JP5556322B2 - 気体搬送装置 - Google Patents
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Description
櫛歯電極910は、絶縁体層93の所定方向(図3の横方向)に延びる複数の線状電極911を備える。なお、本実施形態では線状電極911の本数は4本であるが、当該本数は適宜設定すればよい。複数の線状電極911は、それぞれの長さ方向が略平行もしくは平行になるように、幅方向に沿って所定間隔で配列形成されている。複数の線状電極911の一方端(図3を正面視した向かって右端)には、線状電極911の幅方向に延び、複数の線状電極911に接続する接続用電極912が形成されている。また、接続用電極912の長さ方向の所定位置には、線状電極911と対向する側に印加用電極913が形成されている。
TH11〜TH18,TH21〜TH28,TH31〜TH38,TH41〜TH48,TH51〜TH58,TH61〜TH68,TH71〜TH78,TH82〜TH88−スルーホール、
C121〜C128,C341〜C348,C561〜C568,C782〜C788,D121〜D127,D23,D341〜C347,D45,D561〜D567,D67,D781〜D787
Claims (20)
- 複数の中間絶縁体層と、該中間絶縁体層の主面上に略平行に配列された複数の線状電極、および、該複数の線状電極の一方端を接続する接続電極とからなる櫛歯電極を複数備え、互いの線状電極同士が幅方向に所定間隔をもって交互に配列され、互いの接続用電極が前記線状電極の群を挟んで対向する位置に配置された櫛歯電極群とを備え、各層の櫛歯電極の前記線状電極が積層方向から見て略一致するように前記複数の中間絶縁体層を積層して形成した中間積層体と、
前記複数の中間絶縁体層の前記櫛歯電極を貫通するように、前記中間積層体に配列形成された複数のスルーホールと、
前記中間積層体の一方面側に配設され、隣り合う線状電極を貫通するスルーホールの一方端同士を連通する複数の第1連通溝を備えた第1折り返し用絶縁体層と、
前記中間積層体の他方面側に配設され、隣り合う線状電極を貫通するスルーホールの他方端同士を連通する複数の第2連通溝を備えた第2折り返し用絶縁体層と、
前記第1折り返し用絶縁体層の前記中間積層体と反対側の面に配設された第1外層と、
前記第2折り返し用絶縁体層の前記中間積層体と反対側の面に配設された第2外層と、
前記第1外層もしくは前記第2外層に形成された流出口用スルーホールおよび流入口用スルーホールを備え、
前記第2外層、前記第2折り返し用絶縁体層、前記中間積層体、前記第1折り返し用絶縁体層、前記第1外層、の順で積層され、
前記流入口用スルーホールが、前記複数のスルーホール、第1連通溝、および第2連通溝を所定の経路で介して前記流出口用スルーホールに連接するように、前記複数のスルーホール、前記第1連通溝、および前記第2連通溝が形成されており、
前記複数の中間絶縁体層の櫛歯電極に対して駆動用電圧を印加する電圧印加手段を備えた、気体搬送装置。 - 請求項1に記載の気体搬送装置であって、
前記中間絶縁体層は3層以上であり、
3層以上の前記中間絶縁体層は、各層の櫛歯電極の前記線状電極が積層方向から見て略一致するように積層されている、気体搬送装置。 - 請求項2に記載の気体搬送装置であって、
前記電圧印加手段は、
前記複数の中間絶縁体層の積層方向に沿った順に応じて順番に前記駆動用電圧を印加する、気体搬送装置。 - 請求項3に記載の気体搬送装置であって、
積層方向に重なり合う複数の櫛歯電極の群毎に、前記駆動用電圧の印加順序が異なる、気体搬送装置。 - 請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
各中間絶縁体層に駆動用電圧を与えるための前記櫛歯電極に形成された印加用電極は、積層方向から見てそれぞれ異なる位置に配設されている、気体搬送装置。 - 請求項2乃至請求項5のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
前記各中間絶縁体層の櫛歯電極に形成されるスルーホールは、中間絶縁体層ごとに異なる径からなる、気体搬送装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
前記中間絶縁体層に形成される櫛歯電極毎に、形成されるスルーホールの径が異なる、気体搬送装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
前記第1連通溝および前記第2連通溝の少なくとも一方は、前記複数のスルーホールを同時に連通する形状からなる、気体搬送装置。 - 略平行に配列された複数の線状電極、および、該複数の線状電極の一方端を接続する接続電極とからなる櫛歯電極を複数備え、該複数の櫛歯電極が互いに線状電極同士が所定間隔をもって交互に配列され、互いの接続用電極が前記線状電極の群を挟んで対向する位置に配置され、各層の櫛歯電極の前記線状電極が積層方向から見て略一致するように積層された、複数の櫛歯電極付き絶縁体層と、前記複数の櫛歯電極付き絶縁体層が積層された中間積層体と、
前記櫛歯電極付き絶縁体層の前記櫛歯電極を貫通するように、配列形成された複数のスルーホールと、
前記櫛歯電極付き絶縁体層の櫛歯電極に対して駆動用電圧を印加する電圧印加手段と、
を備えた、気体搬送装置。 - 請求項9に記載の気体搬送装置であって、
前記櫛歯電極付き絶縁体層の一方面側に配設され、隣り合う線状電極を貫通するスルーホール同士を連通する複数の第1連通溝を備えた第1折り返し用絶縁体層と、
前記第1折り返し用絶縁体層の前記中間積層体と反対側の面に配設された第1外層と、
を備えた、気体搬送装置。 - 請求項10に記載の気体搬送装置であって、
前記第1連通溝は、前記複数のスルーホールを同時に連通する形状からなる、気体搬送装置。 - 請求項9乃至請求項11に記載の気体搬送装置であって、
前記櫛歯電極付き絶縁体層は3層以上であり、
3層以上の前記櫛歯電極付き絶縁体層は、各層の櫛歯電極の前記線状電極が積層方向から見て略一致するように積層されている、気体搬送装置。 - 請求項12に記載の気体搬送装置であって、
前記電圧印加手段は、
前記複数の櫛歯電極付き絶縁体層の積層方向に沿った順に応じて順番に前記駆動用電圧を印加する、気体搬送装置。 - 請求項13に記載の気体搬送装置であって、
積層方向に重なり合う複数の櫛歯電極の群毎に、前記駆動用電圧の印加順序が異なる、気体搬送装置。 - 請求項11乃至請求項14のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
各櫛歯電極付き絶縁体層に駆動用電圧を与えるための前記櫛歯電極に形成された印加用電極は、積層方向から見てそれぞれ異なる位置に配設されている、気体搬送装置。 - 請求項11乃至請求項15のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
前記各櫛歯電極付き絶縁体層の櫛歯電極に形成されるスルーホールは、櫛歯電極付き絶縁体層ごとに異なる径からなる、気体搬送装置。 - 請求項9乃至請求項16のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
前記櫛歯電極付き絶縁体層に形成される櫛歯電極毎に、形成されるスルーホールの径が異なる、気体搬送装置。 - 請求項1乃至請求項17のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
前記スルーホールは、絶縁性スルーホールである、気体搬送装置。 - 請求項1乃至請求項18のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
前記櫛歯電極を構成する前記線状電極は、スルーホールの形成部分よりも他の部分の線幅が狭く形成されている、気体搬送装置。 - 請求項1乃至請求項19のいずれかに記載の気体搬送装置であって、
積層方向に隣接する前記櫛歯電極を構成する前記線状電極は、スルーホール形成部分を除いて積層方向から見て重ならない形状である、気体搬送装置。
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