JP5563059B2 - 二台のミラーの走査システム - Google Patents
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Description
走査された光線は、モバイルマイクロプロジェクタ(携帯可能な超小型プロジェクタ)、自動車用ヘッドアップディスプレイ、頭部装着型ディスプレイのような用途を含む多種多様の用途のための表示画像を生成するために使用される。ディスプレイは、望ましい視野を補償するために変調された光線(変調光ビーム)を偏向させるため一つ以上のミラー(反射鏡)の角運動を使用することによって作り出される。
以下の詳細な説明では、一例として、本発明が実施されることがある具体的な実施形態を示す添付図面を参照する。これらの実施形態は、十分に詳細に説明されているので、当業者は本発明を実施することができる。本発明の様々な実施形態は、差異があるが、必ずしも相互に排他的ではないことが理解されるべきである。例えば、一実施形態と関連して詳細な説明中に記載された特有の特性、構造、又は、特徴は、本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなくその他の実施形態の範囲内で実施されることがある。その上、開示された各実施形態の範囲内の個別の要素の場所又は配置が本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく変更されてもよいことは理解されるべきである。以下の詳細な説明は、従って、限定的な意味で解釈されるべきではなく、本発明の範囲は、適切に解釈された添付の特許請求の範囲と、この特許請求の範囲の権利が与えられた同等物の全範囲とだけによって定められる。図面中、類似した符号は、様々な図面を通じて同一又は同様の機能性を参照する。
Claims (10)
- 基板と、
前記基板に連結され、名目上は前記基板に平行であり、第一の次元に調節可能な角変位を生じさせるように動作が可能な第一の走査ミラーと、
前記基板に位置合わせされ、前記基板に平行である折り返しミラーと、
前記折り返しミラーから反射された光を受け、光を前記第一の走査ミラーへ反射するように位置合わせされ、前記第一の次元から実質的に90度をなす第二の次元に角変位を生じさせるように動作が可能な第二の走査ミラーと、
を備えており、
前記基板は、シリコン基板を備え、前記折り返しミラーは、前記シリコン基板に反射面を備えていることを特徴とする装置。 - 前記第一の走査ミラーは、微小電気機械(MEMS)走査プラットフォームを備えていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 入力光線を前記基板に位置合わせされた前記折り返しミラーへ反射するため第二の折り返しミラーをさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第一の走査ミラーは、非円形形状を有していることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 入力光線を反射する第一の折り返しミラーと、
前記第一の折り返しミラーから受けた光を反射する第二の折り返しミラーと、
前記第二の折り返しミラーから光を受け、第一の次元に走査された光線を供給するように位置合わせされた高速走査ミラーと、
前記高速走査ミラーから光線を受け、第二の次元に走査された光線を供給するように位置合わせされた低速走査ミラーとであって、前記低速走査ミラーと前記第二の折り返しミラーとは共通した基板に連結されている前記低速走査ミラーと、
を備えていることを特徴とする装置。 - 前記低速走査ミラーは、前記共通した基板から形成された微小電気機械システム(MEMS)機器を備えていることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記第二の折り返しミラーは、前記共通した基板の反射部分を備えていることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記低速走査ミラーは、前記MEMS機器に接合された反射素子をさらに備えていることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記入力光線は、静止時に、前記高速走査ミラーに実質的に平行であることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 変調レーザ光を生成するレーザ光源と、
変調レーザ光を反射する第一の折り返しミラーと、
前記第一の折り返しミラーから受けた光を反射する第二の折り返しミラーと、
前記第二の折り返しミラーから光を受けるように位置合わせされた第一の走査ミラーと、
前記第一の走査ミラーから光線を受けるように位置合わせされた第二の走査ミラーであって、前記第二の走査ミラーと前記第二の折り返しミラーとは共通した基板に連結されている、前記第二の走査ミラーと、
を備えていることを特徴とするモバイル投影機器。
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