JPH11242330A - Photosensitive resin composition, multilayered printed circuit board using that, and its production - Google Patents

Photosensitive resin composition, multilayered printed circuit board using that, and its production

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JPH11242330A
JPH11242330A JP4246698A JP4246698A JPH11242330A JP H11242330 A JPH11242330 A JP H11242330A JP 4246698 A JP4246698 A JP 4246698A JP 4246698 A JP4246698 A JP 4246698A JP H11242330 A JPH11242330 A JP H11242330A
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JP
Japan
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resin
meth
acrylate
alkali
resin composition
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Withdrawn
Application number
JP4246698A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiko Mizuuchi
和彦 水内
Hironobu Kawasato
浩信 川里
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Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Original Assignee
Nippon Steel Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin compsn. which gives high adhesion strength when a conductive layer is formed by plating on a resin layer, to provide a photosensitive resin compsn. which can form an insulating layer having excellent heat resistance, moisture- resistant reliability and adhesion strength for a multilayered printed circuit board, especially a buildup multilayered printed circuit board, and to provide a multilayered printed circuit board having excellent adhesion strength and its producing method. SOLUTION: This photosensitive resin compsn. contains an org. filler and a photopolymn. initiator as essential components in an alkali-soluble resin matrix. At least a part of the alkali-soluble resin consists of an alkali-soluble resin having a fluorene structure, and the amt. of the org. filter is 10 to 100 pts.wt. to 100 pts.wt. of the alkali-soluble resin. The average particle size and coefft. of variation of the org. filler are 5 to 20 μm and <=50%, respectively. The multilayered printed circuit board has an insulating layer formed by hardening the photosensitive resin compsn. above described. When the multilayered printed circuit board is produced by a buildup method using the photosensitive resin compsn., annealing after plating is carried out under more severe conditions than the conditions of post-curing of the resin.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
とそれを用いた多層プリント配線板及びその製造方法に
関するものである。本発明の感光性樹脂組成物は、特に
ビルドアップ工法による多層プリント配線板の絶縁層形
成に適している。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition, a multilayer printed wiring board using the same, and a method for producing the same. The photosensitive resin composition of the present invention is particularly suitable for forming an insulating layer of a multilayer printed wiring board by a build-up method.

【0002】[0002]

【従来の技術】樹脂層に導体層を形成させる方法として
は、蒸着、スパタリング等の薄膜形成技術を用いて、樹
脂表面に金属薄膜を形成する方法、樹脂表面に無電解メ
ッキを析出させるための触媒核を付着させ、無電解メッ
キ浴に浸漬することにより樹脂表面に金属層を形成する
方法などが知られている。そして、無電解メッキによる
導体層の形成は、樹脂系プリント基板のスルーホール部
へのメッキなどが代表的であり、基材上の必要な部分の
みに無電解メッキにより10μm以上の膜厚を有する導
体層を形成して回路形成するアデティブ法等が知られて
いる。また、他の方法としてフルアデティブ法も知られ
ている。
2. Description of the Related Art As a method of forming a conductor layer on a resin layer, a method of forming a metal thin film on a resin surface by using a thin film forming technique such as vapor deposition and sputtering, and a method of depositing electroless plating on a resin surface. There is known a method of forming a metal layer on a resin surface by attaching a catalyst nucleus and immersing it in an electroless plating bath. The formation of the conductor layer by electroless plating is typically performed by plating on a through-hole portion of a resin-based printed circuit board. Only a necessary portion on the base material has a film thickness of 10 μm or more by electroless plating. An additive method for forming a circuit by forming a conductor layer is known. Also, a full additive method is known as another method.

【0003】これらの方法においては、絶縁層のメッキ
密着力を改善するために、絶縁層を形成する絶縁性樹脂
にゴム及びフィラー等を配合した樹脂組成物とし、これ
を硬化させたのち、クロム酸混液等でフィラーやゴムを
除去し、これらが除去されることにより凹凸部が形成さ
れ、粗面化された絶縁層に無電解銅メッキ又は無電解銅
メッキと電解銅メッキにより導体層を形成するものであ
る。しかしながら、この方法では絶縁性樹脂層中に残存
するゴムが耐熱性や電気絶縁性を低下させるという問題
がある。また、密着強度を向上させるために用いられる
クロム酸混液は、作業環境と安全衛生で問題があった。
[0003] In these methods, in order to improve the plating adhesion of the insulating layer, a resin composition in which an insulating resin for forming the insulating layer is mixed with a rubber and a filler is cured. The filler and rubber are removed with an acid mixture, etc., and these are removed to form irregularities. A conductor layer is formed on the roughened insulating layer by electroless copper plating or electroless copper plating and electrolytic copper plating. Is what you do. However, in this method, there is a problem that rubber remaining in the insulating resin layer deteriorates heat resistance and electric insulation. Further, the chromic acid mixed solution used for improving the adhesion strength has a problem in working environment and safety and health.

【0004】多層プリント配線板に関しては、近年、多
層化が進み、絶縁層と導体層間の密着強度もより高い値
が求められるようになってきた。
In recent years, with respect to multilayer printed wiring boards, the number of layers has been increased, and a higher value of the adhesion strength between the insulating layer and the conductor layer has been required.

【0005】絶縁層と導体層を密着力を向上させるに
は、粗化液に対する溶解性の異なる物質を分散させ、粗
化液に可溶な成分が脱離することで、絶縁層表面に効果
的にくぼみを形成することが知られている。例えば、特
開昭60−167492号公報には、無機絶縁物を絶縁
樹脂に分散させる方法が提案され、特公昭63−107
52号公報には、フェノール樹脂、無機炭酸塩と合成ゴ
ムを組み合わせて用いる方法が提案され、特開平5−2
35545号公報には、硬化後難溶性となる樹脂マトリ
ックス中に酸/アルカリ可溶の無機塩粒子を分散させる
方法が開示されている。しかしながら、これらの方法は
いずれも耐湿信頼性等の点で問題がある。
[0005] In order to improve the adhesion between the insulating layer and the conductor layer, substances having different solubility in the roughening solution are dispersed, and components soluble in the roughening solution are desorbed. It is known to form indentations. For example, JP-A-60-167492 proposes a method of dispersing an inorganic insulator in an insulating resin.
No. 52 proposes a method using a combination of a phenolic resin, an inorganic carbonate and a synthetic rubber.
No. 35545 discloses a method of dispersing acid / alkali-soluble inorganic salt particles in a resin matrix which becomes hardly soluble after curing. However, all of these methods have problems in terms of humidity resistance and the like.

【0006】また、特開平3−18096号公報には、
合成ゴムをエポキシ樹脂に分散させてゴムのみを選択除
去する方法が開示され、日本接着学会誌 第31巻 第
1号第12頁(‘95)には、フェノール樹脂をニトリ
ルゴム中に分散させてゴム層を選択除去することにより
凸状の表面を形成する方法が提案されているが、ゴムを
使用することで上述の問題がある。また、特開平5−2
35546号公報には、硬化後難溶性となる樹脂マトリ
ックス中に酸/アルカリ可溶の有機粒子を分散させる方
法が開示されているが、特殊組成の粒子を必要とする。
さらに、特開平8−148827号公報には、光変性樹
脂粉又はシリカを混合する方法を、特開平9−1625
49号公報には、フィラーを添加しないで基板に塗布し
た樹脂を不完全硬化させることで、樹脂面の粗化を容易
にし、密着性を向上させる方法が開示されているが、十
分な効果が得られないなど改善の余地がある。
[0006] Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-18096 discloses that
A method of dispersing a synthetic rubber in an epoxy resin to selectively remove only the rubber is disclosed. In the Journal of the Adhesion Society of Japan, Vol. 31, No. 1, page 12, ('95), phenol resin is dispersed in a nitrile rubber. Although a method of forming a convex surface by selectively removing a rubber layer has been proposed, the use of rubber has the above-described problem. Also, Japanese Patent Laid-Open No. 5-2
Japanese Patent No. 35546 discloses a method of dispersing acid / alkali-soluble organic particles in a resin matrix which becomes hardly soluble after curing, but requires particles having a special composition.
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-14827 discloses a method of mixing a photo-modified resin powder or silica, which is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-1625.
No. 49 discloses a method in which the resin applied to the substrate is incompletely cured without adding a filler, thereby facilitating the roughening of the resin surface and improving the adhesiveness. There is room for improvement, such as not being obtained.

【0007】ビルドアップ工法による多層プリント配線
板を製造する方法にはいくつかの方法がある。銅張り積
層板を使用する方法の一例を示すと、まず、表面の銅上
にエッチングレジストを塗布し、回路を露光、現像し、
印刷する。回路以外の不要な銅をエッチング除去して、
第1導体層を形成する。この上に樹脂を塗布し、樹脂層
を形成し、フォトマスクを使用してビアホールを露光、
現像し、残った樹脂をポストキュアーして樹脂を完全に
硬化させ、この表面を過マンガン酸液等で酸化して、粗
化する。そして、粗化表面に無電解メッキと電解メッキ
を施し、導体層を形成したのち、アニール処理を行って
導体層内部の歪みを除去する。次いで、2層目の絶縁樹
脂をこれに塗布し、前記の操作を繰り返すことにより、
多層化を図る。このようなビルドアップ工法において
は、樹脂層と導体層の密着強度がより重要となるだけで
なく、耐熱性、耐湿性等の性能が高いことが要求され
る。
There are several methods for manufacturing a multilayer printed wiring board by the build-up method. An example of a method of using a copper-clad laminate is shown below. First, an etching resist is applied on copper on a surface, and a circuit is exposed and developed.
Print. Unnecessary copper other than the circuit is removed by etching,
Forming a first conductor layer; A resin is applied on this, a resin layer is formed, and a via hole is exposed using a photomask,
After the development, the remaining resin is post-cured to completely cure the resin, and the surface is oxidized with a permanganic acid solution or the like to be roughened. Then, electroless plating and electrolytic plating are performed on the roughened surface to form a conductor layer, and then annealing is performed to remove distortion inside the conductor layer. Then, a second layer of insulating resin is applied thereto, and by repeating the above operation,
Increase the number of layers. In such a build-up method, not only the adhesion strength between the resin layer and the conductor layer becomes more important, but also high performance such as heat resistance and moisture resistance is required.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、樹脂層に導体層をメッキにより形成するにあた
り、高い接着強度を与える樹脂組成物を提供すること、
及び多層プリント配線板特にビルドアップ多層プリント
配線板において、耐熱性、耐湿信頼性及び密着強度とも
に優れた絶縁層を形成することができる感光性樹脂組成
物を提供することにある。また、本発明は接着強度の優
れた多層プリント配線板及びその製造方法を提供するこ
とにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a resin composition which gives high adhesive strength when forming a conductor layer on a resin layer by plating.
Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of forming an insulating layer having excellent heat resistance, moisture resistance reliability, and adhesion strength in a multilayer printed wiring board, especially in a build-up multilayer printed wiring board. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board having excellent adhesive strength and a method for manufacturing the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者は、このような
課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、特定の樹脂
と特定の有機フィラーに組合せた多層プリント配線板絶
縁層形成用感光性樹脂組成物、及びこの感光性樹脂組成
物を用いたプリント配線板の製造における熱処理条件の
改善により所期の課題が解決できることを見出し、本発
明に到達した。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to solve such problems, and as a result, have found that a photosensitive resin for forming an insulating layer of a multilayer printed wiring board in which a specific resin and a specific organic filler are combined. The present inventors have found that the desired problem can be solved by improving the heat treatment conditions in the production of a resin composition and a printed wiring board using the photosensitive resin composition, and have reached the present invention.

【0010】すなわち、本発明は、アルカリ可溶性樹脂
マトリックス中に、必須成分として有機フィラー及び光
重合開始剤を含有してなる樹脂組成物において、アルカ
リ可溶性樹脂の少なくとも一部がフルオレン骨格を有す
るアルカリ可溶性樹脂であり、有機フィラーの含有量が
アルカリ可溶性樹脂100重量部に対し10〜100重
量部、有機フィラーの平均粒子径が5〜20μm、か
つ、粒子径の変動係数が50%以下であることを特徴と
する感光性樹脂組成物である。また、本発明は、この感
光性樹脂組成物の硬化物で絶縁層を形成してなる多層プ
リント配線板であり、さらに、本発明はこの感光性樹脂
組成物を用いてビルドアップ工法により多層プリント配
線板の製造するに当たり、メッキ後のアニーリングを、
樹脂のポストキュアーより厳しい条件で行うことを特徴
とする多層プリント配線板の製造方法である。
That is, the present invention relates to a resin composition containing an organic filler and a photopolymerization initiator as essential components in an alkali-soluble resin matrix, wherein at least a part of the alkali-soluble resin has a fluorene skeleton. Resin, the content of the organic filler is 10 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin, the average particle size of the organic filler is 5 to 20 μm, and the coefficient of variation of the particle size is 50% or less. It is a photosensitive resin composition characterized by the following. Further, the present invention is a multilayer printed wiring board formed by forming an insulating layer with a cured product of the photosensitive resin composition, and the present invention further provides a multilayer printed wiring board using the photosensitive resin composition by a build-up method. In manufacturing the wiring board, annealing after plating,
A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, which is performed under more severe conditions than post-cure of a resin.

【0011】本発明の感光性樹脂組成物のマトリックス
成分として用いられる樹脂は、アルカリ可溶性樹脂であ
り、少なくともその一部はフルオレン骨格を有するアル
カリ可溶性樹脂である。このフルオレン骨格を有するア
ルカリ可溶性樹脂は、その主鎖中にフルオレン骨格を有
すると共にアルカリ可溶性である樹脂であれば限定され
ないが、好ましくは下記一般式(1)で表されるフルオ
レン骨格を有するビスフェノール化合物をエピクロロヒ
ドリン等でエポキシ化して得られるエポキシ化合物と
(メタ)アクリル酸とを反応させて得られるフルオレン
骨格を有するエポキシ(メタ)アクリレートに、さらに
多価カルボン酸又はその無水物を反応させて得られるフ
ルオレン骨格を有するエポキシ(メタ)アクリレート酸
付加体である。
The resin used as the matrix component of the photosensitive resin composition of the present invention is an alkali-soluble resin, at least a part of which is an alkali-soluble resin having a fluorene skeleton. The alkali-soluble resin having a fluorene skeleton is not limited as long as it is a resin having a fluorene skeleton in its main chain and being alkali-soluble, but preferably a bisphenol compound having a fluorene skeleton represented by the following general formula (1) Is further reacted with an epoxy (meth) acrylate having a fluorene skeleton obtained by reacting an epoxy compound obtained by epoxidation of the compound with epichlorohydrin or the like with (meth) acrylic acid, and a polycarboxylic acid or an anhydride thereof. This is an epoxy (meth) acrylate acid adduct having a fluorene skeleton obtained by the above method.

【0012】[0012]

【化2】 Embedded image

【0013】一般式(1)において、R1 及びR2 は水
素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるが、
好ましくは水素又はメチル基である。また、R1 及びR
2 の置換位置は3位、5位又は3,5位である。
In the general formula (1), R 1 and R 2 are hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or halogen,
Preferably it is hydrogen or a methyl group. Also, R 1 and R
The substitution position of 2 is 3-position, 5-position or 3,5-position.

【0014】ビスフェノール化合物のエポキシ化は、通
常のエポキシ化反応と同様に行うことができる。例え
ば、ビスフェノール化合物を過剰のエピクロルヒドリン
に溶解した後、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の
アルカリ金属水酸化物の存在下に、50〜150℃、好
ましくは60〜120℃で1〜10時間反応させる方法
が挙げられる。
The epoxidation of the bisphenol compound can be carried out in the same manner as a usual epoxidation reaction. For example, after dissolving a bisphenol compound in excess epichlorohydrin, the mixture is reacted at 50 to 150 ° C, preferably 60 to 120 ° C for 1 to 10 hours in the presence of an alkali metal hydroxide such as sodium hydroxide or potassium hydroxide. Method.

【0015】このエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸
との反応は、エポキシ化合物のエポキシ基の1モルに対
し(メタ)アクリル酸が約0.8〜1.5モル、好まし
くは0.9〜1.1モルを反応させることがよい。反応
の際の希釈材として、例えばメチルエチルケトン、メチ
ルセロソルブアセテート等を用いることができる。ま
た、反応を促進させるために、例えばトリエチルアミ
ン、ベンジルジメチルアミン、メチルトリエチルアンモ
ニウムクロライド、トリフェニルホスフイン等の触媒を
用いてもよい。触媒の使用量は通常、反応原料混合物に
対し0.1〜10重量%、好ましくは0.3〜5重量%
であり、反応温度は60〜150℃、好ましくは80〜
120℃、反応時間は5〜60時間、好ましくは10〜
50時間である。
The reaction between the epoxy compound and (meth) acrylic acid is carried out in such a manner that (meth) acrylic acid is used in an amount of about 0.8 to 1.5 mol, preferably 0.9 to 1 mol, per mol of the epoxy group of the epoxy compound. .1 mole is preferred. As a diluent for the reaction, for example, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate and the like can be used. Further, in order to promote the reaction, a catalyst such as triethylamine, benzyldimethylamine, methyltriethylammonium chloride, triphenylphosphine and the like may be used. The amount of the catalyst used is usually 0.1 to 10% by weight, preferably 0.3 to 5% by weight based on the reaction raw material mixture.
And the reaction temperature is 60 to 150 ° C., preferably 80 to 150 ° C.
120 ° C., reaction time is 5 to 60 hours, preferably 10 to
50 hours.

【0016】次に、このようにして得られたフルオレン
骨格を有するエポキシ(メタ)アクリレートからその酸
付加体とするため、これと反応させる多価カルボン酸又
はその無水物としては、例えばマレイン酸、コハク酸、
イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサ
ヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフ
タル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸等の多価カルボン酸や、これらの
酸無水物などが挙げられる。
Next, the epoxy (meth) acrylate having a fluorene skeleton obtained as described above is converted into an acid adduct thereof. As the polyvalent carboxylic acid or anhydride thereof to be reacted therewith, for example, maleic acid, Succinic acid,
Polycarboxylic acids such as itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, and benzophenonetetracarboxylic acid, and acid anhydrides thereof. No.

【0017】フルオレン骨格を有するエポキシ(メタ)
アクリレートと多価カルボン酸又はその無水物との反応
は、公知の方法で行うことができるが、3塩基酸以上の
カルボン酸又は酸無水物から生ずるカルボキシル基を有
するものがアルカリ可溶性の点で好ましいので、3塩基
酸以上のカルボン酸又は酸無水物を含む酸を使用するこ
とがよい。酸価として10mgKOH/g以下のもの
は、十分なアルカリ可溶性を示さない。
Epoxy (meth) having a fluorene skeleton
The reaction between the acrylate and the polyvalent carboxylic acid or its anhydride can be carried out by a known method, but those having a carboxyl group generated from a carboxylic acid or an acid anhydride of three or more basic acids are preferable in view of alkali solubility. Therefore, it is preferable to use an acid containing a carboxylic acid or an acid anhydride of three or more basic acids. Those having an acid value of 10 mgKOH / g or less do not show sufficient alkali solubility.

【0018】また、フルオレン骨格を有するアルカリ可
溶性樹脂としては、上記に限られるものではなく、重合
性の不飽和結合を有し、アルカリ溶解性を与えるカルボ
キシル基等の官能基を有するものであればよい。それ
は、フルオレン骨格を有する樹脂が一般にその嵩高い構
造から溶剤溶解性が優れ、しかも耐熱性、耐湿性に優れ
るからである。
The alkali-soluble resin having a fluorene skeleton is not limited to the above, but may be any resin having a polymerizable unsaturated bond and having a functional group such as a carboxyl group which provides alkali solubility. Good. This is because resins having a fluorene skeleton generally have excellent solvent solubility due to their bulky structure, and are also excellent in heat resistance and moisture resistance.

【0019】本発明の感光性樹脂組成物には、フルオレ
ン骨格を有するアルカリ可溶性樹脂に加え、アルカリ可
溶性の性質を維持する範囲内で他の重合性を有する樹脂
又はモノマーを配合することができる。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain, in addition to the alkali-soluble resin having a fluorene skeleton, another polymerizable resin or monomer as long as the alkali-soluble property is maintained.

【0020】このような樹脂又はモノマーとしては、フ
ルオレン骨格を有するアルカリ可溶性樹脂の骨格を変化
させただけもの、例えばフルオレン骨格をビスフェノー
ルA骨格に置き換えたものやアクリレート類などが挙げ
られる。アクリレート類としては、例えばヒドロキシエ
チル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メ
タ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリ
レート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレー
ト、ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、
ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート、クロロヒド
ロキシプロピル(メタ)アクリレート等の水酸基を有す
るものや、例えばアリル(メタ)アクリレート、ブトキ
シエチル(メタ)アクリレート、ブトキシトリエチレン
グリコール(メタ)アクリレート、t−ブチルアミノエ
チル(メタ)アクリレート、カプロラクトン(メタ)ア
クリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル
(メタ)アクリレート、シアノエチル(メタ)アクリレ
ート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジ
エチルアミノ(メタ)アクリレート、エトキシエチル
(メタ)アクリレート、エチルヘキシル(メタ)アクリ
レート、イソデシル(メタ)アクリレート、イソオクチ
ル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレー
ト、オクチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メ
タ)アクリレート、コハク酸(メタ)アクリレート、メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシラン、メトキシエ
チル(メタ)アクリレート、シクロデカトリエン(メ
タ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレー
ト、グリシジル(メタ)アクリレート、イソシアネート
エチル(メタ)アクリレート、ヘプタデカフロロ(メ
タ)アクリレート、オクタフロロペンチル(メタ)アク
リレート、テトラフロロプロピル(メタ)アクリレー
ト、トリフロロエチル(メタ)アクリレート、ジブロモ
プロピル(メタ)アクリレート等の脂肪族(メタ)アク
リレート類や、例えばシクロヘキシル(メタ)アクリレ
ート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシ
クロペンテニル(メタ)アクリレート、イソボルニル
(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メ
タ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート等
の脂環式変性(メタ)アクリレート類や、例えばフェニ
キシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキ
シプロピル(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポ
リプロピレングリコール(メタ)アクリレート、フェニ
ル(メタ)アクリレート、フタル酸(メタ)アクリレー
ト、ベンジル(メタ)アクリレート等の芳香族(メタ)
アクリレート類や、例えばフェノキシ化リン酸(メタ)
アクリレート、リン酸(メタ)アクリレート、ブトキシ
化リン酸(メタ)アクリレート、オクトキシ化リン酸
(メタ)アクリレート等のリン含有(メタ)アクリレー
ト類や、例えばスルホン酸ソーダ(メタ)アクリレート
等の水溶性(メタ)アクリレート類や、例えばビニルア
セテート、ビニルカプロラクタム、ビニルピロリドン、
スチレン等のビニル化合物等の単官能化合物が挙げられ
る。
Examples of such a resin or monomer include those obtained by simply changing the skeleton of an alkali-soluble resin having a fluorene skeleton, for example, those obtained by replacing the fluorene skeleton with a bisphenol A skeleton, and acrylates. As acrylates, for example, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate, polypropylene glycol (meth) acrylate,
Those having a hydroxyl group such as butanediol mono (meth) acrylate and chlorohydroxypropyl (meth) acrylate, and, for example, allyl (meth) acrylate, butoxyethyl (meth) acrylate, butoxytriethylene glycol (meth) acrylate, t-butylamino Ethyl (meth) acrylate, caprolactone (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, cyanoethyl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylamino (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate , Ethylhexyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, octyl (meth) Acrylate, stearyl (meth) acrylate, succinic acid (meth) acrylate, methacryloxypropyltrimethoxysilane, methoxyethyl (meth) acrylate, cyclodecatriene (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, isocyanate Aliphatic (meth) acrylates such as ethyl (meth) acrylate, heptadecafluoro (meth) acrylate, octafluoropentyl (meth) acrylate, tetrafluoropropyl (meth) acrylate, trifluoroethyl (meth) acrylate, and dibromopropyl (meth) acrylate And cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, isoborny Alicyclic modified (meth) acrylates such as (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, and morpholine (meth) acrylate, and, for example, phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, nonylphenoxy Aromatic (meth) such as polypropylene glycol (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, phthalic acid (meth) acrylate, and benzyl (meth) acrylate
Acrylates, for example, phenoxylated phosphoric acid (meth)
Phosphorus-containing (meth) acrylates such as acrylate, phosphoric acid (meth) acrylate, butoxylated phosphoric acid (meth) acrylate, octoxylated phosphoric acid (meth) acrylate, and water-soluble (e.g., sodium sulfonate (meth) acrylate) Meth) acrylates and, for example, vinyl acetate, vinylcaprolactam, vinylpyrrolidone,
Monofunctional compounds such as vinyl compounds such as styrene are exemplified.

【0021】また、エチレングリコールジ(メタ)アク
リレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、長鎖脂肪
族ジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ
(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペン
チルグリコールジ(メタ)アクリレート、ステアリン酸
変性ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、プ
ロピレンジ(メタ)アクリレート、グリセロール(メ
タ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)
アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)ア
クリレート、トリエチレングリコールジビニルエーテ
ル、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジシ
クロペンタニルジ(メタ)アクリレート、ポリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレンジ
(メタ)アクリレート、トリグリセロールジ(メタ)ア
クリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロー
ルプロパンジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘ
キシルジ(メタ)アクリレート、メトキシ化シクロヘキ
シルジ(メタ)アクリレート、アクリル化イソシアヌレ
ート、ビス(アクリロキシネオペンチルグリコール)ア
ジペート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、
テトラブロモビスフェノールAジ(メタ)アクリレー
ト、ビスフェノールSジ(メタ)アクリレート、ブタン
ジオールジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジ(メタ)
アクリレート、リン酸ジ(メタ)アクリレート、亜鉛ジ
(メタ)アクリレート、ジビニルベンゼン、ジビニルエ
ーテル等の二官能化合物が挙げられる。
Also, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, hexanediol (meth) acrylate, long-chain aliphatic di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, neohydroxypivalate Pentyl glycol di (meth) acrylate, stearic acid-modified pentaerythritol di (meth) acrylate, propylene di (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth)
Acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol divinyl ether, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, butylene glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) Acrylate, polypropylene di (meth) acrylate, triglycerol di (meth) acrylate, neopentyl glycol-modified trimethylolpropane di (meth) acrylate, allylated cyclohexyldi (meth) acrylate, methoxylated cyclohexyldi (meth) acrylate, acrylated Isocyanurate, bis (acryloxyneopentyl glycol) adipate, bisphenol A di (meth) acrylate,
Tetrabromobisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol S di (meth) acrylate, butanediol di (meth) acrylate, phthalic di (meth) acrylate
Bifunctional compounds such as acrylate, di (meth) acrylate phosphate, zinc di (meth) acrylate, divinylbenzene, and divinyl ether are exemplified.

【0022】さらに、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)
アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、アルキ
ル変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレー
ト、リン酸トリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリ
ロキシエチル)イソシアヌレート、トリス(メタクリロ
キシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトール
テトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトール
テトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパ
ンテトラアクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリ
トールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタ(メタ)アクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ア
ルキル変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アク
リレート、ウレタントリ(メタ)アクリレート、エステ
ルトリ(メタ)アクリレート、ウレタンヘキサ(メタ)
アクリレート、エステルヘキサ(メタ)アクリレート、
トリビニルエーテル、ヘキサジビニルエーテル等の三官
能以上の化合物が挙げられる。
Further, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylol ethane tri (meth)
Acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, alkyl-modified dipentaerythritol tri (meth) acrylate, tri (meth) acrylate phosphate, tris (acryloxyethyl) Isocyanurate, tris (methacryloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, alkyl-modified dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol mono Hydroxypenta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, alkyl-modified dipenta Risuri penta (meth) acrylate, urethane tri (meth) acrylate, ester tri (meth) acrylate, urethane hexa (meth)
Acrylate, ester hexa (meth) acrylate,
Examples include trifunctional or higher functional compounds such as trivinyl ether and hexadivinyl ether.

【0023】そして、上記の全てのエチレン性不飽和基
を有する化合物のカプロラクトン、プロピレンオキサイ
ド、エチレンオキサイド変性物も同様に使用可能であ
る。
Further, caprolactone, propylene oxide, and ethylene oxide modified products of all the compounds having an ethylenically unsaturated group described above can also be used.

【0024】特に高感度化のためには、1分子中に重合
可能なに二重結合を2つ(二官能)以上、より好ましく
は、3つ(三官能)以上有する樹脂又はモノマーを配合
することも好ましい。これらの化合物は、上記化合物と
2種以上を併用して使用することもできる。
In particular, in order to increase the sensitivity, a resin or monomer having at least two (bifunctional), more preferably at least three (trifunctional) double bonds in one molecule is polymerizable. It is also preferred. These compounds may be used in combination of two or more of the above compounds.

【0025】上記の樹脂やモノマーの配合割合は、フル
オレン骨格を有するアルカリ可溶性樹脂100重量部に
対し10〜300重量部の範囲で、アルカリ溶解性や硬
化性、耐溶剤性等を考慮して定めることがよい。一般
に、3官能以上の多官能アクリレート等の配合が少ない
と十分に硬化が進まず露光部分が溶出し、多すぎると未
露光部分でも現像できなり、重合度や酸無水物の構造に
よってはタックフリー性が失われる恐れがある。
The mixing ratio of the above resin and monomer is in the range of 10 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin having a fluorene skeleton, and is determined in consideration of alkali solubility, curability, solvent resistance and the like. Good. In general, if the amount of trifunctional or higher polyfunctional acrylate is small, curing does not proceed sufficiently and the exposed part is eluted. If too large, the unexposed part can be developed, and tack-free depending on the degree of polymerization and the structure of the acid anhydride. There is a risk of loss of sex.

【0026】本発明の感光性樹脂組成物には、必須成分
として配合する光重合開始剤としては、例えばベンゾイ
ン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
イソプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメ
トキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエト
キシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロ
アセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モリフォリノ−プロパン−1−オン、N,N
−ジメチルアミノアセトフェノン、2−メチルアントラ
キノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルア
ントラキノン、1−クロロアントラキノン、2,4−ジ
エチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキ
サントン、アセトフェノンジメチルケタール、ベンゾフ
ェノン、メチルベンゾフェノン、2−トリクロロメチル
−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサ
ジアゾール、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェ
ノン、2−トリクロロメチル−S−トリアジン、2,4
−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサ
ントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、トリ
アリールフォスフォンオキサイド(TPO)、ミヒラー
ズケトン等のラジカル発生型のものや、トリアリールス
ルフォニウム塩やジアリールヨウドニウム塩等のカチオ
ン発生型を挙げることができる。これらは単独でもよい
し、2種類以上を併用してもよい。
In the photosensitive resin composition of the present invention, as a photopolymerization initiator to be blended as an essential component, for example, benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl Acetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylton, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propane-1- ON, N, N
-Dimethylaminoacetophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, acetophenone dimethyl ketal, benzophenone, methylbenzophenone, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 4,4′-bisdiethylaminobenzophenone, 2-trichloromethyl-S-triazine, 2,4
Radical-generating compounds such as dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, triarylphosphon oxide (TPO) and Michler's ketone, and cations such as triarylsulfonium salts and diaryliodonium salts Generating types can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

【0027】これらの光重合開始剤は、N,N−ジメチ
ルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルア
ミノ安息香酸イソアミルエステル、トリエタノールアミ
ン、トリエチルアミンのような公知の光増感剤を単独又
は2種類以上と組み合わせて用いてもよい。
As these photopolymerization initiators, known photosensitizers such as N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, triethanolamine and triethylamine can be used alone or in combination. You may use it in combination with 2 or more types.

【0028】光重合開始剤の使用量は、感光性樹脂組成
物中の固形分(モノマーを含み、溶剤を除く)中に0.
5〜10重量%、好ましくは1〜5重量%である。10
重量%を超えると吸光割合が大きくなり、光が下部まで
浸透しなくなる。
The amount of the photopolymerization initiator to be used is 0.1% in the solid content (including the monomer and excluding the solvent) in the photosensitive resin composition.
It is 5 to 10% by weight, preferably 1 to 5% by weight. 10
When the content exceeds% by weight, the light absorption ratio increases, and light does not penetrate to the lower part.

【0029】また、本発明の感光性樹脂組成物には、さ
らなる密着性の向上、耐アルカリ性の向上を目的にエポ
キシ樹脂を配合することができる。エポキシ基を有する
化合物としては、例えばフェノールノボラック型エポキ
シ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル
型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等のエポキシ樹
脂、フェニルグリシジルエーテル、p−ブチルフェノー
ルグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレー
ト、ジグリシジルイソシアヌレート、アリルグリシジル
エーテル、グリシジルメタクリレート等のエポキシ基を
少なくとも1個有する化合物などが挙げられる。この配
合量についても、アルカリ可溶性を保つ範囲で定める。
An epoxy resin can be added to the photosensitive resin composition of the present invention for the purpose of further improving adhesion and alkali resistance. Examples of the compound having an epoxy group include phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, etc. And a compound having at least one epoxy group such as phenylglycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, diglycidyl isocyanurate, allyl glycidyl ether, and glycidyl methacrylate. This blending amount is also determined within a range that maintains alkali solubility.

【0030】本発明の感光性樹脂組成物に、必須成分と
して配合する有機フィラー有機フィラーとは、主として
有機高分子からなるフィラーのみならず、有機−無機複
合フィラーも含む。有機−無機複合フィラーとしては、
有機高分子に無機物質を混合した混合フィラーや、無機
物質コアーの表面を有機高分子で被覆したものや、有機
高分子コアーの表面を無機物質で被覆したものなどが挙
げられるが、いずれにしても有機高分子を50重量%以
上、好ましくは70重量%以上含むものがよい。そし
て、これらの有機フィラーは、弱酸又は弱アルカリに実
質的に侵されないものが好ましく、少なくとも耐酸性、
耐アルカリ性が優れるものがよい。
Organic Filler Organic filler to be incorporated as an essential component in the photosensitive resin composition of the present invention includes not only a filler mainly composed of an organic polymer but also an organic-inorganic composite filler. As an organic-inorganic composite filler,
A mixed filler obtained by mixing an inorganic material with an organic polymer, a material obtained by coating the surface of an inorganic material core with an organic polymer, or a material obtained by coating the surface of an organic polymer core with an inorganic material, may be used. Also, those containing 50% by weight or more, preferably 70% by weight or more of an organic polymer are good. And, it is preferable that these organic fillers are not substantially attacked by a weak acid or a weak alkali.
Those having excellent alkali resistance are preferred.

【0031】有機フィラーを構成する有機高分子として
は、熱可塑性樹脂あるいは熱硬化性樹脂のいずれでもよ
い。有機高分子が熱可塑性樹脂の場合は、耐熱性の観点
からジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル等の架橋剤
で架橋変性したものが好ましく、ガラス転移温度(T
g)が170℃以上のものがよい。熱可塑性樹脂として
は、例えば(メタ)アクリル樹脂、ポリスチレン、ポリ
プロピレン、ポリエステル、ポリアセタール、ポリカー
ボネートなどが挙げられ、熱硬化性樹脂としては、例え
ばエポキシ樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ジア
リルフタレート樹脂などが挙げられる。これらの有機高
分子はいずれか1種でもよいし、2種以上を併用しても
よい。また、有機−無機複合フィラーに用いられる無機
物質としては、炭酸カルシウム、酸化チタンなどが挙げ
られ、これらも前記有機高分子で被覆され、表面的には
前記の耐酸、耐アルカリ性を有するものであることがよ
い。
The organic polymer constituting the organic filler may be either a thermoplastic resin or a thermosetting resin. When the organic polymer is a thermoplastic resin, it is preferable that the organic polymer is cross-linked and modified with a cross-linking agent such as divinylbenzene or divinyl biphenyl from the viewpoint of heat resistance.
g) is preferably 170 ° C. or higher. Examples of the thermoplastic resin include (meth) acrylic resin, polystyrene, polypropylene, polyester, polyacetal, and polycarbonate. Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, melamine resin, phenol resin, and diallyl phthalate resin. Can be One of these organic polymers may be used alone, or two or more thereof may be used in combination. Examples of the inorganic substance used in the organic-inorganic composite filler include calcium carbonate, titanium oxide, and the like. These are also coated with the organic polymer and have the above-described acid resistance and alkali resistance on the surface. Good.

【0032】この有機フィラーは、感光性樹脂組成物の
硬化後も硬化樹脂マトリックス中に分散して存在する
が、硬化樹脂を粗化液で処理すると、有機フィラーは変
化せず硬化樹脂が優先的に変化し、膨潤及び酸化消耗す
ることになる。すると、硬化物中に取り込まれていた有
機フィラーが抜け落ちて、そこにくぼみが生ずる。この
くぼみが、メッキに対してアンカー効果を発揮して密着
性を高める。本発明で良好なくぼみが得られる原理は必
ずしも明らかではないが、本発明者らは、アルカリ可溶
性樹脂としてフルオレン骨格を有する樹脂を使用してい
るので、粗化液に対する溶剤膨潤性又は酸化消耗が有機
フィラーに比して高いため有機フィラーが抜け落ちやす
くなるものと考えている。
The organic filler is dispersed in the cured resin matrix even after the photosensitive resin composition has been cured. However, when the cured resin is treated with a roughening liquid, the organic filler does not change and the cured resin has priority. Swelling and oxidative consumption. Then, the organic filler taken in the cured product falls off, and a dent is generated there. These depressions exert an anchoring effect on the plating to enhance the adhesion. Although the principle by which good depressions are obtained in the present invention is not always clear, the present inventors use a resin having a fluorene skeleton as the alkali-soluble resin, so that the solvent swelling or oxidative depletion with respect to the roughening solution is reduced. It is considered that the organic filler is easy to come off because it is higher than the organic filler.

【0033】この有機フィラーについては、粗化処理後
の表面観察から、その粒子径と粒子径分布、さらに配合
量にはそれぞれ最適範囲があることが判明した。通常、
粗化処理工程では、絶縁層の表面に近い有機フィラーが
抜け落ち、形成されたくぼみにメッキ銅が侵入してアン
カー効果が発揮される。本発明で規定するフィラーの粒
子径は、5〜20μm、好ましくは8〜12μmであ
る。粒子径とくぼみの径は関連があるため、アンカー効
果が最大となる範囲のくぼみを与える粒子径が選択され
る。
Observation of the surface of the organic filler after the roughening treatment revealed that the particle size, the particle size distribution, and the compounding amount of the organic filler had optimum ranges. Normal,
In the roughening process, the organic filler near the surface of the insulating layer falls off, and the plated copper enters the formed dents, thereby exhibiting the anchor effect. The particle diameter of the filler specified in the present invention is 5 to 20 μm, preferably 8 to 12 μm. Since there is a relationship between the particle diameter and the diameter of the depression, a particle diameter that gives the depression in a range that maximizes the anchor effect is selected.

【0034】また、フィラーの粒子径の分布も重要であ
る。本発明で規定する粒子径分布は、変動係数として5
0%以下、好ましくは15%以下である。ここで、変動
係数は、(標準偏差値/平均粒子径)×100%の式で
表わされる。変動係数が50%を超えると、生じるくぼ
みはいくつかの粒子が繋がったものになりやすく、密着
強度が低下する。一方、変動係数が低いものすなわち粒
子径のそろったものを用いると、絶縁層表面に整然とし
た半球状のくぼみが形成される。変動係数が50%以下
のものなら市販品をそのまま用いてもよいが、更にこれ
を風力分級、沈降分離、篩い分けなど公知の手段を用い
て、変動係数の低いフィラーとすることで、アンカー効
果を高めることができる。
The distribution of the particle size of the filler is also important. The particle size distribution defined in the present invention has a coefficient of variation of 5
0% or less, preferably 15% or less. Here, the coefficient of variation is represented by the formula of (standard deviation value / average particle diameter) × 100%. If the coefficient of variation exceeds 50%, the resulting cavities are likely to be formed by connecting several particles, and the adhesion strength is reduced. On the other hand, when a material having a low variation coefficient, that is, a material having a uniform particle diameter is used, a regular hemispherical dent is formed on the surface of the insulating layer. As long as the coefficient of variation is 50% or less, a commercially available product may be used as it is. However, by using a known means such as air classification, sedimentation separation, or sieving, a filler having a low coefficient of variation is used to obtain an anchor effect. Can be increased.

【0035】さらに、フィラーの配合量は、感光性樹脂
組成物の固形分中に10〜50重量%、好ましくは20
〜40重量%である。フィラーの配合量が10重量%よ
り少ないとアンカーポイントが少なく、密着強度が出な
い。50重量%を超えると絶縁層となる樹脂硬化物の強
度が低下する。
The amount of the filler is 10 to 50% by weight, preferably 20 to 50% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition.
4040% by weight. If the amount of the filler is less than 10% by weight, the number of anchor points is small, and the adhesion strength is not obtained. If it exceeds 50% by weight, the strength of the resin cured product that will become the insulating layer will decrease.

【0036】本発明の感光性樹脂組成物には、前記の有
機フィラー以外に、硬化物の低熱膨張化、弾性率や低吸
湿化を改善するために、無機フィラー、例えばシリカ、
アルミナ、酸化チタン、窒化ホウ素等の1種又は2種以
上を配合してもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain, in addition to the organic filler, an inorganic filler, for example, silica, in order to improve the low thermal expansion, elastic modulus and low moisture absorption of the cured product.
One or more of alumina, titanium oxide, boron nitride and the like may be blended.

【0037】また、本発明の感光性樹脂組成物には、前
記の必須成分と共に必要に応じて、エポキシ樹脂硬化促
進剤、重合禁止剤、可塑剤、レベリング剤、消泡剤等の
添加剤を配合することができる。エポキシ樹脂硬化促進
剤としては、例えばアミン化合物類、イミダゾール化合
物、カルボン酸類、フェノール類、第4級アンモニウム
塩類又はメチロール基含有化合物類などが挙げられる。
熱重合禁止剤としては、例えばハイドロキノン、ハイド
ロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、tert
−ブチルカテコール、フェノチアジンなどが挙げられ
る。可塑剤としては、例えばジブチルフタレート、ジオ
クチルフタレート、トリクレジルなどが挙げられる。消
泡剤、レベリング剤としては、例えばシリコン系、フッ
ソ系、アクリル系の化合物などが挙げられる。
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain, if necessary, additives such as an epoxy resin curing accelerator, a polymerization inhibitor, a plasticizer, a leveling agent and an antifoaming agent, together with the above essential components. Can be blended. Examples of the epoxy resin curing accelerator include amine compounds, imidazole compounds, carboxylic acids, phenols, quaternary ammonium salts, and methylol group-containing compounds.
Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert
-Butylcatechol, phenothiazine and the like. Examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, and tricresyl. Examples of the antifoaming agent and the leveling agent include, for example, silicon-based, fluorine-based, and acrylic-based compounds.

【0038】その他、本発明の感光性樹脂組成物には、
必要に応じて溶剤を配合して粘度を調整することもでき
る。溶剤としては、上記樹脂成分を溶解し、かつ樹脂成
分及び添加剤と反応しないものであれば特に限定される
ものではない。
In addition, the photosensitive resin composition of the present invention includes:
If necessary, a solvent can be added to adjust the viscosity. The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the resin component and does not react with the resin component and the additive.

【0039】本発明の感光性樹脂組成物を、所望部分を
光や放射線で硬化させたのち、未硬化部分をアルカリ現
像するに適した現像液としては、例えばアルカリ金属の
炭酸塩の水溶液、アルカリ金属やアルカリ土類金属の水
酸化物の水溶液などが挙げられる。特に、炭酸ナトリウ
ム、炭酸カリウム、炭酸リチウム等のアルカリ金属炭酸
塩の1〜3重量%程度の弱アルカリ性水溶液を用いれば
微細な画像を精密に現像することができる。このアルカ
リ現像は、10〜50℃、好ましくは20〜40℃で市
販の現像機や超音波洗浄機を用いて行なえばよい。
As a developing solution suitable for subjecting the photosensitive resin composition of the present invention to curing a desired portion with light or radiation and then developing the uncured portion with alkali, for example, an aqueous solution of an alkali metal carbonate, An aqueous solution of a hydroxide of a metal or an alkaline earth metal may, for example, be mentioned. In particular, a fine image can be precisely developed by using a weakly alkaline aqueous solution of about 1 to 3% by weight of an alkali metal carbonate such as sodium carbonate, potassium carbonate, and lithium carbonate. This alkali development may be performed at 10 to 50 ° C., preferably 20 to 40 ° C., using a commercially available developing machine or ultrasonic cleaning machine.

【0040】また、本発明の感光性樹脂組成物を光硬化
させるのに適した光源としては、例えば超高圧水銀ラン
プ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等のランプ
が挙げられる。また、本発明の感光性樹脂組成物は、光
のみならず放射線によって硬化させてもよい。さらに、
熱によって硬化を促進させることも可能である。
Light sources suitable for photocuring the photosensitive resin composition of the present invention include, for example, lamps such as an ultra-high pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, and a metal halide lamp. Further, the photosensitive resin composition of the present invention may be cured not only by light but also by radiation. further,
Curing can be accelerated by heat.

【0041】本発明の感光性樹脂組成物を用いた多層プ
リント配線基板の製造方法の一例を説明する。先ず、表
面銅張り積層板の銅上にエッチングレジストを塗布し、
回路を露光、現像して印刷した後、回路以外の不要な銅
を除去して、第1導体層を形成する。この上に感光性樹
脂組成物を塗布して樹脂層を形成し、フォトマスクを使
用して上下層を貫通させるビアホールが形成されるよう
に、露光、現像する。次いで、残った樹脂部をポストキ
ュアし、樹脂を完全に硬化させて絶縁層を形成する。こ
の絶縁層の全面を過マンガン酸塩溶液のようなデスミア
液等の粗化液で処理して表面を粗化し、粗化表面に無電
解メッキと電解メッキを施して導体層を形成する。これ
をアニーリングして導体層内部の歪みを取り除く。次
に、この導体層表面にエッチングレジストを塗布し、回
路を露光、現像して印刷したのち、回路以外の不要な銅
を除去して、第2導体層を形成する。この操作を順次繰
り返して多層プリント配線基板とする。
An example of a method for producing a multilayer printed wiring board using the photosensitive resin composition of the present invention will be described. First, apply an etching resist on the copper of the surface copper clad laminate,
After exposing, developing and printing the circuit, unnecessary copper other than the circuit is removed to form a first conductor layer. A photosensitive resin composition is applied thereon to form a resin layer, and exposure and development are performed using a photomask so that a via hole penetrating the upper and lower layers is formed. Next, the remaining resin portion is post-cured, and the resin is completely cured to form an insulating layer. The entire surface of the insulating layer is treated with a roughening solution such as a desmear solution such as a permanganate solution to roughen the surface, and the roughened surface is subjected to electroless plating and electrolytic plating to form a conductor layer. This is annealed to remove distortion inside the conductor layer. Next, an etching resist is applied to the surface of the conductor layer, the circuit is exposed and developed, printed, and unnecessary copper other than the circuit is removed to form a second conductor layer. This operation is sequentially repeated to obtain a multilayer printed wiring board.

【0042】硬化樹脂で形成される絶縁層をメッキする
ため、表面の粗化処理を行うが、これは、酸又はアルカ
リ処理、酸化剤処理、研磨等の公知の方法で行うことが
できる。酸又はアルカリ処理の目的で使用する粗化液と
しては、例えば硫酸、塩酸、硝酸等の鉱酸水溶液や、水
酸化ナトリウム等のアルカリ水溶液が挙げられる。ま
た、酸化剤処理の目的で使用する粗化液としては、例え
ば過マンガン酸塩水溶液等が挙げられる。特に好ましい
粗化液は、プリント配線板のデスミア処理用薬剤として
知られる有機溶剤−アルカリ水溶液と過マンガン酸塩−
アルカリ水溶液とマンガン除去剤(中和剤)とからなる
市販の薬剤が挙げられる。本発明のプリント板用樹脂組
成物を用いて形成した絶縁層をこのような粗化液1種以
上、好ましくはアルカリ水溶液と酸水溶液を含む2種以
上の粗化液で順次処理することによって、その表面に露
出した有機フィラーが抜け落ち、後工程で形成する導電
層と密着性が著しく高まる。粗化液による効果を促進す
るため、事前に表面を研磨剤等を用いて研磨して表面部
の樹脂の一部を除去又は剥離しておけば、粗化液の浸透
速度が向上する。
In order to plate the insulating layer formed of the cured resin, a surface roughening treatment is performed, which can be performed by a known method such as an acid or alkali treatment, an oxidizing agent treatment, and polishing. Examples of the roughening solution used for the purpose of the acid or alkali treatment include a mineral acid aqueous solution such as sulfuric acid, hydrochloric acid, and nitric acid, and an alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide. The roughening solution used for the purpose of the oxidizing agent treatment includes, for example, an aqueous solution of permanganate. Particularly preferred roughening solution is an organic solvent known as an agent for desmearing printed wiring boards-an aqueous alkaline solution and a permanganate-
Commercially available chemicals composed of an aqueous alkaline solution and a manganese remover (neutralizing agent) can be used. By sequentially treating the insulating layer formed using the resin composition for a printed board of the present invention with one or more such roughening solutions, preferably two or more roughening solutions including an aqueous alkali solution and an aqueous acid solution, The organic filler exposed on the surface falls off, and the adhesion to the conductive layer formed in a later step is significantly increased. If the surface is polished with an abrasive or the like in advance to remove or peel off part of the resin in order to promote the effect of the roughening liquid, the penetration rate of the roughening liquid is improved.

【0043】また、導体層形成には、従来より公知の無
電解メッキを行い、さらに電解メッキを施して所望の導
体層厚みとすることがよい。導体層となる金属として
は、銅が一般的であるが、ニッケル、金などであること
もできる。また、無電解メッキのみとすることもでき
る。
For the formation of the conductor layer, conventionally known electroless plating is preferably performed, and furthermore, electrolytic plating is performed to obtain a desired thickness of the conductor layer. Copper is generally used as the metal for the conductor layer, but nickel, gold, and the like can also be used. Alternatively, only electroless plating may be used.

【0044】メッキ後の導体層内の歪みを緩和するため
にアニーリングすることがよく、この場合、アニーリン
グ温度を樹脂のポストキュアー温度と同一か又は高く設
定し、同一温度の場合は長時間行なうことがよい。好ま
しくは、アニーリング温度を樹脂のポストキュアー温度
より10℃以上高くし、処理時間を同等以上とする。こ
のようにすることによって、導体層と絶縁層の密着強度
がより向上する。
Annealing is preferably performed to reduce the strain in the conductor layer after plating. In this case, the annealing temperature is set to be equal to or higher than the post-cure temperature of the resin, and if the temperature is the same, the annealing is performed for a long time. Is good. Preferably, the annealing temperature is at least 10 ° C. higher than the post-curing temperature of the resin, and the processing time is equal to or more than that. By doing so, the adhesion strength between the conductor layer and the insulating layer is further improved.

【0045】[0045]

【実施例】以下、本発明の実施例を示す。実施例中、部
は重量部を示す。 実施例1〜4、比較例1、2 一般式(1)においてR1 及びR2 が水素であるビスフ
ェノールフルオレンをエポキシ化して得られたエポキシ
樹脂(新日鐵化学製 エポキシ当量231)231部と
アクリル酸72部とを、酸価が2.0mgKOH/gと
なるまで反応させてエポキシアクリレート303部を得
て、これにテトラヒドロ無水フタル酸38部、無水ビフ
ェニルテトラカルボン酸73.5部とを反応させてイン
ヘレント粘度0.2dl/gのフルオレン骨格を有する
アルカリ可溶性樹脂(樹脂A)を得た。
Embodiments of the present invention will be described below. In the examples, “parts” indicates “parts by weight”. Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 and 2 231 parts of an epoxy resin (epoxy equivalent 231 manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) obtained by epoxidizing bisphenolfluorene in which R 1 and R 2 are hydrogen in the general formula (1) 72 parts of acrylic acid was reacted until the acid value became 2.0 mg KOH / g to obtain 303 parts of an epoxy acrylate, which was reacted with 38 parts of tetrahydrophthalic anhydride and 73.5 parts of biphenyltetracarboxylic anhydride. Thus, an alkali-soluble resin having an inherent viscosity of 0.2 dl / g and having a fluorene skeleton (resin A) was obtained.

【0046】下記の配合割合で感光性樹脂組成物(有機
フィラーを除く固形分50%、23℃における粘度20
0cp)を調製した。有機フィラーの平均粒子と粒子径
分布は、島津製作所製SALD−1100を用いて測定
した。なお、表1のフィラーの平均径はμm、変動係数
は%で示されている。 樹脂A : 30部 テトラメチルビフェニルエポキシ樹脂 : 6部(油化シェル製 エピコートYX4000) 多官能アクリレート: 13部(日本化薬製 TMPTA) 有機フィラー : 20部(表1に記載) 増感剤 : 0.04部(ミヒラーケトン) 光重合開始剤 : 1部(チバガイギー製 イルガキュアー651) 溶媒 * : 50部 * プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
The photosensitive resin composition (solid content excluding organic filler: 50%, viscosity at 23 ° C .: 20
0 cp) was prepared. The average particle size and particle size distribution of the organic filler were measured using SALD-1100 manufactured by Shimadzu Corporation. The average diameter of the filler in Table 1 is shown in μm, and the coefficient of variation is shown in%. Resin A: 30 parts Tetramethylbiphenyl epoxy resin: 6 parts (Epicoat YX4000 manufactured by Yuka Shell) Polyfunctional acrylate: 13 parts (TMPTA manufactured by Nippon Kayaku) Organic filler: 20 parts (described in Table 1) Sensitizer: 0 .04 parts (Michler's ketone) Photopolymerization initiator: 1 part (Irgacure 651 manufactured by Ciba Geigy) Solvent *: 50 parts * Propylene glycol monomethyl ether acetate

【0047】市販の10cm角の片面銅張りFR−4ガ
ラス繊維−エポキシ樹脂系の基板上に、上記の感光性樹
脂組成物をスピンコート法により40μm厚みとなるよ
うに塗布し、乾燥したのち、所定パターンを有するフォ
トマスクを当てて光硬化し、これを炭酸ナトリウム水溶
液を用いて現像したのち、ポストキュアして硬化させ
た。この表面を粗化後、メッキ触媒を含んだ溶液に浸漬
し、無電解メッキ法と電解メッキ法とにより全面に銅メ
ッキを施し、最後にアニーリングして試料を製作した。
その条件は次のとおりである。 感光性樹脂組成物の硬化条件 : 100℃10分乾燥後、500W高圧水銀 ランプで200mJ/cm2 になるように露光 ポストキュア条件 : 窒素雰囲気下170℃60分 粗化条件 : 荏原電産製デスミア液(過マンガン酸塩溶液系)のエレクトロ ブライト標準条件 エッチング温度70度、浸漬時間10分、研磨粉による研磨 無電解銅メッキ条件 : 奥野製薬工業 OPCプロセスM標準条件 電解銅メッキ条件 : 上村工業 ピロブライトPY−61標準条件 銅メッキ膜厚35μm メッキ後のアニーリング条件 : 窒素雰囲気下180℃60分 (実施例4のみ160℃60分)
On a commercially available 10 cm square single-sided copper-clad FR-4 glass fiber-epoxy resin-based substrate, the above-mentioned photosensitive resin composition was applied to a thickness of 40 μm by spin coating, dried, and then dried. Photocuring was performed by applying a photomask having a predetermined pattern, developed with an aqueous solution of sodium carbonate, and then cured by post-curing. After roughening the surface, the surface was immersed in a solution containing a plating catalyst, copper plating was performed on the entire surface by an electroless plating method and an electrolytic plating method, and finally, a sample was produced by annealing.
The conditions are as follows. Curing condition of the photosensitive resin composition: After drying at 100 ° C. for 10 minutes, exposure to 200 mJ / cm 2 with a 500 W high-pressure mercury lamp Post cure condition: 170 ° C. for 60 minutes under a nitrogen atmosphere Electrobright standard condition of liquid (permanganate solution) Etching temperature 70 degrees, immersion time 10 minutes, polishing with abrasive powder Electroless copper plating condition: Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. OPC process M standard condition Electrolytic copper plating condition: Uemura Kogyo Bright PY-61 standard conditions Copper plating film thickness 35 μm Annealing condition after plating: 180 ° C. for 60 minutes in a nitrogen atmosphere (160 ° C. for 60 minutes only in Example 4)

【0048】上記実施例1〜4及び比較例1、2で製作
した試料について、樹脂層と導体層の密着強度(ピール
強度)をJIS C−6481に基づき測定した結果を
表1に示す。なお、密着強度はkg/cmで示されてい
る。
Table 1 shows the results of measuring the adhesion strength (peel strength) between the resin layer and the conductor layer based on JIS C-6481 for the samples manufactured in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2. The adhesion strength is shown in kg / cm.

【0049】[0049]

【表1】 [Table 1]

【0050】 *1 : 積水化成品工業製 テクノポリマー MBX−12 *2 : 積水化成品工業製 テクノポリマー MBX−12の分級品 *3 : 積水化成品工業製 テクノポリマー SBX−8* 1: Technopolymer MBX-12, manufactured by Sekisui Plastics Co., Ltd. * 2: Classified product of Technopolymer MBX-12, manufactured by Sekisui Plastics * 3: Technopolymer SBX-8, manufactured by Sekisui Plastics

【0051】実施例5 実施例1〜3と同様な実験において、有機フィラーの平
均径を約10μm、変動係数及び配合割合を変化させて
試料を製作し、密着強度(ピール強度)を測定した。こ
の結果を図1に示す。
Example 5 In the same experiment as in Examples 1 to 3, a sample was manufactured by changing the average diameter of the organic filler to about 10 μm, the variation coefficient and the mixing ratio, and the adhesion strength (peel strength) was measured. The result is shown in FIG.

【0052】[0052]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物を用いて得ら
れた硬化物にメッキをすると密着性が向上する。そし
て、これを用いて多層プリント配線板、特にビルドアッ
プ多層プリント配線板に絶縁層を形成すると、耐熱性、
耐湿信頼性及び絶縁層と導体層の密着強度が優れた多層
プリント配線板を製造することができる。
When the cured product obtained by using the photosensitive resin composition of the present invention is plated, the adhesion is improved. When an insulating layer is formed on a multilayer printed wiring board, particularly a build-up multilayer printed wiring board using this, heat resistance,
A multilayer printed wiring board having excellent moisture resistance reliability and excellent adhesion strength between the insulating layer and the conductor layer can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】有機フィラーの変動係数と密着強度の関係を示
すグラフである。
FIG. 1 is a graph showing a relationship between a variation coefficient of an organic filler and an adhesion strength.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アルカリ可溶性樹脂マトリックス中に、
必須成分として有機フィラー及び光重合開始剤を含有し
てなる樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂の少な
くとも一部がフルオレン骨格を有するアルカリ可溶性樹
脂であり、有機フィラーの含有量がアルカリ可溶性樹脂
100重量部に対し10〜100重量部、有機フィラー
の平均粒子径が5〜20μm、かつ、粒子径の変動係数
が50%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成
物。
1. An alkali-soluble resin matrix comprising:
In a resin composition containing an organic filler and a photopolymerization initiator as essential components, at least a part of the alkali-soluble resin is an alkali-soluble resin having a fluorene skeleton, and the content of the organic filler is 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. A photosensitive resin composition, characterized in that the organic filler has an average particle diameter of 5 to 20 μm and a coefficient of variation of the particle diameter of 50% or less.
【請求項2】 有機フィラーの粒子径の変動係数が、1
5%以下である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The coefficient of variation of the particle size of the organic filler is 1
The photosensitive resin composition according to claim 1, which is at most 5%.
【請求項3】 有機フィラーが、熱可塑性樹脂の架橋変
性樹脂又は熱硬化性樹脂からなる実質的に耐酸性又は耐
アルカリ性の粒子である請求項1又は2記載の感光性樹
脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the organic filler is a substantially acid- or alkali-resistant particle made of a cross-linked modified resin of a thermoplastic resin or a thermosetting resin.
【請求項4】 フルオレン骨格を有するアルカリ可溶性
樹脂が、下記一般式(1)で表されるビスフェノール化
合物をエポキシ化して得られたエポキシ樹脂と(メタ)
アクリル酸とを反応させて得られるエポキシ(メタ)ア
クリレートに多価カルボン酸又はその無水物を反応させ
て得られるフルオレン骨格を有するエポキシ(メタ)ア
クリレート酸付加体である請求項1〜3のいずれかに記
載の感光性樹脂組成物。 【化1】 (式中、R1 及びR2 は水素、炭素数1〜5のアルキル
基又はハロゲンを表す)
4. An epoxy resin obtained by epoxidizing a bisphenol compound represented by the following general formula (1) with an alkali-soluble resin having a fluorene skeleton and (meth)
4. An epoxy (meth) acrylate acid adduct having a fluorene skeleton obtained by reacting a polycarboxylic acid or an anhydride thereof with an epoxy (meth) acrylate obtained by reacting with acrylic acid. A photosensitive resin composition according to any one of the above. Embedded image (Wherein, R 1 and R 2 represent hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen)
【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の感光性
樹脂組成物の硬化物で絶縁層を形成してなる多層プリン
ト配線板。
5. A multilayer printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the photosensitive resin composition according to claim 1.
【請求項6】 請求項1〜4のいずれかに記載の感光性
樹脂組成物を用いてメッキ後のアニーリング及び樹脂の
ポストキュアを伴うビルドアップ工法により多層プリン
ト配線板を製造するに当たり、メッキ後のアニーリング
を、樹脂のポストキュアーより厳しい条件で行うことを
特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
6. A method for producing a multilayer printed wiring board using the photosensitive resin composition according to claim 1 by a build-up method involving post-curing annealing and resin post-plating. Wherein the annealing is performed under more severe conditions than post-cure of a resin.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001294800A (en) * 2000-04-13 2001-10-23 Nippon Steel Chem Co Ltd Coating material and base plate coated with the same
JP2001348514A (en) * 2000-06-05 2001-12-18 Nippon Steel Chem Co Ltd Coating agent for forming irregular surface
JP2002169285A (en) * 2000-11-30 2002-06-14 Nippon Steel Chem Co Ltd Photo- or thermo-setting resin composition and printed wiring board
JP2002305381A (en) * 2001-04-05 2002-10-18 Ibiden Co Ltd Printed wiring board and manufacturing method thereof
JP2004083855A (en) * 2002-06-28 2004-03-18 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-containing resin
WO2005045526A1 (en) * 2003-11-11 2005-05-19 Mitsubishi Chemical Corporation Curable composition, cured object, color filter, and liquid-crystal display
JP2005331771A (en) * 2004-05-20 2005-12-02 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, photosensitive element using same, resist pattern forming method, and method for manufacturing printed wiring board
JP2006084857A (en) * 2004-09-16 2006-03-30 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, solder resist forming method and printed wiring board
KR20200035008A (en) 2017-08-09 2020-04-01 고오 가가쿠고교 가부시키가이샤 Manufacturing method of multilayer printed wiring board and multilayer printed wiring board
JP2020144374A (en) * 2020-04-07 2020-09-10 互応化学工業株式会社 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001294800A (en) * 2000-04-13 2001-10-23 Nippon Steel Chem Co Ltd Coating material and base plate coated with the same
JP2001348514A (en) * 2000-06-05 2001-12-18 Nippon Steel Chem Co Ltd Coating agent for forming irregular surface
JP4558178B2 (en) * 2000-11-30 2010-10-06 新日鐵化学株式会社 Light or thermosetting resin composition and printed wiring board
JP2002169285A (en) * 2000-11-30 2002-06-14 Nippon Steel Chem Co Ltd Photo- or thermo-setting resin composition and printed wiring board
JP2002305381A (en) * 2001-04-05 2002-10-18 Ibiden Co Ltd Printed wiring board and manufacturing method thereof
JP4718031B2 (en) * 2001-04-05 2011-07-06 イビデン株式会社 Printed wiring board and manufacturing method thereof
JP2004083855A (en) * 2002-06-28 2004-03-18 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-containing resin
JP2005165294A (en) * 2003-11-11 2005-06-23 Mitsubishi Chemicals Corp Curable composition, cured object, color filter and liquid-crystal display
KR100856367B1 (en) * 2003-11-11 2008-09-04 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 Curable composition, cured object, color filter, and liquid-crystal display
WO2005045526A1 (en) * 2003-11-11 2005-05-19 Mitsubishi Chemical Corporation Curable composition, cured object, color filter, and liquid-crystal display
JP2005331771A (en) * 2004-05-20 2005-12-02 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, photosensitive element using same, resist pattern forming method, and method for manufacturing printed wiring board
JP2006084857A (en) * 2004-09-16 2006-03-30 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, solder resist forming method and printed wiring board
JP4599956B2 (en) * 2004-09-16 2010-12-15 日立化成工業株式会社 Photosensitive resin composition, method for forming solder resist, and printed wiring board
KR20200035008A (en) 2017-08-09 2020-04-01 고오 가가쿠고교 가부시키가이샤 Manufacturing method of multilayer printed wiring board and multilayer printed wiring board
JP2020144374A (en) * 2020-04-07 2020-09-10 互応化学工業株式会社 Photosensitive resin composition, dry film, printed wiring board, and production method of photosensitive resin composition

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