JP4599956B2 - Photosensitive resin composition, method for forming solder resist, and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition, method for forming solder resist, and printed wiring board Download PDF

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Description

本発明は、感光性樹脂組成物、ソルダレジストの形成方法及びプリント配線板に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a method for forming a solder resist, and a printed wiring board.

感光性ソルダレジスト付きのプリント基板は、導体回路パターンの形成された絶縁基板上に耐熱性の感光性樹脂組成物層を形成し、この層に対して、電子部品とはんだ付けを行う導体箇所が遮蔽されるようにフォトマスクを介して露光を行い、遮蔽された部分の感光性樹脂組成物層をアルカリ系の現像液で選択的に除去した後、光又は熱硬化処理を施して製造される。   A printed circuit board with a photosensitive solder resist is formed with a heat-resistant photosensitive resin composition layer on an insulating substrate on which a conductor circuit pattern is formed. It is manufactured by performing exposure through a photomask so as to be shielded, and selectively removing the shielded portion of the photosensitive resin composition layer with an alkaline developer, followed by light or thermosetting treatment. .

導体回路パターンの形成された絶縁基板上に感光性樹脂組成物層を形成する方法としては、液状の感光性樹脂組成物をスクリーン印刷、ロールコート又はカーテンコートする方法や、予め、感光性樹脂組成物を耐熱性樹脂フィルム上に塗布してフィルム化し、このフィルムをラミネートして貼り合せる方法がある。   As a method for forming a photosensitive resin composition layer on an insulating substrate on which a conductor circuit pattern is formed, a liquid photosensitive resin composition is screen-printed, roll-coated or curtain-coated, or a photosensitive resin composition is previously prepared. There is a method in which an object is applied onto a heat resistant resin film to form a film, and the film is laminated and bonded.

プリント基板の生産性の点では、液状材料を基板に直接塗布する方式よりもフィルムをラミネートする方式の方が、感光性樹脂組成物層を両面同時に形成できる点、ソルダレジスト層形成時の気泡や異物の混入がない点、有機溶剤による作業場の汚染がない点で有利であるが、用途に応じて厚みを塗り分けることができ、材料コストが安価であり、塗膜物性に優れることから、液状材料(液状ソルダレジスト)の方が多く用いられている。   In terms of productivity of the printed circuit board, the method of laminating a film rather than the method of directly applying a liquid material to the substrate can form both sides of the photosensitive resin composition layer at the same time. It is advantageous in that it does not contain foreign matter, and there is no contamination of the workplace with organic solvents, but it can be applied to different thicknesses depending on the application, the material cost is low, and the coating film properties are excellent. The material (liquid solder resist) is used more often.

ソルダレジストは従来、プリント基板の最外層に形成される、はんだ保護膜として使用されてきたが、近年の電子機器の高機能化に伴い、はんだ保護膜以外に絶縁膜としての機能についても重視されるようになってきている。   Solder resist has been conventionally used as a solder protective film formed on the outermost layer of a printed circuit board. However, with the recent increase in functionality of electronic devices, importance has been placed on the function as an insulating film in addition to the solder protective film. It is becoming.

一方、携帯電話やパソコン等の情報端末機器は1990年代以降、高機能化が急速に進み、最近では電子部品の実装方式として、半導体チップをプリント基板上に直接搭載するフリップチップやCOF等の高密度実装方式が既に実用化され始めているが、このような高密度実装に用いられるプリント基板(半導体パッケージ基板)ならびに基板構成材料に対する要求品質は、半導体チップに対する要求品質に近づきつつある。その代表例として温度サイクル試験時の耐クラック性(耐TCT性)、耐湿絶縁信頼性(耐HAST性)、耐吸湿リフロー性、外観等があり、いずれも従来のプリント基板と比較して高いレベルが求められる。   On the other hand, information terminal devices such as mobile phones and personal computers have rapidly become highly functional since the 1990s. Recently, as a mounting method of electronic components, flip chip, COF, or the like that directly mounts a semiconductor chip on a printed circuit board is used. Although the density mounting method has already begun to be put into practical use, the required quality for the printed circuit board (semiconductor package substrate) and the substrate constituent material used for such high density mounting is approaching the required quality for the semiconductor chip. Typical examples include crack resistance (TCT resistance), moisture insulation reliability (HAST resistance), moisture absorption reflow resistance, appearance, etc. during temperature cycling tests, all of which are higher than conventional printed circuit boards. Is required.

これらの中で特に、半導体パッケージ基板の最外層すなわち、基板と半導体チップの界面に形成される基板構成材料である、ソルダレジストの外観仕様に対する要求は最も厳しくなってきている。   Among these, in particular, the requirements for the appearance specifications of the solder resist, which is a substrate constituent material formed at the outermost layer of the semiconductor package substrate, that is, at the interface between the substrate and the semiconductor chip, have become stricter.

また、非特許文献1によれば、ソルダレジスト形成工程はプリント配線板製造工程の中で改善を要する工程(歩留まりの低い工程)の第1位にランクされており、ソルダレジスト塗膜外観の向上が各基板メーカにとって大きな技術課題となっている事実がある。これは半導体パッケージ基板においても例外ではない。
エレクトロニクス実装技術、2002年9月号
Further, according to Non-Patent Document 1, the solder resist formation process is ranked first among the processes requiring improvement (processes with low yield) in the printed wiring board manufacturing process, and the solder resist coating film appearance is improved. However, there is a fact that this is a big technical problem for each board manufacturer. This is no exception in the semiconductor package substrate.
Electronics packaging technology, September 2002 issue

これまでソルダレジスト塗膜欠陥の発生原因は、プリント配線板製造時に混入するほこりやゴミ、繊維くず等の異物の影響が支配的であると言われてきたが、半導体パッケージ基板においては製造現場が半導体レベルのクリーン度が保たれた環境下にあり、異物に起因する塗膜欠陥の発生は極めて少ない。したがって、ソルダレジスト自体の改良が望まれている。   Until now, it has been said that the cause of solder resist coating film defects is dominated by foreign matter such as dust, dust, and fiber scraps mixed in the production of printed wiring boards. It is in an environment where the cleanliness of the semiconductor level is maintained, and the occurrence of coating film defects due to foreign matters is extremely small. Therefore, improvement of the solder resist itself is desired.

そこで、本発明の目的は、ソルダレジスト塗膜の外観仕様を十分に満足する半導体パッケージ基板を安定して製造することのできる感光性樹脂組成物、すなわち、塗膜欠陥が小さくでき、塗膜欠陥数も低減可能な感光性樹脂組成物を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can stably produce a semiconductor package substrate that sufficiently satisfies the appearance specifications of a solder resist coating film, that is, a coating film defect can be reduced and a coating film defect. The object is to provide a photosensitive resin composition capable of reducing the number.

上記目的を達成するために、本発明者らは、原材料と塗膜欠陥の関係に着目し、詳細に検討を行った。その結果、密着性付与並びに塗膜の酸化による変色防止のために使用している、フィラー(有機フィラータイプの密着性付与剤等)の粒径と粒径分布が塗膜欠陥の発生と深く関係しているとの知見を得、本発明を完成するに至った。   In order to achieve the above object, the present inventors have studied in detail, paying attention to the relationship between raw materials and coating film defects. As a result, the particle size and particle size distribution of fillers (organic filler type adhesion promoters, etc.) used to impart adhesion and prevent discoloration due to oxidation of the coating are closely related to the occurrence of coating film defects. As a result, the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、(A)感光性樹脂、(B)光重合開始剤並びに(C)有機フィラーとしてトリアミノトリアジン、ヘキサメトキシメラミン、ヘキサブトキシ化メラミン、ポリリン酸メラミン、アミノメルカプトチアジアゾール、及びメルカプトトリアゾールからなる群より選択される少なくとも1種を含有してなる感光性樹脂組成物であって、(C)有機フィラーの最大粒径が30μm以下であり、且つ、(C)有機フィラーの粒径分布曲線における、粒径20μm以上100μm以下の範囲の積分面積が、粒径0.1μm以上100μm以下の範囲の積分面積の2.0%未満であることを特徴とするソルダレジスト用感光性樹脂組成物を提供するものである。 That is, the present invention provides (A) a photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an organic filler such as triaminotriazine, hexamethoxymelamine, hexabutoxylated melamine, melamine polyphosphate, aminomercaptothiadiazole, and mercapto. a photosensitive resin composition comprising at least one selected from Toriazo Le or Ranaru group, not more than 30μm maximum particle size of (C) an organic filler, and, (C) an organic filler The integral area in the range of 20 μm to 100 μm in the particle size distribution curve is less than 2.0% of the integrated area in the range of 0.1 μm to 100 μm. The resin composition is provided.

このような構成の感光性樹脂組成物は、ソルダレジストとして用いた場合に、塗膜欠陥が小さくでき、塗膜欠陥数も低減可能である。従来の液状ソルダレジストに用いられる感光性樹脂組成物では、このような特性を得ることができないが、これは、フィラーの最大粒径が30〜50μmと大きいことや、0.1〜100μmの粒径分布の積分面積に対する20〜100μmの粒径分布の積分面積が2〜5%程度であったことに起因すると考えられる。   When the photosensitive resin composition having such a configuration is used as a solder resist, coating film defects can be reduced and the number of coating film defects can be reduced. In the photosensitive resin composition used for the conventional liquid solder resist, such characteristics cannot be obtained. This is because the maximum particle size of the filler is as large as 30 to 50 μm, or the particle size of 0.1 to 100 μm. This is probably because the integrated area of the particle size distribution of 20 to 100 μm with respect to the integrated area of the diameter distribution was about 2 to 5%.

近年、ソルダレジスト塗膜欠陥の大きさが30μm以下のレベルが要求されるようになってきているが、従来の液状ソルダレジストがこのような要求を満たさないのは、有機フィラーの最大粒径が30μmを超えてしまうと、ソルダレジスト熱硬化工程後に有機フィラーの最大粒径に対して1〜1.5倍の塗膜欠陥が発生してしまうためであると考えられる。   In recent years, the size of solder resist coating film defects has been required to be at a level of 30 μm or less, but the conventional liquid solder resist does not satisfy such requirements because the maximum particle size of the organic filler is If it exceeds 30 μm, it is considered that 1 to 1.5 times the coating film defect occurs with respect to the maximum particle size of the organic filler after the solder resist thermosetting step.

従来、液状レジストに用いるべきフィラーの大きさは平均粒径に基づいて決定されており、最大粒径及び粒径分布に基づいてフィラーを決定するという手法は採られていなかった。今回、本発明者らはこのような手法を採用し、フィラーの最大粒径を30μm以下にした場合であっても、粒径分布20〜100μmの範囲における積分面積が粒径分布0.1〜100μm未満の積分面積に対して2%を超えた場合、要求特性を満たさなくなることを見出したものである。   Conventionally, the size of the filler to be used in the liquid resist is determined based on the average particle size, and a method of determining the filler based on the maximum particle size and the particle size distribution has not been adopted. This time, the present inventors adopt such a method, and even when the maximum particle size of the filler is 30 μm or less, the integrated area in the range of the particle size distribution of 20 to 100 μm is 0.1 to 0.1 μm. It has been found that the required characteristics are not satisfied when it exceeds 2% for an integrated area of less than 100 μm.

なお、ソルダレジスト塗膜欠陥が熱硬化工程後に発生する原因については、未だ定かではないが、熱硬化工程時のフィラー自身、若しくはフィラーと他成分の熱反応による硬化収縮の影響によるものと考えられる。また、加圧ろ過フィルターの小径化によってフィラー大粒子の除去を行っても、フィラー大粒子は、それが有機フィラーである場合は特に軟らかく塑性変形可能であり、大粒子を完全に捕捉することは困難である。したがって、フィラー粒子径を予め、上記のような範囲に制御しておくことが好ましい。   The cause of the solder resist coating film defect occurring after the thermosetting process is not yet known, but is thought to be due to the effect of curing shrinkage due to the thermal reaction between the filler itself or the filler and other components during the thermosetting process. . Also, even if the filler large particles are removed by reducing the diameter of the pressure filtration filter, the filler large particles are particularly soft and plastically deformable when they are organic fillers, and the large particles cannot be completely captured. Have difficulty. Therefore, it is preferable to control the filler particle diameter in the above range in advance.

本発明に係る(A)感光性樹脂、(B)光重合開始剤並びに(C)有機フィラーとしてトリアミノトリアジン、ヘキサメトキシメラミン、ヘキサブトキシ化メラミン、ポリリン酸メラミン、アミノメルカプトチアジアゾール、及びメルカプトトリアゾールからなる群より選択される少なくとも1種を含有してなるソルダレジスト用感光性樹脂組成物は、(C)有機フィラーの最大粒径が30μm以下であり、且つ、(C)有機フィラーの粒径分布曲線における、粒径0.1μm以上10μm以下の範囲の積分面積及び粒径20μm以上100μm以下の範囲の積分面積が、いずれも、粒径0.1μm以上100μm以下の範囲の積分面積の2.0%未満であることが好ましい。 (A) Photosensitive resin, (B) photopolymerization initiator, and (C) organic filler as triaminotriazine, hexamethoxymelamine, hexabutoxylated melamine, melamine polyphosphate, aminomercaptothiadiazole, and mercaptotriazole according to the present invention solder resist photosensitive resin composition comprising at least one selected from the Le or Ranaru group, maximum particle diameter of (C) an organic filler is not more 30μm or less, and, in (C) an organic filler In the particle size distribution curve, the integrated area in the range of 0.1 to 10 μm and the integrated area in the range of 20 to 100 μm are both integrated areas in the range of 0.1 to 100 μm. It is preferable that it is less than 2.0%.

このような構成により、感光性樹脂組成物の増粘を防止できるため、作業性が更に向上し、ソルダレジストの欠陥をより確実に低減できるようになる。   With such a configuration, the thickening of the photosensitive resin composition can be prevented, so that the workability is further improved, and defects in the solder resist can be more reliably reduced.

本発明の感光性樹脂組成物を使用して、ソルダレジストパターンの形成方法並びにソルダレジストが形成されたプリント配線板を提供することが可能になる。   Using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to provide a method for forming a solder resist pattern and a printed wiring board on which the solder resist is formed.

すなわち、絶縁基板上に回路パターンを有する導体層が形成された積層基板の、前記絶縁基板上に、前記導体層を覆うように上記本発明の感光性樹脂組成物からなる樹脂層を形成し、該樹脂層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、該露光部以外の樹脂層を除去することにより、ソルダレジストパターンの形成が可能なる。   That is, forming a resin layer made of the photosensitive resin composition of the present invention so as to cover the conductor layer on the insulating substrate of the laminated substrate in which the conductor layer having a circuit pattern is formed on the insulating substrate, A solder resist pattern can be formed by irradiating a predetermined portion of the resin layer with actinic rays to form an exposed portion and removing the resin layer other than the exposed portion.

また、絶縁基板上に回路パターンを有する導体層が形成され、更に前記導体層を覆うように前記絶縁基板上にソルダレジスト層が形成されたプリント配線板であって、前記ソルダレジスト層が、請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなるものであり、前記ソルダレジスト層は、前記導体層の一部が露出するように開口部を有することを特徴とするプリント配線板が提供される。   Further, a printed wiring board in which a conductor layer having a circuit pattern is formed on an insulating substrate, and further a solder resist layer is formed on the insulating substrate so as to cover the conductor layer, the solder resist layer is claimed. It consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition as described in any one of claim | item 1-3, The said soldering resist layer has an opening part so that a part of said conductor layer may be exposed. A printed wiring board is provided.

ソルダレジスト塗膜の外観仕様を十分に満足する半導体パッケージ基板を安定して製造することのできる感光性樹脂組成物、すなわち、塗膜欠陥が小さくでき、塗膜欠陥数も低減可能な感光性樹脂組成物が提供される。   A photosensitive resin composition that can stably produce a semiconductor package substrate that sufficiently satisfies the appearance specifications of a solder resist coating film, that is, a photosensitive resin that can reduce coating film defects and reduce the number of coating film defects. A composition is provided.

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。   Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In addition, the same code | symbol shall be used for the same element and the overlapping description is abbreviate | omitted.

(感光性樹脂組成物)
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)感光性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)フィラーを含有しており、好適な実施形態において、光重合性モノマー、熱硬化性樹脂、着色剤、重合禁止剤、消泡剤、シランカップリング剤、有機溶剤等の添加成分の少なくとも一つを含有させることができる。
(Photosensitive resin composition)
The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, and (C) a filler. In a preferred embodiment, the photopolymerizable monomer and the thermosetting resin are used. In addition, at least one of additive components such as a colorant, a polymerization inhibitor, an antifoaming agent, a silane coupling agent, and an organic solvent can be contained.

感光性樹脂組成物は、常温(25℃)において液状であることが好ましいが、加熱等の手段により積層基板に塗布が可能であれば、常温でペースト状でも固形状でもよい。固形状である場合は、積層基板に対する積層が容易となるようにフィルム形状をなしていてもよい。感光性樹脂組成物はまた、液状成分の混合物であっても、固形分と液状成分との混合物であってもよい。   The photosensitive resin composition is preferably liquid at normal temperature (25 ° C.), but may be pasty or solid at normal temperature as long as it can be applied to the laminated substrate by means such as heating. When it is solid, it may have a film shape so that lamination on the laminated substrate is easy. The photosensitive resin composition may also be a mixture of liquid components or a mixture of solids and liquid components.

(A)感光性樹脂としては、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型等の各種エポキシ樹脂を、不飽和基を含有するモノカルボン酸で変性した後、飽和若しくは不飽和基含有多塩基酸無水物で酸変性した化合物(酸変性エポキシアクリレート)を用いることができる。好ましくはレジストパターン形成時の現像液への樹脂の溶解性ならびに塗膜の光硬化性を考慮して酸価60〜110mgKOH/g、重量平均分子量が10000以下のものを使用することが好ましい。   (A) As the photosensitive resin, various epoxy resins such as bisphenol A type, bisphenol F type, phenol novolak type, cresol novolak type and the like are modified with monocarboxylic acid containing an unsaturated group, and then saturated or unsaturated group. A compound (acid-modified epoxy acrylate) modified with an acid containing polybasic acid anhydride can be used. It is preferable to use a resin having an acid value of 60 to 110 mgKOH / g and a weight average molecular weight of 10,000 or less in consideration of the solubility of the resin in the developer during the formation of the resist pattern and the photocurability of the coating film.

不飽和基を含有するモノカルボン酸の例としてはアクリル酸、アクリル酸の二量体、メタクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、β−スチリルアクリル酸、桂皮酸、クロトン酸、α−シアノ桂皮酸等が挙げられる。また、飽和若しくは不飽和基含有多塩基酸無水物の例としては無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸等が挙げられる。これらは単独若しくは2種類以上の複数を組み合わせて使用することができる。   Examples of monocarboxylic acids containing unsaturated groups are acrylic acid, dimer of acrylic acid, methacrylic acid, β-furfurylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, α-cyanocinnamic acid Etc. Examples of saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydrides include succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ethyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride. Methylhexahydrophthalic anhydride, ethylhexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

感光性樹脂の配合量は感光性樹脂組成物の全固形分に対して、20〜70重量%更には30〜60重量%が好ましい。配合量が20重量%未満では露光感度が大幅に低下する上に、感光性樹脂組成物の光硬化性が不十分となり、露光部の耐現像液性に問題が生じる場合がある。一方、配合量が70重量%を超えると、ソルダレジスト塗膜の可とう性や耐熱性に問題が生じる場合がある。   The blending amount of the photosensitive resin is preferably 20 to 70% by weight, more preferably 30 to 60% by weight, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. When the blending amount is less than 20% by weight, the exposure sensitivity is significantly lowered, and the photocurability of the photosensitive resin composition becomes insufficient, which may cause a problem in the developer resistance of the exposed portion. On the other hand, if the blending amount exceeds 70% by weight, there may be a problem in the flexibility and heat resistance of the solder resist coating film.

(B)光重合開始剤としては、プリント配線板製造用の汎用露光機より紫外線を照射した際にラジカルを発生するタイプのものを用いることができる。例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾイン類、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類、ベンゾフェノン、メチルベンゾフェノン、4,4′−ジクロロベンゾフェノン、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、4−ベンゾイル−4′−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン類、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジ誘導体、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは単独若しくは2種以上の複数を組み合わせて使用することができる。   (B) As a photoinitiator, the thing of the type which generate | occur | produces a radical when it irradiates with an ultraviolet-ray from the general purpose exposure machine for printed wiring board manufacture can be used. For example, benzoins such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxy Acetophenones such as cyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2,2-diethoxyacetophenone, N, N-dimethylaminoacetophenone, 2 -Anthraquinones such as methyl anthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2,4-dimethylthioki Thioxanthones such as nitrophenone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, methyl benzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, Michler's ketone, benzophenones such as 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, acridi such as 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane Derivatives, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

(B)光重合開始剤の配合量は、感光性樹脂の固形分に対して、0.5〜20重量%、更には1〜10重量%が好ましい。配合量が0.5重量%未満では紫外線によるラジカル発生量が不足するため、感光性樹脂組成物の光硬化性が不十分となり、露光部の耐現像液性に問題が生じる場合がある。一方、配合量が20重量%を越えると、感光性樹脂層の低部に光が十分透過せず、アンダーカット等の不具合が発生する場合がある。   (B) The compounding quantity of a photoinitiator is 0.5-20 weight% with respect to solid content of the photosensitive resin, Furthermore, 1-10 weight% is preferable. If the blending amount is less than 0.5% by weight, the amount of radicals generated by ultraviolet rays is insufficient, so that the photocurability of the photosensitive resin composition becomes insufficient, and a problem may occur in the developer resistance of the exposed portion. On the other hand, if the blending amount exceeds 20% by weight, light may not be sufficiently transmitted to the lower part of the photosensitive resin layer, and problems such as undercutting may occur.

(C)フィラーとしては、ソルダレジスト塗膜に密着性ならびに酸化によるソルダレジスト塗膜の変色防止を付与することが可能な有機フィラーを用いることができるが、最大粒径が30μm以下であり、0.1〜100μmの粒度分布の積分面積に対する20〜100μmの粒度分布の積分面積が2.0%未満、更に好ましくは1.0%未満のものを用いることが必須である。最大粒径、粒度分布の制御は、シックナー、風シ機、多段流動層分級機等を用いた重力場分級や、サイクロン、渦流式分級機等を用いた遠心場分級等の既存の分級方式により行うことができる。また、最大粒径、粒度分布の測定はマイクロトラック法等の既存の装置を用いることにより、行うことができる。   As the filler (C), an organic filler capable of imparting adhesion and prevention of discoloration of the solder resist coating film by oxidation to the solder resist coating film can be used, but the maximum particle size is 30 μm or less. It is essential to use one having an integrated area of 20-100 μm particle size distribution of less than 2.0%, more preferably less than 1.0% relative to an integrated area of particle size distribution of 1-100 μm. Maximum particle size and particle size distribution are controlled by existing classification methods such as gravity field classification using thickeners, wind shears, multistage fluidized bed classifiers, and centrifugal field classification using cyclones, vortex flow classifiers, etc. It can be carried out. The maximum particle size and particle size distribution can be measured by using an existing apparatus such as a microtrack method.

有機フィラーの例としてはトリアミノトリアジン、ヘキサメトキシメラミン、ヘキサブトキシ化メラミン、ポリリン酸メラミン、アミノメルカプトチアジアゾール、メルカプトトリアゾール、ピペリジン等を挙げることができる。これらは単独若しくは2種類以上の複数を組み合わせて使用することができる。また、その配合量は感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.1〜10重量%、更には0.5〜5重量%が好ましい。配合量が0.1重量%未満では塗膜の接着性が低下したり、酸化によるレジスト塗膜の変色の問題が生じやすくなる。   Examples of the organic filler include triaminotriazine, hexamethoxymelamine, hexabutoxylated melamine, melamine polyphosphate, aminomercaptothiadiazole, mercaptotriazole, piperidine and the like. These can be used alone or in combination of two or more. Moreover, the compounding quantity is 0.1 to 10 weight% with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, Furthermore, 0.5 to 5 weight% is preferable. When the blending amount is less than 0.1% by weight, the adhesion of the coating film is lowered, and the problem of discoloration of the resist coating film due to oxidation tends to occur.

有機フィラー以外に、さらに必要に応じて塗膜の機械強度を向上させる目的で無機フィラーを用いることもできる。無機フィラーとしては、例えば硫酸バリウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、珪酸ジルコニウム、酸化ジルコニウム、珪酸カルシウム、タルク、クレー、シリカ、ベントナイト、カオリン珪酸ジルコニウム、等が使用できる。これらは単独若しくは2種以上の複数を組み合わせて使用できる。   In addition to the organic filler, an inorganic filler can also be used for the purpose of improving the mechanical strength of the coating film as necessary. Examples of the inorganic filler that can be used include barium sulfate, silicon oxide, magnesium oxide, calcium carbonate, zirconium silicate, zirconium oxide, calcium silicate, talc, clay, silica, bentonite, and kaolin zirconium silicate. These can be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物において、必要に応じて光感度、耐現像液性を向上させる目的で、光重合性モノマーを用いることができる。光重合性モノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、N,N−ジメチル(メタ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、あるいはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ビスフェノールAのポリエチレングリコールあるいはプロピレングリコール、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌル酸のモノあるいは多官能(メタ)アクリレート類、トリグリシジルイソシアヌレート等のグリシジルエーテルの(メタ)アクリレート類、ジアリルフタレート等の光重合性モノマーが使用できる。これらは単独若しくは2種以上の複数を組み合わせて使用できる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, a photopolymerizable monomer can be used for the purpose of improving photosensitivity and developer resistance as required. Examples of the photopolymerizable monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, N, N-dimethyl ( (Meth) acrylate, N-methylol (meth) acrylamide, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol or propylene glycol of bisphenol A, mono- or polyfunctional (meth) acrylates of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid, triglycidyl Photopolymerizable monomers such as (meth) acrylates of glycidyl ether such as isocyanurate and diallyl phthalate can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

光重合性モノマーの配合量は、感光性樹脂組成物全固形分に対して0.5〜30重量%が好ましい。配合量が0.5重量%未満では、露光感度が低いため、露光工程に多くの時間を費やすことが必要となり、基板の生産性が低下する傾向がある。一方、配合量が30重量%を超えると、可とう性や耐熱性が低下する傾向がある。   As for the compounding quantity of a photopolymerizable monomer, 0.5 to 30 weight% is preferable with respect to the photosensitive resin composition total solid. If the blending amount is less than 0.5% by weight, the exposure sensitivity is low, so that it is necessary to spend a lot of time in the exposure process, and the productivity of the substrate tends to be lowered. On the other hand, if the blending amount exceeds 30% by weight, the flexibility and heat resistance tend to decrease.

本発明の感光性樹脂組成物において、必要に応じて耐熱性、耐薬品性、絶縁信頼性を向上させる目的で熱硬化性樹脂を用いることができる。熱硬化性樹脂としてはエポキシ化合物、アミド若しくはイミド化合物、尿素化合物等を挙げることができる。エポキシ化合物としては例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。アミド若しくはイミド化合物としては例えば、ビスマレイミド樹脂、アミドイミド樹脂、エーテルイミド樹脂、アミドエポキシ樹脂等が挙げられる。尿素化合物としてはジメチロール尿素等が挙げられる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, a thermosetting resin can be used for the purpose of improving heat resistance, chemical resistance and insulation reliability, if necessary. Examples of the thermosetting resin include epoxy compounds, amide or imide compounds, urea compounds, and the like. Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, novolac type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, and heterocyclic epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate. Examples of the amide or imide compound include bismaleimide resin, amideimide resin, etherimide resin, and amide epoxy resin. Examples of the urea compound include dimethylol urea.

上記熱硬化性樹脂の配合量は、感光性樹脂の固形分に対して10〜60重量%が好ましい。10重量部未満では、レジスト塗膜の耐熱性、耐薬品性、絶縁信頼性が低下する傾向にあり、60重量%を超えると感光性樹脂組成物の光硬化性が低下し、耐現像液性が低下する傾向にある。   As for the compounding quantity of the said thermosetting resin, 10 to 60 weight% is preferable with respect to solid content of the photosensitive resin. If the amount is less than 10 parts by weight, the heat resistance, chemical resistance and insulation reliability of the resist coating film tend to decrease. If the amount exceeds 60% by weight, the photocurability of the photosensitive resin composition decreases, and the developer resistance Tend to decrease.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニングリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラック等の公知の着色剤、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、ピロガロール等の重合禁止剤、シリコーン系、フッ素系、ビニル樹脂系の消泡剤、シランカップリング剤等、公知慣用の各種添加剤を用いることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention includes, as necessary, known colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, kustal violet, titanium oxide, carbon black, naphthalene black, hydroquinone, and the like. Various known and conventional additives such as polymerization inhibitors such as methyl hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, catechol and pyrogallol, silicone-based, fluorine-based and vinyl resin-based antifoaming agents, and silane coupling agents can be used.

本発明の感光性樹脂組成物は有機溶剤を含有していてもよい。含有させ得る有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等が挙げられる。   The photosensitive resin composition of the present invention may contain an organic solvent. Examples of the organic solvent that can be contained include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, di Glycol ethers such as propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether and triethylene glycol monoethyl ether; esters such as ethyl acetate, butyl acetate, butyl cellosolve acetate and carbitol acetate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane And petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha.

上述したように感光性樹脂組成物はフィルム形状を有していてもよい。フィルム形状を有する感光性樹脂組成物は、支持体とカバーフォルムで挟んで感光性フィルムとして用いることが好ましい。   As described above, the photosensitive resin composition may have a film shape. The photosensitive resin composition having a film shape is preferably used as a photosensitive film sandwiched between a support and a cover form.

図1は、このような感光性フィルムの一実施形態を示す断面図である。図1に示す感光性フィルム1は、支持体11と、該支持体上に形成された上記感光性樹脂組成物からなる樹脂層12と、樹脂層12上に積層されたカバーフィルム13と、を備えるものである。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of such a photosensitive film. A photosensitive film 1 shown in FIG. 1 includes a support 11, a resin layer 12 made of the photosensitive resin composition formed on the support, and a cover film 13 laminated on the resin layer 12. It is to be prepared.

支持体11としては、プラスチックフィルムが良く、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。ここで、支持体の厚さは10〜150μmの範囲で適宜選択される。   As the support 11, a plastic film is good, and it is preferable to use a plastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, or a polystyrene film. Here, the thickness of the support is appropriately selected within a range of 10 to 150 μm.

樹脂層12の厚さについては特に制限はなく、例えば、10〜150μmの範囲で適宜選択される。樹脂層12は、例えば、有機溶剤を含有する感光性樹脂組成物をコンマコータ、ブレードコータ、リップコータ、ロッドコータ、スクイズコータ、リバースコータ、トランスファロールコータ等で支持体11上に均一な厚さに塗布し、加熱・乾燥して有機溶剤を揮発させて形成することができる。   There is no restriction | limiting in particular about the thickness of the resin layer 12, For example, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers. For example, the resin layer 12 is formed by applying a photosensitive resin composition containing an organic solvent to the support 11 with a uniform thickness using a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, transfer roll coater, or the like. The organic solvent can be volatilized by heating and drying.

カバーフィルム13としては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、テフロン(登録商標)フィルム、表面処理した紙等がある。カバーフィルム13としては、樹脂層12と支持体11との接着力よりも樹脂層12とカバーフィルム13との接着力が小さいものであればよい。図1に示す感光性フィルム1の変形態様として、カバーフィルム13を備えない態様が可能であるが、感光性フィルム1を巻き取って保管する場合は、樹脂層12を保護する目的で樹脂層12上にカバーフィルム13を積層しておくことが好ましい。   Examples of the cover film 13 include a polyethylene film, a polypropylene film, a Teflon (registered trademark) film, and a surface-treated paper. The cover film 13 only needs to have a smaller adhesive force between the resin layer 12 and the cover film 13 than the adhesive force between the resin layer 12 and the support 11. As a modification of the photosensitive film 1 shown in FIG. 1, an embodiment without the cover film 13 is possible. However, when the photosensitive film 1 is wound and stored, the resin layer 12 is used for the purpose of protecting the resin layer 12. It is preferable to laminate the cover film 13 thereon.

(レジストパターンの形成方法)
感光性樹脂組成物を用いたレジストパターンの形成は以下の方法で行うことができる。すなわち、先ず、絶縁基板上に回路パターンを有する導体層が形成された積層基板を準備する。そしてこの積層基板の絶縁基板上に導体層を覆うように、上述した感光性樹脂組成物を塗布して、感光性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する。次いで、この樹脂層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、露光部以外の樹脂層を除去する。
(Method for forming resist pattern)
Formation of the resist pattern using the photosensitive resin composition can be performed by the following method. That is, first, a laminated substrate in which a conductor layer having a circuit pattern is formed on an insulating substrate is prepared. And the photosensitive resin composition mentioned above is apply | coated so that a conductor layer may be covered on the insulated substrate of this laminated substrate, and the resin layer which consists of a photosensitive resin composition is formed. Next, an exposed portion is formed by irradiating a predetermined portion of the resin layer with actinic rays, and the resin layer other than the exposed portion is removed.

積層基板上への感光性樹脂組成物の塗布は、スピンコート、スクリーン印刷、カーテンコート等で行うことができ、塗布された樹脂層に照射する活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用いられる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いられる。   Application of the photosensitive resin composition on the laminated substrate can be performed by spin coating, screen printing, curtain coating, etc., and as a light source of actinic rays irradiated to the applied resin layer, a known light source, for example, A carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like that emits ultraviolet rays effectively is used. Moreover, what emits visible light effectively, such as a photographic flood light bulb and a solar lamp, is also used.

露光後は、アルカリ性水溶液(アルカリ現像液)を用い、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により露光部分以外の部分を除去して現像を行い、レジストパターンを形成することが好ましい。なお、レジストパターン形成後に、1〜5J/cmの露光及び/又は100〜200℃、30分〜12時間の加熱(後加熱)による後硬化を更に行ってもよい。 After the exposure, an alkaline aqueous solution (alkaline developer) is used, and development is performed by removing portions other than the exposed portion by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, and scraping to form a resist pattern. It is preferable. Note that after the resist pattern is formed, post-curing may be further performed by exposure at 1 to 5 J / cm 2 and / or heating (post-heating) at 100 to 200 ° C. for 30 minutes to 12 hours.

現像処理に用いられる現像液は、露光部にダメージを与えず、未露光部を選択的に溶出するものであれば、上記以外のものでもよい。現像液は樹脂組成物の現像タイプにしたがって、準水系現像液、溶剤現像液等を用いることができる。例えば、特開平7−234524号公報に記載されるような水と有機溶剤とを含むエマルジョン現像液を使用することができる。特に有用なエマルジョン現像液としては、例えば、有機溶剤成分としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、2,2−ブトキシエトキシエタノール、乳酸ブチル、乳酸シクロヘキシル、安息香酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート等の有機溶剤を10〜40重量%含有するエマルジョン現像液を挙げることができる。また、アルカリ現像液を用いる場合には、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、燐酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、4―ホウ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液と前記有機溶剤とのエマルジョン現像液を用いることもできる。   A developer other than those described above may be used as long as it does not damage the exposed area and selectively elutes the unexposed area. As the developer, a semi-aqueous developer, a solvent developer, or the like can be used according to the development type of the resin composition. For example, an emulsion developer containing water and an organic solvent as described in JP-A-7-234524 can be used. Particularly useful emulsion developers include, for example, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, 2,2-butoxyethoxyethanol, butyl lactate, cyclohexyl lactate, ethyl benzoate, and 3-methyl-3 as organic solvent components. An emulsion developer containing 10 to 40% by weight of an organic solvent such as methoxybutyl acetate can be mentioned. When an alkali developer is used, an alkaline aqueous solution such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, 4-sodium borate, ammonia, amines, and the organic solvent are used. It is also possible to use an emulsion developer.

上述の方法によって、回路パターンが形成された導体層上の感光性樹脂組成物層に対して、レジストパターンの形成を行うことができる。レジストパターンの形成された樹脂層は、実装部品の接合時に、導体層上の不必要な部分へのはんだの付着を防ぐソルダレジストとして用いられる。   By the above-described method, a resist pattern can be formed on the photosensitive resin composition layer on the conductor layer on which the circuit pattern is formed. The resin layer on which the resist pattern is formed is used as a solder resist that prevents the solder from adhering to unnecessary portions on the conductor layer when bonding the mounted components.

なお、図1に示す感光性フィルム1を用いてレジストパターンを形成する場合は、先ず、樹脂層12を積層基板に重ね、ホットロールラミネーター等を用いて張り合わせることで、積層基板上に樹脂層12を形成する。積層される樹脂層12の厚さについては特に制限はなく、通常10〜150μmの範囲で適宜選択される。   In addition, when forming a resist pattern using the photosensitive film 1 shown in FIG. 1, first, the resin layer 12 is piled up on a laminated substrate, and a resin layer is laminated | stacked on a laminated substrate by sticking using a hot roll laminator etc. 12 is formed. There is no restriction | limiting in particular about the thickness of the resin layer 12 laminated | stacked, Usually, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers.

形成された樹脂層12は、例えば、光源として超高圧水銀灯や高圧水銀灯等を用い、フォトマスクを介して露光でき、未露光部分を上記と同様の方法で除去することにより、レジストパターンの形成が可能となる。また、他の方法として、印刷法、炭酸ガスレーザ、YΑGレーザ、エキシマレーザ等を用いたレーザ穴明け法等でレジストパターンを形成することも可能である。   The formed resin layer 12 can be exposed through a photomask using, for example, an ultra-high pressure mercury lamp or a high pressure mercury lamp as a light source, and a resist pattern can be formed by removing the unexposed portion by the same method as described above. It becomes possible. As another method, a resist pattern can be formed by a laser drilling method using a printing method, a carbon dioxide gas laser, a Y 、 G laser, an excimer laser, or the like.

(プリント配線板)
図2は、本発明のプリント配線板の実施形態を示す模式断面図である。図2に示すプリント配線板2は、絶縁基板22と、絶縁基板22の一方面上に形成された回路パターンを有する導体層23と、絶縁基板22の他方面上に形成された回路パターンを有しない導体層21と、回路パターンを有する導体層23を覆うように絶縁基板22上に形成されたソルダレジスト層24と、を備えている。また、ソルダレジスト層24は、上述した感光性樹脂組成物の硬化物からなり、ソルダレジスト層24は、回路パターンを有する導体層23の少なくとも一部が露出するように開口部26を有している。
(Printed wiring board)
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the printed wiring board of the present invention. The printed wiring board 2 shown in FIG. 2 has an insulating substrate 22, a conductor layer 23 having a circuit pattern formed on one surface of the insulating substrate 22, and a circuit pattern formed on the other surface of the insulating substrate 22. And a solder resist layer 24 formed on the insulating substrate 22 so as to cover the conductor layer 23 having a circuit pattern. The solder resist layer 24 is made of a cured product of the above-described photosensitive resin composition, and the solder resist layer 24 has an opening 26 so that at least a part of the conductor layer 23 having a circuit pattern is exposed. Yes.

プリント配線板2は、開口部26を有しているため、CSPやBGA等の実装部品を、回路パターンを有する導体層23にはんだ等により接合することができ、いわゆる表面実装が可能となる。ソルダレジスト層24は、接合のためのはんだ付けの際に、導体層23の不必要な部分にはんだが付着することを防ぐためのソルダレジストとしての役割を有しており、また、実装部品接合後においては、導体層23を保護するための永久マスクとして機能する。   Since the printed wiring board 2 has the opening 26, a mounting component such as CSP or BGA can be joined to the conductor layer 23 having a circuit pattern by solder or the like, and so-called surface mounting becomes possible. The solder resist layer 24 has a role as a solder resist for preventing solder from adhering to unnecessary portions of the conductor layer 23 during soldering for joining, and also for mounting component bonding. Later, it functions as a permanent mask for protecting the conductor layer 23.

以下、プリント配線板2の製造方法の一例を概略的に説明する。図3は、図2に示したプリント配線板2の製造方法を模式的に示す工程図である。なお、図3(a)はプリント配線板3(絶縁基板22の一方面に回路パターンを有する導体層23と他方面に回路パターンを有しない導体層21とを備える)であり、図3(b)、図3(c)及び(d)は、それぞれ、絶縁基板22上へ感光性樹脂組成物からなる樹脂層12を積層した後のプリント配線板4、樹脂層12への活性光線の照射及び現像後のプリント配線板2を示す。   Hereinafter, an example of a method for manufacturing the printed wiring board 2 will be schematically described. FIG. 3 is a process diagram schematically showing a method of manufacturing the printed wiring board 2 shown in FIG. 3A is a printed wiring board 3 (comprising a conductor layer 23 having a circuit pattern on one side of the insulating substrate 22 and a conductor layer 21 having no circuit pattern on the other side), and FIG. 3 (c) and 3 (d) respectively show irradiation of actinic rays to the printed wiring board 4 and the resin layer 12 after laminating the resin layer 12 made of the photosensitive resin composition on the insulating substrate 22, respectively. The printed wiring board 2 after development is shown.

まず、両面金属積層板(例えば、両面銅張積層板等)の片面をエッチングする公知の方法等により、図3(a)に示すように絶縁基板22上に導体層23のパターンを形成させプリント配線板3を得る。次に、図3(b)に示すように導体層23が形成されたプリント配線板3上に、導体層23を覆うようにして感光性樹脂組成物からなる樹脂層12を形成し、樹脂層12が形成されたプリント配線板4を得る。次に、図3(c)に示すように、積層された樹脂層12に対して、所定のパターンを有するマスク5を介して活性光線を照射することにより樹脂層12の所定部分を硬化させる。最後に、未露光部を除去(例えばアルカリ現像等)することによって、図3(d)に示すように開口部26を有するソルダレジスト層24を形成させることでプリント配線板2を得る。なお、ソルダレジスト層24については、更に光硬化や熱硬化を施してもよい。   First, the pattern of the conductor layer 23 is formed on the insulating substrate 22 as shown in FIG. 3A by a known method of etching one side of a double-sided metal laminate (for example, double-sided copper-clad laminate). A wiring board 3 is obtained. Next, as shown in FIG. 3B, a resin layer 12 made of a photosensitive resin composition is formed on the printed wiring board 3 on which the conductor layer 23 is formed so as to cover the conductor layer 23. A printed wiring board 4 having 12 formed thereon is obtained. Next, as shown in FIG.3 (c), the predetermined part of the resin layer 12 is hardened by irradiating the laminated resin layer 12 with actinic light through the mask 5 which has a predetermined pattern. Finally, the printed wiring board 2 is obtained by removing the unexposed portion (for example, alkali development) to form the solder resist layer 24 having the opening 26 as shown in FIG. Note that the solder resist layer 24 may be further subjected to photocuring or thermosetting.

以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example at all.

(実施例1)
表1に示す組成Aと、表2に示す組成Bをそれぞれ別々に配合し、配合後3本ロールミルを用いてこれらを混練、分散し感光性樹脂組成物を得た。

Figure 0004599956

Example 1
Composition A shown in Table 1 and Composition B shown in Table 2 were blended separately, and after blending, these were kneaded and dispersed using a three-roll mill to obtain a photosensitive resin composition.
Figure 0004599956

Figure 0004599956
Figure 0004599956

(実施例2)
実施例1(組成B)中のトリアミノトリアジンの最大粒径を25μmとし、0.1〜100μmの粒度分布の積分面積に対する20〜100μmの粒度分布の積分面積を0.3%に変更したものを用いた以外は、実施例1と同一の方法で感光性樹脂組成物を作製した。
(Example 2)
The maximum particle size of triaminotriazine in Example 1 (Composition B) is 25 μm, and the integrated area of the particle size distribution of 20 to 100 μm is changed to 0.3% with respect to the integrated area of the particle size distribution of 0.1 to 100 μm. A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that was used.

(実施例3)
実施例1(組成B)中のトリアミノトリアジンの最大粒径を30μmとし、0.1〜100μmの粒度分布の積分面積に対する20〜100μmの粒度分布の積分面積を0.5%に変更したものを用いた以外は、実施例1と同一の方法で感光性樹脂組成物を作製した。
(Example 3)
The maximum particle size of triaminotriazine in Example 1 (Composition B) is 30 μm, and the integrated area of the particle size distribution of 20 to 100 μm is changed to 0.5% with respect to the integrated area of the particle size distribution of 0.1 to 100 μm. A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that was used.

(比較例1)
実施例1(組成B)中のトリアミノトリアジンの最大粒径を40μmとし、0.1〜100μmの粒度分布の積分面積に対する20〜100μmの粒度分布の積分面積を3%に変更したものを用いた以外は、実施例1と同一の方法で感光性樹脂組成物を作製した。
(Comparative Example 1)
The maximum particle size of triaminotriazine in Example 1 (Composition B) is 40 μm, and the integrated area of the particle size distribution of 20 to 100 μm is changed to 3% with respect to the integrated area of the particle size distribution of 0.1 to 100 μm. A photosensitive resin composition was produced in the same manner as in Example 1 except that.

(比較例2)
実施例1(組成B)中のトリアミノトリアジンの最大粒径を40μmとし、0.1〜100μmの粒度分布の積分面積に対する20〜100μmの粒度分布の積分面積を0.3%に変更したものを用いた以外は、実施例1と同一の方法で感光性樹脂組成物を作製した。
(Comparative Example 2)
The maximum particle size of triaminotriazine in Example 1 (Composition B) is 40 μm, and the integrated area of the particle size distribution of 20 to 100 μm is changed to 0.3% with respect to the integrated area of the particle size distribution of 0.1 to 100 μm. A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that was used.

(比較例3)
実施例1(組成B)中のトリアミノトリアジンの最大粒径を25μmとし、0.1〜100μmの粒度分布の積分面積に対する20〜100μmの粒度分布の積分面積を3%に変更したものを用いた以外は、実施例1と同一の方法で感光性樹脂組成物を作製した。
(Comparative Example 3)
The maximum particle size of triaminotriazine in Example 1 (Composition B) is 25 μm, and the integrated area of the particle size distribution of 20 to 100 μm is changed to 3% with respect to the integrated area of the particle size distribution of 0.1 to 100 μm. A photosensitive resin composition was produced in the same manner as in Example 1 except that.

(比較例4)
実施例1において(組成B)中にトリアミノトリアジンを配合しなかった以外は、実施例1と同一の方法で感光性樹脂組成物を作製した。
(Comparative Example 4)
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that triaminotriazine was not blended in (Composition B) in Example 1.

以上にように作製した感光性樹脂組成物の特性を以下の項目で評価した。   The characteristics of the photosensitive resin composition produced as described above were evaluated by the following items.

(塗膜の外観)
以下の方法で塗膜外観試験評価用のサンプルを作製して評価した。
(1)組成Aと組成Bを重量比70/30で混合後、L/S=50/50μmの導体回路を形成したポリイミドフィルム基板上に感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が20μmとなるように塗布、乾燥(80℃/15分)した。
(2)レジストパターンを形成する箇所に遮蔽部を設けたフォトマスクを介して200〜1000mJの露光量で紫外線を照射した。
(3)30〜40℃に保たれた所定のアルカリ現像液で1〜3分現像することにより、未露光部分を溶解除去してレジストパターンを形成させた。
(4)150℃で60分間熱硬化処理を行った。
(Appearance of coating film)
Samples for coating film appearance test evaluation were prepared and evaluated by the following methods.
(1) After mixing composition A and composition B at a weight ratio of 70/30, the film thickness after drying the photosensitive resin composition on a polyimide film substrate on which a conductor circuit of L / S = 50/50 μm was formed was 20 μm. It was applied and dried (80 ° C./15 minutes).
(2) Ultraviolet rays were irradiated at an exposure amount of 200 to 1000 mJ through a photomask provided with a shielding portion at a location where a resist pattern was to be formed.
(3) The resist pattern was formed by dissolving and removing the unexposed portion by developing for 1 to 3 minutes with a predetermined alkaline developer kept at 30 to 40 ° C.
(4) A thermosetting treatment was performed at 150 ° C. for 60 minutes.

熱硬化処理後、ソルダレジスト塗膜欠陥の発生状況(欠陥の大きさ)を顕微鏡にて観察した。評価はn=10で行い、最大欠陥径で外観を評価した。塗膜最大欠陥径が30μm以下であるものを○、30μmを超えるものを×とした。   After the thermosetting treatment, the occurrence state (defect size) of solder resist coating film defects was observed with a microscope. Evaluation was performed with n = 10, and the appearance was evaluated with the maximum defect diameter. A film having a maximum defect diameter of 30 μm or less was evaluated as “◯”, and a film having a maximum defect diameter exceeding 30 μm as “×”.

(塗膜の色相)
以下の方法で色相評価用のサンプルを作製して評価した。塗膜外観評価用サンプル作製方法と同一の方法により評価サンプルを作製した。評価は熱硬化処理工程前後での塗膜の色相の変化を目視観察することにより、行った。塗膜の色相に変化が認められない場合を○、色相に変化が認められる場合を×とした。
(Hue of coating film)
Samples for hue evaluation were prepared and evaluated by the following methods. An evaluation sample was prepared by the same method as the sample preparation method for coating film appearance evaluation. Evaluation was performed by visually observing the change in the hue of the coating film before and after the thermosetting treatment step. The case where no change was observed in the hue of the coating film was marked as ◯, and the case where a change was observed in the hue was marked as x.

(塗膜の接着性)
以下の方法で接着性評価用のサンプルを作製して評価した。塗膜外観評価用サンプル作製方法と同一の方法により評価サンプルを作製した。評価はサンプルを260℃のはんだ浴に30秒間フロートし、塗膜の剥れ発生の有無を、目視観察することにより塗膜の接着性の評価を行った。塗膜に剥れが認められない場合を○、剥れが認められない場合を×とした。
(Adhesiveness of coating film)
Samples for evaluating adhesiveness were prepared and evaluated by the following methods. An evaluation sample was prepared by the same method as the sample preparation method for coating film appearance evaluation. The sample was floated in a solder bath at 260 ° C. for 30 seconds, and the adhesion of the coating film was evaluated by visually observing whether the coating film was peeled off. The case where peeling was not recognized by the coating film was set as (circle), and the case where peeling was not recognized was set as x.

以上の評価結果をまとめて表3に示す。

Figure 0004599956
The above evaluation results are summarized in Table 3.
Figure 0004599956

感光性フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section showing one embodiment of a photosensitive film. プリント配線板の一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section showing one embodiment of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を示す工程図であり、(a)は絶縁基板、(b)は樹脂層を積層したプリント配線板、(c)は樹脂層への活性光線の照射、(d)は現像後のプリント配線板をそれぞれ示す。It is process drawing which shows the manufacturing method of a printed wiring board, (a) is an insulated substrate, (b) is a printed wiring board which laminated | stacked the resin layer, (c) is irradiation of the active ray to a resin layer, (d) is Each printed wiring board after development is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1…感光性フィルム、2,3,4…プリント配線板、5…フォトマスク、11…支持体、12…樹脂層、13…カバーフィルム、21…回路パターンを有しない導体層、22…絶縁基板、23…回路パターンを有する導体層、24…ソルダレジスト層、26…開口部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive film, 2, 3, 4 ... Printed wiring board, 5 ... Photomask, 11 ... Support body, 12 ... Resin layer, 13 ... Cover film, 21 ... Conductor layer without a circuit pattern, 22 ... Insulating substrate , 23 ... a conductor layer having a circuit pattern, 24 ... a solder resist layer, 26 ... an opening.

Claims (4)

(A)感光性樹脂、(B)光重合開始剤並びに(C)有機フィラーとしてトリアミノトリアジン、ヘキサメトキシメラミン、ヘキサブトキシ化メラミン、ポリリン酸メラミン、アミノメルカプトチアジアゾール、及びメルカプトトリアゾールからなる群より選択される少なくとも1種を含有してなる感光性樹脂組成物であって、
(C)有機フィラーの最大粒径が30μm以下であり、且つ、
(C)有機フィラーの粒径分布曲線における、粒径20μm以上100μm以下の範囲の積分面積が、粒径0.1μm以上100μm以下の範囲の積分面積の2.0%未満であることを特徴とするソルダレジスト用感光性樹脂組成物。
(A) a photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator and (C) triaminotriazine as organic fillers, hexamethoxymelamine, Hekisabutokishi melamine, melamine polyphosphate, amino mercaptothiadiazole, and mercapto thoria zone le or Ranaru a comprising at least one member selected from the group photosensitive resin composition,
(C) The organic filler has a maximum particle size of 30 μm or less, and
(C) In the particle size distribution curve of the organic filler, the integrated area in the range of 20 μm to 100 μm is less than 2.0% of the integrated area in the range of 0.1 μm to 100 μm. A photosensitive resin composition for solder resist.
(A)感光性樹脂、(B)光重合開始剤並びに(C)有機フィラーとしてトリアミノトリアジン、ヘキサメトキシメラミン、ヘキサブトキシ化メラミン、ポリリン酸メラミン、アミノメルカプトチアジアゾール、及びメルカプトトリアゾールからなる群より選択される少なくとも1種を含有してなる感光性樹脂組成物であって、
(C)有機フィラーの最大粒径が30μm以下であり、且つ、
(C)有機フィラーの粒径分布曲線における、粒径0.1μm以上10μm以下の範囲の積分面積及び粒径20μm以上100μm以下の範囲の積分面積が、いずれも、粒径0.1μm以上100μm以下の範囲の積分面積の2.0%未満であることを特徴とするソルダレジスト用感光性樹脂組成物。
(A) a photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator and (C) triaminotriazine as organic fillers, hexamethoxymelamine, Hekisabutokishi melamine, melamine polyphosphate, amino mercaptothiadiazole, and mercapto thoria zone le or Ranaru a comprising at least one member selected from the group photosensitive resin composition,
(C) The organic filler has a maximum particle size of 30 μm or less, and
(C) In the particle size distribution curve of the organic filler, the integrated area in the range of 0.1 to 10 μm and the integrated area in the range of 20 to 100 μm are both in the range of 0.1 to 100 μm. The photosensitive resin composition for solder resists, wherein the integrated area is less than 2.0% of the integrated area.
絶縁基板上に回路パターンを有する導体層が形成された積層基板の、前記絶縁基板上に、前記導体層を覆うように請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物からなる樹脂層を形成し、該樹脂層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成し、該露光部以外の樹脂層を除去することを特徴とするソルダレジストパターンの形成方法。   3. A resin layer made of the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 is formed on a laminated substrate in which a conductor layer having a circuit pattern is formed on an insulating substrate so as to cover the conductor layer. And a predetermined portion of the resin layer is irradiated with actinic rays to form an exposed portion, and a resin layer other than the exposed portion is removed, and a method for forming a solder resist pattern is provided. 絶縁基板上に回路パターンを有する導体層が形成され、更に前記導体層を覆うように前記絶縁基板上にソルダレジスト層が形成されたプリント配線板であって、
前記ソルダレジスト層が、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなるものであり、前記ソルダレジスト層は、前記導体層の一部が露出するように開口部を有することを特徴とするプリント配線板。
A printed wiring board in which a conductor layer having a circuit pattern is formed on an insulating substrate, and further a solder resist layer is formed on the insulating substrate so as to cover the conductor layer,
The solder resist layer is made of a cured product of the photosensitive resin composition according to claim 1, and the solder resist layer has an opening so that a part of the conductor layer is exposed. Printed wiring board characterized by
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