JP5578973B2 - Industrial robot - Google Patents

Industrial robot Download PDF

Info

Publication number
JP5578973B2
JP5578973B2 JP2010161235A JP2010161235A JP5578973B2 JP 5578973 B2 JP5578973 B2 JP 5578973B2 JP 2010161235 A JP2010161235 A JP 2010161235A JP 2010161235 A JP2010161235 A JP 2010161235A JP 5578973 B2 JP5578973 B2 JP 5578973B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
base
columnar
turning
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010161235A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012020382A (en
Inventor
隆之 矢澤
洋 荒川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Sankyo Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Sankyo Corp filed Critical Nidec Sankyo Corp
Priority to JP2010161235A priority Critical patent/JP5578973B2/en
Publication of JP2012020382A publication Critical patent/JP2012020382A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5578973B2 publication Critical patent/JP5578973B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/08Gripping heads and other end effectors having finger members
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J17/00Joints
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements

Description

本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。   The present invention relates to an industrial robot that transports a predetermined transport object.

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットとして、ガラス基板が搭載される2個のハンドと、2個のハンドのそれぞれを保持する2本のアームとを有するいわゆるダブルアーム型のロボットが知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載のロボットは、アームの基端側を回動可能に支持する支持部材と、支持部材を上下方向へ移動可能に支持するコラムとを備えている。このロボットでは、アームは、第1のアームと第2のアームとから構成されている。また、コラムの下端は、基台に回動可能に支持されており、この基台は、ベース部材に支持されている。基台は、ベース部材に対して水平方向へ直線状に移動可能となっている。このロボットは、ハンドが所定の方向を向いた状態で直線状に動くようにアームを伸縮させて、ガラス基板を搬送する。   Conventionally, as an industrial robot for transporting a glass substrate for a liquid crystal display, a so-called double arm type robot having two hands on which a glass substrate is mounted and two arms for holding each of the two hands. Is known (see, for example, Patent Document 1). The robot described in Patent Document 1 includes a support member that rotatably supports the base end side of the arm, and a column that supports the support member so as to be movable in the vertical direction. In this robot, the arm is composed of a first arm and a second arm. The lower end of the column is rotatably supported by the base, and the base is supported by the base member. The base is linearly movable in the horizontal direction with respect to the base member. This robot conveys a glass substrate by extending and contracting an arm so that the hand moves in a straight line with the hand facing a predetermined direction.

特許文献1に記載のロボット等によって搬送されるガラス基板は、このガラス基板が収納されるカセット等の収納部の中で、ガラス基板の搬出方向に対して傾いていたり、位置がずれていることがある。そこで、傾いていたり、位置がずれている状態で収納部に収納されるガラス基板の傾きや位置ずれを補正して、所定の作業位置へガラス基板を搬送するためのハンドの位置合わせ方法が提案されている(たとえば、特許文献2参照)。この特許文献2に記載の位置合わせ方法を特許文献1に記載のロボットに適用すれば、傾いていたり、位置がずれている状態で収納部に収納されるガラス基板の傾きや位置ずれを補正して、作業位置へガラス基板を搬入することが可能である。   The glass substrate conveyed by the robot or the like described in Patent Document 1 is tilted or misaligned with respect to the glass substrate unloading direction in a storage unit such as a cassette in which the glass substrate is stored. There is. Therefore, a method for aligning the hand for transporting the glass substrate to a predetermined work position by correcting the tilt or misalignment of the glass substrate stored in the storage unit in a tilted or misaligned state is proposed. (For example, see Patent Document 2). If the alignment method described in Patent Document 2 is applied to the robot described in Patent Document 1, the tilt and the positional deviation of the glass substrate stored in the storage unit in a tilted or shifted position are corrected. Thus, it is possible to carry the glass substrate into the work position.

たとえば、特許文献1に記載のロボットにおいて、収納部に収納されたガラス基板の傾きがハンドに設けられたセンサによって検出された場合に、収納部から搬出されて作業位置へ搬入されるガラス基板の傾きが補正されるように、ベース部材に対して基台を所定方向へ移動させるとともに、コラムを基台に対して所定量、旋回させ、この状態で、アームを伸縮させて、収納部からガラス基板を搬出した後に、基台を逆方向へ移動させるとともにコラムを逆方向へ旋回させて、ガラス基板の傾きを補正してから、ガラス基板を作業位置へ搬入すれば、傾いた状態で収納部に収納されるガラス基板の傾きを補正して、作業位置へガラス基板を搬送することが可能である。また、このようにして、ガラス基板を搬送すれば、作業位置へ搬入されるガラス基板の、ベース部材に対する基台の移動方向における位置ずれを抑制することができる。なお、収納部からガラス基板を搬出した後にガラス基板の傾きを補正してガラス基板を作業位置へ搬入することも可能である。   For example, in the robot described in Patent Document 1, when the tilt of the glass substrate stored in the storage unit is detected by a sensor provided in the hand, the glass substrate that is unloaded from the storage unit and carried into the work position is detected. The base is moved in a predetermined direction with respect to the base member so that the inclination is corrected, and the column is rotated by a predetermined amount with respect to the base, and in this state, the arm is expanded and contracted to move the glass from the storage portion. After unloading the substrate, move the base in the reverse direction and turn the column in the reverse direction to correct the tilt of the glass substrate, and then load the glass substrate into the work position. It is possible to correct the inclination of the glass substrate stored in the container and transport the glass substrate to the work position. Moreover, if a glass substrate is conveyed in this way, the position shift | offset | difference in the moving direction of the base with respect to a base member of the glass substrate carried in to a work position can be suppressed. In addition, after unloading a glass substrate from a storage part, it is also possible to correct | amend the inclination of a glass substrate and to carry in a glass substrate to a working position.

しかしながら、特許文献2に記載の位置合わせ方法を用いて、ガラス基板の傾きや位置ずれを補正する場合には、ベース部材に対して基台が水平方向へ移動可能となっていなければならないため、ロボットが大型化する。また、たとえば、ベース部材に対する基台の移動方向へハンドが直線状に動いて、ガラス基板を搬送する場合には、ガラス基板の傾きを補正することは可能であっても、ベース部材に対する基台の移動方向に直交する方向でのガラス基板の位置ずれを抑制することが困難になる場合がある。たとえば、ガラス基板を搬出する際またはガラス基板を搬入する際のいずれか一方において、ベース部材に対する基台の移動方向に直交する方向にハンドが直線状に動く場合には、このハンドの移動方向において、ベース部材に対する基台の移動方向の位置ずれを見越してガラス基板を搬送すれば位置ずれの補正は可能であるが、ハンド上でガラス基板をずらして搬送することになるため、補正量を充分に確保できない。また、ガラス基板を搬出する際およびガラス基板を搬入する際の両者において、ベース部材に対する基台の移動方向へハンドが直線状に動く場合には、ガラス基板の位置ずれの補正は不可能になる。一方で、従来、これらの問題を解消することが可能なロボットも知られている(たとえば、特許文献3参照)。   However, when correcting the tilt and displacement of the glass substrate using the alignment method described in Patent Document 2, the base must be movable in the horizontal direction with respect to the base member. The robot becomes larger. In addition, for example, when the hand moves linearly in the moving direction of the base relative to the base member and transports the glass substrate, the base relative to the base member can be corrected even if the tilt of the glass substrate can be corrected. It may be difficult to suppress the positional deviation of the glass substrate in the direction orthogonal to the moving direction. For example, when either the glass substrate is unloaded or the glass substrate is unloaded, if the hand moves linearly in a direction perpendicular to the moving direction of the base relative to the base member, If the glass substrate is transported in anticipation of a positional shift in the direction of movement of the base relative to the base member, it is possible to correct the misalignment, but the glass substrate is shifted on the hand and transported. Cannot be secured. Further, when the hand moves linearly in the moving direction of the base with respect to the base member both when the glass substrate is carried out and when the glass substrate is carried in, it is impossible to correct the positional deviation of the glass substrate. . On the other hand, a robot that can solve these problems has been known (for example, see Patent Document 3).

特許文献3に記載のロボットは、基台の上面に固定された固定ベース部と、固定ベース部に対して上下方向に動作する上下アームと、上下アームに対して旋回自在な旋回アームと、旋回アームに固定された第1のアームベース部と、第1のアームベース部に対して水平方向に直線状に移動する第1の直動アームと、第1の直動アームに固定された第2のアームベース部と、第1の直動アームと直交する方向に直線状に移動する第2の直動アームと、第2の直動アームに固定されるハンドとを備えている。このロボットでは、旋回アームと第2のアームベース部との間に第1のアームベース部および第1の直動アームが配置されているため、上述の問題を解消して、作業位置へ搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。   A robot described in Patent Document 3 includes a fixed base portion fixed to the upper surface of a base, an upper and lower arm that operates in the vertical direction with respect to the fixed base portion, a swing arm that can swing with respect to the upper and lower arms, and a swing A first arm base portion fixed to the arm, a first linear arm that moves linearly in a horizontal direction with respect to the first arm base portion, and a second arm fixed to the first linear arm. A second linear motion arm that moves linearly in a direction orthogonal to the first linear motion arm, and a hand fixed to the second linear motion arm. In this robot, since the first arm base portion and the first linear motion arm are arranged between the swing arm and the second arm base portion, the above-mentioned problems are solved and the robot is carried into the work position. It is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the conveyance object.

特許第3973048号公報Japanese Patent No. 3973048 特開2003−117862号公報JP 2003-117862 A 特開2004−196438号公報JP 2004-196438 A

しかしながら、特許文献1に記載のロボットのようにアームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持するコラムを有するロボットに、特許文献3に記載の構成をそのまま適用する場合には、以下の問題が生じる。すなわち、支持部材を支持するコラムを有するロボットに特許文献3に記載の構成をそのまま適用する場合には、アームと支持部材との間に、特許文献3に記載の第1のアームベース部および第1の直動アームに相当する構成を配置する必要があるが、たとえば、ロボットがダブルアーム型のロボットである場合には、第1のアームベース部および第1の直動アームに相当する構成が2個必要となり、ロボットの構成が複雑になる。また、アームと支持部材との間に、第1のアームベース部および第1の直動アームに相当する構成を配置する場合には、第1の直動アームに相当する構成が直線状に移動したときのアームとコラムとの干渉を防止する必要があるため、第1の直動アームに相当する構成の移動量が制限されるおそれがある。したがって、支持部材を支持するコラムを有するロボットに特許文献3に記載の構成をそのまま適用すると、ガラス基板の傾きによっては、その傾きを適切に補正することが困難になるおそれがある。   However, when the configuration described in Patent Document 3 is applied as it is to a robot having a column that supports a support member that supports an arm so as to be movable up and down like the robot described in Patent Document 1, Problems arise. That is, when the configuration described in Patent Document 3 is applied as it is to a robot having a column that supports the support member, the first arm base portion and the first arm described in Patent Document 3 are provided between the arm and the support member. For example, when the robot is a double arm type robot, a configuration corresponding to the first arm base portion and the first linear motion arm is required. Two are required, which complicates the configuration of the robot. In addition, when a configuration corresponding to the first arm base portion and the first linear motion arm is disposed between the arm and the support member, the configuration corresponding to the first linear motion arm moves linearly. Since it is necessary to prevent the arm and the column from interfering with each other, the movement amount of the configuration corresponding to the first linear motion arm may be limited. Therefore, if the configuration described in Patent Document 3 is applied as it is to a robot having a column that supports the support member, it may be difficult to appropriately correct the tilt depending on the tilt of the glass substrate.

そこで、本発明の課題は、アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供することにある。   In view of the above, an object of the present invention is to provide a position of a conveyance object to be carried in with a relatively simple configuration even when a columnar member that supports a support member that supports an arm so as to be movable in the vertical direction is provided. An object of the present invention is to provide an industrial robot capable of appropriately correcting the inclination while suppressing the deviation.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材と、基台と、柱状部材の下端を支持するとともに基台に対して回動可能な旋回部材と、基台に対して柱状部材を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構とを備え、旋回部材は、基台から柱状部材に向かって延びる細長いブロック状に形成されるとともに、基台に回動可能に保持される第1旋回部と、柱状部材の下端が固定される第2旋回部とを備え、移動機構は、第1旋回部と第2旋回部との間に配置され、第2旋回部は、第1旋回部に対して直線状に相対移動可能となっていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the industrial robot of the present invention is capable of moving the support object in the vertical direction, the hand on which the object to be transported is mounted, the arm to which the hand is connected, the support member that supports the arm, and the like. A columnar member to be supported on the base, a base, a turning member that supports the lower end of the columnar member and is rotatable with respect to the base, and the columnar member is relatively moved with respect to the base in a predetermined direction perpendicular to the vertical direction. And a swiveling member formed in an elongated block shape extending from the base toward the columnar member, a first swiveling portion rotatably held by the base, and a lower end of the columnar member A second turning unit that is fixed, the moving mechanism is disposed between the first turning unit and the second turning unit, and the second turning unit is linearly movable relative to the first turning unit. It is characterized by becoming .

本発明の産業用ロボットは、基台に対して柱状部材を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構を備えている。そのため、搬送対象物の傾きが検出されたときには、基台に対して柱状部材を相対移動させるとともに基台に対して旋回部材を回動させれば、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。すなわち、基台を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。   The industrial robot of the present invention includes a moving mechanism that relatively moves the columnar member in a predetermined direction perpendicular to the vertical direction with respect to the base. For this reason, when the inclination of the conveyance object is detected, if the columnar member is relatively moved with respect to the base and the turning member is rotated with respect to the base, the positional deviation of the conveyed conveyance object is suppressed. However, the inclination can be corrected. That is, even if a mechanism for moving the base in the horizontal direction is not provided, it is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the transported object to be carried.

また、本発明では、移動機構は、基台に対して柱状部材を相対移動させるため、たとえば、産業用ロボットがダブルアーム型のロボットであっても2個の移動機構を配置する必要がない。したがって、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。また、本発明では、支持部材にアームが支持されており、移動機構は、支持部材を支持する柱状部材を基台に対して相対移動させるため、柱状部材が基台に対して相対移動する際に、柱状部材とアームとが干渉するおそれがない。したがって、柱状部材の移動量を確保することが可能になり、搬入される搬送対象物の傾きが大きくても搬送対象物の傾きを適切に補正することが可能になる。   In the present invention, since the moving mechanism moves the columnar member relative to the base, for example, even if the industrial robot is a double arm type robot, it is not necessary to arrange two moving mechanisms. Therefore, the configuration of the industrial robot can be simplified. In the present invention, the arm is supported by the support member, and the moving mechanism moves the columnar member supporting the support member relative to the base, so that the columnar member moves relative to the base. Furthermore, there is no possibility that the columnar member and the arm interfere with each other. Therefore, it is possible to secure the amount of movement of the columnar member, and it is possible to appropriately correct the inclination of the conveyance object even if the conveyance object to be carried in has a large inclination.

このように、本発明では、アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を産業用ロボットが備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能になる。また、本発明では、搬送対象物が傾いてはいないが位置ずれを起こしている場合には、移動機構によって、基台に対して柱状部材を移動させることで、この位置ずれを補正することが可能になる。また、本発明では、移動機構によって、基台に対して柱状部材を移動させることで、産業用ロボットの設置誤差や組立誤差を補正することが可能になる。   As described above, according to the present invention, even if the industrial robot includes a columnar member that supports the support member that supports the arm so as to be movable in the vertical direction, the conveyance is carried in with a relatively simple configuration. It is possible to appropriately correct the inclination while suppressing the displacement of the object. Further, in the present invention, when the object to be conveyed is not tilted but is displaced, the displacement can be corrected by moving the columnar member with respect to the base by the moving mechanism. It becomes possible. Moreover, in this invention, it becomes possible to correct | amend the installation error and assembly error of an industrial robot by moving a columnar member with respect to a base with a moving mechanism.

本発明において、支持部材は、柱状部材から旋回部材と略平行に延びるように形成される細長いブロック状のアーム支持部を備え、アーム支持部の基端側は、柱状部材側に配置され、アームは、アーム支持部の先端側に支持されていることが好ましい。このように構成すると、第2旋回部、柱状部材、支持部材、アームおよびハンド等によって構成される構造体の重心の下側に移動機構を配置することが可能になる。したがって、移動機構に過剰な外力が作用するのを抑制することが可能になる。 In the present invention, the support member includes an elongated block-shaped arm support portion formed so as to extend substantially parallel to the swivel member from the columnar member, and the proximal end side of the arm support portion is disposed on the columnar member side, and the arm Is preferably supported on the tip side of the arm support portion. If comprised in this way, it will become possible to arrange | position a moving mechanism under the gravity center of the structure comprised by a 2nd turning part, a columnar member, a supporting member, an arm, a hand, etc. Therefore, it is possible to suppress an excessive external force from acting on the moving mechanism.

本発明において、移動機構は、上下方向から見たときにアーム支持部の長手方向において、柱状部材とアームの基端との間に配置されていることが好ましい。このように構成すると、デッドスペースとなりやすい柱状部材とアームの基端との間に移動機構を配置することが可能になる。したがって、産業用ロボットが移動機構を備えている場合であっても、産業用ロボットを小型化することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the moving mechanism is disposed between the columnar member and the base end of the arm in the longitudinal direction of the arm support portion when viewed from the vertical direction. If comprised in this way, it will become possible to arrange | position a moving mechanism between the columnar member which tends to become a dead space, and the base end of an arm. Therefore, even if the industrial robot has a moving mechanism, the industrial robot can be downsized.

本発明において、移動機構は、たとえば、モータと、モータの出力軸に連結されるネジ部材と、ネジ部材のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材と、リニアガイドとを備えている。   In the present invention, the moving mechanism includes, for example, a motor, a screw member connected to the output shaft of the motor, a nut member having a female screw portion screwed into a male screw portion of the screw member, and a linear guide.

本発明において、産業用ロボットは、上下方向に直交する所定方向へ基台を移動させる水平移動機構を備えていても良い。   In the present invention, the industrial robot may include a horizontal movement mechanism that moves the base in a predetermined direction orthogonal to the vertical direction.

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能になる。   As described above, the industrial robot of the present invention is carried in with a relatively simple configuration even when the columnar member that supports the support member that supports the arm so as to be movable in the vertical direction is provided. It is possible to appropriately correct the inclination while suppressing the displacement of the conveyance object.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot concerning an embodiment of the invention. 図1のE−E方向から産業用ロボットを示す側面図である。It is a side view which shows an industrial robot from the EE direction of FIG. 図1のF−F方向から産業用ロボットを示す正面図である。It is a front view which shows an industrial robot from the FF direction of FIG. 図2に示す移動機構およびその周辺部の構成を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the structure of the moving mechanism shown in FIG. 2, and its peripheral part. 図4のG−G方向から移動機構およびその周辺部の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of a moving mechanism and its peripheral part from the GG direction of FIG. 図4のH部の拡大図である。It is an enlarged view of the H section of FIG. 図6のJ−J方向から移動機構を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a moving mechanism from the JJ direction of FIG. 図1に示す基板が傾いた状態で収納されているときの産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot when the board | substrate shown in FIG. 1 is accommodated in the state inclined. 本発明の他の実施の形態にかかる移動機構の配置を説明するための図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。It is a figure for demonstrating arrangement | positioning of the moving mechanism concerning other embodiment of this invention, (A) is a top view, (B) is a side view. 本発明の他の実施の形態にかかる移動機構の配置を説明するための図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。It is a figure for demonstrating arrangement | positioning of the moving mechanism concerning other embodiment of this invention, (A) is a top view, (B) is a side view. 本発明の他の実施の形態にかかる移動機構の配置を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating arrangement | positioning of the moving mechanism concerning other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態にかかる旋回部材の構成を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the structure of the turning member concerning other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot concerning other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot concerning other embodiment of this invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(産業用ロボットの概略構成)
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1のE−E方向から産業用ロボット1を示す側面図である。図3は、図1のF−F方向から産業用ロボット1を示す正面図である。なお、以下の説明では、互いに直交する3方向のそれぞれをX方向、Y方向およびZ方向とする。本形態では、Z方向が上下方向と一致する。また、以下の説明では、X方向を前後方向、Y方向を左右方向とする。
(Schematic configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view showing the industrial robot 1 from the EE direction of FIG. FIG. 3 is a front view showing the industrial robot 1 from the FF direction of FIG. 1. In the following description, each of the three directions orthogonal to each other is defined as an X direction, a Y direction, and a Z direction. In this embodiment, the Z direction coincides with the vertical direction. In the following description, the X direction is the front-rear direction and the Y direction is the left-right direction.

本形態の産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板2(以下、「基板2」とする。)を搬送するための搬送用の多関節型ロボットである。図1〜図3に示すように、ロボット1は、基板2が搭載される2個のハンド3と、2個のハンド3のそれぞれが先端側に連結される2本のアーム4と、2本のアーム4を支持する本体部5とを備えている。本体部5は、2本のアーム4の基端側を支持する支持部材6と、支持部材6を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材7と、本体部5の下端部分を構成する基台8と、柱状部材7の下端を支持するとともに基台8に対して回動可能な旋回部材9と、基台8に対して柱状部材7を水平方向へ相対移動させる移動機構10とを備えている。   The industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as “robot 1”) is used for transporting a glass substrate 2 for liquid crystal display (hereinafter referred to as “substrate 2”) as a transport object. This is an articulated robot. As shown in FIGS. 1 to 3, the robot 1 includes two hands 3 on which a substrate 2 is mounted, two arms 4 each of which is connected to the tip side, and two hands 3. And a main body 5 that supports the arm 4. The main body 5 includes a support member 6 that supports the base ends of the two arms 4, a columnar member 7 that supports the support member 6 so as to be movable in the vertical direction, and a base that forms the lower end portion of the main body 5. 8, a revolving member 9 that supports the lower end of the columnar member 7 and is rotatable with respect to the base 8, and a moving mechanism 10 that moves the columnar member 7 relative to the base 8 in the horizontal direction. Yes.

なお、本形態において、基板2の位置ずれとは、所定の基準位置に正しい姿勢で配置されたときの基板2に対して、前後方向および/または左右方向に基板2が平行にずれている状態をいう。また、基板2の傾きとは、所定の基準位置に正しい姿勢で配置されたときの基板2の中心O(図1参照)と中心Oは一致しているが、中心Oを中心にして基板2が所定角度傾いている状態をいう。   In the present embodiment, the positional displacement of the substrate 2 is a state in which the substrate 2 is displaced in parallel in the front-rear direction and / or the left-right direction with respect to the substrate 2 when placed in a correct posture at a predetermined reference position. Say. Further, the inclination of the substrate 2 is the same as the center O (see FIG. 1) of the substrate 2 when the substrate 2 is arranged in a correct posture at a predetermined reference position, but the substrate 2 is centered on the center O. Is in a state where it is inclined at a predetermined angle.

ハンド3の基端側は、アーム4の先端側に回動可能に連結されている。このハンド3には、上述の特許文献2に記載の産業用ロボットと同様に、所定の収納位置に収納された基板2の傾き(具体的には、前後方向等の基板2の搬出方向に対する基板2の傾き)を検出するためのセンサ(図示省略)が取り付けられている。なお、上述の特許文献2に記載の産業用ロボットと同様に、支持部材6には、基板2の端面を検出するためのエッジセンサが取り付けられている。また、基板2の傾きを検出するためのセンサは、ロボット1に取り付けられる以外に、基板2の収納位置に取り付けられる場合もある。   The proximal end side of the hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the arm 4. Similar to the industrial robot described in Patent Document 2 described above, the hand 3 has an inclination of the substrate 2 stored in a predetermined storage position (specifically, the substrate relative to the carry-out direction of the substrate 2 such as the front-rear direction). A sensor (not shown) for detecting (tilt of 2) is attached. Similar to the industrial robot described in Patent Document 2 described above, an edge sensor for detecting the end face of the substrate 2 is attached to the support member 6. In addition to being attached to the robot 1, the sensor for detecting the tilt of the substrate 2 may be attached to the storage position of the substrate 2.

アーム4は、第1アーム部13と第2アーム部14との2個のアーム部を備えている。第1アーム部13の基端側は、支持部材6の先端側に回動可能に支持されている。第2アーム部14の基端側は、第1アーム部13の先端側に回動可能に支持されている。第2アーム部14の先端側には、ハンド3の基端側が回動可能に支持されている。本形態のロボット1は、本体部5に対してアーム4を伸縮させるための駆動用モータ(図示省略)を備えており、この駆動用モータが起動すると、ハンド3が所定方向を向いた状態で直線状に動くように、アーム4が伸縮する。   The arm 4 includes two arm portions, a first arm portion 13 and a second arm portion 14. The proximal end side of the first arm portion 13 is rotatably supported on the distal end side of the support member 6. The proximal end side of the second arm portion 14 is rotatably supported on the distal end side of the first arm portion 13. The proximal end side of the hand 3 is rotatably supported on the distal end side of the second arm portion 14. The robot 1 of this embodiment includes a drive motor (not shown) for extending and retracting the arm 4 with respect to the main body 5, and when the drive motor is activated, the hand 3 is in a predetermined direction. The arm 4 expands and contracts to move linearly.

支持部材6は、支持部材6の基端側部分を構成する昇降部15と、2本のアーム4のそれぞれを支持する2個のアーム支持部16とを備えている。昇降部15は、柱状部材7に上下動可能に保持されている。アーム支持部16は、ハンド3の移動方向に直交する方向を長手方向とする細長い扁平なブロック状に形成されている。2個のアーム支持部16の基端は、昇降部15に固定されている。アーム支持部16の先端側には、第2アーム部14の基端側が回動可能に保持されている。本形態では、2個のハンド3、2本のアーム4および2個のアーム支持部16が上下方向に重なるように配置されている。すなわち、本形態のロボット1は、ダブルアーム型のロボットである。   The support member 6 includes an elevating part 15 that constitutes a base end side portion of the support member 6 and two arm support parts 16 that support each of the two arms 4. The elevating part 15 is held by the columnar member 7 so as to be movable up and down. The arm support portion 16 is formed in an elongated flat block shape whose longitudinal direction is a direction orthogonal to the moving direction of the hand 3. The base ends of the two arm support parts 16 are fixed to the elevating part 15. The proximal end side of the second arm portion 14 is rotatably held at the distal end side of the arm support portion 16. In this embodiment, the two hands 3, the two arms 4, and the two arm support portions 16 are arranged so as to overlap in the vertical direction. That is, the robot 1 of this embodiment is a double arm type robot.

柱状部材7は、旋回部材9に固定される第1柱部17と、昇降部15を上下方向へ移動可能に保持する第2柱部18とを備えている。第2柱部18は、第1柱部17に対して上下方向へ移動可能となっている。   The columnar member 7 includes a first column portion 17 fixed to the turning member 9 and a second column portion 18 that holds the elevating unit 15 so as to be movable in the vertical direction. The second column part 18 is movable in the vertical direction with respect to the first column part 17.

旋回部材9は、基台8から柱状部材7に向かって延びる細長い扁平なブロック状に形成されている。この旋回部材9は、図1に示すように、アーム支持部16と略平行に配置されている。すなわち、旋回部材9は、アーム支持部16と略平行に延びるように形成されている。なお、本形態では、旋回部材9の長手方向は、アーム支持部16の長手方向に対してわずかに傾いている。具体的には、柱状部材7から基台8に向かうにしたがって、アーム支持部16と旋回部材9との距離が近づくように、旋回部材9の長手方向は、アーム支持部16の長手方向に対してわずかに傾いている。そのため、本形態では、アーム4が縮んだ状態で旋回するロボット1の旋回半径を小さくすることが可能である。   The turning member 9 is formed in an elongated flat block shape extending from the base 8 toward the columnar member 7. As shown in FIG. 1, the swiveling member 9 is disposed substantially parallel to the arm support portion 16. That is, the turning member 9 is formed so as to extend substantially parallel to the arm support portion 16. In this embodiment, the longitudinal direction of the turning member 9 is slightly inclined with respect to the longitudinal direction of the arm support portion 16. Specifically, the longitudinal direction of the swiveling member 9 is relative to the longitudinal direction of the arm supporting portion 16 so that the distance between the arm supporting portion 16 and the swiveling member 9 approaches the column 8 from the columnar member 7 to the base 8. Slightly tilted. Therefore, in this embodiment, it is possible to reduce the turning radius of the robot 1 that turns with the arm 4 contracted.

また、旋回部材9は、基台8に回動可能に保持される第1旋回部20と、柱状部材7の下端が固定される第2旋回部21とを備えており、第1旋回部20の先端側と第2旋回部21の基端側とが連結されている。また、第1旋回部20の基端側は、基台8に連結され、第2旋回部21の先端側には、第1柱部17の下端が固定されている。第2旋回部21は、第1旋回部20に対して、アーム支持部16の長手方向と平行な方向(すなわち、ハンド3の移動方向に直交する方向)に直線状に相対移動可能となっている。なお、第1旋回部20および第2旋回部21は、中空状に形成されている。   Further, the turning member 9 includes a first turning portion 20 that is rotatably held on the base 8 and a second turning portion 21 to which the lower end of the columnar member 7 is fixed. Are connected to the proximal end side of the second turning portion 21. Further, the base end side of the first turning portion 20 is connected to the base 8, and the lower end of the first column portion 17 is fixed to the distal end side of the second turning portion 21. The second turning unit 21 can move linearly relative to the first turning unit 20 in a direction parallel to the longitudinal direction of the arm support 16 (that is, a direction orthogonal to the moving direction of the hand 3). Yes. In addition, the 1st turning part 20 and the 2nd turning part 21 are formed in the hollow shape.

移動機構10は、図2に示すように、第1旋回部20と第2旋回部21との間に配置されている。すなわち、移動機構10は、第1旋回部20と第2旋回部21との連結部に配置されている。以下、移動機構10およびその周辺部の構成について説明する。   As shown in FIG. 2, the moving mechanism 10 is disposed between the first turning unit 20 and the second turning unit 21. In other words, the moving mechanism 10 is arranged at the connecting portion between the first turning portion 20 and the second turning portion 21. Hereinafter, the structure of the moving mechanism 10 and its peripheral part will be described.

なお、上述のように、第2柱部18は、第1柱部17に対して上下方向へ移動可能となっており、また、昇降部15は、第2柱部18に対して上下方向へ移動可能となっている。すなわち、ロボット1は、第2柱部18および昇降部15を昇降させる昇降機構(図示省略)を備えている。また、旋回部材9は、基台8に対して回動可能となっている。すなわち、ロボット1は、旋回部材9を回動させる旋回機構(図示省略)を備えている。   As described above, the second column part 18 is movable in the vertical direction with respect to the first column part 17, and the elevating part 15 is in the vertical direction with respect to the second column part 18. It is movable. That is, the robot 1 includes an elevating mechanism (not shown) that elevates and lowers the second pillar portion 18 and the elevating portion 15. Further, the turning member 9 is rotatable with respect to the base 8. That is, the robot 1 includes a turning mechanism (not shown) that rotates the turning member 9.

(移動機構およびその周辺部の構成)
図4は、図2に示す移動機構10およびその周辺部の構成を説明するための平面図である。図5は、図4のG−G方向から移動機構10およびその周辺部の構成を説明するための図である。図6は、図4のH部の拡大図である。図7は、図6のJ−J方向から移動機構10を説明するための図である。
(Configuration of moving mechanism and its surroundings)
FIG. 4 is a plan view for explaining the configuration of the moving mechanism 10 shown in FIG. 2 and its peripheral part. FIG. 5 is a diagram for explaining the configuration of the moving mechanism 10 and its peripheral part from the GG direction of FIG. 4. FIG. 6 is an enlarged view of a portion H in FIG. FIG. 7 is a view for explaining the moving mechanism 10 from the JJ direction of FIG. 6.

図5に示すように、第2旋回部21は、側面から見たときの形状が2回折れ曲がった階段状となるように形成されており、第1柱部17の下端が固定される固定部21aと、第1旋回部20に連結される連結部21bとを備えている。固定部21aと連結部21bとは、互いに略平行に配置されるとともに、連結部21bは、固定部21aよりも上側に配置されている。また、連結部21bは、第1旋回部20の先端側と上下方向で重なっている。具体的には、連結部21bは、第1旋回部20の先端側の上側に配置されている。また、固定部21aは、第1旋回部20と略同じ高さに配置されている。   As shown in FIG. 5, the second swivel portion 21 is formed so that the shape when viewed from the side surface is a stepped shape that is bent twice, and a fixed portion to which the lower end of the first pillar portion 17 is fixed. 21 a and a connecting portion 21 b connected to the first turning portion 20. The fixed portion 21a and the connecting portion 21b are disposed substantially parallel to each other, and the connecting portion 21b is disposed above the fixed portion 21a. Further, the connecting portion 21b overlaps the front end side of the first turning portion 20 in the vertical direction. Specifically, the connecting portion 21 b is disposed on the upper side of the distal end side of the first turning portion 20. Further, the fixed portion 21 a is disposed at substantially the same height as the first turning portion 20.

移動機構10は、図4に示すように、上下方向から見たときに、アーム支持部16の長手方向において、アーム4の基端側を支持するアーム支持部16の先端側と柱状部材7との間に配置されている。すなわち、移動機構10は、上下方向から見たときに、アーム支持部16の長手方向において、アーム4の基端と柱状部材7との間に配置されている。また、移動機構10は、駆動源となる回転型のモータ25と、モータ25の出力軸に連結されるネジ部材としてのボールネジ26と、ボールネジ26のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材27と、リニアガイド28とを備えている。   As shown in FIG. 4, the moving mechanism 10 includes the distal end side of the arm support portion 16 that supports the proximal end side of the arm 4 and the columnar member 7 in the longitudinal direction of the arm support portion 16 when viewed from the vertical direction. It is arranged between. That is, the moving mechanism 10 is disposed between the base end of the arm 4 and the columnar member 7 in the longitudinal direction of the arm support portion 16 when viewed from the vertical direction. The moving mechanism 10 includes a rotary motor 25 serving as a drive source, a ball screw 26 as a screw member connected to the output shaft of the motor 25, and a nut member having a female screw portion screwed into the male screw portion of the ball screw 26. 27 and a linear guide 28.

モータ25は、図5に示すように、第2旋回部21の連結部21bの内部に配置されている。また、モータ25は、連結部21bの内部に固定されている。モータ25の出力軸には、減速機29が取り付けられている。減速機29の出力軸には、カップリング30を介してボールネジ26が取り付けられている。すなわち、ボールネジ26は、減速機29およびカップリング30を介してモータ25の出力軸に連結されている。また、ボールネジ26は、第2旋回部21に固定される軸受31に回転可能に支持されている。ナット部材27は、図5に示すように、ブラケット32に固定されており、連結部21bの内部に配置されている。ブラケット32は、第1旋回部20の先端側の上面に固定されている。   As shown in FIG. 5, the motor 25 is disposed inside the connecting portion 21 b of the second turning portion 21. The motor 25 is fixed inside the connecting portion 21b. A reduction gear 29 is attached to the output shaft of the motor 25. A ball screw 26 is attached to the output shaft of the speed reducer 29 via a coupling 30. That is, the ball screw 26 is connected to the output shaft of the motor 25 via the speed reducer 29 and the coupling 30. The ball screw 26 is rotatably supported by a bearing 31 that is fixed to the second turning portion 21. As shown in FIG. 5, the nut member 27 is fixed to the bracket 32 and is disposed inside the connecting portion 21 b. The bracket 32 is fixed to the upper surface on the distal end side of the first turning unit 20.

リニアガイド28は、ガイドレール33と、ガイドレール33に係合するとともにガイドレール33に沿ってスライドするガイドブロック34とを備えている。図7に示すように、ガイドレール33は、第1旋回部20の先端側の上面に固定されている。ガイドブロック34は、第2旋回部21の連結部21bの下面に固定されている。リニアガイド28は、図6に示すように、上下方向から見たときに、モータ25、ボールネジ26およびナット部材27等の両側に配置されている。   The linear guide 28 includes a guide rail 33 and a guide block 34 that engages with the guide rail 33 and slides along the guide rail 33. As shown in FIG. 7, the guide rail 33 is fixed to the upper surface on the distal end side of the first turning unit 20. The guide block 34 is fixed to the lower surface of the connecting portion 21 b of the second turning portion 21. As shown in FIG. 6, the linear guide 28 is disposed on both sides of the motor 25, the ball screw 26, the nut member 27, and the like when viewed from the vertical direction.

移動機構10では、モータ25が起動すると、ボールネジ26が回転して、図4の二点鎖線で示すように、第1旋回部20に対して、第2旋回部21がアーム支持部16の長手方向へ移動する。   In the moving mechanism 10, when the motor 25 is activated, the ball screw 26 rotates, and the second turning portion 21 is longer than the first turning portion 20 with respect to the length of the arm support portion 16 as indicated by a two-dot chain line in FIG. 4. Move in the direction.

(産業用ロボットの概略動作)
図8は、図1に示す基板2が傾いた状態で収納されているときの産業用ロボット1の動作を説明するための平面図である。
(Schematic operation of industrial robots)
FIG. 8 is a plan view for explaining the operation of the industrial robot 1 when the substrate 2 shown in FIG. 1 is stored in an inclined state.

以上のように構成されたロボット1では、第1柱部17に対して第2柱部18が上下動するとともに、第2柱部18に対して支持部材6がハンド3およびアーム4等と一緒に上下動する。また、本体部5に対してアーム4が伸縮する。具体的には、ハンド3が所定方向を向いた状態で直線状に動くようにアーム4が伸縮する。さらに、基台8に対して旋回部材9が回動する。これらの動作の組合せによって、ロボット1は、基板2が収納される収納位置から基板2に所定の作業が行われる作業位置へ基板2を搬送する。   In the robot 1 configured as described above, the second pillar portion 18 moves up and down with respect to the first pillar portion 17, and the support member 6 together with the hand 3, the arm 4, and the like with respect to the second pillar portion 18. Move up and down. Further, the arm 4 expands and contracts with respect to the main body 5. Specifically, the arm 4 expands and contracts so that the hand 3 moves linearly with the hand 3 facing a predetermined direction. Further, the turning member 9 rotates with respect to the base 8. By a combination of these operations, the robot 1 transports the substrate 2 from a storage position where the substrate 2 is stored to a work position where a predetermined work is performed on the substrate 2.

ここで、本形態では、ロボット1は、収納位置に収納された基板2を搬出する際に、まず、ハンド3を伸縮させて、ハンド3に設けられたセンサによって、基板2の搬出方向に対する基板2の傾きを検出する。この基板2の傾き検出動作で、基板2の傾きが検出されなければ(あるいは、基板2の傾きが規定値以下であれば)、ロボット1は、再び、ハンド3を伸縮させて、収納位置から基板2を搬出し、搬出した基板2を所定の作業位置へ搬入する。このとき、収納位置で基板2を搭載する際のロボット1の状態は、図8の二点鎖線で示す状態となる。すなわち、このときには、ハンド3は、基板2の搬出方向と略平行になっている。   Here, in this embodiment, when the robot 1 unloads the substrate 2 stored in the storage position, first, the hand 3 is expanded and contracted, and the substrate provided in the unloading direction of the substrate 2 by the sensor provided in the hand 3. 2 is detected. If the tilt of the substrate 2 is not detected in this tilt detection operation of the substrate 2 (or if the tilt of the substrate 2 is equal to or less than a specified value), the robot 1 extends and retracts the hand 3 again from the storage position. The substrate 2 is unloaded, and the unloaded substrate 2 is loaded into a predetermined work position. At this time, the state of the robot 1 when the substrate 2 is mounted at the storage position is a state indicated by a two-dot chain line in FIG. That is, at this time, the hand 3 is substantially parallel to the carrying-out direction of the substrate 2.

一方、基板2の傾き検出動作で、基板2の傾きが検出されると(あるいは、検出された基板2の傾きが規定値を超えていると)、基板2の搬出方向に略直交する方向での基板2の位置ずれを抑制しつつ基板2の傾きを補正するため、ロボット1は、基台8に対して旋回部材9を所定量、回動させるとともに、モータ25を起動させて、第1旋回部20に対して第2旋回部21をアーム支持部16の長手方向へ移動させる。すなわち、基台8に対して柱状部材7をアーム支持部16の長手方向へ移動させる。その後、ロボット1は、ハンド3を伸縮させて、収納位置から基板2を搬出する。このとき、収納位置で基板2を搭載する際のロボット1の状態は、図5の実線で示す状態となる。すなわち、このときには、ハンド3は、基板2の搬出方向に対して、基板2の傾きと同程度傾いている。また、ロボット1は、基板2を搬出した後に、モータ25を起動させて、先程の移動方向と逆方向へ第2旋回部21を移動させるとともに先程の回動方向と逆方向へ旋回部材9を所定量、回動させる。その後、ロボット1は、ハンド3を伸縮させて、基板2を作業位置へ搬入する。   On the other hand, when the inclination of the substrate 2 is detected in the inclination detection operation of the substrate 2 (or when the detected inclination of the substrate 2 exceeds a specified value), the substrate 2 is moved in a direction substantially orthogonal to the carry-out direction of the substrate 2. In order to correct the inclination of the substrate 2 while suppressing the displacement of the substrate 2, the robot 1 rotates the turning member 9 by a predetermined amount relative to the base 8 and activates the motor 25 to start the first operation. The second turning part 21 is moved in the longitudinal direction of the arm support part 16 with respect to the turning part 20. That is, the columnar member 7 is moved in the longitudinal direction of the arm support portion 16 with respect to the base 8. Thereafter, the robot 1 extends and retracts the hand 3 to carry out the substrate 2 from the storage position. At this time, the state of the robot 1 when the substrate 2 is mounted at the storage position is the state indicated by the solid line in FIG. That is, at this time, the hand 3 is inclined to the same extent as the inclination of the substrate 2 with respect to the carrying-out direction of the substrate 2. Further, after unloading the substrate 2, the robot 1 activates the motor 25 to move the second turning unit 21 in the direction opposite to the previous moving direction and moves the turning member 9 in the direction opposite to the previous turning direction. Turn a predetermined amount. Thereafter, the robot 1 extends and retracts the hand 3 and carries the substrate 2 into the work position.

このように、本形態では、基板2の傾きに応じて基台8に対して旋回部材9を所定量、回動させるとともに、第1旋回部20に対して第2旋回部21を移動させた状態で、収納位置から基板2を搬出し、その後、旋回部材9を逆方向へ所定量、回動させるとともに、第2旋回部21を逆方向へ移動させてから、基板2を作業位置へ搬入するため、収納位置に収納された基板2の傾きは、基板2の搬出方向に直交する方向における基板2の位置ずれが抑制された状態で作業位置へ搬入される際に補正される。なお、基板2の傾き検出動作によって、基板2の傾きが検出された場合に、基台8に対して旋回部材9を回動させ、また、第1旋回部20に対して第2旋回部21を移動させながら、アーム4を伸縮させても良い。   As described above, in this embodiment, the turning member 9 is rotated by a predetermined amount with respect to the base 8 according to the inclination of the substrate 2, and the second turning portion 21 is moved with respect to the first turning portion 20. In this state, the substrate 2 is unloaded from the storage position, and then the turning member 9 is turned in the reverse direction by a predetermined amount, and the second turning portion 21 is moved in the reverse direction, and then the substrate 2 is carried into the working position. Therefore, the inclination of the substrate 2 stored in the storage position is corrected when the substrate 2 is carried into the work position in a state in which the positional deviation of the substrate 2 in the direction orthogonal to the carry-out direction of the substrate 2 is suppressed. When the inclination of the substrate 2 is detected by the operation of detecting the inclination of the substrate 2, the turning member 9 is rotated with respect to the base 8, and the second turning portion 21 with respect to the first turning portion 20. The arm 4 may be expanded and contracted while moving.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態のロボット1は、基台8に対して柱状部材7をハンド3の移動方向に直交する方向へ相対移動させる移動機構10を備えている。そのため、基板2の傾きが検出されたときには、基台8に対して柱状部材7を相対移動させるとともに基台8に対して旋回部材9を回動させれば、搬入される基板2の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。すなわち、基台8を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、搬入される基板2の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。
(Main effects of this form)
As described above, the robot 1 of this embodiment includes the moving mechanism 10 that moves the columnar member 7 relative to the base 8 in a direction orthogonal to the moving direction of the hand 3. Therefore, when the tilt of the substrate 2 is detected, if the columnar member 7 is relatively moved with respect to the base 8 and the turning member 9 is rotated with respect to the base 8, the displacement of the substrate 2 to be loaded is shifted. It is possible to correct the inclination while suppressing the above. That is, even if a mechanism for moving the base 8 in the horizontal direction is not provided, it is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the substrate 2 to be loaded.

また、本形態では、移動機構10は、基台8に対して柱状部材7を相対移動させるため、ロボット1がダブルアーム型のロボットであっても2個の移動機構10を配置する必要がない。したがって、ロボット1の構成を簡素化することが可能になる。また、本形態では、支持部材6にアーム4が支持されており、移動機構10は、支持部材6を支持する柱状部材7を基台8に対して相対移動させるため、柱状部材7が基台8に対して相対移動する際に、柱状部材7とアーム4とが干渉するおそれがない。したがって、本形態では、柱状部材7の移動量を確保することが可能になり、搬入される基板2の傾きが大きくても基板2の傾きを適切に補正することが可能になる。   In this embodiment, since the moving mechanism 10 moves the columnar member 7 relative to the base 8, it is not necessary to dispose two moving mechanisms 10 even if the robot 1 is a double arm type robot. . Therefore, the configuration of the robot 1 can be simplified. Further, in this embodiment, the arm 4 is supported by the support member 6, and the moving mechanism 10 moves the columnar member 7 that supports the support member 6 relative to the base 8, so that the columnar member 7 is the base. There is no possibility that the columnar member 7 and the arm 4 interfere when moving relative to the arm 8. Therefore, in this embodiment, it is possible to ensure the amount of movement of the columnar member 7, and it is possible to appropriately correct the tilt of the substrate 2 even if the tilt of the loaded substrate 2 is large.

このように、本形態では、アーム4を支持する支持部材6を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材7をロボット1が備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される基板2の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能になる。また、本形態では、基板2が傾いてはいないが基板2の搬出方向に直交する方向で位置ずれを起こしている場合に、基台8に対して柱状部材7を移動させることで、この位置ずれを補正することが可能になる。また、本形態では、移動機構10によって、基台8に対して柱状部材7を移動させることで、ロボット1の設置誤差や組立誤差を補正することが可能になる。そのため、ロボット1の設置や組立を容易に行うことが可能になる。   Thus, in this embodiment, even if the robot 1 includes the columnar member 7 that supports the support member 6 that supports the arm 4 so as to be movable in the vertical direction, the robot 1 is carried in with a relatively simple configuration. It is possible to appropriately correct the inclination while suppressing the positional deviation of the substrate 2. Further, in this embodiment, when the substrate 2 is not tilted but is displaced in a direction orthogonal to the carry-out direction of the substrate 2, this position is obtained by moving the columnar member 7 with respect to the base 8. It becomes possible to correct the deviation. Further, in this embodiment, it is possible to correct the installation error and assembly error of the robot 1 by moving the columnar member 7 with respect to the base 8 by the moving mechanism 10. Therefore, the robot 1 can be easily installed and assembled.

本形態では、移動機構10は、第1旋回部20と第2旋回部21との間に配置されている。また、柱状部材7から旋回部材9と略平行に延びるように形成されるアーム支持部16の基端側は、柱状部材7側に配置され、アーム4は、アーム支持部16の先端側に支持されている。そのため、第2旋回部21、柱状部材7、支持部材6、アーム4およびハンド3等によって構成される構造体の重心の下側に移動機構10を配置することが可能になる。したがって、リニアガイド28に過剰な外力が作用するのを抑制することが可能になる。   In this embodiment, the moving mechanism 10 is disposed between the first turning unit 20 and the second turning unit 21. Further, the base end side of the arm support portion 16 formed so as to extend from the columnar member 7 substantially in parallel to the turning member 9 is disposed on the columnar member 7 side, and the arm 4 is supported on the distal end side of the arm support portion 16. Has been. Therefore, it is possible to dispose the moving mechanism 10 below the center of gravity of the structure configured by the second turning unit 21, the columnar member 7, the support member 6, the arm 4, the hand 3, and the like. Therefore, it is possible to suppress an excessive external force from acting on the linear guide 28.

本形態では、移動機構10は、上下方向から見たときにアーム支持部16の長手方向において、柱状部材7とアーム4の基端との間に配置されている。そのため、デッドスペースとなりやすい柱状部材7とアーム4の基端との間に、第1旋回部20の基端側と第2旋回部21の連結部21bとを上下方向に重ねて配置するとともに移動機構10を配置することが可能になる。したがって、第1旋回部20の基端側と第2旋回部21の連結部21bとが上下方向に重なるように配置され、また、第1旋回部20と第2旋回部21との間に移動機構10が配置されていても、ロボット1を小型化することが可能になる。   In this embodiment, the moving mechanism 10 is disposed between the columnar member 7 and the base end of the arm 4 in the longitudinal direction of the arm support portion 16 when viewed from the vertical direction. Therefore, between the columnar member 7 that tends to become a dead space and the base end of the arm 4, the base end side of the first turning portion 20 and the connecting portion 21 b of the second turning portion 21 are arranged in the vertical direction and moved. The mechanism 10 can be arranged. Therefore, the base end side of the first turning part 20 and the connecting part 21b of the second turning part 21 are arranged so as to overlap in the vertical direction, and move between the first turning part 20 and the second turning part 21. Even if the mechanism 10 is arranged, the robot 1 can be downsized.

(他の実施の形態)
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
(Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、モータ25は、第2旋回部21の連結部21bの内部に固定され、ナット部材27は、ブラケット32を介して第1旋回部20に固定されている。この他にもたとえば、図9に示すように、第1旋回部20の先端側の内部にモータ25が固定され、第2旋回部21の内部にナット部材27が固定されても良い。   In the embodiment described above, the motor 25 is fixed inside the connecting portion 21 b of the second turning portion 21, and the nut member 27 is fixed to the first turning portion 20 via the bracket 32. In addition to this, for example, as shown in FIG. 9, the motor 25 may be fixed inside the distal end side of the first turning portion 20, and the nut member 27 may be fixed inside the second turning portion 21.

上述した形態では、移動機構10は、第1旋回部20と第2旋回部21との間に配置されている。この他にもたとえば、図10に示すように、移動機構10は、柱状部材7の下端(すなわち、第1柱部17の下端)と旋回部材9との間に配置されても良い。すなわち、移動機構10は、柱状部材7と旋回部材9との連結部に配置されても良い。この場合には、第1旋回部20と第2旋回部21との2個の部材によって旋回部材9が構成される必要はなく、旋回部材9は、図10に示すように、1個の部材によって構成される。また、この場合には、たとえば、モータ25が旋回部材9の内部に固定され、ナット部材27が第1柱部17の下端に固定される。また、たとえば、ガイドレール33は、旋回部材9の先端側の上面に固定され、ガイドブロック34は、第1柱部17の下端に固定される。   In the embodiment described above, the moving mechanism 10 is disposed between the first turning unit 20 and the second turning unit 21. In addition, for example, as shown in FIG. 10, the moving mechanism 10 may be disposed between the lower end of the columnar member 7 (that is, the lower end of the first column portion 17) and the turning member 9. That is, the moving mechanism 10 may be disposed at a connection portion between the columnar member 7 and the turning member 9. In this case, the swiveling member 9 does not need to be configured by the two members, the first swivel unit 20 and the second swivel unit 21, and the swivel member 9 is a single member as shown in FIG. Consists of. In this case, for example, the motor 25 is fixed inside the turning member 9, and the nut member 27 is fixed to the lower end of the first column portion 17. Further, for example, the guide rail 33 is fixed to the upper surface on the distal end side of the turning member 9, and the guide block 34 is fixed to the lower end of the first column part 17.

上述した形態では、旋回部材9の長手方向は、アーム支持部16の長手方向に対してわずかに傾いており、第2旋回部21は、第1旋回部20に対してアーム支持部16の長手方向へ直線状に相対移動する。この他にもたとえば、図11に示すように、アーム支持部16の長手方向に対してわずかに傾く旋回部材9の長手方向(矢印Vの方向)へ、第1旋回部20に対して第2旋回部21が相対移動するように、移動機構10が配置されても良い。また、旋回部材9の長手方向以外の方向であって、かつ、ハンド3の移動方向に一致しない方向(たとえば、ハンド3の移動方向に対して所定角度傾く方向)へ第1旋回部20に対して第2旋回部21が相対移動するように、移動機構10が配置されても良い。   In the embodiment described above, the longitudinal direction of the swivel member 9 is slightly inclined with respect to the longitudinal direction of the arm support part 16, and the second swivel part 21 is the longitudinal direction of the arm support part 16 with respect to the first swivel part 20. Relatively move linearly in the direction. In addition to this, for example, as shown in FIG. 11, the second direction with respect to the first swivel unit 20 in the longitudinal direction of the swivel member 9 (in the direction of the arrow V) slightly tilted with respect to the longitudinal direction of the arm support unit 16. The moving mechanism 10 may be arranged so that the turning unit 21 moves relatively. Further, the first turning unit 20 is directed in a direction other than the longitudinal direction of the turning member 9 and in a direction that does not coincide with the moving direction of the hand 3 (for example, a direction inclined at a predetermined angle with respect to the moving direction of the hand 3). Thus, the moving mechanism 10 may be arranged so that the second turning unit 21 moves relatively.

上述した形態では、旋回部材9の長手方向は、アーム支持部16の長手方向に対してわずかに傾いている。この他にもたとえば、図12に示すように、旋回部材9の第1旋回部20は、上下方向から見たときに、アーム支持部16の長手方向と平行な方向を長手方向とする略長方形状に形成されても良い。この場合には、第2旋回部21は、たとえば、上下方向から見たときの形状が2回折れ曲がった階段状になるように形成されており、連結部21bは、第1旋回部20の先端側の上側に配置されている。なお、旋回部材9の全体の長手方向がアーム支持部16の長手方向と平行になるように、旋回部材9が形成されても良い。   In the embodiment described above, the longitudinal direction of the turning member 9 is slightly inclined with respect to the longitudinal direction of the arm support portion 16. In addition to this, for example, as shown in FIG. 12, the first turning portion 20 of the turning member 9 has a substantially rectangular shape whose longitudinal direction is parallel to the longitudinal direction of the arm support portion 16 when viewed from the vertical direction. It may be formed in a shape. In this case, the second swivel unit 21 is formed, for example, so that the shape when viewed from the vertical direction is a stepped shape that is bent twice, and the connecting portion 21b is the tip of the first swivel unit 20. It is arranged on the upper side of the side. The swivel member 9 may be formed so that the entire longitudinal direction of the swivel member 9 is parallel to the longitudinal direction of the arm support portion 16.

上述した形態では、本体部5は、水平方向へ移動可能となっていないが、本体部5は、水平方向へ移動可能となっていても良い。すなわち、ロボット1は、図13、図14に示すように、水平方向(たとえば、左右方向)へ移動可能に基台8を支持するベース部材40と、ベース部材40に対して基台8を水平方向へ移動させる水平移動機構とを備えていても良い。   In the embodiment described above, the main body 5 is not movable in the horizontal direction, but the main body 5 may be movable in the horizontal direction. That is, as shown in FIG. 13 and FIG. 14, the robot 1 supports the base 8 so as to be movable in the horizontal direction (for example, the left-right direction), and the base 8 horizontally with respect to the base member 40. And a horizontal movement mechanism for moving in the direction.

上述した形態では、支持部材6は、アーム支持部16を備えており、アーム4の基端側は、アーム支持部16の先端側に支持されている。この他にもたとえば、支持部材6が昇降部15によって構成されるとともに、アーム4の基端側が昇降部15に支持されても良い。また、上述した形態では、移動機構10は、回転型のモータ25と、ボールネジ26と、ナット部材27とを備えているが、移動機構10は、リニアモータであっても良い。   In the embodiment described above, the support member 6 includes the arm support portion 16, and the proximal end side of the arm 4 is supported on the distal end side of the arm support portion 16. In addition to this, for example, the support member 6 may be configured by the elevating unit 15, and the base end side of the arm 4 may be supported by the elevating unit 15. In the above-described embodiment, the moving mechanism 10 includes the rotary motor 25, the ball screw 26, and the nut member 27. However, the moving mechanism 10 may be a linear motor.

上述した形態では、第1柱部17に対して第2柱部18が上下方向へ移動可能となっている。この他にもたとえば、第1柱部17の所定の位置に第2柱部18が固定されても良い。この場合には、第2柱部18に保持された昇降部15のみが上下方向へ移動する。また、上述した形態では、柱状部材7は、第1柱部17と第2柱部18とを備えているが、柱状部材7は、1個の柱部で構成されても良い。この場合には、この柱部に昇降部15が上下方向へ移動可能に保持される。   In the form mentioned above, the 2nd pillar part 18 can move to an up-down direction with respect to the 1st pillar part 17. FIG. In addition to this, for example, the second pillar portion 18 may be fixed at a predetermined position of the first pillar portion 17. In this case, only the raising / lowering part 15 hold | maintained at the 2nd pillar part 18 moves to an up-down direction. Moreover, although the columnar member 7 is provided with the 1st pillar part 17 and the 2nd pillar part 18 in the form mentioned above, the pillar member 7 may be comprised by one pillar part. In this case, the elevating part 15 is held by the pillar part so as to be movable in the vertical direction.

上述した形態では、アーム4は、第1アーム部13と第2アーム部14との2個のアーム部によって構成されているが、アーム4は、3個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、ロボット1は、2個のハンド3および2個のアーム4等を備えるいわゆるダブルアーム型のロボットであるが、ロボット1は、1個のハンド3および1個のアーム4等を備えるシングルアーム型のロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット1によって搬送される搬送対象物は基板2であるが、ロボット1によって搬送される搬送対象物は、基板2以外の半導体ウエハ等であっても良い。   In the embodiment described above, the arm 4 is constituted by two arm parts, the first arm part 13 and the second arm part 14, but the arm 4 may be constituted by three or more arm parts. . In the above-described form, the robot 1 is a so-called double arm type robot including two hands 3 and two arms 4, but the robot 1 includes one hand 3 and one arm 4. A single arm type robot provided with the In the above-described embodiment, the transfer target object transferred by the robot 1 is the substrate 2. However, the transfer target object transferred by the robot 1 may be a semiconductor wafer other than the substrate 2.

1 ロボット(産業用ロボット)
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
3 ハンド
4 アーム
6 支持部材
7 柱状部材
8 基台
9 旋回部材
10 移動機構
16 アーム支持部
20 第1旋回部
21 第2旋回部
25 モータ
26 ボールネジ(ネジ部材)
27 ナット部材
28 リニアガイド
1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, transport object)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Hand 4 Arm 6 Support member 7 Columnar member 8 Base 9 Turning member 10 Moving mechanism 16 Arm support part 20 First turning part 21 Second turning part 25 Motor 26 Ball screw (screw member)
27 Nut member 28 Linear guide

Claims (5)

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームを支持する支持部材と、前記支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材と、基台と、前記柱状部材の下端を支持するとともに前記基台に対して回動可能な旋回部材と、前記基台に対して前記柱状部材を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構とを備え
前記旋回部材は、前記基台から前記柱状部材に向かって延びる細長いブロック状に形成されるとともに、前記基台に回動可能に保持される第1旋回部と、前記柱状部材の下端が固定される第2旋回部とを備え、
前記移動機構は、前記第1旋回部と前記第2旋回部との間に配置され、
前記第2旋回部は、前記第1旋回部に対して直線状に相対移動可能となっていることを特徴とする産業用ロボット。
A hand on which a transport object is mounted, an arm to which the hand is connected, a support member that supports the arm, a columnar member that supports the support member so as to be movable in the vertical direction, a base, and the columnar shape A revolving member that supports the lower end of the member and is rotatable with respect to the base; and a moving mechanism that relatively moves the columnar member in a predetermined direction perpendicular to the vertical direction with respect to the base.
The swivel member is formed in an elongated block shape extending from the base toward the columnar member, and a first swivel portion rotatably held on the base and a lower end of the columnar member are fixed. A second turning part
The moving mechanism is disposed between the first turning unit and the second turning unit,
The industrial robot according to claim 1, wherein the second turning unit is linearly movable relative to the first turning unit .
前記支持部材は、前記柱状部材から前記旋回部材と略平行に延びるように形成される細長いブロック状のアーム支持部を備え、
前記アーム支持部の基端側は、前記柱状部材側に配置され、
前記アームは、前記アーム支持部の先端側に支持されていることを特徴とする請求項記載の産業用ロボット。
The support member includes an elongated block-shaped arm support portion formed so as to extend from the columnar member substantially parallel to the swivel member,
The base end side of the arm support portion is disposed on the columnar member side,
The arm is an industrial robot according to claim 1, characterized in that it is supported on the distal end side of the arm support.
前記移動機構は、上下方向から見たときに前記アーム支持部の長手方向において、前記柱状部材と前記アームの基端との間に配置されていることを特徴とする請求項記載の産業用ロボット。 3. The industrial use according to claim 2 , wherein the moving mechanism is disposed between the columnar member and a base end of the arm in a longitudinal direction of the arm support portion when viewed from above and below. robot. 前記移動機構は、モータと、前記モータの出力軸に連結されるネジ部材と、前記ネジ部材のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材と、リニアガイドとを備えることを特徴とする請求項1からのいずれかに記載の産業用ロボット。 The moving mechanism includes a motor, a screw member coupled to an output shaft of the motor, a nut member having a female screw portion screwed into a male screw portion of the screw member, and a linear guide. Item 4. The industrial robot according to any one of Items 1 to 3 . 上下方向に直交する所定方向へ前記基台を移動させる水平移動機構を備えることを特徴とする請求項1からのいずれかに記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to any one of claims 1 to 4 , further comprising a horizontal movement mechanism that moves the base in a predetermined direction orthogonal to the vertical direction.
JP2010161235A 2010-07-16 2010-07-16 Industrial robot Expired - Fee Related JP5578973B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010161235A JP5578973B2 (en) 2010-07-16 2010-07-16 Industrial robot

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010161235A JP5578973B2 (en) 2010-07-16 2010-07-16 Industrial robot
TW100123731A TWI546172B (en) 2010-07-16 2011-07-05 Industrial robots
CN201110206392.3A CN102380872B (en) 2010-07-16 2011-07-13 Industrial robot
KR1020110070355A KR101606223B1 (en) 2010-07-16 2011-07-15 Industrial robot

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012020382A JP2012020382A (en) 2012-02-02
JP5578973B2 true JP5578973B2 (en) 2014-08-27

Family

ID=45613453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010161235A Expired - Fee Related JP5578973B2 (en) 2010-07-16 2010-07-16 Industrial robot

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5578973B2 (en)
KR (1) KR101606223B1 (en)
CN (1) CN102380872B (en)
TW (1) TWI546172B (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5990359B2 (en) * 2012-10-04 2016-09-14 平田機工株式会社 Loading / unloading robot
TWI513560B (en) * 2013-08-23 2015-12-21
JP2015178161A (en) * 2014-03-19 2015-10-08 株式会社安川電機 Transfer robot and transfer system

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0311583U (en) * 1989-06-14 1991-02-05
JPH03103182U (en) * 1990-02-08 1991-10-25
JPH03284534A (en) * 1990-03-30 1991-12-16 Matsushita Electric Works Ltd Transfer device
JPH03288910A (en) * 1990-04-05 1991-12-19 Hitachi Metals Ltd Teaching method for cast finishing robot
JPH0413595A (en) * 1990-05-01 1992-01-17 Mitsubishi Electric Corp Clean robot
JP3514323B2 (en) * 1993-10-20 2004-03-31 ヤンマー農機株式会社 Vacuum harvester
JP3486947B2 (en) * 1994-03-17 2004-01-13 株式会社タツノ・メカトロニクス Refueling device
JP3376275B2 (en) * 1998-04-23 2003-02-10 三菱電機株式会社 Industrial robot equipment
CN2341778Y (en) * 1998-12-02 1999-10-06 和椿事业股份有限公司 Mechanical arm
JP3973006B2 (en) * 2000-03-23 2007-09-05 日本電産サンキョー株式会社 Double arm robot
JP3955499B2 (en) * 2001-08-07 2007-08-08 日本電産サンキョー株式会社 Hand positioning method and apparatus
CN1895974A (en) * 2005-07-15 2007-01-17 日本电产三协株式会社 Substrate move-out move-in method and system
CN101456182B (en) * 2007-12-12 2012-03-28 中国科学院自动化研究所 Intelligent robot welding device using large-scale workpiece

Also Published As

Publication number Publication date
CN102380872B (en) 2015-07-15
TW201208835A (en) 2012-03-01
KR20120008466A (en) 2012-01-30
CN102380872A (en) 2012-03-21
JP2012020382A (en) 2012-02-02
KR101606223B1 (en) 2016-03-24
TWI546172B (en) 2016-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5798118B2 (en) Industrial robot, industrial robot control method, and industrial robot teaching method
JP6051021B2 (en) Industrial robot and control method for industrial robot
JP5387622B2 (en) Transfer robot
TWI398335B (en) Workpiece conveying system
JP4822085B2 (en) Control method of transfer robot
JP4495509B2 (en) Transfer robot
TWI481487B (en) Industrial robots
US8882431B2 (en) Substrate transfer robot and substrate transfer system
TWI408765B (en) Carrying device and vacuum processing apparatus
JP2010269380A (en) Robot and article carrying system
KR101514142B1 (en) Robot arm and robot
KR20110039455A (en) Apparatus and method for transferring board-like work
JP5578973B2 (en) Industrial robot
JP2018161729A (en) Industrial robot
JP2016107378A (en) Industrial robot and teaching method of industrial robot
KR20130024855A (en) Robot arm structure and robot
JPWO2016189565A1 (en) Horizontal articulated robot
JP5665417B2 (en) Industrial robot
KR20170084388A (en) Robot for transferring substrate
JP5471399B2 (en) Transfer robot
TWI750741B (en) Industrial robot
KR20170084389A (en) Robot for transferring substrate
JP6873881B2 (en) Industrial robot
TWI718081B (en) Workpiece position detection method in robot
KR102060245B1 (en) Hand of industrial robot and industrial robot

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130604

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140307

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140423

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140620

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140708

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5578973

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees