JP6542764B2 - モジュール式レーザ装置 - Google Patents

Description

本発明は、複数の並置可能なレーザモジュールから形成される、幅の広い基材を特別の制限なしにレーザでアニールするための装置に関する。

平坦な基材上に被着したコーティングの局所的な急速レーザアニーリング（レーザフラッシュ加熱）を実施することは知られている。これを行うためには、アニールされるべきコーティングを有する基材にレーザラインの下方を走行させるか、さもなければレーザラインにコーティングの付いた基材の上方を走行させる。

レーザアニーリングは、下にある基材を保護しながら、薄いコーティングを約数百度の高温に加熱することを可能にする。走行速度は、言うまでもなくできるだけ高いことが好ましく、少なくとも毎分数メートルが有利である。

本発明は特に、レーザダイオードを使用するレーザに関する。レーザダイオードは価格及び出力の観点から、現在最良のレーザ光源である。

プロセスを高い走行速度で実施するために必要とされる単位長さ当たりの出力を得るために、非常に多数のレーザダイオードの放射を単一のレーザラインに集中させることが望ましい。このレーザラインの出力密度は、基材の全点を同じアニーリングエネルギーに曝すように、アニールすべきコーティングの付いた基材において一般的にできるだけ均一でなければならない。

しかしながら、単位長さ当たりの十分な出力、すなわち約５０Ｗ／ｍｍを得るために必要とされる多数のレーザダイオードは、空間的に嵩張るという問題を生ずる。

市販のレーザダイオードのストリップをレーザラインの主軸線に平行に並置する（左右方向のスタッキング）とすれば、ストリップの線状アレイの長さは、生ずる最終のレーザラインの長さの約２倍に大きくなると見積もられた。

長さ約２０ないし３０センチメートルの小さいラインでは許容され得ると考えられるこの空間的嵩張りは、長さ２ないし３メートルのラインでは許容されない。しかしながら、フロート法により製造される「特大」サイズ（６ｍ×３．２１ｍ）の平坦なガラスシートなどの、幅の広い基材を高速で処理することができることが望ましい。

その上、空間的嵩張りに関わる上記の問題は、レーザ装置の光学系のモジュール設計を妨げる。具体的に言うと、複数の短い基本的なレーザラインを組み合わせて単一のより長いレーザラインにすることができるためには、個々の各レーザモジュールが、それが作り出す基本的ラインの長さ以下の横方向の寸法を有しなければならないことが、容易に理解されよう。これらの横方向の寸法がそれより大きければ、モジュールの並置は不連続の最終的なラインを生ずることになろう。

ダイオードレーザの出力を増大させるための別のアプローチは、ダイオードのストリップを別のものの上に並べ（垂直方向の積み重ね）、そして収束レンズによりこれらのストリップのスタックから発生されるビームを一つにまとめるものである。しかしながら、本発明の意図する用途のためには、これらの用途では作業平面（基材）においてレーザラインのために、即ち幅が±１ｍｍの１０％を超えて変動しないラインのために、±１ｍｍの被写界深度を維持することが重要なので、この方法で得られるレーザラインの品質は不満足である。

本発明は、光源としてレーザダイオードのストリップを使用するレーザモジュールであって、当該モジュールにより作り出されるレーザラインに平行な方向で当該モジュールの寸法以上の長さを有するレーザラインを作り出すことを可能にするレーザモジュールを提供する。その上、ここで提案されるレーザモジュールは、先行技術の垂直に積み重ねたダイオードレーザの弱点を有さず、満足な品質と、一般的なガラス基材の平坦性の欠陥、輸送の影響、一般に１ミリメートル程度である系の振動などに順応するのに十分に大きい被写界深度とを有するレーザラインを形成する。

本発明のレーザ装置を形成するためには、複数のレーザモジュールを互いに隣り合わせに整列させて、その結果、それらが作り出す基本的レーザラインが一緒になって大きな長さにわたって均一な出力密度を有する単一のレーザラインになるようにする。レーザラインの主軸線に平行な方向におけるレーザ装置の空間的嵩張りは、ラインの長さを実質的に超えない。

本発明は、ダイオードのストリップの好ましくは互いに実質的に平行な２組の線状アレイを重ね合わせて、次に下記でさらに詳細に説明する１組のミラーにより、平行な２組のレーザビームを一つにまとめて単一のレーザラインにするという着想に基づいている。２組の重ね合わされたストリップの線状アレイにより放射されたビームを一つにまとめるために使用されるミラーの独創的な系が、先行技術のレーザダイオードの垂直な積み重ねから生ずる既知の弱点、即ち得られるレーザラインの品質の低下を回避することを可能にする。

本発明の対象は、各々が作業平面におけるレーザラインを作り出す複数のレーザモジュールを含むレーザ装置であり、前記レーザモジュールは、該モジュールにより作り出されたレーザラインを一緒にして単一のレーザラインとするように並置されてそれらの長さに沿って整列されており、該レーザモジュールの各々がレーザラインを作り出すための少なくとも１つの手段を含むレーザ装置であって、レーザラインを作り出すための当該手段がレーザダイオードのストリップの２組の線状アレイを含み、当該アレイでは当該ストリップがそれらの長さに沿って整列していて、各々が焦点を合わせたレーザビームを放射し、２組の線状アレイは、ストリップどうしをずらせ、ストリップの２組の線状アレイにより発生された２組の平行なレーザビームをそれぞれ、１組のミラーにより一つにまとめて、かつ単一のレーザラインとするように互いに平行に配列されており、前記レーザダイオードのストリップの線状アレイ及び前記ミラーは、全てのレーザビーム、即ち２組のレーザビームを、同じ長さの光路を辿った後に一つにまとめて単一のレーザラインにするように配列されていることを特徴とするレーザ装置である。

レーザラインを作り出すための各手段において重ね合わされるダイオードのストリップの２組の線状アレイは、完全に互いに同一であってもよく、即ち同数のストリップを含むこともでき、又は２組の線状アレイの一方が他方より１つ多いストリップを含むこともできる。ストリップの２組の線状アレイは、同一である（同じ出力、波長、サイズその他）ことが有利である。各線状アレイにおいて、ストリップはそれらの間の空間を最小にして並置されることが好ましい。

それ故、ダイオードのストリップの各線状アレイはストリップのサイズ以上の周期で周期性を有する。

先にすでに示したように、２組の線状アレイは、ストリップどうしがずれるように互いに平行に配列され、言い換えれば２組の線状アレイは、線状アレイの各ストリップが他の線状アレイの最も近いストリップから正確に等距離にあるように、半周期だけオフセットされる。

ストリップの各線状アレイは、該線状アレイが含むストリップと同数のビームを発する。２組の線状アレイにより発せられた２組のビームはそれぞれ、互いに平行であって、ストリップの横方向にずれたオフセットを再現する。

使用する１組のミラーの詳細な説明を下記で読めば、半周期のこのオフセットが２組のビームを単一のレーザラインに一本化するために必須であることが理解されよう。

本発明においては、ストリップの２組の線状アレイにより発せられた２組のレーザビームが、一つにまとめられて単一の単色のレーザラインになる前に、同じ長さの光路を辿ることが最も重要である。そうでない場合には、２組のビームはサイズが同じでなく及び／又は開度が同じでなくなり、それらの一本化によって得られるレーザラインの品質が不満足となろう。

レーザラインを作り出すための手段の下記での詳細な説明において、分割したミラーにより反射された１組のレーザビームは、「第１の組のレーザビーム」と称されて、分割された個片ミラー間の隙間を通り抜ける１組のビームは、「第２の組のレーザビーム」又は「他の１組のレーザビーム」と称される。この第２の／他の１組のビームは、ミラーにより反射されず（図１に示す第１の実施形態）、又はそうでなければ連続していてよいが（図２に示す第２の実施形態）分割されていてもよいミラーによって反射される。

それ故、本発明の第１の実施形態においては、２組のレーザビームのうちの一方（以下で「第１の組のレーザビーム」と称する）だけが、１組のミラーによって第２の組のレーザビームの平面へと方向を変えて導かれる。この方向の変更は、この第１の組のレーザビームの光路の長さを増大させる。ミラーによる方向変更の結果生じた第１の組のレーザビームの光路の増大した長さを補償するために、第１の組のレーザビームを発するレーザダイオードのストリップの線状アレイを、１組のミラーによる方向変更に基づく光路の長さの増大と等しい距離だけ、第２のレーザビームの伝播方向にシフトさせる。

第１の組のビームの方向変更は、２つの一連の反射、即ち、
・第２の組のビームの伝播の平面を横切るように第１の組のビームの伝播の平面を変更する第１の反射、及び、
・２つの伝播平面の交差するところで同一高さになり、２つの伝播平面の重なりを生じてレーザ光線の単一の「シート」又はラインの形成をもたらす第２の反射、
により有利に達成される。

２組のビームを一つにまとめることになるこの二重反射の幾何学的な位置関係を図１に示す。

本発明の１つの特定の実施形態において、これら２つの一連の反射は直角をなし、即ち第１の組のレーザビームは２回の直交する反射を経る。このとき、第１の組のレーザビームの光路長は、２つの伝播平面の間の当初の距離だけ増大する。この長さの増大を補償するために、第１の組のレーザビームを発するレーザダイオードのストリップの線状アレイを、２組のビームの２つの伝播平面間の当初の間隔に等しい距離だけ前方に進め、即ち第２の組のビームの伝播方向にシフトさせる。

言うまでもなく、２回の直交する反射は１つの特定の実施形態にすぎず、２回の非直交の反射を行うようにミラーを配置することを全面的に想定することができる。当業者は、簡単な三角法の計算により、ダイオードのストリップの第１の線状アレイを光路の対応する長さの増大を補償するためにどれほどの距離だけシフトさせる必要があるか計算することができよう。

本発明の好ましい実施形態では、第２の組のレーザビームの平面の方向への第１の組のレーザビームの第１の反射は、下記で連続したミラーと呼ぶ単一のミラーによりなされる。この単一の連続したミラーは所定の平面に配置した複数のミラーにより置き換えることもできるが、これは装置のこの部分を必要以上に複雑にし、そのため第１の組のビームの第１の反射を実施するために分割したミラーを使用することは望ましくない。

第２の反射の場合には、状況が非常に異なる。第２の反射は２つの伝播平面が交差するラインと同一高さで起こり、これは第２の組のレーザビームの伝播を阻害することになるので、単一の連続したミラーを使用することは不可能である。それ故、第１の組のレーザビームが含むレーザビームと少なくとも同数の個片ミラーからなる分割ミラーが第２の反射のために使用され、第１の組のレーザビームの各ビームが１つの個片ミラーにより反射される。分割ミラーの使用は、ダイオードのストリップの２組の線状アレイの半周期の横方向のオフセットの利点をうまく利用する。具体的に言えば、このオフセットによって、第１の組のビームの各ビームは、第２の組のビームのそれらと互い違いになり、そして適当な大きさの個片ミラーが、第２の組のビームを遮らずに第１の組のビームを反射することができる。

この第２の反射の後で、第１の組のレーザビームは第２の組のレーザビームの伝播平面で伝播し、２つの組が単一の単色レーザラインを形成する。

それ故、本発明で使用する一式のミラーは、
・第１の組のレーザビームを第２の組のレーザビームの平面の方向に反射する連続した第１のミラー、及び、
・第１の組のレーザビームの各ビームが１つの個片ミラーにより反射される、レーザビームの第１の組が含むレーザビームと少なくとも同数の個片ミラーからなる分割された第２のミラー、
を含むのが好ましい。

図２に示した本発明のモジュール式レーザ装置の第２の実施形態では、第１の及び第２の組のビームが各々ミラーにより反射される。

２組のビームは、同じ角度で反射されて、その結果、この反射の後に、２組のレーザビームの２つの伝播平面は一致して単一のレーザラインを形成する。第１の組のレーザビームは、第１の組のビームを反射するのと他の組のビームが個片ミラー間の隙間を通過するのを両方とも可能にする分割ミラーにより反射される。他の組のビームは、連続したミラーにより反射されるのが好ましい。

レーザダイオードのストリップの各々により発生されたレーザビームは、ストリップを出ると収束レンズにより焦点を合わされるビームである。

本発明のレーザ装置の１つの特に有利な実施形態では、分割ミラーの個片ミラーは、第１の組のレーザビームをそれらの焦点で反射するように配置される。第１のビームの焦点における個片ミラーのこの配置は、それがこれらの個片ミラーの面積をできる限り局限することを可能にして、したがってそれらが第２の組のビームの各ビームの通過を妨げることを防止するので、有利である。

上で説明したようなレーザ光を発生するための各手段は、所定の線状の偏光状態を有する単色のレーザラインを形成する。具体的に言うと、ダイオードストリップの２組の線状アレイのレーザダイオードの全てが、同じ波長及び同じ偏光状態のレーザ光線を生ずる。二回の反射はレーザ光線の線状の偏光状態を変更しない。

異なる波長又は異なる偏光状態の複数のビーム又はレーザラインを本出願において「レーザラインを一緒にするための手段」と称する光学系により一緒にすることにより、レーザダイオード装置の出力を増大させることは知られている。そのような光学系は、例えば米国特許出願公開第２０１１／０１７６２１９号明細書に記載されている。

それは偏光カプラ及び二色性ミラーのセットにより、レーザダイオードの別々のストリップにより別々に発生されたレーザビームを一緒にするのを可能にする。典型的には、ダイオードの複数のストリップ又はストリップの組がそれぞれ複数の異なる波長のビームを発生し、所定の波長のビームは場合により互いに直交する２つの異なる偏光をさらに有する。

それ故、好ましい実施形態では、本発明のレーザ装置は、レーザラインを作り出すための少なくとも２つの手段を含み、各手段が１又は２以上の他の単色のレーザラインとその波長及び／又はその偏光状態が異なる単色のレーザラインを作り出す。それは、例えば、レーザラインを作り出すための４対の手段を含み、各対は、同じ波長を有しそれらの偏光状態が互いに異なる２つの単色のレーザラインを作り出す。こうして作り出された様々の、上記の例では８本のレーザラインは、次に既知の方法で、レーザラインを一緒にして単一の多色及び／又は二重偏波レーザラインにする手段により一つにまとめられる。ここで「二重偏波」という表現は、互いに垂直な２つの平面で偏光したレーザビームのライン又は混合したもののことを表す。

本発明のモジュール式レーザ装置は、好ましくは少なくとも５個のモジュール、特に少なくとも１０個のモジュールを含む。

本発明のレーザ装置を形成するためには、複数のレーザモジュールを互いに隣り合せて整列させて、それらが発生する基本的レーザラインが一緒になって長い範囲にわたって均一な出力密度を有する単一のレーザラインになるようにする。

さらに詳しく言えば、モジュールにより作り出されるレーザラインが一緒になって好ましくは１．２ｍを超え、特に２ｍを超え、理想的には３ｍを超える全長を有する単一のレーザラインになるように、レーザモジュールを並置する。

３．２１ｍの幅を有する「特大」の基材をレーザ処理することを目的とするなら、出力密度が実質的に一定のレーザラインの中央部分は３．２０ｍと３．２２ｍの間に含まれる長さを有することが好ましい。

レーザモジュールは、作り出すレーザラインが基材又は作業平面を、基材の法線に対して好ましくは小さい角度で、典型的には２０°未満及び好ましくは１０°未満の角度で横切るように、組み立ててレーザ装置に搭載される。該装置は、レーザモジュールを固定したままで、処理すべき基材がモジュールの線状アレイの上方又は下方を、一般にレーザラインの主軸線に対して垂直方向に走行するように設計することができる。変形実施形態として、基材を固定したままで、レーザラインを基材上に好ましくは直角に投射しながら、レーザモジュールの線状アレイが基材の上方又は下方を走行するように装置を設計してもよい。

次に、本発明のモジュール式レーザ装置を、添付図を参照してさらに詳細に説明することにする。

レーザラインを作り出すための手段の第１の実施形態の斜視図である。 レーザラインを作り出すための手段の第２の実施形態の斜視図である。

図１は、レーザダイオードのストリップの２組の線状アレイ１ａ、１ｂを示している。線状アレイ１ａ、１ｂは、ストリップ２が互いに対してずれて位置するように、横方向に互いにシフトして配列されている。ストリップ２の各々は、焦点を合わせたレーザビーム３ａ、３ｂを発する。簡単のために、ここでは線状アレイ１ａ、１ｂの各々は２個のストリップのみを含んでいる。線状アレイが３個以上のストリップを含む場合、後者は規則的に間隔をあけており、したがってストリップの各線状アレイは規則的に間隔をあけた１組のレーザビームを発する。下側の線状アレイ１ａのストリップ２により発生された第１の組のビーム３ａは、２つの一連の直交する反射、即ち、連続したミラー４によりなされる第１の上向きの反射、次に分割ミラーとも称される一連の個片ミラーによりなされる第２の反射を経る。レーザダイオードのストリップの上側の線状アレイ１ｂのビーム３ｂは反射されない。

分割ミラー５の個片は、第２の組のビーム３ｂの伝播平面を横切り、そして第２の組のビーム３ｂの各ビーム間の隙間に、より詳しく言えばビーム間の間隔が最大であるビーム３ｂの焦点６の近くに位置する。２つの線状アレイ１ａ、１ｂのストリップ２の互いにずれた配列は、ミラー５がダイオードのストリップの下側の線状アレイ１ａにより発せられた第１の組のビーム３ａのビームをこの位置で遮って反射することになる。

これらのビームは、それらの焦点で個片ミラー５により反射されるように焦点を結ばされる。

それ故、２組のビーム３ａ、３ｂの焦点は、第１の組のレーザビーム３ａの第２の直交する反射により規定される直線に本質的に重ね合わされる所定の直線上に、全ての焦点が整列されるように設定される。

第１の組のレーザビーム３ａの第２の直交する反射の後で、２組のビームは同じ平面で伝播されて、その結果単一のレーザライン８を形成する。

２組のレーザビーム３ａ、３ｂが、単一の伝播平面で一つにまとめられる前に、同じ長さを有する光路を辿ることが、本発明において最も重要なことである。

これが、下側のストリップの線状アレイ１ａが上側の線状アレイに対して前方に、即ちこの上側の線状アレイ１ｂのビーム３ｂの伝播方向に、シフトされる理由である。このシフトが、その二重の反射によって第１の組のビームが被る光路長の増大を補償する。本事例では、長さのこの増大は当初の伝播平面間の距離、言い換えれば第１の組のビームが受ける２つの反射間の距離に等しい。

図２に示した第２の実施形態では、ストリップの２組の線状アレイ１ａ、１ｂによって発生された２組のビーム３ａ、３ｂは、各々１回だけ反射される。

第１の線状アレイ１ａ及びその上に位置した第２の線状アレイ１ｂは、各々２つのストリップ２を含んでいる。第１の線状アレイ１ａにより発生された第１の組のビーム３ａは、該ビームの焦点に配置した分割ミラーにより直角に反射され、各個片ミラー５が１つのビーム３ａを反射する。

ストリップの第２の線状アレイ１ｂにより発せられた第２の組のビーム３ｂは、最初は第１の組のビーム３ａと平行に伝播し、次にその伝播平面が第１の組のビーム１ａの第２の伝播平面を横切るときに、第２の組のビームは第１の組のビームの反射と同一の反射を受け、そしてこれが２組のビームの伝播平面を重ならせる。

第１の組及び第２の組のビームの焦点は同一であり、ストリップの第２の線状アレイ１ｂは全てのビーム３ａ、３ｂの焦点が分割ミラー５と同じところに整列するように配置される。第２の組のビーム３ｂを反射するミラー４は連続したミラーである。
本発明の態様としては、以下を挙げることができる：
《態様１》
各々が作業平面におけるレーザラインを作り出す複数のレーザモジュールを含むレーザ装置であり、当該モジュールにより作り出されたレーザラインを一緒にして単一のレーザラインにするように、当該レーザモジュールが並置されそれらの長さに沿って整列されており、当該レーザモジュールの各々がレーザラインを作り出すための少なくとも１つの手段を含むレーザ装置であって、レーザラインを作り出すための前記手段がレーザダイオードのストリップ（２）の２つの線状アレイ（１ａ、１ｂ）を含み、当該アレイには各々が焦点を合わせたレーザビーム（３ａ、３ｂ）を発する前記ストリップがそれらの長さに沿って整列されており、前記２つの線状アレイ（１ａ、１ｂ）は、前記ストリップ（２）を互いにずらせ、ストリップの前記２つの線状アレイ（１ａ、１ｂ）により発生された２組の平行なレーザビーム（３ａ、３ｂ）をそれぞれ、１組のミラー（４、５）により一つにして、かつ単一のレーザライン（８）にするように互いに対し平行に配列されていて、レーザダイオードのストリップの前記線状アレイ（１ａ、１ｂ）及び前記ミラー（４、５）が、２組のレーザビーム（３ａ、３ｂ）を同じ長さの光路を辿った後に一つにまとめて単一のレーザライン（８）にするように配列されていることを特徴とするレーザ装置。
《態様２》
第１の組のレーザビームと称する１つの組のレーザビーム（３ａ）を、前記１組のミラー（４、５）により方向変更させ第２の組のレーザビーム（３ｂ）の平面へと導き、第１の組のレーザビーム（３ａ）を発するレーザダイオードのストリップの前記線状アレイ（１ａ）が、前記１組のミラー（４、５）によるその方向変更による光路長の増大と等しい距離だけ第２の組のレーザビーム（３ｂ）の伝播方向にシフトされていることを特徴とする、態様１に記載のレーザ装置。
《態様３》
第１の組のレーザビーム（３ａ）が２つの直交する反射を経ること、そしてレーザダイオードのストリップの前記線状アレイが、２組のビームの２つの伝播平面間の当初の距離と等しい距離だけシフトされていることを特徴とする、態様２に記載のレーザ装置。
《態様４》
前記１組のミラー（４、５）が、
・第１の組のレーザビーム（３ａ）を第２の組のレーザビーム（３ｂ）の平面の方向に反射する連続したミラー（４）と、
・第１の組のレーザビーム（３ａ）が含むレーザビームと少なくとも同数の個片ミラーからなり、第１の組のレーザビーム（３ａ）の各ビームを１つの個片ミラー（５）により反射させる分割されたミラー（５）と、
を含むことを特徴とする、態様２又は３に記載のレーザ装置。
《態様５》
反射後に２組のレーザビームの２つの伝播平面が一致するように、当該２組のレーザビーム（３ａ、３ｂ）を同じ角度で反射させ、２組のレーザビームのうちの第１ものを分割されたミラー（５）により反射させ、他方を好ましくは連続したミラー（４）により反射させることを特徴とする、態様１に記載のレーザ装置。
《態様６》
前記分割されたミラー（５）の個片ミラーを、レーザビーム（３ａ）をその焦点で反射するように配置していることを特徴とする、態様４又は５に記載のレーザ装置。
《態様７》
レーザラインを作り出すための少なくとも２つの手段を含み、各手段が１つ又は２つ以上の他の単色のレーザラインとその波長及び／又はその偏光状態が異なる単色のレーザラインを作り出すことを特徴とする、態様１〜６のいずれか１つに記載のレーザ装置。
《態様８》
レーザラインを一緒にして、複数のレーザラインを一つにまとめ単一の多色及び／又は二重偏波レーザラインにすることを可能にする手段をさらに含むことを特徴とする、態様７に記載のレーザ装置。
《態様９》
レーザダイオードのストリップの２組の線状アレイ（１ａ、１ｂ）が同数のストリップを含み、そうでなければ線状アレイの一方が他方より１つ多くのストリップを含むことを特徴とする、態様１〜８のいずれか１つに記載のレーザ装置。
《態様１０》
少なくとも５個のモジュール及び好ましくは少なくとも１０個のモジュールを含むことを特徴とする、態様１〜９のいずれか１つに記載のレーザ装置。
《態様１１》
レーザーモジュールにより作り出したレーザラインが一緒になって１．２ｍを超える、好ましくは２ｍを超える、特に３ｍを超える全長を有する単一のレーザラインになるように、前記レーザモジュールが並置されていることを特徴とする、態様１〜１０のいずれか１つに記載のレーザ装置。

Claims (11)

1. 各々が作業平面におけるレーザラインを作り出す複数のレーザモジュールを含み、当該モジュールにより作り出されたレーザラインを一緒にして単一のレーザラインにするようにして、当該レーザモジュールが並置され、かつそれらの長さに沿って整列されており、当該レーザモジュールの各々が、レーザラインを作り出すための少なくとも１つの手段を含む、レーザ装置であって、
   レーザラインを作り出すための前記手段が、レーザダイオードのストリップ（２）の２つの線状アレイ（１ａ、１ｂ）を含み、当該アレイにおいて、各々が焦点を合わせたレーザビーム（３ａ、３ｂ）を発する前記ストリップが、それらの長さに沿って整列されており、前記２つの線状アレイ（１ａ、１ｂ）は、前記ストリップ（２）が互いにずれるようにして、互いに対し平行に配列されており、ストリップの前記２つの線状アレイ（１ａ、１ｂ）により発生された２組の平行なレーザビーム（３ａ、３ｂ）をそれぞれ、１組のミラー（４、５）によって統合して単一のレーザライン（８）にし、レーザダイオードのストリップの前記線状アレイ（１ａ、１ｂ）及び前記ミラー（４、５）が、２組のレーザビーム（３ａ、３ｂ）を統合して単一のレーザライン（８）にする前に、この２組のレーザビーム（３ａ、３ｂ）が同じ長さの光路を辿るように配列されていることを特徴とする、レーザ装置。
2. 第１の組のレーザビームと称する１つの組のレーザビーム（３ａ）を、前記１組のミラー（４、５）により方向変更させ第２の組のレーザビーム（３ｂ）の平面へと導き、第１の組のレーザビーム（３ａ）を発するレーザダイオードのストリップの前記線状アレイ（１ａ）が、前記１組のミラー（４、５）によるその方向変更による光路長の増大と等しい距離だけ、第２の組のレーザビーム（３ｂ）の伝播方向にシフトされていることを特徴とする、請求項１に記載のレーザ装置。
3. 第１の組のレーザビーム（３ａ）が、２つの直交する反射を経ること、そしてレーザダイオードのストリップの前記線状アレイが、２組のビームの２つの伝播平面間の当初の距離と等しい距離だけ、シフトされていることを特徴とする、請求項２に記載のレーザ装置。
4. 前記１組のミラー（４、５）が、
   ・第１の組のレーザビーム（３ａ）を第２の組のレーザビーム（３ｂ）の平面の方向に反射する、連続したミラー（４）と、
   ・第１の組のレーザビーム（３ａ）が含むレーザビームと少なくとも同数の個片ミラーからなり、第１の組のレーザビーム（３ａ）の各ビームを１つの個片ミラー（５）により反射させる、分割されたミラー（５）と、
   を含むことを特徴とする、請求項２又は３に記載のレーザ装置。
5. 反射後に２組のレーザビームの２つの伝播平面が一致するようにして、当該２組のレーザビーム（３ａ、３ｂ）を同じ角度で反射させ、２組のレーザビームのうちの一方を、分割されたミラー（５）により反射させ、かつ他方を、連続したミラー（４）により反射させることを特徴とする、請求項１に記載のレーザ装置。
6. 前記分割されたミラー（５）の個片ミラーを、レーザビーム（３ａ）をその焦点で反射するように配置していることを特徴とする、請求項４又は５に記載のレーザ装置。
7. レーザラインを作り出すための少なくとも２つの手段を含み、各手段が、１つ又は２つ以上の他の単色のレーザラインとは波長及び／又はその偏光状態が異なる単色のレーザラインを作り出すことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載のレーザ装置。
8. 複数のレーザラインを一緒にして、複数のレーザラインを単一の多色及び／又は二重偏波レーザラインにまとめることを可能にする手段をさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載のレーザ装置。
9. レーザダイオードのストリップの２組の線状アレイ（１ａ、１ｂ）が、同数のストリップを含み、又は線状アレイの一方が、他方より１つ多くのストリップを含むことを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載のレーザ装置。
10. 少なくとも５個のモジュールを含むことを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載のレーザ装置。
11. レーザーモジュールにより作り出したレーザラインが一緒になって１．２ｍを超える全長を有する単一のレーザラインになるようにして、前記レーザモジュールが並置されていることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のレーザ装置。

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