JP5585962B2 - 電子部品用リーク検査装置および電子部品のリーク検査方法 - Google Patents
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Description
110・・・密閉装置
120・・・圧力変更装置
126・・・真空ポンプ
130・・・検出装置
132・・・コンタクト部
134・・・マルチプレクサ
140、540・・・電源装置
142、542・・・直流電源
144、544・・・交流電源
160・・・評価装置
200、500・・・電子部品
300・・・電子部品保持装置
600・・・エアバック装置
Claims (11)
- 筺体内部の慣性体が偏倚することで所定の電気的信号を出力する電子部品のリーク検査装置であって、
前記電子部品に所定の周波数を有する変動成分を含んだ作動電圧を印加する電源装置と、
前記電子部品の出力を検出する検出装置と、
前記検出装置によって得られた出力値を基準値と比較して前記電子部品の気密性を判断する評価装置と、
を備え、
前記電子部品は、
前記慣性体が偏倚する際に、該偏倚を電圧変動として出力するセンサ部と、
前記センサ部の前記電圧変動を増幅する増幅回路と、を備えており、
前記電源装置は、
前記増幅回路に対して前記変動成分を含んだ作動電圧を印加し、前記変動成分を前記増幅回路を介して前記センサ部に漏れさせて前記慣性体を強制振動させ、
前記検出装置は、前記慣性体の強制振動を含んだ前記センサ部の出力を前記増幅回路を介して検出することを特徴とする、
電子部品用リーク検査装置。 - 前記電子部品の有する共振周波数に基づいて、前記作動電圧の変動成分の周波数を設定することを特徴とする、
請求項1に記載の電子部品用リーク検査装置。 - 前記電子部品を密閉状態で収容する密閉装置と、
前記密閉装置内の圧力を変化させる圧力変更装置と、
をさらに備えることを特徴とする、
請求項1又は2に記載の電子部品用リーク検査装置。 - 前記圧力変更装置は、前記密閉装置内を少なくとも第1内圧及び第2内圧に制御し、
前記検出装置は、前記第1内圧下で出力された前記電子部品の第1出力と、前記第2内圧下で出力された前記電子部品の第2出力を検出し、
前記評価装置は、前記第1出力と前記第2出力の差によって前記電子部品の気密性を合否判定することを特徴とする、
請求項3に記載の電子部品用リーク検査装置。 - 前記第1内圧は大気圧であると共に、前記第2内圧は前記大気圧よりも低圧であることを特徴とする、
請求項4に記載の電子部品用リーク検査装置。 - 前記圧力変更装置は真空ポンプを備えており、前記密閉装置内の気体を排気して内圧を低圧状態にすることを特徴とする、
請求項3乃至5のいずれかに記載の電子部品用リーク検査装置。 - 前記電子部品を複数保持すると共に、該電子部品と共に前記密閉装置内に収容される電子部品保持装置を備えて構成されており、
前記検出装置は、前記密閉装置内において前記電子部品保持装置上の全ての前記電子部品に対して電気的に接合されるコンタクト部を有することを特徴とする、
請求項3乃至6のいずれか1項に記載の電子部品用リーク検査装置。 - 前記検出装置は、前記コンタクト部における電気的接合状態を、前記電子部品毎に切り替える切替制御部を備えることを特徴とする、
請求項7に記載の電子部品用リーク検査装置。 - 前記電子部品は、加速度センサ、ジャイロセンサ、水晶振動子であることを特徴とする、
請求項1乃至8のいずれか1項に記載の電子部品用リーク検査装置。 - 筺体内部の慣性体が偏倚することで所定の電気的信号を出力する電子部品に対して変動成分を含む作動電圧を印加し、
前記電子部品の出力を検出し、
前記電子部品の出力値を基準値と比較して前記電子部品の気密性を判断し、
前記電子部品は、
前記慣性体が偏倚する際に、該偏倚を電圧変動として出力するセンサ部と、
前記センサ部の前記電圧変動を増幅する増幅回路と、を備えており、
前記増幅回路に対して前記変動成分を含んだ前記作動電圧を印加して、前記変動成分を前記増幅回路を介して前記センサ部に漏れさせて前記慣性体を強制振動させるようにし、
前記慣性体の強制振動を含んだ前記センサ部の出力を、前記増幅回路を介して検出することを特徴とする、電子部品のリーク検査方法。 - 前記電子部品を密閉装置に収容し、
前記密閉装置内の内圧を変化させて、その内圧変化前後での前記電子部品の出力変動を検出することで、前記電子部品の気密性を判断することを特徴とする、請求項10に記載の電子部品のリーク検査方法。
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