JP5574043B2

JP5574043B2 - 立方体基準器

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Publication number: JP5574043B2
Application number: JP2013513471A
Authority: JP
Inventors: 森光　　英樹; 憲啓浅野
Original assignee: Sintokogio Ltd
Current assignee: Sintokogio Ltd
Priority date: 2011-03-01
Filing date: 2011-12-07
Publication date: 2014-08-20
Anticipated expiration: 2031-12-07
Also published as: EP2681506A1; EP2681506B1; JP2014506989A; WO2012117474A1

Description

本発明は、工作機械や精密機械の組立工程や据付後の直角度、平行度、真直度、平面度を精密に測定、調整するための立方体基準器に関する。

従来、各種工作機械や測定装置等の組み付け作業や精度検査に、立方体形状の基準器（立方体基準器）を用いて、３軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）の幾何精度を測定することが行われている（例えば、実開昭６２−９５８４８号公報参照）。

近年、機械の大型化・高精度化に伴い、高精度で扱いやすい立方体基準器が求められている。しかし、上述の技術のような立方体基準器は、従来、班レイ岩のような石材や鋳鉄などから作製されているため、例えば、一辺が１ｍのサイズでは重量が１０００ｋｇ以上と非常に重く、取り扱いが大変であり、また、工作機械のテーブルに設置しただけでテーブルがたわんでしまい、正確な精度で測定することが困難であるという問題があった。

そこで、本発明は、軽量で高剛性の立方体基準器を提供することを目的とする。

本発明では、上記目的を実現するために、本発明の第１の態様では、セラミックス製の角パイプを複数本組み合わせて立方体の各辺を構成する立方体基準器であって、隣接する角パイプは、一方の角パイプの長手方向の端面が他方の角パイプの長手方向の側面と当接して角部を形成するように配置され、一方の角パイプと他方の角パイプとが垂直になるように位置決めして固定する固定部材により固定されてなる、という技術的手段を用いる。

第１の態様によれば、弾性率が高いセラミックス製の角パイプを複数本組み合わせて立方体基準器を構成するため、角パイプを中空形状としても立方体基準器として必要な高い剛性を発現させることができる。これにより、従来の中実の立方体基準器に比べて立方体基準器を大幅に軽量化することができる。
また、固定部材を用いることにより、隣接する一方の角パイプと他方の角パイプとを確実に固定することができるとともに、立方体基準器の剛性を高くすることができる。また、隣接する角パイプが垂直になるように位置決めすることができるため、部材組み付け時に容易に精度よく組み付けることができる。これにより、部材の組み付けを容易にし、最終仕上げ加工の工数を低減することができるので、低コストで製造することができる。

本発明の第２の態様では、第１の態様の立方体基準器において、当接される一方の角パイプと他方の角パイプとが当接する面で接着される、という技術的手段を用いる。

第２の態様によれば、当接される一方の角パイプと他方の角パイプとが当接する面で接着されるため、立方体基準器の剛性をさらに高くすることができる。

本発明の第３の態様では、第２の態様の立方体基準器において、前記他方の角パイプの側面に当接する側の、前記一方の角パイプの長手方向の端部に、当該端部から挿入されて接着固定され、端面を形成するブロック状のプラグが設けられ、該端面が前記他方の角パイプと当接して接着されている、という技術的手段を用いる。

第３の態様によれば、ブロック状のプラグにより端面が形成されているため、一方の角パイプと他方の角パイプとが当接する面の面積、つまり接着面積を増大させることができるので、立方体基準器の構造強度及び剛性を高くすることができる。

本発明の第４の態様では、第３の態様の立方体基準器において、前記プラグはプラグを当接する側面にボルト固定するためのボルト固定部を備えており、プラグが当接する側面に形成された貫通孔を介してボルト固定可能に構成されている、という技術的手段を用いる。

第４の態様によれば、プラグがボルト固定部を備えているため、より確実に一方の角パイプと他方の角パイプを固定することができ、立方体基準器の構造強度及び剛性をより高くすることができる。

本発明の第５の態様では、第１の態様ないし第４の態様のいずれか１つに記載の立方体基準器において、前記角パイプはアルミナ基のセラミックス材料からなる、という技術的手段を用いる。

第５の態様によれば、アルミナ基のセラミックス材料は軽量で弾性率が高く、耐久性に優れているため、角パイプを構成する材料として好適に用いることができる。また、成型や加工も容易であり、立方体基準器を低コストで作製することができる。更に、硬度が高いので、測定時に繰り返し接触するプローブによる磨耗に対する耐久性が高い。

第６の態様では、第１の態様ないし第４の態様のいずれか１つに記載の立方体基準器において、前記角パイプの中空部断面形状は円形である、という技術的手段を用いる。

第６の態様のように、角パイプの中空部断面形状が円形であるように構成すると、断面積が等しい場合には四角形状等に比べて断面二次モーメントが大きくなるので、立方体基準器の剛性を高くすることができる。

本発明の第７の態様では、第１の態様ないし第４の態様のいずれか１つに記載の立方体基準器において、セラミックス製の角パイプからなる２本の補強パイプが、立方体の鉛直方向の辺を構成する隣接する１組の角パイプの間の中央及び立方体の鉛直方向の辺を構成する残りの１組の角パイプの間の中央に長手方向が鉛直方向となるようにそれぞれ配置され、固定部材により立方体の水平方向の辺を構成する角パイプにそれぞれ固定されている、という技術的手段を用いる。

第７の態様のように、セラミックス製の角パイプからなる２本の補強パイプを立方体の鉛直方向の辺を構成する隣接する１組の角パイプの間の中央及び立方体の鉛直方向の辺を構成する残りの１組の角パイプの間の中央に長手方向が鉛直方向となるようにそれぞれ配置し、固定部材により立方体の水平方向の辺を構成する角パイプにそれぞれ固定すると、立方体基準器の剛性を効果的に高めることができる。特に、一辺が長くなる大型の立方体基準器において好適に用いることができる。

この出願は、日本国で２０１１年３月１日に出願された特願２０１１−０４４０８２号に基づいており、その内容は本出願の内容として、その一部を形成する。
また、本発明は以下の詳細な説明により更に完全に理解できるであろう。しかしながら、詳細な説明および特定の実施例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、当業者にとって明らかだからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。
本明細書あるいは請求の範囲の記載において、名詞及び同様な指示語の使用は、特に指示されない限り、または文脈によって明瞭に否定されない限り、単数および複数の両方を含むものと解釈すべきである。本明細書中で提供されたいずれの例示または例示的な用語（例えば、「等」）の使用も、単に本発明を説明し易くするという意図であるに過ぎず、特に請求の範囲に記載しない限り本発明の範囲に制限を加えるものではない。

立方体基準器の構造を示す斜視説明図である。立方体基準器を構成する第１角パイプの構造を示す説明図である。図２（Ａ）は側面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ−Ａ断面図、図２（Ｃ）は図２（Ａ）のＢ−Ｂ矢視図、図２（Ｄ）はＣ−Ｃ矢視図である。立方体基準器を構成する第２角パイプの構造を示す説明図である。図３（Ａ）は側面図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のＤ−Ｄ断面図、図３（Ｃ）は図３（Ａ）のＥ−Ｅ矢視図、図３（Ｄ）はＦ−Ｆ矢視図である。立方体基準器を構成する固定部材の構造を示す説明図である。図４（Ａ）は側面図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）を図中上方から見た平面図である。図１のＫ部の一部断面透視図であり、立方体基準器の組み付け構造を示す説明図である。中空部の偏芯が立方体基準器の剛性に及ぼす影響を説明するための説明図である。立方体基準器の変更例を示す斜視説明図である。

本発明に係る精密基準器について図を参照して説明する。図１に示すように、立方体基準器１は、セラミックス製の第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１を組み合わせて立方体の各辺が構成されている。隣接する角パイプは、一方の角パイプの長手方向の端面が他方の角パイプの長手方向の側面と当接して角部を形成するように配置されており、当接する面を接着するとともに、固定部材１２により隣接する第１角パイプ１０同士、または第１角パイプ１０と第２角パイプ１１とが垂直になるように位置決めしてステンレス鋼製のボルト２０により固定されている。第１角パイプ１０の一端の開口部は蓋材１４により封じられている。
ここで、「接着」とは、接着剤による接着だけでなく、両面テープなどによる接着、シート状のインサート材、ろう材、ガラスフリットなどのペーストを接着界面に配置し加熱することによる接着、拡散接着などを含む概念である。本実施形態では、エポキシ系接着剤を用いた接着を行っている。高い接着強度が必要な場合には、拡散接着を採用することもできる。
立方体基準器１は、高精度の測定を行う場合には、本実施形態のように手前２か所の角部と対向する辺の中央部に配置される３つの支点Ｓに載置されて用いられる。なお、立方体基準器１は、工作機械のテーブルに直接載置して用いることもできる。

立方体基準器１の水平面は水平方向に配置される第１角パイプ１０により構成され、鉛直面は水平方向に配置される第１角パイプ１０及び鉛直方向に配置される第２角パイプ１１により構成されている。

立方体基準器１の各辺は直角度、平行度、真直度、平面度が所定の精度、例えば、５５０ｍｍ角の立方体基準器１では３μｍ以下、１０００ｍｍ角の立方体基準器１では８μｍ以下になるように、各構成部材の組み付け後に研削加工により仕上げられている。

第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１はセラミックス製であるため弾性率が高く、中空形状としても立方体基準器１として必要な高い剛性を発現させることができる。これにより、従来の中実の立方体基準器に比べて立方体基準器１を大幅に軽量化することができる。

例えば、一辺の長さが５５０ｍｍの立方体基準器１を７０ｍｍ角で中空部の内径が４７ｍｍの第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１を用いて形成した場合には約１００ｋｇ、一辺の長さが１０００ｍｍの立方体基準器１を８０ｍｍ角で中空部の内径が５６ｍｍの第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１を用いて図７の構造で形成した場合には約２７０ｋｇとなり、従来の石製立方体基準器の１／３〜１／４程度の大幅な軽量化を達成することができる。

第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１を形成するセラミックス材料として、アルミナなどのアルミナ基セラミックスを好適に用いることができる。本実施形態ではアルミナを用いる。アルミナは軽量で弾性率が石材の４倍以上と高く、耐久性に優れている。また、成型や加工も容易であり、低コストで作製することができる。更に、硬度が高いので、測定時に繰り返し接触するプローブによる磨耗に対する耐久性が高い。

また、石材製の精密測定器は温湿度の変化の影響により精度が低下するおそれがあり、正確な測定のためには厳密な温湿度管理が必要であるが、立方体基準器１は温湿度変化の影響が小さいため、安定した精度での測定を行うことができる。

固定部材１２を用いることにより、第１角パイプ１０、第２角パイプ１１を確実に固定することができるとともに、立方体基準器１の剛性を高くすることができる。また、隣接する角パイプが垂直になるように位置決めすることができるため、部材組み付け時に容易に精度よく組み付けることができる。これにより、部材の組み付けを容易にし、最終仕上げ加工の工数を低減することができるので、低コストで製造することができる。

図２に示すように、第１角パイプ１０の中空部１０ａは断面形状が円形または四角形状に形成されている。本実施形態では、断面形状は円形に形成されている。断面形状が円形であるように構成すると、断面積が等しい場合には四角形状等に比べて断面二次モーメントが大きくなるので、剛性を高くすることができる。

第１角パイプ１０の長手方向の側面に当接する側の端部には、プラグ１３を挿入し、接着固定するためのプラグ挿入部１０ｂが形成されている。本実施形態では、プラグ挿入部１０ｂの断面形状は、プラグ１３の形状にあわせて、中空部１０ａの円形断面と同芯で径が大きい円形となるように形成されている。

プラグ１３は、第１角パイプ１０などと同じセラミックス材料からなる円形断面を有するブロック状の部材であり、プラグ挿入部１０ｂに接着固定されて第１角パイプ１０の端面を形成する。プラグ１３は、当接する第１角パイプ１０の側面にプラグ１３をボルト固定するためのボルト固定部１３ａを備えている。

第１角パイプ１０の長手方向の他端には、ステンレス鋼製のボルト２１によりプラグ１３を介して、隣接する第１角パイプ１０または第２角パイプ１１と固定するための固定部１０ｃが、断面形状が正方形状に形成されている。固定部１０ｃには、第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１を組み付けたときにプラグ１３のボルト固定部１３ａに対応する位置に、ボルト２１を挿通するためのプラグ固定用貫通孔１０ｅが形成されている。

第１角パイプ１０の側面には、固定部材１２により第１角パイプ１０同士、または第１角パイプ１０と第２角パイプ１１とを固定するためにボルト２０を捻じ込んで固定する固定部材用ボルト固定部１０ｄが形成されている。

図３に示すように、第２角パイプ１１は、第１角パイプ１０の中空部１０ａと同形状の中空部１１ａを備え、両端に第１角パイプ１０のプラグ挿入部１０ｂと同形状のプラグ挿入部１１ｂが形成されている。プラグ挿入部１１ｂには、プラグ１３が接着固定されてそれぞれの端面を形成している。また、第２角パイプ１１の側面には、固定部材１２により第１角パイプ１０に固定するためにボルト２０を捻じ込んで固定する固定部材用ボルト固定部１１ｄが形成されている。そして、第２角パイプ１１は、両端部が第１角パイプ１０の側面に当接して立方体の辺を構成するため、第１角パイプ１０より第１角パイプ１０の幅程度短く形成されている。

図４に示すように、固定部材１２は第１角パイプ１０などと同じセラミックス材料からなり、本体部１２ａがＬ字型に形成された部材である。なお、固定部材は、固定部材１２を２つ組み合わせたような形状として、２本の第１角パイプと１本の第２角パイプを１つの固定部材でそれぞれの角パイプが垂直になるように位置決めして固定する構造としてもよい。
固定部材１２には、固定部材１２により隣接する第１角パイプ１０同士、または第１角パイプ１０と第２角パイプ１１とが垂直になるように組み付けたときに、第１角パイプ１０の固定部材用ボルト固定部１０ｄ及び第２角パイプ１１の固定部材用ボルト固定部１１ｄに対応する位置に、ボルト２０を挿通するための角パイプ固定用貫通孔１２ｂが形成されている。

立方体基準器１の組み付け構造について、図５を参照して説明する。図５は、図１のＫ部の一部断面透視図である。Ｋ部では、図面の垂直方向に配置された第１角パイプ１０Ａに、図中長手方向が左右方向になるように配置された第１角パイプ１０Ｂと鉛直方向に配置された第２角パイプ１１とが組み付けられている。

第１角パイプ１０Ｂと第２角パイプ１１とは、固定部材１２により互いに垂直になるように位置決めされた後に、ボルト２０により固定されている。固定部材１２を用いることにより、第１角パイプ１０Ｂと第２角パイプ１１とを確実に固定することができるとともに、立方体基準器１の剛性を高くすることができる。また、隣接する角パイプが垂直になるように位置決めすることができるため、部材組み付け時に容易に精度よく組み付けることができる。これにより、部材の組み付けを容易にし、最終仕上げ加工の工数を低減することができるので、低コストで製造することができる。
なお、固定部材１２は、ボルト２０による固定だけではなく、接着による固定を用いることもできる。その場合には、第１角パイプ１０、第２角パイプ１１、および固定部材１２に固定部材用ボルト固定部１０ｄ、１１ｄ、角パイプ固定用貫通孔１２ｂは形成されなくてもよい。
また、ボルト２０と接着による固定を併用してもよい。

立方体基準器１の立方体の角部は、第１角パイプ１０Ａの側面が、第１角パイプ１０Ｂの端部及び第２角パイプ１１の端部とプラグ１３により形成された端面において接着されるとともに、プラグ固定用貫通孔１０ｅを介してボルト２１により固定されて組み付けられる。プラグ１３により端面が形成されているため、第１角パイプ１０Ａの側面と第１角パイプ１０Ｂの端部及び第１角パイプ１０Ａの側面と第２角パイプ１１の端部の接着面積を増大させることができる。これにより、立方体基準器１の構造強度及び剛性を高くすることができ、高精度の基準器とすることができる。また、プラグ１３がボルト固定部１３ａを備え、ボルト２１による固定を行うため、より確実な固定をすることができ、立方体基準器１の構造強度及び剛性をより高くすることができる。
なお、第１角パイプ１０Ｂの端部及び第２角パイプ１１の端部とプラグ１３により形成された端面は、第１角パイプ１０Ａの側面に接着されなくてもよい。ただし、接着することにより、立方体基準器１の構造強度及び剛性をより高くすることができ、より高精度の基準器とすることができる。

十分な剛性が得られる場合、例えば、小型の立方体基準器１ではプラグ１３を用いなくともよい。

次に、図６を参照して、中空部１０ａ断面形状の円の中心が四角断面の中心からずれる偏芯が立方体基準器１の剛性に及ぼす影響について示す。角パイプ１０、１１の梁としてのの剛性が高い程、立方体基準器１の剛性が高いので、梁のたわみ量に基づいて、立方体基準器１の剛性を考える。梁の最大たわみ量δは、次式で表される。

（数１）
δ ＝Ｋ・Ｐ・ｆ（Ｌ）／Ｅ／Ｉ
Ｋ：梁の固定条件により決まる定数
Ｐ：外力もしくは自重
ｆ（Ｌ）：角パイプの長さ、外力の位置による関数
Ｅ：ヤング率
Ｉ：断面二次モーメント

数１において、孔位置が影響するパラメーターはＩのみであるため、立方体基準器１の剛性をＩの大きさで評価する。ここで、一辺がａの正方形の断面二次モーメントをＩ_ａ、直径がｄの断面二次モーメントをＩ_ｄとすると、四角形断面の中心から中空断面の円の中心のずれＢ＝０（Y方向）、Ｃ＝０（X方向）におけるＸ軸およびＹ軸周りのＩ_Ｘ０、Ｉ_Ｙ０は、次式で表される。

（数２）
Ｉ_Ｘ０＝Ｉ_Ｙ０＝Ｉ_ａ−Ｉ_ｄ

一方、Ｂ＝ｂ、Ｃ＝ｃにおけるＸ軸周りおよびＹ軸周りのＩ_Ｘ、Ｉ_Ｙは、次式で表される。なお、ここでは、ずれｂ、ｃによる断面の中立軸のずれは微小として、その影響を省略し、計算を簡略化している。

（数３）
Ｉ_Ｘ＝Ｉ_ａ−（Ｉ_ｄ＋ｃ^２・πｄ^２／４）

（数４）
Ｉ_Ｙ＝Ｉ_ａ−（Ｉ_ｄ＋ｂ^２・πｄ^２／４）

数３及び数４に示すように、円の中心が四角断面の中心からずれることにより、Ｉ_Ｘ＜Ｉ_Ｘ０、Ｉ_Ｙ＜Ｉ_Ｙ０となり、そのずれ量が小さい方が立方体基準器１の剛性が高くなる。

ずれ量が大きい方が断面二次モーメントの低下度合いが大きくなり、剛性の低下が大きくなるため、ずれ量が大きい方の断面二次モーメントの低下度合いについて考える。ｃ＞ｂの場合、Ｉ_Ｘの方が断面二次モーメントの低下度合いが大きくなる。断面二次モーメントの低下度合いは数３を変形して次式で表される。

（数５）
Ｉ_Ｘ／Ｉ_Ｘ０＝１−ｃ^２・πｄ^２／（４・Ｉ_Ｘ０）

例えば、断面二次モーメントの低下度合いを５％以下にしたい場合には、数５の右辺第２項を０．０５以下にすればよい。ずれ量の偏差をｃ／ａで表すと、偏差ｃ／ａが次式を満足するように立方体基準器１を作製すればよい。

（数６）
ｃ／ａ≦（０．２Ｉ_Ｘ０／π）^１／２／（ａ・ｄ）

本実施形態では、立方体基準器１を構成するセラミックス材料としてアルミナを用いたが、これに限定されるものではなく、窒化けい素、炭化けい素など他のセラミックス材料を採用することができる。

（変更例）
図７に示すように、第１角パイプ１０などと同じセラミックス材料の角パイプからなる１組の補強パイプ３０を長手方向が鉛直方向となるように配置することができる。本変更例では、一方の補強パイプ３０は、水平の辺の中央部に配置される支点Ｓの直上に配置され、他方の補強パイプ３０は対向する鉛直面の中央に配置され、それぞれ固定部材１２により、第１角パイプ１０に固定されている。つまり、補強パイプ３０は、立方体の鉛直方向の辺を構成する隣接する１組の第２角パイプ１１の間の中央及び残りの１組の第２角パイプ１１の間の中央に長手方向が鉛直方向となるようにそれぞれ配置され、固定部材１２により立方体の水平方向の辺を構成する第１角パイプ１０にそれぞれ固定されている。これにより、立方体基準器１の剛性を効果的に高めることができる。特に、一辺が長い大型の立方体基準器１、例えば、１０００ｍｍ角の立方体基準器１の剛性を高くするために好適に用いることができる。

［実施形態の効果］
（１）本発明の立方体基準器１によれば、軽量で弾性率が高いセラミックス製の第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１を組み合わせて立方体基準器１を構成するため、第１角パイプ１０及び第２角パイプ１１を中空形状としても立方体基準器１として必要な高い剛性を発現させることができる。これにより、従来の中実の立方体基準器に比べて立方体基準器１を大幅に軽量化することができる。
また、一方の角パイプと他方の角パイプとが当接する面が接着されているとともに、固定部材１２により一方の角パイプと他方の角パイプとが垂直になるように位置決めして固定するため、第１角パイプ１０、第２角パイプ１１を確実に固定することができるとともに、立方体基準器１の剛性を高くすることができる。また、隣接する角パイプが垂直になるように位置決めすることができるため、部材組み付け時に容易に精度よく組み付けることができる。これにより、部材の組み付けを容易にし、最終仕上げ加工の工数を低減することができるので、低コストで製造することができる。

（２）角パイプを接着固定する端部にプラグ１３により端面が形成されているため、接着面積を増大させることができるので、立方体基準器１の構造強度及び剛性を高くすることができ、高精度の基準器とすることができる。また、プラグ１３がボルト固定部１３ａを備え、ボルト２１による固定を行うため、より確実な固定をすることができ、立方体基準器１の構造強度及び剛性をより高くすることができる。

（３）第１角パイプ１０、第２角パイプ１１の中空部断面形状が円形であるように構成すると、断面積が等しい場合には四角形状等に比べて断面二次モーメントが大きくなるので、立方体基準器１の剛性を高くすることができる。

以下、本明細書および図面で用いた主な符号をまとめて示す。
１…立方体基準器、
１０…第１角パイプ
１０ａ…中空部
１０ｂ…プラグ挿入部
１０ｃ…固定部
１０ｄ…固定部材用ボルト固定部
１０ｅ…プラグ固定用貫通孔
１１…第２角パイプ
１１ａ…中空部
１１ｂ…プラグ挿入部
１１ｄ…固定部材用ボルト固定部
１２…固定部材
１２ａ…本体部
１２ｂ…角パイプ固定用貫通孔
１３…プラグ
１３ａ…ボルト固定部
２０、２１…ボルト
３０…補強パイプ

Claims

セラミックス製の角パイプを複数本組み合わせて立方体の各辺を構成する立方体基準器であって、
隣接する角パイプは、一方の角パイプの長手方向の端面が他方の角パイプの長手方向の側面と当接して角部を形成するように配置され、
一方の角パイプと他方の角パイプとが垂直になるように位置決めして固定する固定部材により固定されてなることを特徴とする
立方体基準器。
前記当接される一方の角パイプと他方の角パイプとが、当接する面で接着されることを特徴とする
請求項１に記載の立方体基準器。
前記他方の角パイプの側面に当接する側の、前記一方の角パイプの長手方向の端部に、当該端部から挿入されて接着固定され、端面を形成するブロック状のプラグが設けられ、該端面が前記他方の角パイプと当接して接着されていることを特徴とする
請求項２に記載の立方体基準器。
前記プラグはプラグを当接する側面にボルト固定するためのボルト固定部を備えており、プラグが当接する側面に形成された貫通孔を介してボルト固定可能に構成されていることを特徴とする請求項３に記載の立方体基準器。
前記角パイプはアルミナ基のセラミックス材料からなることを特徴とする
請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の立方体基準器。
前記角パイプの中空部断面形状は円形であることを特徴とする
請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の立方体基準器。
セラミックス製の角パイプからなる２本の補強パイプが、立方体の鉛直方向の辺を構成する隣接する１組の角パイプの間の中央及び立方体の鉛直方向の辺を構成する残りの１組の角パイプの間の中央に長手方向が鉛直方向となるようにそれぞれ配置され、固定部材により立方体の水平方向の辺を構成する角パイプにそれぞれ固定されていることを特徴とする
請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の立方体基準器。