JP5568406B2 - スーパールミネッセントダイオード - Google Patents
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Description
図13に示すように、出射端面101、102をリッジ形状の導波路103に対して傾斜させてモード反射率を低減することにより、レーザ発振を抑制してSLD動作を可能とする構造が非特許文献1等に提示されている。LDと類似した光導波路構造であるため、高い指向性を持ちながら可干渉性が低い光を出すことが可能である。しかしながら、図13のような傾斜直線導波路型の構造では、前端面及び後端面の反射率が共に低くなってしまうため、誘導放出による増幅効果が得られにくいという問題がある。
そこで、図14に示すように、エッチング法により前端面111を傾斜した端面にして、前端面111の反射率を低くし、後端面112の反射率を高くすることにより誘導放出による増幅効果を得られやすくする構造が非特許文献2等に提示されている。しかしながら、図14のように、エッチング法により低反射面を形成する方法は、劈開により端面を形成する場合と比べて、表面ダメージ及び表面の微小な凹凸の影響により反射率が計算ほどは下がらず、高出力のSLD動作が難しいという問題がある。
さらに、図15に示すように、直線導波路部123aと曲線導波路部123bとを含むリッジ形状の導波路123を形成することにより、前端面121の反射率のみを低くできる構造が特許文献1等に提示されている。曲線導波路部123bによって傾斜した端面を形成する場合には、反射率の高い後端面122と反射率の低い前端面121とを共に劈開により形成できるため、反射率の制御が精度良く行えるという利点がある。
本発明の第1の実施形態においては、半導体発光装置として、窒化物半導体を用いた波長が450nmの青色光を出力する青色スーパールミネッセンスダイオード(SLD)装置を説明する。
まず、例えば、有機金属気相成長(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:MOCVD)法により、主面の面方位が(0001)面であり、キャリア濃度が1×1018cm−3程度である六方晶のn型GaN基板1の主面の上に、厚さが約2μmのn型Al0.03Ga0.97Nからなるn型クラッド層2を形成する。続いて、n型クラッド層2の上に、例えば厚さが約0.10μmのn型GaNからなるn型ガイド層3と、In0.02Ga0.98Nからなるバリア層及びIn0.16Ga0.84Nからなる量子井戸層を3周期分含む量子井戸構造を採る活性層4とを順次形成する。続いて、活性層4の上に、例えば厚さが約0.05μmのアンドープ又はp型GaNからなるp型ガイド層5を形成する。続いて、p型ガイド層5の上に、例えば厚さが約20nmのAl0.20Ga0.80NからなるOFS層6を形成する。続いて、OFS層6の上に、厚さがそれぞれ約2nmのp型Al0.06Ga0.94N層とGaN層とを160周期分含み、厚さが約0.50μmの歪超格子層であるp型クラッド層7と、厚さが約0.1μmのp型GaNからなるp型コンタクト層(図示せず)とを順次形成する。
次に、化学気相成長(CVD)法により、p型コンタクト層の上の全面に、厚さが約200nmの第1のSiO2膜(図示せず)を堆積する。その後、積層構造体に対して850℃程度の窒素(N2)雰囲気において、30分間の熱処理を行うことにより、各p型半導体層のMgを活性化する。続いて、リソグラフィ法、及び反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching:RIE)法等によるドライエッチング法により、第1のSiO2膜に対してエッチングを行って、p型コンタクト層の上のリッジ導波路14の形成領域にSiO2からなるマスク膜を形成する。その後、形成したマスク膜を用いて、塩素(Cl2)ガス、四塩化ケイ素(SiCl4)ガス又は三塩化ボロン(BCl3)等の塩素系ガスによる誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)ドライエッチング法により、p型コンタクト層及びその下のp型クラッド層7の上部に対して0.5μm程度エッチングして、直線導波路部14aと曲線導波路部14bとを有するリッジストライプ部であるリッジ導波路14を形成する。この際、紫外光源を用いた干渉波形のモニタリングにより、エッチングの掘り量を精度良く制御するのが一般的である。ここでは、リッジ導波路14の底辺の幅は約1.2μmとしている。
続いて、マスク膜を緩衝フッ酸溶液(BHF)により除去する。その後、再度CVD法により、厚さが約300nmの第2のSiO2膜をn型GaN基板1の上の全面に堆積する。続いて、リソグラフィ法及び緩衝フッ酸溶液によるウェットエッチング法により、第2のSiO2膜に、リッジ導波路14の頂面、すなわちp型コンタクト層を露出する開口部を形成して、誘電体ブロック層10を形成する。なお、誘電体ブロック層10に開口部を形成するには、リソグラフィ法に代えて、成膜後のレジスト膜に対してエッチバックを行って、それぞれ開口部を形成しても構わない。
次に、リソグラフィ法及び電子線蒸着法により、p側電極8及び誘電体ブロック層10の上に、p側電極8と電気的に接続されるように、チタン(Ti)、白金(Pt)及び金(Au)からなる配線電極9を形成する。ここで、Ti膜、Pt膜及びAu膜の各膜厚はそれぞれ約50nm、50nm及び500nmである。
次に、n型GaN基板1の裏面を研削及び研磨して、n型GaN基板1の厚さを約100μmにまで薄膜化する。その後、薄膜化されたn型GaN基板1の裏面に、Ti、Pt及びAuからなるn側電極11を形成する。ここで、Ti、Pt及びAuの各膜厚は、それぞれ約10nm、50nm及び100nmである。この構成により、1×10−4Ωcm2以下の良好なコンタクト抵抗を得ることができる。ここで、次工程である劈開及び組立工程における認識パターンとして、リソグラフィ法及びウェットエッチング法により、上層のAu膜にのみエッチングを行って、電極パターンを形成することが望ましい。また、リソグラフィ法及び蒸着リフトオフ法により電極パターンを形成してもよい。
次に、ダイヤモンド針によるスクライブ又はレーザを用いたスクライブによりウェハにおける劈開位置に劈開補助溝を形成する。その後、形成された劈開補助溝に沿ってブレーキングを行い、一次劈開を行うことにより光出射端面である前端面12及び該前端面12と対向する後端面13を形成する。続いて、後端面13にCVD法又はスパッタ法等により光反射率が約95%の多層誘電体反射膜を形成する。同様に、前端面12に反射率をさらに低下させるために単層又は多層の誘電体膜により無反射膜を形成してもよい。その後、共振器の長手方向に平行な方向に二次劈開を行って、所望のCANパッケージに実装及び配線することによって、本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置を得ることができる。
以下、本発明の第2の実施形態に係る半導体発光装置について図8及び図9を参照しながら説明する。なお、第1の実施形態と同一の構成については説明を省略する。
以下、本発明の第3の実施形態について図10を参照しながら説明する。なお、第1の実施形態と同一の構成については説明を省略する。
以下、本発明の第4の実施形態について図11を参照しながら説明する。なお、第1の実施形態と同一の構成については説明を省略する。
以下、本発明の第5の実施形態について図12を参照しながら説明する。なお、第1の実施形態と同一の構成については説明を省略する。
2 n型クラッド層
3 n型ガイド層
4 活性層(発光層)
5 p型ガイド層
6 キャリアオーバフロー抑制(OFS)層
7 p型クラッド層
8 p側電極
9 配線電極
10 誘電体ブロック層
11 n側電極
12 前端面(光出射端面)
13 後端面(光反射率面)
14 リッジ導波路(光導波路)
14a 直線導波路部
14b 曲線導波路部
15 散乱溝
16 全反射溝
17 光吸収部
18 微小凹凸横端面
Claims (13)
- 基板の上に形成され、発光層を含む複数の半導体層からなる積層構造体を備え、
前記積層構造体は、その上部に設けられたリッジ構造を含む光導波路を有し、
前記光導波路は、前記積層構造体の前端面から後端面まで延伸するように設けられ、前記積層構造体の前端面の法線に対して傾斜して該前端面から延伸している直線導波路部と、前記積層構造体の後端面に垂直に到達する曲線導波路部とを含み、
前記曲線導波路部は、前記光導波路の中心よりも前記積層構造体の後端面側に形成されており、
前記積層構造体における前記直線導波路部の周辺部であって、前記曲線導波路部の接線を前端面方向へ延伸した方向の領域に、前記曲線導波路部からの漏れ光が前記積層構造体の前端面にまで伝搬することを防止する機能部が形成されており、
前記光導波路と前記機能部とが非接触状態にあることを特徴とするスーパールミネッセントダイオード。 - 前記積層構造体の後端面に、複数の誘電体膜が積層された高反射率膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記積層構造体の前端面に、一層又は複数層の誘電体膜である極低反射率膜が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記機能部は、光を散乱させる散乱溝部であることを特徴とする請求項1に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記機能部は、光を全反射させる直線状の全反射溝部であることを特徴とする請求項1に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記直線状の溝部の長手方向の法線と前記直線導波路部の延伸方向とが為す角は、臨界角よりも大きいことを特徴とする請求項5に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記機能部は、光を吸収する吸収部であることを特徴とする請求項1に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記積層構造体は、その前端面及び後端面よりも平坦性が低く、前記前端面の法線方向から前記直線導波路部と同じ方向に傾斜して、前記直線導波路部と並行する側面を有することを特徴とする請求項1に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記積層構造体の側面は、前記直線導波路部と平行であることを特徴とする請求項8に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記曲線導波路部の曲率半径は、1000μm以上であることを特徴とする請求項1〜9のうちのいずれか1項に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記直線導波路部と前記積層構造体の前端面の法線とが為す角度は、4°以上且つブリュースタ角以下であることを特徴とする請求項1〜10のうちのいずれか1項に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記半導体層は、AlxGayIn1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)で表されるIII族窒化物半導体からなる層を含むことを特徴とする請求項1〜11のうちのいずれか1項に記載のスーパールミネッセントダイオード。
- 前記半導体層は、AlxGayIn1−x−yAszP1−z(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、0≦x+y≦1)で表されるIII-V族化合物半導体からなる層を含むことを特徴とする請求項1〜12のうちのいずれか1項に記載のスーパールミネッセントダイオード。
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