating layer can be produced from the photosensitive resin composition by photolithography, the photosensitive resin composition is used as an interlayer insulating layer or solder resist in a printed wiring board. Widely applicable for producing layers and the like. Of course, it is also possible to produce an electrically insulating layer having a thickness of less than 25 μm from the photosensitive resin composition.
皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることは、次の方法で確認できる。適当な基材上に感光性樹脂組成物を塗布することで湿潤塗膜を形成し、この湿潤塗膜を80℃で40分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成する。この皮膜に紫外線を透過する露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを有するネガマスクを直接当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に500mJ/cm2の条件で紫外線を照射する。露光後の皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射する。この処理後の皮膜を観察した結果、皮膜における非露光部に対応する部分が除去されて残渣が認められない場合に、現像可能であると判断できる。 It can be confirmed by the following method that the film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution. A wet paint film is formed by applying the photosensitive resin composition on a suitable substrate, and this wet paint film is heated at 80 ° C. for 40 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. In a state where a negative mask having an exposed portion that transmits ultraviolet rays and a non-exposed portion that blocks ultraviolet rays is directly applied to the coating, the coating is irradiated with ultraviolet rays through the negative mask under the condition of 500 mJ / cm 2 . A 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is sprayed for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa on the film after exposure, and then pure water is sprayed for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa. As a result of observing the film after this treatment, it can be determined that development is possible when a portion corresponding to the non-exposed part of the film is removed and no residue is observed.
以下に、本実施形態による感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を、図1Aから図1Eを参照して説明する。本方法では、層間絶縁層にフォトリソグラフィー法でスルーホールを形成する。 Below, an example of the method of manufacturing a printed wiring board provided with the interlayer insulation layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition by this embodiment is demonstrated with reference to FIG. 1A to FIG. 1E. In this method, a through hole is formed in the interlayer insulating layer by photolithography.
まず、図1Aに示すようにコア材1を用意する。コア材1は、例えば少なくとも一つの絶縁層2と少なくとも一つの導体配線3とを備える。コア材1の一面上に設けられている導体配線3を、以下、第一の導体配線3という。図1Bに示すように、コア材1の第一の導体配線3が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜4を形成する。皮膜4の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。
First, the
塗布法では、例えばコア材1上に感光性樹脂組成物を塗布して湿潤塗膜を形成する。感光性樹脂組成物の塗布方法は、公知の方法、例えば浸漬法、スプレー法、スピンコート法、ロールコート法、カーテンコート法、及びスクリーン印刷法からなる群から選択される。続いて、感光性樹脂組成物中の有機溶剤を揮発させるために、例えば60〜120℃の範囲内の温度下で湿潤塗膜を乾燥させて、皮膜4を得ることができる。
In the coating method, for example, a photosensitive resin composition is coated on the
ドライフィルム法では、まずポリエステル製などの適宜の支持体上に感光性樹脂組成物を塗布してから乾燥することで、支持体上に感光性樹脂組成物を含むドライフィルムを形成する。これにより、ドライフィルムと、ドライフィルムを支持する支持体とを備える支持体付きドライフィルムが得られる。この支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、ドライフィルムとコア材1に圧力をかけ、続いて支持体をドライフィルムから剥離することで、ドライフィルムを支持体上からコア材1上へ転写する。これにより、コア材1上に、ドライフィルムからなる皮膜4が設けられる。
In the dry film method, first, a photosensitive resin composition is applied on an appropriate support made of polyester or the like, and then dried to form a dry film containing the photosensitive resin composition on the support. Thereby, the dry film with a support provided with a dry film and the support body which supports a dry film is obtained. In this dry film with a support, the dry film is laminated on the
皮膜4を露光することで図1Cに示すように部分的に光硬化させる。そのために、例えばネガマスクを皮膜4に当てがってから、ネガマスクを介して皮膜4に紫外線を照射する。ネガマスクは、紫外線を透過させる露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを備え、非露光部はスルーホール10の位置と合致する位置に設けられる。ネガマスクは、例えばマスクフィルム、乾板等のフォトツールである。紫外線の光源は、例えばケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ及びメタルハライドランプからなる群から選択される。
The
なお、露光方法として、ネガマスクを用いる方法以外の方法が採用されてもよい。例えば光源から発せられる紫外線を皮膜4上の露光すべき部分のみに照射する直接描画法で皮膜を露光してもよい。直接描画法に適用される光源は、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、並びにg線、h線及びi線のうちの二種以上の組み合わせからなる群から選択される。
As an exposure method, a method other than a method using a negative mask may be employed. For example, the film may be exposed by a direct drawing method in which ultraviolet rays emitted from a light source are irradiated only on a portion to be exposed on the
また、ドライフィルム法では、支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、支持体を剥離することなく、支持体を透過させて紫外線をドライフィルムからなる皮膜4に照射することで皮膜4を露光し、続いて現像処理前に皮膜4から支持体を剥離してもよい。
In the dry film method, after the dry film in the dry film with the support is stacked on the
続いて、皮膜4に現像処理を施すことで、図1Cに示す皮膜4の露光されていない部分5を除去し、これにより、図1Dに示すようにスルーホール10が形成される位置に穴6を設ける。現像処理では、感光性樹脂組成物の組成に応じた適宜の現像液を使用できる。現像液は、例えばアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液、又は有機アミンである。アルカリ性水溶液は、より具体的には例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム及び水酸化リチウムからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。アルカリ性水溶液中の溶媒は、水のみであっても、水と低級アルコール類等の親水性有機溶媒との混合物であってもよい。有機アミンは、例えばモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン及びトリイソプロパノールアミンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。
Subsequently, the
現像液は、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液であることが好ましく、炭酸ナトリウム水溶液であることが特に好ましい。この場合、作業環境の向上及び廃棄物処理の負担軽減を達成できる。 The developer is preferably an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, and particularly preferably an aqueous sodium carbonate solution. In this case, it is possible to improve the work environment and reduce the burden of waste disposal.
続いて、皮膜4を加熱することで熱硬化させる。加熱の条件は、例えば加熱温度120〜200℃の範囲内、加熱時間30〜120分間の範囲内である。このようにして皮膜4を熱硬化させると、層間絶縁層7の強度、硬度、耐薬品性等の性能が向上する。
Subsequently, the
必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜4に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜4の光硬化を更に進行させることができる。
If necessary, the
以上により、コア材1上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層間絶縁層7が設けられる。この層間絶縁層7上に、アディティブ法などの公知の方法で、第二の導体配線8及びホールめっき9を設けることができる。これにより、図1Eに示すように、第一の導体配線3、第二の導体配線8、第一の導体配線3と第二の導体配線8との間に介在する層間絶縁層7、並びに第一の導体配線3と第二の導体配線8とを電気的に接続するスルーホール10を備えるプリント配線板11が得られる。なお、図1Eにおいて、ホールめっき9は穴6の内面を覆う筒状の形状を有するが、穴6の内側全体にホールめっき9が充填されていてもよい。
As described above, the interlayer insulating layer 7 made of a cured product of the photosensitive resin composition is provided on the
本実施形態による感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を説明する。 An example of a method for producing a printed wiring board having a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition according to the present embodiment will be described.
まず、コア材を用意する。コア材は、例えば少なくとも一つの絶縁層と少なくとも一つの導体配線とを備える。コア材の導体配線が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜を形成する。皮膜の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。塗布法とドライフィルム法としては、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。皮膜を露光することで部分的に光硬化させる。露光方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。続いて、皮膜に現像処理を施すことで、皮膜の露光されていない部分を除去し、これにより、コア材上に、皮膜の露光された部分が残存する。続いて、コア材上の皮膜を加熱することで熱硬化させる。現像方法及び加熱方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜の光硬化を更に進行させることができる。 First, a core material is prepared. The core material includes, for example, at least one insulating layer and at least one conductor wiring. A film is formed from the photosensitive resin composition on the surface of the core material where the conductor wiring is provided. Examples of the method for forming the film include a coating method and a dry film method. As the coating method and the dry film method, the same method as that for forming the interlayer insulating layer can be employed. The film is partially photocured by exposure. The exposure method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. Subsequently, the film is subjected to a development process to remove the unexposed part of the film, whereby the exposed part of the film remains on the core material. Subsequently, the coating on the core material is heated and cured. The developing method and the heating method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. If necessary, the film may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, photocuring of the film can be further advanced.
以上により、コア材上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなるソルダーレジスト層が設けられる。これにより、絶縁層とその上の導体配線とを備えるコア材、並びにコア材における導体配線が設けられている面を部分的に覆うソルダーレジスト層を備える、プリント配線板が得られる。 By the above, the soldering resist layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition is provided on a core material. Thereby, a printed wiring board provided with the core material provided with an insulating layer and the conductor wiring on it, and the soldering resist layer which partially covers the surface in which the conductor wiring in a core material is provided is obtained.
(1)カルボキシル基含有樹脂の合成
還流冷却器、温度計、空気吹き込み管及び攪拌機を取付けた四つ口フラスコ内に、表1中の「第一反応」欄に示す成分を加えて、これらをエアバブリング下で攪拌することで混合物を調製した。この混合物をフラスコ内でエアバブリング下で攪拌しながら、「反応条件」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、中間体の溶液を調製した。
(1) Synthesis of carboxyl group-containing resin Into a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, an air blowing tube, and a stirrer, the components shown in the “First Reaction” column of Table 1 were added. A mixture was prepared by stirring under air bubbling. While stirring this mixture in the flask under air bubbling, the mixture was heated at the reaction temperature and reaction time shown in the “Reaction Conditions” column. This prepared an intermediate solution.
続いて、フラスコ内の中間体の溶液に表1の「第二反応」欄に示す成分を投入し、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(1)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。続いて、合成例B−1を除き、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(2)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、カルボキシル基含有樹脂の65質量%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量及び酸価は表1中に示す通りである。成分間のモル比も表1に示している。 Subsequently, the components shown in the “second reaction” column of Table 1 were added to the intermediate solution in the flask, and the reaction temperature and reaction time shown in the “reaction conditions (1)” column were stirred while air bubbling. Heated. Subsequently, with the exception of Synthesis Example B-1, the mixture was heated at the reaction temperature and reaction time shown in the column “Reaction Conditions (2)” while stirring under air bubbling. This obtained a 65 mass% solution of carboxyl group-containing resin. The weight average molecular weight and acid value of the carboxyl group-containing resin are as shown in Table 1. The molar ratio between the components is also shown in Table 1.
なお、表1中の(a1)欄に示す成分の詳細は次の通りである。
・エポキシ化合物1:式(7)で示され、式(7)中のR1〜R8がすべて水素であるエポキシ当量250g/eqのビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物。
・エポキシ化合物2:式(7)で示され、式(7)中のR1及びR5がいずれもメチル基、R2〜R4及びR6〜R8がいずれも水素であるエポキシ当量279g/eqのビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物。
In addition, the detail of the component shown in the (a1) column of Table 1 is as follows.
Epoxy compound 1: A bisphenolfluorene type epoxy compound having an epoxy equivalent of 250 g / eq represented by the formula (7) and in which R 1 to R 8 in the formula (7) are all hydrogen.
Epoxy compound 2: epoxy equivalent 279 g represented by the formula (7), wherein R 1 and R 5 in the formula (7) are all methyl groups, and R 2 to R 4 and R 6 to R 8 are all hydrogen / Eq bisphenolfluorene type epoxy compound.
(2)感光性樹脂組成物の調製
後掲の表2〜4に示す成分を、3本ロールで混練してから、フラスコ内で溶解させあるいは撹拌混合することで、感光性樹脂組成物を得た。尚、表2〜4に示される成分の詳細は次の通りである。尚、結晶性エポキシ化合物は、予めジェットミル或いは乳鉢により、平均粒径が20μm以下となるように粉砕した。
・不飽和化合物A:トリメチロールプロパントリアクリレート
・不飽和化合物B:ε−カプロラクトン変性ペンタエリストールヘキサアクリレート、日本化薬株式会社製、品番DPCA−60
・不飽和化合物C: トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、新中村化学工業株式会社製、品番A−DCP
・光重合開始剤A:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、BASF社製、品番Irgacure TPO
・光重合開始剤B:1−ヒドロキシ-シクロヘキシル−フェニル−ケトン、BASF社製、品番Irgacure 184
・光重合開始剤C:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
・結晶性エポキシ樹脂A:1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(高融点タイプ)、融点150〜158℃、エポキシ当量99g/eq
・結晶性エポキシ樹脂B:ハイドロキノン型結晶性エポキシ樹脂、新日鉄住金化学株式会社製の品名YDC−1312、融点138〜145℃、エポキシ当量176g/eq
・結晶性エポキシ樹脂C:ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂、三菱化学株式会社製の品名YX−4000、融点105℃、エポキシ当量187g/eq
・結晶性エポキシ樹脂D:ビフェニルエーテル型結晶性エポキシ樹脂、新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE、融点80〜90℃、エポキシ当量163g/eq
・結晶性エポキシ樹脂E:ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂。新日鉄住金化学株式会社製の品名YSLV−80XY、融点75〜85℃、192g/eq
・非晶性エポキシ樹脂溶液A:クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、DIC製、品番EPICLON N−695、軟化点90〜100℃、エポキシ当量214g/eqを固形分75%でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解した溶液(固形分75%換算のエポキシ当量は、285g/eq)
・非晶性エポキシ樹脂溶液B:非晶性のビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、日本化薬株式会社製の品名NC−3000、軟化点53〜63℃、エポキシ当量280g/eqを固形分80%でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解した溶液(固形分80%換算のエポキシ当量は、350g/eq)
・特定構造を有するエポキシ樹脂溶液A:長鎖炭素鎖含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC製、品番EPICLON EXA−4816、液状樹脂、エポキシ当量410g/eq、構造単位(d1):ビスフェノールA骨格、構造単位(d2):炭素原子数6の直鎖状炭化水素を含む)を固形分90%でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解した溶液(固形分90%換算のエポキシ当量は、455.56g/eq)
・特定構造を有する非晶性エポキシ樹脂溶液B:長鎖炭素鎖含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC製、品番EPICLON EXA−4822、液状樹脂、エポキシ当量389g/eq、構造単位(d1):ビスフェノールA骨格、構造単位(d2):ポリエチレングリコール、エーテル酸素原子数:4)を固形分85%ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解した溶液(固形分85%換算のエポキシ当量は、457.65g/eq)
・メラミン(E):日産化学工業株式会社製、微粉メラミン
・酸化防止剤:ヒンダードフェノール系酸化防止剤、BASF社製、品番IRGANOX 1010
・青色顔料:フタロシアニンブルー
・黄色顔料:1,1'-[(6-フェニル-1,3,5-トリアジン-2,4-ジイル)ビス(イミノ)]ビス(9,10-アントラセンジオン)
・硫酸バリウム:堺化学工業株式会社製、品番バリエースB31
・タルク:日本タルク社製、品番SG−2000
・ベントナイト:レオックス社製、品番ベントンSD−2
・消泡剤:信越シリコーン株式会社製、品番KS−66
・界面活性剤:DIC製、品番メガファックF−477
・レオロジーコントロール剤:ビッグケミー・ジャパン株式会社製、品番BYK−430
・溶剤A:ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート
・溶剤B:メチルエチルケトン
(3)テストピースの作製
実施例20を除く各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を用いる場合は、次のようにしてテストピースを作製した。
(2) Preparation of photosensitive resin composition The components shown in Tables 2 to 4 below are kneaded with three rolls, and then dissolved or stirred in the flask to obtain a photosensitive resin composition. It was. In addition, the detail of the component shown by Tables 2-4 is as follows. The crystalline epoxy compound was previously pulverized with a jet mill or a mortar so that the average particle size was 20 μm or less.
Unsaturated compound A: trimethylolpropane triacrylate Unsaturated compound B: ε-caprolactone modified pentaerythrole hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., part number DPCA-60
Unsaturated compound C: Tricyclodecane dimethanol diacrylate, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product number A-DCP
Photopolymerization initiator A: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, manufactured by BASF, product number Irgacure TPO
Photopolymerization initiator B: 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, manufactured by BASF, product number Irgacure 184
Photopolymerization initiator C: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone Crystalline epoxy resin A: 1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2, 4,6 (1H, 3H, 5H) -trione (high melting type), melting point 150-158 ° C., epoxy equivalent 99 g / eq
Crystalline epoxy resin B: Hydroquinone type crystalline epoxy resin, product name YDC-1312 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., melting point 138-145 ° C., epoxy equivalent 176 g / eq
Crystalline epoxy resin C: Biphenyl type crystalline epoxy resin, product name YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, melting point 105 ° C., epoxy equivalent 187 g / eq
Crystalline epoxy resin D: Biphenyl ether type crystalline epoxy resin, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., product number YSLV-80DE, melting point 80-90 ° C., epoxy equivalent 163 g / eq
Crystalline epoxy resin E: Bisphenol type crystalline epoxy resin. Product name YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., melting point 75-85 ° C., 192 g / eq
Amorphous epoxy resin solution A: Cresol novolak type epoxy resin, manufactured by DIC, product number EPICLON N-695, softening point 90-100 ° C., epoxy equivalent 214 g / eq dissolved in diethylene glycol monoethyl ether acetate at a solid content of 75% Solution (epoxy equivalent of 75% solid content is 285 g / eq)
Amorphous epoxy resin solution B: Amorphous biphenyl novolac type epoxy resin, Nippon Kayaku Co., Ltd. product name NC-3000, softening point 53-63 ° C., epoxy equivalent 280 g / eq at a solid content of 80%, diethylene glycol Solution dissolved in monoethyl ether acetate (epoxy equivalent in terms of solid content of 80% is 350 g / eq)
Epoxy resin solution A having a specific structure: long-chain carbon chain-containing bisphenol A type epoxy resin (manufactured by DIC, part number EPICLON EXA-4816, liquid resin, epoxy equivalent 410 g / eq, structural unit (d1): bisphenol A skeleton, structure A solution of unit (d2): containing a straight-chain hydrocarbon having 6 carbon atoms dissolved in diethylene glycol monoethyl ether acetate at a solid content of 90% (epoxy equivalent in terms of solid content of 90% is 455.56 g / eq)
Amorphous epoxy resin solution B having a specific structure: long-chain carbon chain-containing bisphenol A type epoxy resin (manufactured by DIC, product number EPICLON EXA-4822, liquid resin, epoxy equivalent 389 g / eq, structural unit (d1): bisphenol A Solution in which skeleton, structural unit (d2): polyethylene glycol, ether oxygen atom number: 4) is dissolved in 85% solid content diethylene glycol monoethyl ether acetate (epoxy equivalent in terms of solid content 85% is 457.65 g / eq)
Melamine (E): manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., fine powdered melamine, antioxidant: hindered phenol antioxidant, manufactured by BASF, product number IRGANOX 1010
-Blue pigment: phthalocyanine blue-Yellow pigment: 1,1 '-[(6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diyl) bis (imino)] bis (9,10-anthracenedione)
Barium sulfate: manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., product number Variace B31
-Talc: manufactured by Nippon Talc Co., Ltd., part number SG-2000
Bentonite: manufactured by Leox, part number Benton SD-2
Antifoaming agent: manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.
・ Surfactant: manufactured by DIC, part number MegaFuck F-477
-Rheology control agent: manufactured by Big Chemie Japan, part number BYK-430
-Solvent A: Diethylene glycol monoethyl ether acetate-Solvent B: Methyl ethyl ketone (3) Preparation of test piece When using the photosensitive resin compositions of Examples and Comparative Examples other than Example 20, test pieces were as follows. Was made.
厚み35μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の導体配線における厚み1μm程度の表層部分を、メック株式会社製の品番CZ−8100で溶解除去することにより、導体配線を粗化した。このコア材の一面全面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分加熱して予備乾燥することで、膜厚25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、直径50μmの円形形状を含むパターンを有する非露光部を有するネガマスクを直接当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に500mJ/cm2の条件で紫外線を照射した。露光後の皮膜に現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。続いて皮膜に純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射することで洗浄した。これにより、皮膜における露光されていない部分を除去して、穴を形成した。続いて、皮膜に160℃で60分間加熱してから、更に1000mJ/cm2の条件で紫外線を照射した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper clad laminate (FR-4 type) provided with a 35 μm thick copper foil was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. The conductor layer was roughened by dissolving and removing a surface layer portion having a thickness of about 1 μm in the conductor wire of the core material with a product number CZ-8100 manufactured by MEC Co., Ltd. A wet paint film was formed by applying the photosensitive resin composition to the entire surface of the core material by screen printing. This wet coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes and preliminarily dried to form a film having a thickness of 25 μm. In a state where a negative mask having a non-exposed portion having a pattern including a circular shape with a diameter of 50 μm was directly applied to this film, the film was irradiated with ultraviolet rays through the negative mask under the condition of 500 mJ / cm 2 . The exposed film was developed. In the development process, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed onto the film for 90 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa. Subsequently, the film was cleaned by spraying pure water with a spray pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. Thereby, the part which was not exposed in a film | membrane was removed, and the hole was formed. Subsequently, the film was heated at 160 ° C. for 60 minutes and further irradiated with ultraviolet rays under the condition of 1000 mJ / cm 2 . Thereby, the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition was formed on the core material. As a result, a test piece was obtained.
実施例20の感光性樹脂組成物を用いる場合は、次のようにしてテストピースを作製した。 When using the photosensitive resin composition of Example 20, the test piece was produced as follows.
感光性樹脂組成物を、ポリエチレンテレフタレート製のフィルム上にアプリケータで塗布してから、95℃で25分加熱することで乾燥させることにより、フィルム上に厚み25μmのドライフィルムを形成した。 The photosensitive resin composition was coated on a polyethylene terephthalate film with an applicator and then dried by heating at 95 ° C. for 25 minutes to form a dry film having a thickness of 25 μm on the film.
厚み35μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の導体配線における厚み1μm程度の表層部分を、メック株式会社製の品番CZ−8100で溶解除去することにより、導体配線を粗化した。このコア材の一面全面にドライフィルムを真空ラミネーターで加熱ラミネートした。加熱ラミネートの条件は、0.5MPa、80℃、1分間である。これにより、コア材上にドライフィルムからなる膜厚25μmの皮膜を形成した。この皮膜に対し、上記の場合と同じ条件で露光、現像及び紫外線照射の処理を施した。なお、露光後、現像前に、ドライフィルム(皮膜)からなるポリエチレンテレフタレート製のフィルムを剥離した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物(ドライフィルムの硬化物ともいえる)からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper clad laminate (FR-4 type) provided with a 35 μm thick copper foil was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. The conductor layer was roughened by dissolving and removing a surface layer portion having a thickness of about 1 μm in the conductor wire of the core material with a product number CZ-8100 manufactured by MEC Co., Ltd. A dry film was laminated by heating with a vacuum laminator over the entire surface of the core material. The conditions for heat lamination are 0.5 MPa, 80 ° C., and 1 minute. As a result, a 25 μm-thick film made of a dry film was formed on the core material. The film was exposed, developed and irradiated with ultraviolet light under the same conditions as described above. In addition, the film made from the polyethylene terephthalate which consists of a dry film (film | membrane) was peeled after exposure and before image development. Thereby, the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition (it can also be said to be hardened | cured material of a dry film) was formed on the core material. As a result, a test piece was obtained.
(4)評価試験
(4−1)タック性
実施例20を除く各実施例及び比較例について、テストピースの作製時に、皮膜の露光後に皮膜からネガマスクを取り外す際の皮膜の粘着性の程度を、次に示すように評価した。
A:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられず、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められない。
B:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられ、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められた。
C:皮膜からネガマスクを取り外すことが困難であり、無理にネガマスクを取り外すと皮膜が破損した。
(4) Evaluation test (4-1) Tackiness For each of the examples and comparative examples except Example 20, when producing a test piece, the degree of adhesiveness of the film when removing the negative mask from the film after exposure of the film, Evaluation was performed as follows.
A: Resistance is not felt when removing the negative mask from the film, and no sticking marks are observed on the film after the negative mask is removed.
B: Resistance was felt when the negative mask was removed from the film, and sticking marks were observed on the film after the negative mask was removed.
C: It was difficult to remove the negative mask from the film, and the film was damaged when the negative mask was forcibly removed.
なお、タック性評価がCである比較例8及び9については、(4−3)〜(4−8)の評価を行っていない。また、実施例20については、ドライフィルムから皮膜を形成したため、タック性の評価を行っていない。 In addition, about Comparative Examples 8 and 9 whose tackiness evaluation is C, (4-3) to (4-8) are not evaluated. Moreover, about Example 20, since the membrane | film | coat was formed from the dry film, tackiness evaluation was not performed.
(4−2)現像性
実施例20を除く各実施例及び比較例について、プリント配線板の一面全面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分又は60分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、露光することなく現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。処理後のプリント配線板を観察し、その結果を次のように評価した。
A:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜が全て除去されている。
B:湿潤塗膜の加熱時間が40分である場合には皮膜が全て除去されたが、60分では皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
C:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
(4-2) Developability For each of Examples and Comparative Examples except Example 20, a wet coating film was formed by applying the photosensitive resin composition to the entire surface of the printed wiring board by a screen printing method. This wet coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes or 60 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. This film was developed without exposure. In the development process, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was jetted for 90 seconds at a jet pressure of 0.2 MPa, and then pure water was jetted for 90 seconds at a jet pressure of 0.2 MPa. The printed wiring board after the treatment was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The film was completely removed regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.
B: When the heating time of the wet coating film was 40 minutes, all the coating film was removed, but at 60 minutes, a part of the coating film remained on the printed wiring board.
C: A part of the film remained on the printed wiring board regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.
なお、現像性の評価がCである比較例4、5、6及び7については、(4−3)〜(4−8)の評価を行っていない。また、実施例20については、ドライフィルムから皮膜を形成したため、現像性の評価を行っていない。実施例20においては、露光後の現像工程において、問題なく現像できている。 For Comparative Examples 4, 5, 6, and 7 where the evaluation of developability is C, the evaluations of (4-3) to (4-8) are not performed. Moreover, about Example 20, since the membrane | film | coat was formed from the dry film, developability evaluation was not performed. In Example 20, development was possible without problems in the development step after exposure.
(4−3)解像性
各実施例及び比較例について、テストピースにおける硬化物からなる層に形成された穴を観察し、その結果を次のように評価した。
A:穴の底の直径が40μm以上である。
B:穴の底の直径が25μm以上40μm未満である。
C:穴の底の直径が25μm未満であり、或いは明確な穴が形成されない。
(4-3) Resolution About each Example and the comparative example, the hole formed in the layer which consists of hardened | cured material in a test piece was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The diameter of the bottom of the hole is 40 μm or more.
B: The diameter of the bottom of the hole is 25 μm or more and less than 40 μm.
C: The diameter of the bottom of the hole is less than 25 μm, or no clear hole is formed.
(4−4)耐メッキ性
各実施例及び比較例のテストピースの導体配線における外部に露出する部分の上に、市販の無電解ニッケルメッキ浴を用いてニッケルメッキ層を形成してから、市販の無電解金メッキ浴を用いて金メッキ層を形成した。これにより、ニッケルメッキ層及び金メッキ層からなる金属層を形成した。硬化物からなる層及び金属層を目視で観察した。また、硬化物からなる層に対してセロハン粘着テープ剥離試験をおこなった。その結果を次のように評価した。
A:硬化物からなる層及び金属層の外観に異常は認められず、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
B:硬化物からなる層に変色が認められるが、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
C:硬化物からなる層の浮き上がりが認められ、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離が生じた。
(4-4) Plating resistance After a nickel plating layer is formed using a commercially available electroless nickel plating bath on the portion of the conductor wiring of the test piece of each example and comparative example that is exposed to the outside, it is commercially available. A gold plating layer was formed using an electroless gold plating bath. This formed the metal layer which consists of a nickel plating layer and a gold plating layer. The layer and metal layer which consisted of hardened | cured material were observed visually. Moreover, the cellophane adhesive tape peeling test was done with respect to the layer which consists of hardened | cured material. The results were evaluated as follows.
A: No abnormality was observed in the appearance of the layer made of the cured product and the metal layer, and peeling of the layer made of the cured product by the cellophane adhesive tape peeling test did not occur.
B: Although discoloration was recognized in the layer which consists of hardened | cured materials, peeling of the layer which consists of hardened | cured materials by the cellophane adhesive tape peeling test did not arise.
C: Lifting of the layer made of the cured product was observed, and peeling of the layer made of the cured product by the cellophane adhesive tape peeling test occurred.
(4−5)線間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける導体配線(くし型電極)にDC30Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に150時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層のくし型電極間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から150時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から100時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から150時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から100時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-5) Insulation between lines While applying a bias voltage of DC 30 V to the conductor wiring (comb electrode) in the test pieces of the examples and comparative examples, the test piece was set at 121 ° C. and 97% R.D. H. The test environment was exposed for 150 hours. The electrical resistance value between the comb-type electrodes of the cured product layer in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 150 hours passed from the start of the test.
B: The electric resistance value was always maintained at 10 6 Ω or more until 100 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 150 hours passed from the start of the test.
C: The electric resistance value was less than 10 6 Ω before 100 hours passed from the start of the test.
(4−6)層間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける硬化物からなる層の上に導電テープを貼り付けた。この導電テープにDC100Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に60時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層の導体配線と導電テープとの間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から60時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から50時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から60時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から50時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-6) Interlayer insulation The conductive tape was affixed on the layer which consists of hardened | cured material in the test piece of each Example and a comparative example. While applying a bias voltage of DC 100 V to the conductive tape, the test piece was placed at 121 ° C. and 97% R.D. H. The test environment was exposed for 60 hours. The electrical resistance value between the conductive wiring of the layer made of the cured product and the conductive tape in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 60 hours passed from the start of the test.
B: The electric resistance value was always maintained at 10 6 Ω or more until 50 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 60 hours passed from the start of the test.
C: The electric resistance value was less than 10 6 Ω before 50 hours passed from the start of the test.
(4−7)プレッシャークッカー試験(PCT)
各実施例及び比較例のテストピースを121℃、100%R.H.の環境下で100時間放置した後、硬化物からなる膜の外観を次の評価基準により評価した。
A:硬化物からなる層に異常は見られなかった。
B:硬化物からなる層に変色が見られた。
C:硬化物からなる層に大きな変色が見られ、一部膨れが発生していた。
(4-7) Pressure cooker test (PCT)
The test piece of each Example and Comparative Example was 121 ° C., 100% R.D. H. After being allowed to stand for 100 hours in this environment, the appearance of the cured film was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: No abnormality was found in the layer made of the cured product.
B: Discoloration was observed in the layer made of the cured product.
C: A large discoloration was observed in the layer made of the cured product, and partial swelling occurred.
(4−8)耐熱衝撃性(冷熱サイクル)
各実施例及び比較例のテストピースを−65℃の温度条件で10分間保持した後、直ちにテストピースを150℃の温度条件に移し、10分間保持した。この冷熱処理を1サイクルとし、冷熱処理が500サイクル施されたテストピース(以下、テストピース(500サイクル))と、冷熱処理が1000サイクル施されたテストピース(以下、テストピース(1000サイクル))を得た。これらテストピースについて、その皮膜の外観を次の評価基準により評価した。
A:テストピース(1000サイクル)の皮膜にクラックが見られなかった。
B:テストピース(500サイクル)の皮膜にクラックが見られなかったが、テストピース(1000サイクル)の皮膜にクラックが見られた。
C:テストピース(500サイクル)の皮膜にクラックが見られた。
(4-8) Thermal shock resistance (cooling cycle)
After holding the test piece of each Example and Comparative Example for 10 minutes at a temperature condition of −65 ° C., the test piece was immediately transferred to a temperature condition of 150 ° C. and held for 10 minutes. This cool heat treatment is defined as one cycle, and a test piece subjected to 500 cycles of cool heat treatment (hereinafter referred to as test piece (500 cycles)) and a test piece subjected to 1000 cycles of cool heat treatment (hereinafter referred to as test piece (1000 cycles)). Got. About these test pieces, the external appearance of the film was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: No crack was observed in the film of the test piece (1000 cycles).
B: Although no crack was found in the film of the test piece (500 cycles), a crack was found in the film of the test piece (1000 cycles).
C: Cracks were observed in the film of the test piece (500 cycles).
Claims (10)
前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有し、
前記酸無水物が、酸二無水物を含有する
感光性樹脂組成物。 Contains a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) containing at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator (C), and an epoxy compound (D). ,
The carboxyl group-containing resin (A) is represented by the following formula (1), and in the formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or bisphenolfluorene. Containing an intermediate which is a reaction product of the epoxy compound (a1) having a skeleton and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), and a carboxyl group-containing resin (A1) which is a reaction product of an acid anhydride,
The photosensitive resin composition in which the said acid anhydride contains an acid dianhydride.
前記カルボキシル基含有樹脂(A1)を含有するカルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも1つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを混合することを含み、
前記酸無水物が、酸二無水物を含有する感光性樹脂組成物の製造方法。 An epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton represented by the following formula (1), wherein R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen; By reacting the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) and reacting the resulting intermediate with an acid anhydride, a carboxyl group-containing resin (A1) is synthesized,
A carboxyl group-containing resin (A) containing the carboxyl group-containing resin (A1), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator (C), Mixing with the epoxy compound (D),
The manufacturing method of the photosensitive resin composition in which the said acid anhydride contains an acid dianhydride.
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