JP6363718B2 - モジュール式レーザ装置 - Google Patents
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Description
・レーザラインを作り出すための少なくとも1つの手段、好ましくはレーザダイオードの線状アレイ、及び、
・前記レーザラインを形作るための手段、
を含むレーザ装置であって、前記レーザラインを形作るための手段は、最終のレーザラインが作業平面において、最大出力密度の90%のところでの幅(L90)と最大出力密度の10%のところでの幅(L10)とを有し、L90/L10比が1/15と1/5の間、好ましくは1/12と1/7の間、特に1/10と1/8の間に含まれる出力密度プロファイルを有するように、マイクロレンズの第1の線状アレイ、収束レンズ、及び該収束レンズの焦点面に配置されたマイクロレンズの第2の線状アレイを含むことを特徴とするレーザ装置である。
Lg=(n+1)×0.5Li
に等しい。
D=N×F
この式中のNはマイクロレンズの数を表し、Fは各マイクロレンズの焦点距離を表すが、ただし、マイクロレンズアレイは、マイクロレンズアレイとシルクハット型の出力密度プロファイルを形成する収束レンズとの距離に比べて無視し得るサイズであるとする。
本発明の態様としては、以下を挙げることができる:
《態様1》
各々が作業平面においてレーザラインを作り出す複数のレーザモジュールを含むレーザ装置であり、前記レーザモジュールは該モジュールにより作り出されたレーザラインが一緒になって単一のレーザラインになるように配置されていて、該レーザモジュールの各々が、
・レーザラインを作り出すための少なくとも1つの手段、及び、
・前記レーザラインを形作るための手段、
を含むレーザ装置であって、前記レーザラインを形作るための手段が、各レーザモジュールにより作り出された最終のレーザラインが前記作業平面において、最大出力密度の90%のところでの幅(L 90 )と最大出力密度の10%のところでの幅(L 10 )とを有し、L 90 /L 10 比が1/15と1/5の間に含まれる出力密度プロファイルを有するように、マイクロレンズの第1の線状アレイ(1)、収束レンズ(2)、及び該収束レンズ(2)の焦点面に配置されたマイクロレンズの第2の線状アレイ(3)を含んでおり、前記レーザモジュールが、当該モジュールにより作り出されたレーザラインが一緒になって1.2mを超える全長を有する単一のレーザラインになるように並置されていることを特徴とするレーザ装置。
《態様2》
L 90 /L 10 比が1/12と1/7の間、好ましくは1/10と1/8の間に含まれることを特徴とする、態様1に記載のレーザ装置。
《態様3》
各レーザモジュールにより作り出された最終のレーザラインが、当該レーザラインの中央に最大出力密度があり、出力密度が当該ラインの中央から両端へと減少し、その減少の勾配が同じL 10 及びL 90 の完全に三角形のプロファイルの勾配と最大で20%、好ましくは最大で10%だけ異なる出力密度プロファイルを、前記作業平面において有することを特徴とする、態様1又は2に記載のレーザ装置。
《態様4》
前記レーザモジュールが、全ての個々の出力密度プロファイルの総計から得られる一体とされたレーザラインの出力密度プロファイルが、当該装置の一体とされたレーザラインの全長の少なくとも90%に相当する中央領域を有するシルクハット型プロファイルであり、その領域において出力密度が最大で10%、好ましくは最大で5%、特に有利には最大で1%だけ変動するように並置されていることを特徴とする、態様1〜3のいずれか一項に記載のレーザ装置。
《態様5》
前記レーザモジュールが、レーザモジュールにより作り出されたレーザラインの各端部が隣接するモジュールにより作り出されたレーザラインの中央の直ぐ近くに位置するようにして並置されていることを特徴とする、態様1〜4のいずれか一項に記載のレーザ装置。
《態様6》
少なくとも5個のモジュール、好ましくは少なくとも10個のモジュールを含むことを特徴とする、態様1〜5のいずれか一項に記載のレーザ装置。
《態様7》
前記レーザモジュールが、当該モジュールにより作り出されたレーザラインが一緒になって2mを超える、特に3mを超える全長を有する単一のレーザラインになるように並置されていることを特徴とする、態様1〜6のいずれか一項に記載のレーザ装置。
Claims (7)
- 各々が作業平面においてレーザラインを作り出す複数のレーザモジュールを含むレーザ装置であり、前記レーザモジュールは該モジュールにより作り出されたレーザラインが一緒になって単一のレーザラインになるように配置されていて、該レーザモジュールの各々が、
・レーザラインを作り出すための少なくとも1つの手段、及び、
・前記レーザラインを形作るための手段、
を含むレーザ装置であって、前記レーザラインを形作るための手段が、各レーザモジュールにより作り出された最終のレーザラインが前記作業平面において、最大出力密度の90%のところでの幅(L90)と最大出力密度の10%のところでの幅(L10)とを有し、L90/L10比が1/15と1/5の間に含まれる出力密度プロファイルを有するように、マイクロレンズの第1の線状アレイ(1)、収束レンズ(2)、及び該収束レンズ(2)の焦点面に配置されたマイクロレンズの第2の線状アレイ(3)を含んでおり、前記レーザモジュールが、当該モジュールにより作り出されたレーザラインが一緒になって1.2mを超える全長を有する単一のレーザラインになるように並置されていることを特徴とするレーザ装置。 - L90/L10比が1/12と1/7の間に含まれることを特徴とする、請求項1に記載のレーザ装置。
- 各レーザモジュールにより作り出された最終のレーザラインが、当該レーザラインの中央に最大出力密度があり、出力密度が当該ラインの中央から両端へと減少し、その減少の勾配が同じL10及びL90の完全に三角形のプロファイルの勾配と最大で20%だけ異なる出力密度プロファイルを、前記作業平面において有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のレーザ装置。
- 前記レーザモジュールが、全ての個々の出力密度プロファイルの総計から得られる一体とされたレーザラインの出力密度プロファイルが、当該装置の一体とされたレーザラインの全長の少なくとも90%に相当する中央領域を有するシルクハット型プロファイルであり、その領域において出力密度が最大で10%だけ変動するように並置されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記レーザモジュールが、レーザモジュールにより作り出されたレーザラインの各端部が隣接するモジュールにより作り出されたレーザラインの中央の直ぐ近くに位置するようにして並置されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 少なくとも5個のモジュールを含むことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記レーザモジュールが、当該モジュールにより作り出されたレーザラインが一緒になって2mを超える全長を有する単一のレーザラインになるように並置されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載のレーザ装置。
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