JP5580341B2 - 駆動周波数同調可能memsジャイロスープ - Google Patents
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Description
質量体と、
前記質量体を平面内で駆動するように構成された質量体駆動構成要素と、
前記質量体を支持する複数の非線形バネと、
前記複数の非線形バネに動作可能に接続されて、トリム電圧に応じて前記複数の非線形バネの応力条件を変更する第1の同調器と、
前記第1の同調器と電気的に接続されて、前記トリム電圧を提供するトリム回路と、
を備える。
基板の上に複数の非線形バネで質量体を支持すること、
前記質量体を平面内で駆動すること、
トリム電圧を第1の同調器に提供すること、及び
前記複数の非線形バネの応力条件を前記第1の同調器で変更すること、
を含む。
基板と、
前記基板上の電極と、
前記電極の上に位置決めされた質量体と、
前記電極の上に前記質量体を支持する複数の非線形バネと、
駆動信号に応じて平面に沿って前記質量体を駆動するように構成された駆動デバイスと、
前記複数の非線形バネのうちの少なくとも1つに物理的に接続されて、トリム信号に応じて前記複数の非線形バネのうちの前記少なくとも1つの応力を変更する少なくとも1つの同調器と、
を備える。
Claims (6)
- センサーデバイスであって、
質量体と、
前記質量体を平面内で駆動するように構成された質量体駆動構成要素と、
前記質量体を支持し、非線形な力/変位関係を有する複数の非線形バネと、
前記複数の非線形バネに動作可能に取り付けられて、トリム電圧に応じて前記複数の非線形バネの応力条件を変更する第1の同調器と、
前記第1の同調器と電気的に接続されて、前記トリム電圧を提供するトリム回路と、
を備える、センサーデバイス。 - 基板に取り付けられた第1のアンカーをさらに備え、
前記複数の非線形バネのうちの第1のバネは、前記第1のアンカー及び前記第1の同調器の第1の部分に取り付けられ、
前記複数の非線形バネのうちの第2のバネは、前記質量体及び前記第1の同調器の前記第1の部分に取り付けられ、
前記同調器の第2の部分は、前記基板に固定して取り付けられている、
請求項1に記載のデバイス。 - 第1の部分及び第2の部分を有する第2の同調器であって、該第2の部分は前記基板に固定して取り付けられている、第2の同調器と、
前記基板に取り付けられた第2のアンカーと、
前記第2のアンカー及び前記第2の同調器の前記第1の部分に取り付けられた、前記複数の非線形バネのうちの第3のバネと、
前記質量体及び前記第2の同調器の前記第1の部分に取り付けられた、前記複数の非線形バネのうちの第4のバネと、
をさらに備える、請求項2に記載のデバイス。 - 前記質量体は振動軸に沿って駆動され、
前記第2のバネは前記質量体の第1の端部に取り付けられ、
前記第4のバネは前記質量体の第2の端部に取り付けられ、前記質量体の前記第1の端部は、前記振動軸に沿って前記質量体の前記第2の端部の反対側にある、
請求項3に記載のデバイス。 - 基板に取り付けられた第1のアンカーをさらに備え、
前記複数の非線形バネのうちの第1のバネは、前記第1のアンカー及び前記第1の同調器の第1の部分に取り付けられ、
前記複数の非線形バネのうちの第2のバネは、前記第1の同調器の前記第1の部分及び第2の同調器の第1の部分に取り付けられ、
前記複数の非線形バネのうちの第3のバネは、前記質量体及び前記第2の同調器の前記第1の部分に取り付けられている、
請求項1に記載のデバイス。 - 前記第1の同調器は、
第1の複数の歯と、
前記第1の複数の歯とインターレースされた第2の複数の歯と、
を備える、請求項1に記載のデバイス。
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