JP5665417B2

JP5665417B2 - Industrial robot

Info

Publication number: JP5665417B2
Application number: JP2010184839A
Authority: JP
Inventors: 矢澤　隆之; 隆之矢澤; 荒川　洋; 洋荒川
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2010-08-20
Filing date: 2010-08-20
Publication date: 2015-02-04
Anticipated expiration: 2030-08-20
Also published as: JP2012040650A

Description

本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that transports a predetermined transport object.

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが回動可能に取り付けられるアームと、アームが回動可能に取り付けられる本体部とを備えている。アームは、第１のアームと第２のアームとから構成されている。本体部は、架台の上に載置されており、所定の水平方向へ直線状に移動可能となっている。 Conventionally, an industrial robot that transports a glass substrate for a liquid crystal display is known (for example, see Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Literature 1 includes a hand on which a glass substrate is mounted, an arm to which the hand is rotatably attached, and a main body to which the arm is rotatably attached. The arm is composed of a first arm and a second arm. The main body is placed on a gantry and can move linearly in a predetermined horizontal direction.

特開２００３−１１７８６２号公報JP 2003-117862 A

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、本体部を架台に対して移動させることができるため、架台に対する本体部の移動方向において、ハンドおよびアームの位置を調整することが可能である。しかしながら、この産業用ロボットの場合、水平方向でのハンドおよびアームの位置調整を行うためには、本体部を水平方向へ移動可能に支持する架台や本体部を水平方向へ移動させるための機構が必要であり、産業用ロボットが大型化する。 In the industrial robot described in Patent Document 1, since the main body can be moved with respect to the gantry, it is possible to adjust the positions of the hand and the arm in the moving direction of the main body with respect to the gantry. However, in the case of this industrial robot, in order to adjust the position of the hand and arm in the horizontal direction, there is a mechanism for supporting the main body part so as to be movable in the horizontal direction and a mechanism for moving the main body part in the horizontal direction. Necessary, and industrial robots become larger.

そこで、本発明の課題は、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot that can be miniaturized even if the position of the hand and arm in the horizontal direction can be adjusted.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下方向に移動可能に支持する柱状部材とを備え、柱状部材は、複数の柱部によって構成されるとともに、柱状部材は、柱部として、複数の柱部のうちの他の柱部または支持部材を相対移動可能に保持する複数の保持柱部を備え、少なくとも２個の保持柱部は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、傾斜している保持柱部が支持部材を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への支持部材の相対移動が可能となっており、傾斜している保持柱部が他の柱部を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への他の柱部の相対移動が可能となっていることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the industrial robot of the present invention is capable of moving the support object in the vertical direction, the hand on which the object to be transported is mounted, the arm to which the hand is connected, the support member that supports the arm, The columnar member is composed of a plurality of column parts, and the columnar member can move relative to another column part or support member of the plurality of column parts as a column part. A plurality of holding column portions are provided, and at least two holding column portions are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction, and the inclined holding column portions hold the support member so as to be relatively movable. The support column can be moved relative to the inclined direction of the holding column, and the inclined holding column holds the other column so as to be relatively movable. If this is the case, Wherein the of the relative movement of the other column portion has become possible.

本発明の産業用ロボットでは、柱状部材は、複数の柱部のうちの他の柱部または支持部材を相対移動可能に保持する複数の保持柱部を備え、少なくとも２個の保持柱部は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、かつ、傾斜している保持柱部が支持部材を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への支持部材の相対移動が可能となっており、傾斜している保持柱部が他の柱部を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への他の柱部の相対移動が可能となっている。そのため、鉛直方向に対して傾斜している保持柱部に対して支持部材または他の柱部を相対移動させることで、ハンドおよびアームを水平方向へ移動させることが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットの本体部を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても産業用ロボットを小型化することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the columnar member includes a plurality of holding column portions that hold the other column portion or the support member among the plurality of column portions so as to be relatively movable, and at least two holding column portions are: When the holding column portions are inclined in opposite directions with respect to the vertical direction, and the inclined holding column portion holds the support member in a relatively movable manner, the holding column portion is inclined. The support member can be moved relative to each other, and when the holding column portion that is inclined holds the other column portion so as to be relatively movable, the holding column portion is inclined in the inclined direction. The relative movement of the other pillars is possible. Therefore, it is possible to move the hand and the arm in the horizontal direction by relatively moving the support member or the other column with respect to the holding column that is inclined with respect to the vertical direction. Therefore, according to the present invention, it is possible to adjust the positions of the hand and the arm in the horizontal direction without providing a mechanism for moving the main body of the industrial robot in the horizontal direction. That is, according to the present invention, the industrial robot can be downsized even if the position of the hand and arm in the horizontal direction can be adjusted.

また、本発明では、少なくとも２個の保持柱部が、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しているため、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても、支持部材や他の柱部の移動量や移動速度を調整することで、ハンドおよびアームとともに支持部材を鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。したがって、本発明では、位置調整後のハンドおよびアームを鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。 Further, in the present invention, since at least two holding pillars are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction, even if the position adjustment of the hand and the arm in the horizontal direction is possible, By adjusting the moving amount and moving speed of the column portion, it is possible to move the support member together with the hand and the arm in a substantially straight line in the vertical direction. Therefore, in the present invention, it is possible to move the position-adjusted hand and arm in a substantially straight line in the vertical direction.

また、本発明では、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整を行うことができるため、水平方向で搬送対象物が位置ずれを起こしている場合には、この位置ずれを補正することが可能になる。また、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整を行うことで、産業用ロボットの設置誤差や組立誤差を補正することが可能になる。 Further, in the present invention, since the position of the hand and arm can be adjusted in the horizontal direction, when the conveyance object is displaced in the horizontal direction, this displacement can be corrected. . Further, by adjusting the positions of the hand and arm in the horizontal direction, it is possible to correct the installation error and assembly error of the industrial robot.

本発明において、柱状部材は、保持柱部として、支持部材を保持する第１保持柱部と、第１保持柱部を保持する第２保持柱部とを備え、第１保持柱部と第２保持柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、第１保持柱部は、その傾斜方向への支持部材の相対移動が可能となるように支持部材を保持し、第２保持柱部は、その傾斜方向への第１保持柱部の相対移動が可能となるように第１保持柱部を保持していることが好ましい。このように構成すると、第１保持柱部と第２保持柱部との２個の保持柱部を柱状部材が備えていれば、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能になり、かつ、ハンドおよびアームを鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。したがって、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。 In the present invention, the columnar member includes, as the holding column portion, a first holding column portion that holds the support member and a second holding column portion that holds the first holding column portion, and the first holding column portion and the second holding column portion. The holding column part is inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction, and the first holding column part holds the support member so that the support member can be relatively moved in the inclined direction. It is preferable that the holding column portion holds the first holding column portion so that the first holding column portion can be relatively moved in the inclined direction. If comprised in this way, if a columnar member is provided with two holding pillar parts, the 1st holding pillar part and the 2nd holding pillar part, position adjustment of a hand and an arm in a horizontal direction will become possible, and It becomes possible to move the hand and the arm substantially linearly in the vertical direction. Therefore, the configuration of the industrial robot can be simplified.

本発明において、産業用ロボットは、基台と、基台に対して回動可能な旋回部材とを備え、第２保持柱部は、旋回部材に固定されていることが好ましい。このように構成すると、所定の収納位置に収納されている搬送対象物の水平面内での傾きが検出されたときに、支持部材または第１保持柱部を相対移動させるとともに、基台に対して旋回部材を回動させれば、所定の作業位置等へ搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。また、このように構成すると、搬送対象物を搬出する際にハンドが直線状に移動する場合に、搬送対象物を搬出する際のハンドの移動方向にかかわらず、搬出時のハンドの移動方向と異なる所定の水平方向へハンドを移動させることが可能になる。したがって、本発明では、搬送対象物を搬出する際のハンドの移動方向にかかわらず、搬送対象物の傾きが検出されたときに、支持部材または第１保持柱部を相対移動させるとともに、基台に対して旋回部材を回動させれば、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the industrial robot includes a base and a turning member that is rotatable with respect to the base, and the second holding column portion is fixed to the turning member. If comprised in this way, when the inclination in the horizontal surface of the conveyance target accommodated in the predetermined | prescribed accommodation position is detected, while supporting a support member or a 1st holding | maintenance pillar part relative to a base, If the turning member is rotated, it is possible to correct the inclination of the object to be conveyed while suppressing the displacement of the object to be conveyed to a predetermined work position or the like. Further, with this configuration, when the hand moves in a straight line when carrying out the conveyance object, the movement direction of the hand at the time of carrying out is determined regardless of the movement direction of the hand when carrying out the conveyance object. It becomes possible to move the hand in different predetermined horizontal directions. Therefore, in the present invention, when the inclination of the conveyance object is detected regardless of the movement direction of the hand when the conveyance object is carried out, the support member or the first holding column part is relatively moved, and the base If the turning member is rotated with respect to the movement object, it is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the object to be carried.

本発明において、産業用ロボットは、鉛直方向に対して傾斜している保持柱部に保持される支持部材または柱部を個別に移動させるための複数の移動機構を備え、支持部材が鉛直方向へ移動するように、少なくとも２個の移動機構が駆動することが好ましい。このように構成すると、ハンドおよびアームの位置調整を行う必要がない場合に、あるいは、ハンドおよびアームの位置調整を行った後に、複数の移動機構の全てまたはいくつかの移動機構を駆動させれば、ハンドは鉛直方向へ移動する。したがって、ハンドを容易に制御することが可能になる。 In the present invention, the industrial robot includes a support member that is held by a holding column that is inclined with respect to the vertical direction or a plurality of moving mechanisms that individually move the column, and the support member moves in the vertical direction. Preferably, at least two moving mechanisms are driven to move. With this configuration, when it is not necessary to adjust the position of the hand and the arm, or after adjusting the position of the hand and the arm, all or some of the plurality of moving mechanisms are driven. The hand moves in the vertical direction. Therefore, the hand can be easily controlled.

本発明において、産業用ロボットは、移動機構として、第１移動機構と第２移動機構とを備え、柱状部材は、保持柱部として、支持部材を保持する第１保持柱部と、第１保持柱部を保持する第２保持柱部とを備え、第１保持柱部と第２保持柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、第１移動機構は、第１保持柱部に対して支持部材を第１保持柱部の傾斜方向へ移動させ、第２移動機構は、第２保持柱部に対して第１保持柱部を第２保持柱部の傾斜方向へ移動させ、第１移動機構と第２移動機構とが駆動すると、支持部材が鉛直方向へ移動することが好ましい。このように構成すると、第１保持柱部と第２保持柱部との２個の保持柱部を柱状部材が備えていれば、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能になり、かつ、ハンドおよびアームを鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。したがって、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。また、このように構成すると、ハンドおよびアームの位置調整を行う必要がない場合に、あるいは、ハンドおよびアームの位置調整を行った後に、第１移動機構と第２移動機構との２個の移動機構を駆動させれば、ハンドは鉛直方向へ移動する。したがって、ハンドをより容易に制御することが可能になる。 In the present invention, the industrial robot includes a first movement mechanism and a second movement mechanism as movement mechanisms, and the columnar member serves as a holding column part, a first holding column part that holds a support member, and a first holding part. A second holding column portion that holds the column portion, and the first holding column portion and the second holding column portion are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction, The support member is moved in the inclination direction of the first holding column part with respect to the column part, and the second movement mechanism moves the first holding column part in the inclination direction of the second holding column part with respect to the second holding column part. When the first moving mechanism and the second moving mechanism are driven, the support member is preferably moved in the vertical direction. If comprised in this way, if a columnar member is provided with two holding pillar parts, the 1st holding pillar part and the 2nd holding pillar part, position adjustment of a hand and an arm in a horizontal direction will become possible, and It becomes possible to move the hand and the arm substantially linearly in the vertical direction. Therefore, the configuration of the industrial robot can be simplified. Further, with this configuration, when the position of the hand and the arm need not be adjusted, or after the position of the hand and the arm is adjusted, the two movements of the first moving mechanism and the second moving mechanism are performed. When the mechanism is driven, the hand moves in the vertical direction. Therefore, the hand can be controlled more easily.

本発明において、移動機構は、たとえば、モータと、モータの出力軸に連結されるネジ部材と、ネジ部材のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材とを備えている。 In the present invention, the moving mechanism includes, for example, a motor, a screw member connected to the output shaft of the motor, and a nut member having a female screw portion that is screwed into the male screw portion of the screw member.

以上のように、本発明では、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても産業用ロボットを小型化することが可能になる。 As described above, according to the present invention, the industrial robot can be miniaturized even if the position of the hand and arm in the horizontal direction can be adjusted.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot concerning an embodiment of the invention. 図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボットを示す側面図である。It is a side view which shows an industrial robot from the EE direction of FIG. 図１のＦ−Ｆ方向から産業用ロボットを示す正面図である。It is a front view which shows an industrial robot from the FF direction of FIG. 図２に示すハンドおよびアームが上限位置にあるときの産業用ロボットの側面図である。FIG. 3 is a side view of the industrial robot when the hand and arm shown in FIG. 2 are at the upper limit position. 本発明の実施の形態にかかる移動機構の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the moving mechanism concerning embodiment of this invention. 図１に示す基板が傾いた状態で収納されているときの産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot when the board | substrate shown in FIG. 1 is accommodated in the state inclined. 図２に示すハンドの水平方向の移動量を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the moving amount | distance of the horizontal direction of the hand shown in FIG. 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図であり、（Ａ）はハンドおよびアームが下限位置にある状態を示す図、（Ｂ）はハンドおよびアームが上限位置にある状態を示す図である。It is a side view of the industrial robot concerning other embodiment of this invention, (A) is a figure which shows the state in which a hand and an arm are in a lower limit position, (B) is the state in which a hand and an arm are in an upper limit position. FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボット１を示す側面図である。図３は、図１のＦ−Ｆ方向から産業用ロボット１を示す正面図である。なお、以下の説明では、互いに直交する３方向のそれぞれをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向とする。本形態では、Ｚ方向が上下方向（鉛直方向）と一致する。また、以下の説明では、Ｘ方向を前後方向、Ｙ方向を左右方向とする。 (Schematic configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view showing the industrial robot 1 from the EE direction of FIG. FIG. 3 is a front view showing the industrial robot 1 from the FF direction of FIG. 1. In the following description, each of the three directions orthogonal to each other is defined as an X direction, a Y direction, and a Z direction. In this embodiment, the Z direction coincides with the vertical direction (vertical direction). In the following description, the X direction is the front-rear direction and the Y direction is the left-right direction.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するための搬送用の多関節型ロボットである。図１〜図３に示すように、ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５とを備えている。本体部５は、２本のアーム４の基端側を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、本体部５の下端部分を構成する基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９とを備えている。 The industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as “robot 1”) is used for transporting a glass substrate 2 for liquid crystal display (hereinafter referred to as “substrate 2”) as a transport object. This is an articulated robot. As shown in FIGS. 1 to 3, the robot 1 includes two hands 3 on which a substrate 2 is mounted, two arms 4 each of which is connected to the tip side, and two hands 3. And a main body 5 that supports the arm 4. The main body 5 includes a support member 6 that supports the base ends of the two arms 4, a columnar member 7 that supports the support member 6 so as to be movable in the vertical direction, and a base that forms the lower end portion of the main body 5. 8 and a turning member 9 that supports the lower end of the columnar member 7 and is rotatable with respect to the base 8.

ハンド３の基端側は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。このハンド３には、上述の特許文献１に記載の産業用ロボットと同様に、所定の収納位置に収納された基板２の傾き（具体的には、前後方向等の基板２の搬出方向に対する基板２の傾き）を検出するためのセンサ（図示省略）が取り付けられている。なお、上述の特許文献１に記載の産業用ロボットと同様に、支持部材６には、基板２の端面を検出するためのエッジセンサが取り付けられている。また、基板２の傾きを検出するためのセンサは、ロボット１に取り付けられる以外に、基板２の収納位置に取り付けられる場合もある。 The proximal end side of the hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the arm 4. Similar to the industrial robot described in the above-mentioned Patent Document 1, the hand 3 has an inclination of the substrate 2 stored in a predetermined storage position (specifically, a substrate relative to the carry-out direction of the substrate 2 such as the front-rear direction). A sensor (not shown) for detecting (tilt of 2) is attached. Similar to the industrial robot described in Patent Document 1 described above, the support member 6 is provided with an edge sensor for detecting the end face of the substrate 2. In addition to being attached to the robot 1, the sensor for detecting the tilt of the substrate 2 may be attached to the storage position of the substrate 2.

アーム４は、第１アーム部１３と第２アーム部１４との２個のアーム部を備えている。第１アーム部１３の基端側は、支持部材６の先端側に回動可能に支持されている。第２アーム部１４の基端側は、第１アーム部１３の先端側に回動可能に支持されている。第２アーム部１４の先端側には、ハンド３の基端側が回動可能に支持されている。本形態のロボット１は、本体部５に対してアーム４を伸縮させるための駆動用モータ（図示省略）を備えており、この駆動用モータが起動すると、ハンド３が所定方向を向いた状態（たとえば、前後方向を向いた状態）で直線状に動くように、アーム４が伸縮する。 The arm 4 includes two arm portions, a first arm portion 13 and a second arm portion 14. The proximal end side of the first arm portion 13 is rotatably supported on the distal end side of the support member 6. The proximal end side of the second arm portion 14 is rotatably supported on the distal end side of the first arm portion 13. The proximal end side of the hand 3 is rotatably supported on the distal end side of the second arm portion 14. The robot 1 of this embodiment includes a drive motor (not shown) for extending and retracting the arm 4 with respect to the main body 5, and when the drive motor is activated, the hand 3 is in a predetermined direction ( For example, the arm 4 expands and contracts so as to move linearly in a state of facing the front-rear direction.

支持部材６は、支持部材６の基端側部分を構成する昇降部１５と、２本のアーム４のそれぞれを支持する２個のアーム支持部１６とを備えている。昇降部１５は、柱状部材７に上下動可能に保持されている。アーム支持部１６は、ハンド３の移動方向に直交する方向を長手方向とする細長い扁平なブロック状に形成されている。２個のアーム支持部１６の基端は、昇降部１５に固定されている。アーム支持部１６の先端側には、第２アーム部１４の基端側が回動可能に保持されている。本形態では、２個のハンド３、２本のアーム４および２個のアーム支持部１６が上下方向に重なるように配置されている。すなわち、本形態のロボット１は、ダブルアーム型のロボットである。 The support member 6 includes an elevating part 15 that constitutes a base end side portion of the support member 6 and two arm support parts 16 that support each of the two arms 4. The elevating part 15 is held by the columnar member 7 so as to be movable up and down. The arm support portion 16 is formed in an elongated flat block shape whose longitudinal direction is a direction orthogonal to the moving direction of the hand 3. The base ends of the two arm support parts 16 are fixed to the elevating part 15. The proximal end side of the second arm portion 14 is rotatably held at the distal end side of the arm support portion 16. In this embodiment, the two hands 3, the two arms 4, and the two arm support portions 16 are arranged so as to overlap in the vertical direction. That is, the robot 1 of this embodiment is a double arm type robot.

柱状部材７は、旋回部材９に固定される柱部１７と、昇降部１５を保持する柱部１８とを備えている。すなわち、柱状部材７は、２個の柱部１７、１８によって構成されている。柱部１７は、その長手方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持している。柱部１８は、その長手方向への昇降部１５の相対移動（すなわち、支持部材６の相対移動）が可能となるように昇降部１５を保持している。また、本形態のロボット１は、柱部１７に対して柱部１８を移動させる移動機構２１（図５参照）と、柱部１８に対して支持部材６を移動させる移動機構２２（図５参照）とを備えている。柱状部材７および移動機構２１、２２の詳細な構成については後述する。 The columnar member 7 includes a column portion 17 that is fixed to the revolving member 9 and a column portion 18 that holds the elevating unit 15. That is, the columnar member 7 is composed of two column parts 17 and 18. The column part 17 is holding the column part 18 so that the relative movement of the column part 18 to the longitudinal direction is attained. The column portion 18 holds the elevating unit 15 so that the elevating unit 15 can be relatively moved in the longitudinal direction (that is, the support member 6 can be relatively moved). Further, the robot 1 of the present embodiment includes a moving mechanism 21 (see FIG. 5) that moves the column portion 18 with respect to the column portion 17 and a moving mechanism 22 that moves the support member 6 with respect to the column portion 18 (see FIG. 5). ). Detailed configurations of the columnar member 7 and the moving mechanisms 21 and 22 will be described later.

旋回部材９は、基台８から柱状部材７に向かって延びる細長い扁平なブロック状に形成されている。旋回部材９の基端側は、基台８に回動可能に保持されており、ロボット１は、旋回部材９を回動させる旋回機構（図示省略）を備えている。また、旋回部材９の先端側には、柱部１７の下端が固定されている。 The turning member 9 is formed in an elongated flat block shape extending from the base 8 toward the columnar member 7. The base end side of the turning member 9 is rotatably held by the base 8, and the robot 1 includes a turning mechanism (not shown) for turning the turning member 9. Further, the lower end of the column portion 17 is fixed to the distal end side of the turning member 9.

（柱状部材および移動機構の構成）
図４は、図２に示すハンド３およびアーム４が上限位置にあるときの産業用ロボット１の側面図である。図５は、図２に示す柱部１８を柱部１７に対して移動させる移動機構２１および支持部材６を柱部１８に対して移動させる移動機構２２の構成を説明するための図である。 (Configuration of columnar member and moving mechanism)
FIG. 4 is a side view of the industrial robot 1 when the hand 3 and the arm 4 shown in FIG. 2 are at the upper limit position. FIG. 5 is a view for explaining the configuration of a moving mechanism 21 that moves the column part 18 shown in FIG. 2 with respect to the column part 17 and a moving mechanism 22 that moves the support member 6 with respect to the column part 18.

柱部１７は、図２、図４に示すように、鉛直方向（上下方向）に対して傾いた状態で、旋回部材９に固定されている。具体的には、柱部１７は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に直交する平面内で傾いている。本形態では、柱部１７は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部に近づくように傾斜している。柱部１８は、図２、図４に示すように、鉛直方向に対して傾いた状態で、柱部１７に保持されている。具体的には、柱部１８は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に直交する平面内で傾いている。本形態では、柱部１８は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部から離れるように傾斜している。すなわち、柱部１７と柱部１８とは、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。 As shown in FIGS. 2 and 4, the column portion 17 is fixed to the turning member 9 in a state of being inclined with respect to the vertical direction (vertical direction). Specifically, the pillar portion 17 is inclined in a plane orthogonal to the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is transported. In this embodiment, the column portion 17 is inclined so that its upper end approaches the connecting portion between the base 8 and the turning member 9. As shown in FIGS. 2 and 4, the column portion 18 is held by the column portion 17 in an inclined state with respect to the vertical direction. Specifically, the column portion 18 is inclined in a plane orthogonal to the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is transported. In this embodiment, the column portion 18 is inclined so that the upper end thereof is separated from the connecting portion between the base 8 and the turning member 9. That is, the column portion 17 and the column portion 18 are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction.

移動機構２１は、図５に示すように、回転型のモータ２３と、モータ２３の出力軸に連結されるネジ部材としてのボールネジ２４と、ボールネジ２４のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材２５とを備えている。モータ２３は、中空状に形成された柱部１７の内部に固定されている。ボールネジ２４は、柱部１７の内部に固定された軸受２６に回転可能に支持されている。このボールネジ２４は、その軸方向と柱部１７の長手方向とが平行になるように配置されている。すなわち、ボールネジ２４は、その軸方向と柱部１７の傾斜方向とが平行になるように配置されている。 As shown in FIG. 5, the moving mechanism 21 includes a rotary motor 23, a ball screw 24 as a screw member connected to the output shaft of the motor 23, and a nut having a female screw portion that is screwed into a male screw portion of the ball screw 24. And a member 25. The motor 23 is fixed inside the hollow pillar portion 17. The ball screw 24 is rotatably supported by a bearing 26 fixed inside the pillar portion 17. The ball screw 24 is arranged so that the axial direction thereof is parallel to the longitudinal direction of the column portion 17. That is, the ball screw 24 is arranged so that the axial direction thereof is parallel to the inclination direction of the column portion 17.

また、ナット部材２５には、ブラケット２７を介して柱部１８の下端側が固定されている。そのため、モータ２３が駆動すると、柱部１８は、柱部１７の傾斜方向へ柱部１７に対して相対移動する。すなわち、モータ２３が駆動すると、図２に示す下限位置と図４に示す上限位置との間で、柱部１８は、柱部１７の傾斜方向へ柱部１７に対して相対移動する。また、柱部１８が柱部１７の傾斜方向へ移動すると、柱部１８および支持部材６とともにハンド３およびアーム４は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と直交する方向へ移動する。 Further, the lower end side of the column portion 18 is fixed to the nut member 25 via a bracket 27. Therefore, when the motor 23 is driven, the column portion 18 moves relative to the column portion 17 in the inclination direction of the column portion 17. That is, when the motor 23 is driven, the column portion 18 moves relative to the column portion 17 in the inclination direction of the column portion 17 between the lower limit position shown in FIG. 2 and the upper limit position shown in FIG. When the column part 18 moves in the inclination direction of the column part 17, the hand 3 and the arm 4 together with the column part 18 and the support member 6 move in a direction orthogonal to the movement direction of the hand 3 when the substrate 2 is conveyed. .

移動機構２２は、図５に示すように、回転型のモータ２８と、モータ２８の出力軸に連結されるネジ部材としてのボールネジ２９と、ボールネジ２９のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材３０とを備えている。モータ２８は、中空状に形成された柱部１８の内部に固定されている。ボールネジ２９は、柱部１８の内部に固定された軸受３１に回転可能に支持されている。このボールネジ２９は、その軸方向と柱部１８の長手方向とが平行になるように配置されている。すなわち、ボールネジ２９は、その軸方向と柱部１８の傾斜方向とが平行になるように配置されている。 As shown in FIG. 5, the moving mechanism 22 includes a rotary motor 28, a ball screw 29 as a screw member connected to the output shaft of the motor 28, and a nut having a female screw portion that is screwed into the male screw portion of the ball screw 29. Member 30. The motor 28 is fixed inside the column portion 18 formed in a hollow shape. The ball screw 29 is rotatably supported by a bearing 31 fixed inside the column portion 18. The ball screw 29 is arranged so that the axial direction thereof is parallel to the longitudinal direction of the column portion 18. That is, the ball screw 29 is disposed so that the axial direction thereof is parallel to the inclination direction of the column portion 18.

また、ナット部材３０には、ブラケット３２を介して昇降部１５が固定されている。そのため、モータ２８が駆動すると、支持部材６は、柱部１８の傾斜方向へ柱部１８に対して相対移動する。すなわち、モータ２８が駆動すると、図２に示す下限位置と図４に示す上限位置との間で、支持部材６は、柱部１８の傾斜方向へ柱部１８に対して相対移動する。また、支持部材６が柱部１８の傾斜方向へ移動すると、支持部材６とともにハンド３およびアーム４は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と直交する方向へ移動する。 The elevating part 15 is fixed to the nut member 30 via a bracket 32. Therefore, when the motor 28 is driven, the support member 6 moves relative to the column part 18 in the inclination direction of the column part 18. That is, when the motor 28 is driven, the support member 6 moves relative to the column part 18 in the inclination direction of the column part 18 between the lower limit position shown in FIG. 2 and the upper limit position shown in FIG. Further, when the support member 6 moves in the tilting direction of the column portion 18, the hand 3 and the arm 4 together with the support member 6 move in a direction orthogonal to the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is transported.

本形態では、モータ２３、２８が同時に駆動すると、支持部材６が水平方向へは移動せずに鉛直方向へ略直線状に移動するように、ナット部材２５、３０のストローク、ボールネジ２４、２９の傾斜角度（すなわち、柱部１７、１８の傾斜角度）、および、モータ２３、２８の回転数等が設定されている。また、本形態では、図２に示すハンド３の下限位置と図４に示すハンド３の上限位置とで、ハンド３が水平方向にずれないように、ナット部材２５、３０のストロークおよびボールネジ２４、２９の傾斜角度等が設定されている。 In this embodiment, when the motors 23 and 28 are driven simultaneously, the strokes of the nut members 25 and 30 and the ball screws 24 and 29 are moved so that the support member 6 moves substantially linearly in the vertical direction without moving in the horizontal direction. The inclination angle (that is, the inclination angle of the column parts 17 and 18), the number of rotations of the motors 23 and 28, and the like are set. Further, in this embodiment, the stroke of the nut members 25 and 30 and the ball screw 24, so that the hand 3 does not shift in the horizontal direction between the lower limit position of the hand 3 shown in FIG. 2 and the upper limit position of the hand 3 shown in FIG. 29 inclination angles are set.

なお、本形態の柱部１８は、支持部材６を相対移動可能に保持する保持柱部であり、また、第１保持柱部である。柱部１７は、他の柱部１８を相対移動可能に保持する保持柱部であり、また、第１保持柱部である柱部１８を保持する第２柱部である。また、移動機構２２は、第１保持柱部である柱部１８に対して支持部材６を柱部１８の傾斜方向へ移動させる第１移動機構であり、移動機構２１は、第２保持柱部である柱部１７に対して第１保持柱部である柱部１８を柱部１７の傾斜方向へ移動させる第２移動機構である。 In addition, the column part 18 of this form is a holding column part which hold | maintains the supporting member 6 so that relative movement is possible, and is a 1st holding column part. The column portion 17 is a holding column portion that holds the other column portion 18 so as to be relatively movable, and is a second column portion that holds the column portion 18 that is the first holding column portion. The moving mechanism 22 is a first moving mechanism that moves the support member 6 in the inclination direction of the column portion 18 with respect to the column portion 18 that is the first holding column portion, and the moving mechanism 21 is a second holding column portion. This is a second movement mechanism that moves the column portion 18 that is the first holding column portion in the tilting direction of the column portion 17 with respect to the column portion 17 that is.

（産業用ロボットの概略動作）
図６は、図１に示す基板２が傾いた状態で収納されているときの産業用ロボット１の動作を説明するための平面図である。図７は、図２に示すハンド３の水平方向の移動量を説明するための模式図である。 (Schematic operation of industrial robots)
FIG. 6 is a plan view for explaining the operation of the industrial robot 1 when the substrate 2 shown in FIG. 1 is stored in an inclined state. FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the amount of horizontal movement of the hand 3 shown in FIG.

以上のように構成されたロボット１では、柱部１７に対して柱部１８が上下動するとともに、柱部１８に対して支持部材６がハンド３およびアーム４等と一緒に上下動する。また、本体部５に対してアーム４が伸縮する。具体的には、ハンド３が所定方向を向いた状態で直線状に動くようにアーム４が伸縮する。さらに、基台８に対して旋回部材９が回動する。これらの動作の組合せによって、ロボット１は、基板２が収納される収納位置から基板２に所定の作業が行われる作業位置へ基板２を搬送する。 In the robot 1 configured as described above, the column portion 18 moves up and down with respect to the column portion 17, and the support member 6 moves up and down together with the hand 3 and the arm 4 with respect to the column portion 18. Further, the arm 4 expands and contracts with respect to the main body 5. Specifically, the arm 4 expands and contracts so that the hand 3 moves linearly with the hand 3 facing a predetermined direction. Further, the turning member 9 rotates with respect to the base 8. By a combination of these operations, the robot 1 transports the substrate 2 from a storage position where the substrate 2 is stored to a work position where a predetermined work is performed on the substrate 2.

ここで、本形態では、ロボット１は、収納位置に収納された基板２を搬出する際に、まず、ハンド３を伸縮させて、ハンド３に設けられたセンサによって、基板２の搬出方向に対する基板２の傾きを検出する。この基板２の傾き検出動作で、基板２の傾きが検出されなければ（あるいは、基板２の傾きが規定値以下であれば）、ロボット１は、再び、ハンド３を伸縮させて、収納位置から基板２を搬出し、搬出した基板２を所定の作業位置へ搬入する。このとき、収納位置で基板２を搭載する際のロボット１の状態は、図６の二点鎖線で示す状態となる。すなわち、このときには、ハンド３は、基板２の搬出方向と略平行になっている。 Here, in this embodiment, when the robot 1 unloads the substrate 2 stored in the storage position, first, the hand 3 is expanded and contracted, and the substrate provided in the unloading direction of the substrate 2 by the sensor provided in the hand 3. 2 is detected. If the tilt of the substrate 2 is not detected in this tilt detection operation of the substrate 2 (or if the tilt of the substrate 2 is equal to or less than a specified value), the robot 1 extends and retracts the hand 3 again from the storage position. The substrate 2 is unloaded, and the unloaded substrate 2 is loaded into a predetermined work position. At this time, the state of the robot 1 when the substrate 2 is mounted at the storage position is a state indicated by a two-dot chain line in FIG. That is, at this time, the hand 3 is substantially parallel to the carrying-out direction of the substrate 2.

一方、基板２の傾き検出動作で、基板２の傾きが検出されると（あるいは、検出された基板２の傾きが規定値を超えていると）、基板２の搬出方向に略直交する方向での基板２の位置ずれを抑制しつつ基板２の傾きを補正するため、ロボット１は、基台８に対して旋回部材９を所定量、回動させるとともに、モータ２３またはモータ２８を起動させて、柱部１８または支持部材６を移動させる。柱部１８または支持部材６が移動すると、ハンド３およびアーム４とともに支持部材６は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と直交する水平方向へ移動する。その後、ロボット１は、ハンド３を伸縮させて、収納位置から基板２を搬出する。このとき、収納位置で基板２を搭載する際のロボット１の状態は、図６の実線で示す状態となる。すなわち、このときには、ハンド３は、基板２の搬出方向に対して、基板２の傾きと同程度傾いている。また、ロボット１は、基板２を搬出した後に、モータ２３またはモータ２８を起動させて、先程の移動方向と逆方向へ柱部１８または支持部材６を移動させるとともに先程の回動方向と逆方向へ旋回部材９を所定量、回動させる。その後、ロボット１は、ハンド３を伸縮させて、基板２を作業位置へ搬入する。なお、本形態では、ロボット１は、柱部１８または支持部材６を移動させた後には、モータ２３とモータ２８とを同時に起動させて、上下方向におけるハンド３の位置ずれを補正する。 On the other hand, when the inclination of the substrate 2 is detected in the inclination detection operation of the substrate 2 (or when the detected inclination of the substrate 2 exceeds a specified value), the substrate 2 is moved in a direction substantially orthogonal to the carry-out direction of the substrate 2. In order to correct the inclination of the substrate 2 while suppressing the positional deviation of the substrate 2, the robot 1 rotates the turning member 9 by a predetermined amount with respect to the base 8 and activates the motor 23 or the motor 28. The column part 18 or the support member 6 is moved. When the column portion 18 or the support member 6 moves, the support member 6 moves together with the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction orthogonal to the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is transported. Thereafter, the robot 1 extends and retracts the hand 3 to carry out the substrate 2 from the storage position. At this time, the state of the robot 1 when the substrate 2 is mounted at the storage position is a state indicated by a solid line in FIG. That is, at this time, the hand 3 is inclined to the same extent as the inclination of the substrate 2 with respect to the carrying-out direction of the substrate 2. In addition, after unloading the substrate 2, the robot 1 activates the motor 23 or the motor 28 to move the column portion 18 or the support member 6 in the direction opposite to the previous movement direction and the direction opposite to the previous rotation direction. The swiveling member 9 is rotated by a predetermined amount. Thereafter, the robot 1 extends and retracts the hand 3 and carries the substrate 2 into the work position. In the present embodiment, the robot 1 activates the motor 23 and the motor 28 at the same time after moving the column portion 18 or the support member 6 to correct the positional deviation of the hand 3 in the vertical direction.

このように、本形態では、基板２の傾きに応じて基台８に対して旋回部材９を所定量、回動させるとともに、柱部１８または支持部材６を移動させた状態で、収納位置から基板２を搬出し、その後、旋回部材９を逆方向へ所定量、回動させるとともに、柱部１８または支持部材６を逆方向へ移動させてから、基板２を作業位置へ搬入するため、収納位置に収納された基板２の傾きは、基板２の搬出方向に直交する方向における基板２の位置ずれが抑制された状態で作業位置へ搬入される際に補正される。なお、本形態では、通常は、モータ２３とモータ２８とが同時に駆動して、ハンド３は、鉛直方向へ移動する。 Thus, in this embodiment, the turning member 9 is rotated by a predetermined amount with respect to the base 8 according to the inclination of the substrate 2 and the column portion 18 or the support member 6 is moved from the storage position. The substrate 2 is unloaded, and then the swiveling member 9 is rotated in the reverse direction by a predetermined amount, and the column portion 18 or the support member 6 is moved in the reverse direction, and then the substrate 2 is loaded into the working position. The inclination of the substrate 2 stored in the position is corrected when the substrate 2 is carried into the work position in a state in which the positional deviation of the substrate 2 in the direction orthogonal to the carrying-out direction of the substrate 2 is suppressed. In this embodiment, normally, the motor 23 and the motor 28 are driven simultaneously, and the hand 3 moves in the vertical direction.

また、収納位置に収納された基板２の、ハンド３の移動方向と直交する方向での位置ずれが検出されると、この位置ずれを補正するため、ロボット１は、モータ２３またはモータ２８を起動させて、柱部１８または支持部材６を移動させ、ハンド３の移動方向と直交する水平方向へハンド３およびアーム４を移動させる。その後、ロボット１は、ハンド３を伸縮させて、収納位置から基板２を搬出する。また、ロボット１は、基板２を搬出した後に、モータ２３またはモータ２８を起動させて、先程の移動方向と逆方向へ柱部１８または支持部材６を移動させてから、ハンド３を伸縮させて、基板２を作業位置へ搬入する。なお、本形態では、ロボット１は、柱部１８または支持部材６を移動させた後には、モータ２３とモータ２８とを同時に起動させて、上下方向におけるハンド３の位置ずれを補正する。 In addition, when a displacement in the direction orthogonal to the moving direction of the hand 3 is detected in the substrate 2 stored in the storage position, the robot 1 activates the motor 23 or the motor 28 in order to correct this displacement. Thus, the column portion 18 or the support member 6 is moved, and the hand 3 and the arm 4 are moved in the horizontal direction orthogonal to the moving direction of the hand 3. Thereafter, the robot 1 extends and retracts the hand 3 to carry out the substrate 2 from the storage position. Further, after unloading the substrate 2, the robot 1 activates the motor 23 or 28 to move the column portion 18 or the support member 6 in the direction opposite to the previous movement direction, and then expands and contracts the hand 3. Then, the substrate 2 is carried into the work position. In the present embodiment, the robot 1 activates the motor 23 and the motor 28 at the same time after moving the column portion 18 or the support member 6 to correct the positional deviation of the hand 3 in the vertical direction.

上述のように、本形態では、図２に示すハンド３の下限位置と図４に示すハンド３の上限位置とで、ハンド３が水平方向にずれないように、ナット部材２５、３０のストロークおよびボールネジ２４、２９の傾斜角度等が設定されているため、ナット部材３０が停止した状態でナット部材２５が下限位置から上限位置まで移動したときのハンド３の水平方向の移動量と、ナット部材２５が停止した状態でナット部材３０が下限位置から上限位置まで移動したときのハンド３の移動量とが等しい。 As described above, in this embodiment, the strokes of the nut members 25 and 30 and the lower limit position of the hand 3 shown in FIG. 2 and the upper limit position of the hand 3 shown in FIG. Since the inclination angles and the like of the ball screws 24 and 29 are set, the horizontal movement amount of the hand 3 when the nut member 25 moves from the lower limit position to the upper limit position with the nut member 30 stopped, and the nut member 25. The amount of movement of the hand 3 when the nut member 30 moves from the lower limit position to the upper limit position in a state where is stopped is equal.

したがって、図７の実線で示すように、ハンド３が下限位置にあるときに、ナット部材２５を上限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部に近づく方向へ移動量Ｘだけ移動し、ハンド３が上限位置にあるときに、ナット部材３０を下限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部に近づく方向へ移動量Ｘだけ移動する。一方、図７の破線で示すように、ハンド３が下限位置にあるときに、ナット部材３０を上限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部から離れる方向へ移動量Ｘだけ移動し、ハンド３が上限位置にあるときに、ナット部材２５を下限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部から離れる方向へ移動量Ｘだけ移動する。 Therefore, as shown by the solid line in FIG. 7, when the nut member 25 is moved to the upper limit position when the hand 3 is at the lower limit position, the hand 3 approaches the connecting portion between the base 8 and the turning member 9. When the nut member 30 is moved to the lower limit position when the hand 3 is at the upper limit position and the hand 3 is at the upper limit position, the hand 3 moves in the direction approaching the connecting portion between the base 8 and the turning member 9. Move by X. On the other hand, as shown by the broken line in FIG. 7, when the nut member 30 is moved to the upper limit position when the hand 3 is at the lower limit position, the hand 3 moves away from the connecting portion between the base 8 and the turning member 9. When the nut member 25 is moved to the lower limit position when the hand 3 is at the upper limit position and the hand 3 is at the upper limit position, the hand 3 moves in a direction away from the connecting portion between the base 8 and the turning member 9. Move by X.

なお、たとえば、ナット部材２５のストロークＬ１（図７参照）は、２５００ｍｍであり、かつ、ナット部材３０のストロークＬ２（図７参照）は、１３００ｍｍである。また、たとえば、ナット部材２５のストロークＬ１は、１３００ｍｍであり、かつ、ナット部材３０のストロークＬ２は、１７００ｍｍである。また、たとえば、ナット部材２５のストロークＬ１およびナット部材３０のストロークＬ２は、１３００ｍｍである。また、これらの場合には、移動量Ｘは、たとえば、１２５ｍｍである。 For example, the stroke L1 (see FIG. 7) of the nut member 25 is 2500 mm, and the stroke L2 (see FIG. 7) of the nut member 30 is 1300 mm. For example, the stroke L1 of the nut member 25 is 1300 mm, and the stroke L2 of the nut member 30 is 1700 mm. For example, the stroke L1 of the nut member 25 and the stroke L2 of the nut member 30 are 1300 mm. In these cases, the movement amount X is, for example, 125 mm.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、柱部１７と柱部１８とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、柱部１７は、その傾斜方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持し、柱部１８は、その傾斜方向への支持部材６の相対移動が可能となるように支持部材６を保持している。そのため、支持部材６または柱部１８を移動させることで、ハンド３およびアーム４を水平方向へ移動させることができる。したがって、本形態では、支持部材６または柱部１８を移動させれば、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができる。すなわち、基台８を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができる。そのため、本形態では、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整が可能であっても、基台８を水平方向へ移動させるための機構が不要となり、その結果、ロボット１を小型化することが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the column portion 17 and the column portion 18 are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction, and the column portion 17 has a relative movement in the inclined direction. The column portion 18 is held so as to be possible, and the column portion 18 holds the support member 6 so that the support member 6 can be relatively moved in the inclined direction. Therefore, the hand 3 and the arm 4 can be moved in the horizontal direction by moving the support member 6 or the column part 18. Therefore, in this embodiment, if the support member 6 or the column portion 18 is moved, the positions of the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction can be adjusted. That is, even if a mechanism for moving the base 8 in the horizontal direction is not provided, the positions of the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction can be adjusted. Therefore, in this embodiment, even if the positions of the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction can be adjusted, a mechanism for moving the base 8 in the horizontal direction is not required, and as a result, the robot 1 can be downsized. Is possible.

また、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができるため、基板２の搬出方向に直交する方向で基板２が位置ずれを起こしている場合に、この位置ずれを補正することが可能になる。特に本形態では、旋回部材９に柱状部材７が固定されているため、基板２を搬出する際のハンド３の移動方向にかかわらず、基板２の搬出方向に直交する方向での基板２の位置ずれを補正することが可能になる。また、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができるため、ロボット１の設置誤差や組立誤差を補正することが可能になる。そのため、ロボット１の設置や組立を容易に行うことが可能になる。 Further, since the positions of the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction can be adjusted, the positional deviation can be corrected when the positional deviation of the substrate 2 occurs in the direction orthogonal to the carrying-out direction of the substrate 2. It becomes possible. In particular, in this embodiment, since the columnar member 7 is fixed to the turning member 9, the position of the substrate 2 in the direction orthogonal to the unloading direction of the substrate 2 regardless of the moving direction of the hand 3 when unloading the substrate 2. It becomes possible to correct the deviation. Further, since the positions of the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction can be adjusted, it is possible to correct the installation error and assembly error of the robot 1. Therefore, the robot 1 can be easily installed and assembled.

また、本形態では、柱部１７、１８が、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しているため、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整が可能であっても、支持部材６および柱部１８の移動量や移動速度を調整することで、ハンド３およびアーム４とともに支持部材６を鉛直方向へ略直線状に移動させることができる。したがって、本形態では、位置調整後のハンド３およびアーム４を鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。 Further, in this embodiment, since the column portions 17 and 18 are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction, even if the position adjustment of the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction is possible, the support member 6 and By adjusting the moving amount and moving speed of the column part 18, the support member 6 can be moved in a substantially straight line in the vertical direction together with the hand 3 and the arm 4. Therefore, in this embodiment, the hand 3 and the arm 4 after the position adjustment can be moved in a substantially straight line in the vertical direction.

特に本形態では、モータ２３、２８が同時に駆動すると、支持部材６が鉛直方向へ略直線状に移動するように、ナット部材２５、３０のストローク、ボールネジ２４、２９の傾斜角度、および、モータ２３、２８の回転数等が設定されているため、ハンド３やアーム４の位置調整を行う必要がない場合や、ハンド３およびアーム４の位置調整を行った後に、モータ２３、２８を同時に駆動させれば、ハンド３は鉛直方向へ略直線状に移動する。したがって、本形態では、ハンド３を容易に制御することが可能になる。 In particular, in this embodiment, when the motors 23 and 28 are driven simultaneously, the strokes of the nut members 25 and 30, the inclination angles of the ball screws 24 and 29, and the motor 23 so that the support member 6 moves substantially linearly in the vertical direction. , 28, etc. are set, so that it is not necessary to adjust the positions of the hand 3 and arm 4, or after the positions of the hand 3 and arm 4 are adjusted, the motors 23 and 28 are driven simultaneously. Then, the hand 3 moves substantially linearly in the vertical direction. Therefore, in this embodiment, the hand 3 can be easily controlled.

本形態では、柱部１７と柱部１８とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。そのため、２個の柱部１７、１８を用いて、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整ができ、かつ、ハンド３およびアーム４を鉛直方向へ略直線状に移動させることができる。したがって、本形態では、ロボット１の構成を簡素化してロボット１を小型化することが可能になる。 In this embodiment, the column portion 17 and the column portion 18 are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction. Therefore, it is possible to adjust the positions of the hand 3 and the arm 4 in the horizontal direction by using the two pillar portions 17 and 18, and to move the hand 3 and the arm 4 in a substantially linear shape in the vertical direction. Therefore, in this embodiment, it is possible to simplify the configuration of the robot 1 and reduce the size of the robot 1.

本形態では、支持部材６または柱部１８を移動させることで、ハンド３およびアーム４を水平方向へ移動させることができ、かつ、柱状部材７が旋回部材９に固定されている。そのため、基板２の傾きが検出されたときに、支持部材６または柱部１８を移動させるとともに基台８に対して旋回部材９を旋回させれば、作業位置に搬入される基板２の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。すなわち、基台８を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、作業位置に搬入される基板２の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。 In this embodiment, the hand 3 and the arm 4 can be moved in the horizontal direction by moving the support member 6 or the column portion 18, and the columnar member 7 is fixed to the turning member 9. Therefore, if the support member 6 or the column portion 18 is moved and the turning member 9 is turned with respect to the base 8 when the inclination of the substrate 2 is detected, the displacement of the substrate 2 carried into the work position is shifted. It is possible to correct the inclination while suppressing the above. That is, even if a mechanism for moving the base 8 in the horizontal direction is not provided, it is possible to correct the inclination while suppressing the displacement of the substrate 2 carried into the work position.

特に本形態では、支持部材６または柱部１８を移動させることで、ハンド３を水平方向へ移動させることができるため、ハンド３がどの方向を向いていても、基板２の搬送時のハンド３の移動方向に直交する水平方向へハンド３を移動させることができる。したがって、本形態では、基板２を搬出する際のハンド３の移動方向にかかわらず、作業位置に搬入される基板２の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。 In particular, in the present embodiment, the hand 3 can be moved in the horizontal direction by moving the support member 6 or the column portion 18, and therefore the hand 3 when the substrate 2 is transported regardless of which direction the hand 3 faces. The hand 3 can be moved in the horizontal direction perpendicular to the moving direction. Therefore, in this embodiment, regardless of the moving direction of the hand 3 when unloading the substrate 2, it is possible to correct the inclination while suppressing the displacement of the substrate 2 loaded into the work position.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、柱部１７は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部に近づくように傾斜し、かつ、柱部１８は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部から離れるように傾斜している。この他にもたとえば、図８に示すように、柱部１７は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部から離れるように傾斜し、かつ、柱部１８は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部に近づくように傾斜しても良い。 In the embodiment described above, the column portion 17 is inclined so that its upper end approaches the connecting portion between the base 8 and the turning member 9, and the column portion 18 has an upper end between the base 8 and the turning member 9. It inclines so that it may leave | separate from a connection part. In addition, for example, as shown in FIG. 8, the column portion 17 is inclined so that the upper end thereof is separated from the connecting portion between the base 8 and the turning member 9, and the column portion 18 is based on the upper end. You may incline so that the connection part of the base 8 and the turning member 9 may be approached.

上述した形態では、柱状部材７は、２個の柱部１７、１８を備えている。この他にもたとえば、柱状部材７は、３個以上の柱部を備えていても良い。たとえば、柱状部材７が３個の柱部を備えている場合には、３個の柱部のうちの２個の柱部が鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、残りの１個の柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良い。たとえば、支持部材６を相対移動可能に保持する柱部を第１柱部、第１柱部を相対移動可能に保持する柱部を第２柱部、第２柱部を相対移動可能に保持するとともに旋回部材９に固定される柱部を第３柱部としたときに、第１柱部と第２柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、第３柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良いし、第１柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、第２柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良いし、第２柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、第１柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良い。なお、この場合の第１柱部、第２柱部および第３柱部は、保持柱部である。また、この場合には、ロボット１は、支持部材６、第１柱部および第２柱部を個別に移動させるための３個の移動機構を備えている。 In the embodiment described above, the columnar member 7 includes two column portions 17 and 18. In addition, for example, the columnar member 7 may include three or more column portions. For example, when the columnar member 7 includes three column portions, two column portions of the three column portions are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction, and the remaining one The column portion may not be inclined with respect to the vertical direction. For example, the column portion that holds the support member 6 so as to be relatively movable is held as a first column portion, the column portion that holds the first column portion so as to be relatively movable is held as a second column portion, and the second column portion is held so as to be relatively movable. In addition, when the column portion fixed to the turning member 9 is the third column portion, the first column portion and the second column portion are inclined in directions opposite to each other in the vertical direction, and the third column portion is vertically The first pillar portion and the third pillar portion may be inclined in opposite directions with respect to the vertical direction, and the second pillar portion is inclined with respect to the vertical direction. The second pillar part and the third pillar part may be inclined in opposite directions with respect to the vertical direction, and the first pillar part may not be inclined with respect to the vertical direction. In this case, the first pillar part, the second pillar part, and the third pillar part are holding pillar parts. Further, in this case, the robot 1 includes three moving mechanisms for individually moving the support member 6, the first pillar portion, and the second pillar portion.

また、たとえば、柱状部材７が３個の柱部を備えている場合には、３個の柱部のうちの２個の柱部が鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、残りの１個の柱部は鉛直方向に対して他の２個の柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜していても良い。たとえば、上述の第１柱部と第２柱部とが鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、第３柱部が鉛直方向に対して第１柱部および第２柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜しても良い。この場合には、第１柱部の傾斜角度と第２柱部の傾斜角度とは等しくても良いし、異なっていても良い。また、第１柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、第２柱部が鉛直方向に対して第１柱部および第３柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜しても良いし、第２柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、第１柱部が鉛直方向に対して第２柱部および第３柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜しても良い。なお、この場合の第１柱部、第２柱部および第３柱部も、保持柱部である。また、この場合にも、ロボット１は、支持部材６、第１柱部および第２柱部を個別に移動させるための３個の移動機構を備えている。また、この場合には、３個の移動機構の全てが駆動したときにハンド３が鉛直方向へ移動しても良いし、３個の移動機構のうちの２個の移動機構が駆動したときにハンド３が鉛直方向へ移動しても良い。すなわち、この場合には、ハンド３およびアーム４とともに支持部材６が鉛直方向へ移動するように、少なくとも２個の移動機構が駆動すれば良い。 For example, when the columnar member 7 includes three column portions, two column portions out of the three column portions are inclined in one direction with respect to the vertical direction, and the remaining 1 The individual column portions may be inclined in a direction opposite to the inclination direction of the other two column portions with respect to the vertical direction. For example, the first pillar part and the second pillar part described above are inclined in one direction with respect to the vertical direction, and the third pillar part is inclined with respect to the vertical direction with respect to the first pillar part and the second pillar part. You may incline in the reverse direction. In this case, the inclination angle of the first pillar portion may be equal to or different from the inclination angle of the second pillar portion. Further, the first column portion and the third column portion are inclined in one direction with respect to the vertical direction, and the second column portion is opposite to the inclination direction of the first column portion and the third column portion with respect to the vertical direction. The second column portion and the third column portion may be inclined in one direction with respect to the vertical direction, and the first column portion may be inclined with respect to the vertical direction. You may incline in the opposite direction to the inclination direction. In this case, the first pillar portion, the second pillar portion, and the third pillar portion are also holding pillar portions. Also in this case, the robot 1 includes three moving mechanisms for individually moving the support member 6, the first pillar portion, and the second pillar portion. In this case, the hand 3 may move in the vertical direction when all three moving mechanisms are driven, or when two of the three moving mechanisms are driven. The hand 3 may move in the vertical direction. That is, in this case, at least two moving mechanisms may be driven so that the support member 6 moves in the vertical direction together with the hand 3 and the arm 4.

また、たとえば、柱状部材７が３個の柱部を備えている場合には、１個の柱部は、支持部材６または他の柱部を相対移動可能に保持していなくても良い。たとえば、上述の第１柱部に支持部材６が固定されていても良いし、または、第２柱部に第１柱部が固定されていても良いし、あるいは、第３柱部に第２柱部が固定されていても良い。この場合には、支持部材６または他の柱部を相対移動可能に保持する２個の柱部が鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。また、この場合には、支持部材６または他の柱部を相対移動可能に保持する２個の柱部が保持柱部である。 For example, when the columnar member 7 includes three column portions, one column portion may not hold the support member 6 or another column portion so as to be relatively movable. For example, the support member 6 may be fixed to the above-described first pillar part, the first pillar part may be fixed to the second pillar part, or the second pillar part may be fixed to the second pillar part. The column part may be fixed. In this case, the two pillar portions that hold the support member 6 or other pillar portions so as to be relatively movable are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction. In this case, the two pillar portions that hold the support member 6 or other pillar portions so as to be relatively movable are the retaining pillar portions.

このように、柱状部材７が３個以上の柱部を備えている場合には、少なくとも２個の柱部が鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜していれば良い。また、この場合には、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜する柱部が、その傾斜方向への支持部材６または他の柱部の相対移動が可能となるように支持部材６または他の柱部を保持していれば良い。 Thus, when the columnar member 7 includes three or more column portions, it is sufficient that at least two column portions are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction. Further, in this case, the column members that are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction can be moved relative to the support member 6 or other columns in the inclined direction. What is necessary is just to hold | maintain the pillar part.

上述した形態では、柱部１７、１８は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に直交する平面内で傾いている。この他にもたとえば、柱部１７、１８は、上下方向に平行な平面であってかつ基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に対して傾いた平面内で傾いていても良い。すなわち、柱部１７、１８の傾きの方向が、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と一致していなければ良い。このようにすることで、ハンド３の移動方向と直交する方向で基板２の位置ずれを補正することが可能になる。 In the embodiment described above, the pillar portions 17 and 18 are inclined in a plane orthogonal to the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is transported. In addition, for example, the pillars 17 and 18 may be inclined in a plane parallel to the vertical direction and inclined with respect to the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is transported. That is, it is sufficient that the direction of inclination of the column portions 17 and 18 does not coincide with the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is transported. By doing in this way, it becomes possible to correct | amend the position shift of the board | substrate 2 in the direction orthogonal to the moving direction of the hand 3. FIG.

上述した形態では、本体部５は、水平方向へ移動可能となってはいないが、本体部５は、水平方向へ移動可能となっていても良い。すなわち、ロボット１は、水平方向（たとえば、左右方向）へ移動可能に基台８を支持するベース部材と、ベース部材に対して基台８を水平方向へ移動させる水平移動機構とを備えていても良い。 In the embodiment described above, the main body 5 is not movable in the horizontal direction, but the main body 5 may be movable in the horizontal direction. That is, the robot 1 includes a base member that supports the base 8 so as to be movable in the horizontal direction (for example, the left-right direction), and a horizontal movement mechanism that moves the base 8 in the horizontal direction with respect to the base member. Also good.

上述した形態では、支持部材６は、アーム支持部１６を備えており、アーム４の基端側は、アーム支持部１６の先端側に支持されている。この他にもたとえば、支持部材６が昇降部１５によって構成されるとともに、アーム４の基端側が昇降部１５に支持されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、旋回部材９を備えているが、ロボット１は、旋回部材９を備えていなくても良い。この場合には、基台８に柱状部材７の下端が固定される。 In the embodiment described above, the support member 6 includes the arm support portion 16, and the proximal end side of the arm 4 is supported on the distal end side of the arm support portion 16. In addition to this, for example, the support member 6 may be configured by the elevating unit 15, and the base end side of the arm 4 may be supported by the elevating unit 15. Moreover, in the form mentioned above, although the robot 1 is provided with the turning member 9, the robot 1 does not need to be provided with the turning member 9. FIG. In this case, the lower end of the columnar member 7 is fixed to the base 8.

上述した形態では、移動機構２１、２２は、回転型のモータ２３、２８と、ボールネジ２４、２９と、ナット部材２５、３０とを備えているが、移動機構２１、２２は、リニアモータであっても良い。また、上述した形態では、アーム４は、第１アーム部１３と第２アーム部１４との２個のアーム部によって構成されているが、アーム４は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。さらに、上述した形態では、ロボット１は、２個のハンド３および２個のアーム４等を備えるいわゆるダブルアーム型のロボットであるが、ロボット１は、１個のハンド３および１個のアーム４等を備えるシングルアーム型のロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、基板２以外の半導体ウエハ等であっても良い。 In the embodiment described above, the moving mechanisms 21 and 22 include the rotary motors 23 and 28, the ball screws 24 and 29, and the nut members 25 and 30, but the moving mechanisms 21 and 22 are linear motors. May be. Moreover, in the form mentioned above, although the arm 4 is comprised by two arm parts, the 1st arm part 13 and the 2nd arm part 14, the arm 4 is comprised by three or more arm parts. Also good. Further, in the above-described form, the robot 1 is a so-called double arm type robot including two hands 3 and two arms 4, but the robot 1 includes one hand 3 and one arm 4. A single arm type robot provided with the In the above-described embodiment, the transfer target object transferred by the robot 1 is the substrate 2. However, the transfer target object transferred by the robot 1 may be a semiconductor wafer other than the substrate 2.

１ロボット（産業用ロボット）
２基板（ガラス基板、搬送対象物）
３ハンド
４アーム
６支持部材
７柱状部材
８基台
９旋回部材
１７柱部（保持柱部、第２保持柱部）
１８柱部（保持柱部、第１保持柱部）
２１移動機構（第２移動機構）
２２移動機構（第１移動機構）
２３、２８モータ
２４、２９ボールネジ（ネジ部材）
２５、３０ナット部材
Ｚ鉛直方向 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, transport object)
3 Hand 4 Arm 6 Supporting member 7 Columnar member 8 Base 9 Revolving member 17 Column (holding column, second holding column)
18 pillars (holding pillars, first retaining pillars)
21 Movement mechanism (second movement mechanism)
22 Movement mechanism (first movement mechanism)
23, 28 Motor 24, 29 Ball screw (screw member)
25, 30 Nut member Z Vertical direction

Claims

A hand on which a conveyance object is mounted; an arm to which the hand is connected; a support member that supports the arm; and a columnar member that supports the support member so as to be movable in the vertical direction.
The columnar member is constituted by a plurality of column parts,
The columnar member includes, as the column portion, a plurality of holding column portions that hold the other column portion of the plurality of column portions or the support member so as to be relatively movable,
At least two of the holding pillars are inclined in opposite directions with respect to the vertical direction,
When the holding column portion that is inclined holds the support member in a relatively movable manner, the support member can be relatively moved in a direction in which the holding column portion is inclined,
When the inclined holding column part holds the other column part in a relatively movable manner, the other column part can be relatively moved in the direction in which the holding column part is inclined. made by industrial robot, characterized in that are.

The columnar member includes, as the holding column portion, a first holding column portion that holds the support member, and a second holding column portion that holds the first holding column portion,
The first holding column portion and the second holding column portion are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction;
The first holding column portion holds the support member so that the support member can be relatively moved in the inclined direction.
2. The industry according to claim 1, wherein the second holding column portion holds the first holding column portion so that the first holding column portion can be relatively moved in the inclined direction. Robot.

A base and a swivel member rotatable with respect to the base;
The industrial robot according to claim 2, wherein the second holding column portion is fixed to the turning member.

A plurality of moving mechanisms for individually moving the support member or the column part held by the holding column part inclined with respect to the vertical direction;
The industrial robot according to claim 1, wherein at least two of the moving mechanisms are driven so that the support member moves in a vertical direction.

The moving mechanism includes a first moving mechanism and a second moving mechanism,
The columnar member includes, as the holding column portion, a first holding column portion that holds the support member, and a second holding column portion that holds the first holding column portion,
The first holding column portion and the second holding column portion are inclined in directions opposite to each other with respect to the vertical direction;
The first moving mechanism moves the support member with respect to the first holding column portion in an inclination direction of the first holding column portion,
The second moving mechanism moves the first holding column portion in the inclination direction of the second holding column portion with respect to the second holding column portion,
The industrial robot according to claim 4, wherein when the first moving mechanism and the second moving mechanism are driven, the support member moves in a vertical direction.

The said moving mechanism is provided with a motor, a screw member connected with the output shaft of the said motor, and a nut member which has a female thread part screwed together with the external thread part of the said screw member. The industrial robot described.