JP5590339B2 - 窒化処理方法 - Google Patents
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Description
請求項4に記載の発明の窒化処理方法は、請求項1から請求項3のいずれか一項に係る発明において、前記窒素プラズマによる窒化処理は減圧下に行われることを特徴とする。
本発明の窒化処理方法においては、不活性ガスのプラズマから電子ビームを引き出し、該電子ビームにより窒素ガスから窒素プラズマを生成させ、該窒素プラズマにより被窒化処理物の表面から内部へ窒素原子を拡散させる。そして、被窒化処理物の表面には、厚さが10μm以下の窒素原子の拡散層が形成される。このように、被窒化処理物の表面には窒素の化合物層が形成されることなく、窒素原子の薄い拡散層が形成される。このため、被窒化処理物の表面に薄状の硬化層が形成されるとともに、その内部には被窒化処理物自体が存在し、その特性が発現される。
まず、本実施形態の窒化処理方法を実施するための窒化処理装置について説明する。
図1に示すように、窒化処理装置10を構成する装置本体11は電気的に絶縁性を有する真空容器で形成され、該装置本体11内の一端側にはアルゴンプラズマの放電室12が設けられるとともに、他端側には窒素プラズマが形成される窒化処理室13が設けられている。前記放電室12には不活性ガス供給口14が開口され、放電室12内に不活性ガスが導入されるようになっている。不活性ガスとしては通常アルゴン(Ar)が使用されるが、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)等を使用することも可能である。
さて、図1に示すように、被窒化処理物16として例えばステンレス鋼製の刃物を図1に示す窒化処理装置10の窒化処理室13内の支持体17上に設置した後、窒化処理温度付近まで図示しない外部ヒータで加熱する。次いで、放電室12に不活性ガス供給口14からアルゴンガスを供給し、カソード19と予備アノード20との間で放電させ、アルゴンプラズマ21を発生させる。その後、カソード19とアノード22との間に放電を移行し、アルゴンプラズマ21を予備アノード20の通過孔20aからアノード22側へ導く。
(1)本実施形態の窒化処理方法においては、アルゴンプラズマ21から電子ビームを引き出し、該電子ビームにより窒素ガスから窒素プラズマ24を生成させ、該窒素プラズマ24により被窒化処理物16の表面から内部へ窒素原子を拡散させることにより、厚さが10μm以下の窒素原子の拡散層が形成される。このように、被窒化処理物16の表面には窒素の化合物層が形成されることなく、窒素原子の薄い拡散層が形成される。そのため、被窒化処理物16の表面に薄状の硬化層が形成されるとともに、その内部には被窒化処理物16自体が存在し、その特性が発現される。
(2)前記窒素プラズマ24による窒化処理の温度は好ましくは350〜600℃、さらに好ましくは350〜480℃である。このため、窒素プラズマ24により被窒化処理物16表面から内部への窒素原子の拡散を促進させることができる。
(3)前記窒素プラズマ24による窒化処理の時間は、好ましくは1〜8時間、さらに好ましくは2〜6時間である。そのため、窒化処理を十分に行うことができ、被窒化処理物16の表面に所望とする窒素原子の薄い拡散層を形成することができる。
(4)前記被窒化処理物16に印加されるバイアス電圧は−50V〜−5Vである。従って、被窒化処理物16に衝突するイオンのエネルギーを低くすることができ、被窒化処理物16として例えば刃物の刃部の変形を抑制することができる。
(5)前記不活性ガスはアルゴンガスであることにより、窒素以外の不活性ガスとして好適に使用することができ、放電によりアルゴンプラズマ21を速やかに生成することができる。
(6)前記窒素プラズマ24による窒化処理は減圧下に行われる。このため、窒化処理室13内に窒素ガスを導入しつつ、被窒化処理物16に対する窒化処理を有効かつ円滑に行うことができる。
(7)前記被窒化処理物16はステンレス鋼で形成された刃物である。この場合、刃物の特に刃部において靭性を損なうことなく、硬度を高め、耐久性を向上させることができ、切れ味の低下を防止することができる。
(実施例1〜3及び比較例1、2)
前記図1に示した窒化処理装置10を使用し、被窒化処理物16として刃物用特殊鋼(SUS420J2)を用い、窒化処理を行った。すなわち、窒化処理は、まず被窒化処理物16を窒化処理装置10の窒化処理室13内における支持体17上に設置した後、窒化処理温度付近まで図示しない外部ヒータで加熱した。次いで、窒素プラズマ24を発生させるために、放電形成領域に不活性ガス供給口14からアルゴンガスを導入し、カソード19と予備アノード20との間で放電を発生させ、アルゴンプラズマ21を生成させた。その後、カソード19とアノード22との間に放電を移行し、アルゴンプラズマ21を窒化処理室13側へ導いた。
・ 前記窒化処理装置10において、予備アノード20を省略して構成を簡略化することも可能である。
・ 前記窒化処理室13において、支持体17に支持された被窒化処理物16に窒素プラズマ24が十分に晒されるように、窒素ガス供給口15及び真空用排気口18の位置や大きさを変更することもできる。
Claims (4)
- 被窒化処理物として刃物用ステンレス鋼の表面に窒素プラズマを照射して窒化処理を行い、窒素原子の拡散層を形成する窒化処理方法であって、
不活性ガスのプラズマから電子ビームを引き出し、該電子ビームにより窒素ガスから窒素プラズマを生成させ、窒化処理の温度を350〜500℃、窒化処理の時間を2〜6時間の条件下に該窒素プラズマにより被窒化処理物の表面から内部へ窒素原子を拡散させ、厚さが10μm以下の窒素原子の拡散層を形成し、該拡散層中の窒素の濃度を0.16質量%以下にすることを特徴とする窒化処理方法。 - 前記窒素プラズマによる窒化処理において、被窒化処理物に印加されるバイアス電圧は−50V〜−5Vであることを特徴とする請求項1に記載の窒化処理方法。
- 前記不活性ガスはアルゴンガスであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の窒化処理方法。
- 前記窒素プラズマによる窒化処理は減圧下に行われることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の窒化処理方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013082976A JP2013082976A (ja) | 2013-05-09 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5590339B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117051355B (zh) * | 2023-08-28 | 2024-05-24 | 广东工业大学 | 一种低温离子渗氮技术及其应用 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3005371B2 (ja) * | 1992-10-12 | 2000-01-31 | 松下電工株式会社 | フェライト系ステンレス材の表面処理方法 |
JP5590810B2 (ja) * | 2009-02-26 | 2014-09-17 | トヨタ自動車株式会社 | 鋼材の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013082976A (ja) | 2013-05-09 |
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