JP5571170B2 - レーザビームを形成するための装置およびかかる装置を有するレーザ装置 - Google Patents
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Description
2・F・NA(50%)=M・P2
ただしM=1,2,3,…
式中、Fは、各レンズの焦点距離であり、P2はレンズ間距離であり、NA(50%)は、各レンズの開口数であり、レンズを通過して入射する光の強度が半分に低下する角度について定義している。この要件を満たし、かつ請求項2に従った制御手段によるリターンカップリングを設けることによって、非常に均質な強度分布が達成される。
代わりに、レーザビームとレンズアレイのレンズとに、以下の要件を適用してもよい。
2・F・NA(50%)=P2
と表すことが可能である。この場合、NA(50%)は、レンズ5それぞれの開口数であり、レンズ5を通過する光の強度が低下する角度によって定義される。
2・F・NA(50%)=M・P2
但し、M=1,2,3,…
を満足するなら、全体強度分布18に対する、強度分布9の振動のない重畳が生じる(図5参照)。図4および図5は、M=2の場合を示している。
Claims (11)
- 均質化手段(1)であって、作業平面(8)において、レーザビーム(3)の、均質化手段(1)から出射された部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の群(7)が、第1の線形強度分布(9,19)であって、該第1の線形強度分布(9,19)の両端部において、急峻に低下する側部(10)を有する第1の線形強度分布(9,19)を生じ得るように、複数の部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の複数の群(7)を、個別に均質化することが可能である均質化手段(1)と、
重畳手段(2)であって、レーザビーム(3)の伝播方向(Z)において、均質化手段の後方に配置された重畳手段(2)と、を含むレーザビーム(3)を形成するための装置において、
重畳手段(2)が、複数のレンズ(5)を有するレンズアレイを含み、
各レンズ(5)は、該レンズ(5)から出射された部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の群(7)が、作業平面(8)において、トップハット強度分布を有する第2の線形強度分布を生じるように、部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の群(7)を重畳すべく構成され、
レンズアレイは、2つの隣り合ったレンズ(5)によって生じる第2の線形強度分布が、互いに部分的に重なって、第1の線形強度分布(9,19)のそれぞれの長さよりも長い、第3の線形強度分布(11,20)を生じるように、部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の群(7)を重畳すべく構成され、
レンズアレイのレンズ(5)のすべてについて、以下の条件、
2・F・NA(50%)=M・P 2
(式中、
M=1,2,3,…であり、
Fは、各レンズの焦点距離であり、
P 2 は、レンズ間の中心間距離であり、
NA(50%)は、各レンズ(5)の開口数であり、レンズ(5)を通過する光の強度が、半分に低下する角度によって定義される。)
が適用されることを特徴とするレーザビーム(3)を形成するための装置。 - 制御手段であって、レーザビーム(3)への影響が、均質化手段から出射された部分ビームそれぞれの強度、または均質化手段(1)から出射された部分ビーム(6)または均質化手段(1)から出射された部分ビーム(6)の群(7)のそれぞれの強度が同じ大きさとなるようにすることが可能である制御手段をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 均質化手段(1)および/またはレンズアレイは、部分ビーム(6)の1つ、または部分ビーム(6)の1つの群(7)が、レンズ(5)のそれぞれを通過するように、配置される、および/または形成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- レンズアレイのレンズ(5)はすべて、同じ焦点距離を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- レンズアレイのレンズ(5)はすべて、同じ焦点距離、および/または同じ中心間距離を有することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置。
- 制御手段は、均質化手段(1)から出射される部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の群(7)のそれぞれの強度を検出することが可能であるセンサ手段(14)を有することを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- センサ手段(14)は、フォトダイオード、フォトレジスタ、フォトトランジスタ、またはフォトセルなどとして形成されることを特徴とする、請求項7に記載の装置。
- 制御手段は、均質化手段(1)から出射される部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の群(7)の強度を比較することが可能である比較手段(15)を有することを特徴とする、請求項7または8に記載の装置。
- 少なくとも1つのレーザ光源(17)と、
請求項1〜9のいずれか1項に従った、レーザビーム(3)を形成するための装置とを含むレーザ装置。 - レーザ装置は、少なくとも1つのレーザ光源(17)のための少なくとも1つの電源(16)を含み、制御手段は、均質化手段(1)から出射される部分ビーム(6)または部分ビーム(6)の群(7)の強度が互いに一様化されるように、前記少なくとも1つの電源(16)を制御することを特徴とする、請求項10に記載のレーザ装置。
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