JP5552973B2 - Icチップ実装体の製造装置 - Google Patents

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本発明は、ICチップ実装体の製造装置に関するものである。
近年、ICチップを搭載した実装体として、RFID(Radio Frequency
Identification)の一種である無線ICタグが実用されてきている。ICタグのなかでも、パッシブタグと呼ばれるものは、電池を搭載せず、固有の識別情報が記録されたICチップと小型のアンテナ回路とをフィルム基板に貼付した構成を有しており、ICタグリーダから発せられる電波によって回路内に微量な電力を発生させ、その電力でICタグリーダとの通信を行ってICチップ内の情報を読み書きするものであり、非接触ICカードとして、乗車カード、電子マネー、認証用カード等の分野で広く利用されるようになっている。また最近では、電池を搭載して自ら電波を発するアクティブタグと呼ばれるICタグも登場してきており、通信方式や使用する電波の周波数帯なども種々実用化又は検討されている。
このようなICタグに代表されるICチップ実装体は、ベースシート上にICチップとアンテナ回路とを固定しているという、共通した構成を有している。斯かるICチップ実装体の製造装置としては、例えば、一方の面を粘着面としたベースシートに対してアンテナ回路及びICチップが形成された回路シートを貼り合わせて搬送し、さらにカバーシートを貼り合わせることによってICチップ実装体を製造する装置や、若しくは予め一方の面にアンテナ回路が形成されたベースシート(アンテナ回路が形成されたベースシートを「フィルム基板」と称する場合がある)を搬送し、このアンテナ回路と接続するように接着剤を介してICチップを搭載し、さらに一方の面を粘着面(この面に接着剤を塗布して粘着面としてもよい)としたカバーシートを貼り合わせることによってICチップ実装体を製造する装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。これらの何れの装置においても、ベースシートは、長尺なシートをロール状として搬送経路の開始位置に配置され、ICチップ実装体の製造装置に順次供給されてICチップ実装体が製造された後に、所定の長さに切断されて、非接触ICカード等の製造装置へと送られる。
ここで、ベースシート上のアンテナ回路にICチップを取り付ける際には、異方導電性接着剤等が用いられるが、このような接着成分の養生には一般に加熱と加圧が必要である。すなわち、加熱により接着成分を乾燥・硬化させるとともに、加圧によりICチップをアンテナ回路に対して強固に固定するようにされている(例えば、特許文献2参照)。その他、カバーシートで覆っていない態様で提供されるICチップ実装体もある。
特開2005−209144号公報 特開2005−149130号公報
ところが、上述したようなICチップ実装体の製造装置では、ベースシート又はフィルム基板を停止することなく連続的に搬送しながら回路シートの貼り合わせやICチップの搭載を行う構成の装置においても、接着剤の養生のために熱圧着を行うためには、相当な長時間が必要であり、加熱加圧の機構部分の総延長を長くしなければならず、大きなスペースが必要となる。さらに、ICチップは微細な(例えば1mm角以下)精密部材であり、外部からの圧迫や衝撃には非常に弱いものであるため、接着剤の養生時においてもICチップが過度な圧迫を受けると破損する可能性があると考えられ、ICチップ実装体の歩留まりが低下する要因となりかねない。また、ICチップを破損しない程度の圧力調整も困難である。このような諸要因から、従来のICチップ実装体の製造装置では、時間、コスト、スペース、歩留まりの各面でロスが生じていた。なお、本発明者らは、接着剤の硬化・乾燥のためにカバーシートをフィルム基板に重ね合わせ、カバーシートに張力を付与することによって、フィルム基板上に搭載され当該フィルム基板とカバーシートとの間に挟まれているICチップを押圧してフィルム基板に押し付けるとともに、加熱により接着成分を乾燥・硬化させることによってICチップをフィルム基板に強固に固定する装置を既に案出している(特願2009−028114)。この装置であれば、ICチップをフィルム基板に固定する接着剤を短時間で養生することができ、ICチップの損壊を招きにくく歩留まりの向上を図ることができるというメリットが得られる一方、カバーシートが必須であるため、このカバーシートを供給する機構及び巻き取る機構が必要であり、構造の複雑化及びコストアップを招来するとともに、カバーシートをセッティングする作業及び交換する作業が強いられ、またカバーシートの交換時には製造装置全体を停止しなければならず、高い生産性を得るための更なる改良が望まれるところである。
以上のような問題に鑑みて本発明は、ICチップをフィルム基板に固定する接着剤の加熱加圧機構用の大きなスペースを必要とせず短時間での養生が可能であり、またICチップの損壊を招きにくく歩留まりを向上することができるとともに、構造の簡略化及び生産性の向上を効果的に図ることが可能なICチップ実装体の製造装置を提供することを主目的とするものである。
すなわち本発明に係るICチップ実装体の製造装置は、ベースシートの少なくとも一方の面にアンテナ回路が形成されたフィルム基板における所定位置に接着剤を介してICチップを固定してなるICチップ実装体を製造するものであって、フィルム基板の搬送経路上にICチップをフィルム基板に熱圧着する熱圧着部を設け、この熱圧着部が、フィルム基板との間で当該フィルム基板に搭載されたICチップを挟み込み得るベルトと、フィルム基板に張力を付与してフィルム基板と共にICチップをベルト側に押圧する張力付与手段と、フィルム基板上の接着剤を加熱する加熱手段とを備えたものであることを特徴とする。ここで、フィルム基板は、ベースシートの何れか一方の面にのみアンテナ回路が形成されたもの、またはベースシートの両面にそれぞれアンテナ回路が形成されたもの、これら何れであっても構わない。
このような本発明のICチップ実装体の製造装置では、ICチップをフィルム基板とベルトとの間で挟むようにフィルム基板をベルトに重ね合わせた状態で、フィルム基板に張力を付与しつつ同時にフィルム基板上の接着剤を加熱することができるため、これにより、ICチップをフィルム基板に固定するための接着剤を短時間で養生することが可能となり、且つICチップをフィルム基板に固定する接着剤の加熱加圧のための大きなスペースを設ける必要がなくすことができる。そのため、装置を小型化しコストを低減しつつ、ICチップ実装体の製造時間を短縮することが可能となる。しかも、上述の通り、ICチップを搭載したフィルム基板に付与された張力により加圧を実現しているため、圧力調整が比較的容易であるうえに、剛性の高い金属製ローラ等による加圧と比べて小さい圧力での加圧が可能であるため、ICチップの破損を招きにくく、ICチップ実装体の歩留まりを向上することも可能となる。さらに、カバーシートを用いてICチップをフィルム基板に固定する態様と比較して、カバーシート自体は勿論のこと、カバーシートを供給する機構や巻き取る機構が不要であり、構造の簡素化及びコストの削減を図ることができるとともに、カバーシートのセッティング作業や交換作業も不要であるため、取り扱い性に優れたものとなり、またカバーシートの交換時に装置全体を停止する必要もないため、生産性の向上も有効に図ることができる。
特に、本発明のICチップ実装体の製造装置において、ベルトのうちフィルム基板に対向する側の面が離型性を有していれば、熱圧着時に、ベルトに接着剤が付着することを防止し、ICチップがベルトに貼り付くという不具合を解消し、生産効率のさらなる向上を図ることができる。
また、ベルトに剛性を付与しつつICチップが不用意に付着することを回避するには、ベルトを、金属製のベルト本体と、ベルト本体の表面であって且つフィルム基板に対向する面に形成された離型性層とから構成すればよい。
また、ICチップを当該ICチップを搭載したフィルム基板とベルトとにより両側から挟み込んで加圧しつつ確実にフィルム基板を搬送するためには、熱圧着部に、ICチップが搭載されたフィルム基板をベルトに重ね合わせて搬送経路の下流側へ搬送する搬送体を設け、この搬送体の搬送面上において、搬送面側から順にベルト、ICチップが搭載されたフィルム基板を重ね合わせるように構成することが望ましい。
そして、この搬送体に、加熱手段により加熱された空気を搬送面から吐出する吐出口を形成し、吐出口から吐出される空気によって、ICチップが搭載されたフィルム基板を載せたベルトを当該搬送体の搬送面から浮上させながら搬送するように構成すれば、加熱された空気によりベルトが熱せられ、それによりフィルム基板も熱せられ、フィルム基板上の接着剤を硬化・乾燥させることができるうえに、ベルトと搬送体との間の摩擦係数を低減し、搬送体上での搬送をスムーズに行うことができる。
この場合、フィルム基板に張力を作用させることによって生じるフィルム基板が搬送体に巻き付く力に抗して吐出口から空気を噴射させることにより、ベルトを搬送体の搬送面から浮上させた状態を維持することができる。
さらに、ICチップをフィルム基板に固定する接着剤の硬化・乾燥を促進するためには、熱圧着部に、搬送体を覆い、重ね合わされたベルト、ICチップが搭載されたフィルム基板を高温状態に維持する保温炉を設けることが有効となる。
このように、ベルト、ICチップが搭載されたフィルム基板を重ね合わせて効率よく搬送しつつICチップが搭載されたフィルム基板を加熱加圧することができる搬送体の好ましい具体例としては、ベルトとICチップが搭載されたフィルム基板を周面に螺旋状に巻き付けた状態で搬送するドラムを挙げることができる。
本発明によれば、ICチップ実装体の製造装置において、フィルム基板上に搭載したICチップをフィルム基板とベルトとの間に挟むようにフィルム基板をベルトに重ね合わせると同時に、フィルム基板に張力を付与することによって、ICチップをフィルム基板に押しつけ且つ接着剤を硬化・乾燥させるための加圧と加熱を一挙に行うことができるため、装置の小型化と省スペース化、省コスト化並びにICチップ実装体の製造時間の短縮化を図ることができる。さらに、ICチップへの加圧は、フィルム基板に付与される張力によりなされるため比較的緩やかであり、その張力調整も容易であることから、ICチップにかかる圧力を適度なものとして破損を防止し、ICチップ実装体の歩留まりをも向上することが可能である。さらに、本発明のICチップ実装体の製造装置は、カバーシートが不要であるため、カバーシートの交換作業等が強いられることなく、構造の簡略化及び生産性の向上をも図ることができる。
本発明の一実施形態により製造されるICチップ実装体から作製されるICタグを模式的に示す平面図。 同ICタグを模式的に示す縦断面図。 同実施形態に適用されるフィルム基板の一部を示す平面図。 同実施形態においてICタグとして切り出される前のシート上のICチップ実装体の一部を示す平面図。 同実施形態に係るICチップ実装体の製造装置の全体構成模式図。 同実施形態における熱圧着部の構成を模式的に示す側面透視図。 同熱圧着部の構成を模式的に示す平面透視図。 同熱圧着部においてドラムに巻回したベルト、フィルム基板の状態を示す模式図。 同熱圧着部においてドラムに巻回した状態のベルト、フィルム基板の関係を3次元的に示す模式図。 同ドラムの搬送面(表面)近傍を拡大して模式的に示す断面図。
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
まず、本発明に係るICチップ実装体の製造装置により製造されるICチップ実装体の一例であるICタグ10について説明する。図1は、ICチップ実装体9(図4参照)から切断された1つのICタグ10を平面図として、図2は同ICタグ10を縦断面図として示す模式図である。アンテナ回路82は、ベースシート81上に予め印刷やエッチングによって形成されたものであり、図3に示すように、ベースシート81上に間隔をあけて(例えば等間隔とすることができる)で連続的に複数形成されている。
ICタグ10は、ベースシート81の一方の面の所定位置にアンテナ回路82が形成されたフィルム基板8と、このアンテナ回路82の所定位置に接続されるように搭載されるICチップ83とから構成される。図4はICタグ10として切り出される前のシート状のICチップ実装体9を模式図として示す平面図である。以下、ベースシート81上にアンテナ回路82を形成したものをフィルム基板8と呼ぶものとする。ICチップ83は、裏面にアンテナ回路82に接続するための例えば銅や金等の金属で形成されたバンプ83aが設けられており、例えば絶縁ペーストや異方導電性ペースト等からなる熱硬化性の接着剤84を介してアンテナ回路82に接続される。本実施形態においてICチップ実装体9は、このような個々のICタグ10に切り出される前の長尺なシート状のものを指している。
このようなICチップ実装体9を製造する本実施形態に係るICチップ実装体の製造装置1について概略的に説明する。このICチップ実装体の製造装置1は、図5に模式的に示すように、フィルム基板8の搬送経路の始点となりフィルム基板8を収容し順次送り出すフィルム基板供給部2、フィルム基板8の所定位置に順次ICチップ83を搭載するICチップ実装部3、ICチップ83が搭載されたフィルム基板8に対して加熱加圧を行うことでICチップ83をフィルム基板8に固定してICチップ実装体9を形成する熱圧着部5、ICチップ実装体9を検査し順次巻き取る製品検査・巻取部6、これら各部を制御する制御部7を主たる構成機構として備えている。
フィルム基板供給部2は、ロール状に巻回させたフィルム基板8を収容するとともに、制御部7により制御されて一定速度且つ一定張力で搬送経路へフィルム基板8を連続的に繰り出して供給するものである。
ICチップ実装部3は、フィルム基板供給部2から搬送されてきたフィルム基板8に対して、所定間隔で接着剤84を塗布し、且つ塗布された接着剤84を介してICチップ83をアンテナ回路81に接続するように搭載するものである。そのための構成として、ICチップ実装体3は、制御部7により回転速度を制御されて図示しないモータにより回転する主ローラ31と、この主ローラ31に沿って搬送されるフィルム基板8に対して接着剤84を塗布する接着剤塗布装置32と、フィルム基板8にICチップ83を搭載するICチップ供給部(パーツフィーダ、図中に想像線で示す)33及び同期ローラ34とを備えている。同期ローラ34は、制御部7の制御により主ローラ31と同期して回転し、ICチップ供給部33から供給されたICチップ83を1つずつ、主ローラ31上のフィルム基板8に塗布された接着剤84に載せてゆく。すなわち、ICチップ83が搭載されたフィルム基板8がこのICチップ実装部3を通過する際には、接着剤84はまだ乾燥していない状態である。なお、このICチップ実装部3では、主ローラ31上におけるフィルム基板8の接着剤84を塗布する位置やICチップ83を載せる位置が複数台のカメラ35で撮影されており、所定の位置から誤差などがあれば随時制御部7と通信して補正できるようにしている。このようなICチップ実装部3の構成により、フィルム基板8への接着剤84の塗布とICチップ83の搭載は、フィルム基板8の搬送を停止することなく連続的に行われる。
熱圧着部5は、ICチップ実装部3から搬送されてきたICチップ83が搭載されたフィルム基板8をベルト52に重ね合わせた状態で加熱するとともに、フィルム基板8上の接着剤84を乾燥硬化させてICチップ83をアンテナ回路82に密着固定することによって、一体のICチップ実装体9として作製するものである。熱圧着部5の具体的な構成は後述する。
製品検査・巻取部6は、作製されたICチップ実装体9の検査を行い、ロール状に巻き取って収容するものである。
ここで、本実施形態における熱圧着部5の具体的構成、ICチップ83が搭載されたフィルム基板8に接着剤84を介して搭載したICチップ83を固定する方法、具体的には熱圧着する方法について詳細に説明する。図6及び図7は、それぞれ熱圧着部5の概略構成を模式的に示す側面透視図及び平面透視図である。熱圧着部5は、図5、図6、図7に示すように、フィルム基板8(図6では破線で示す)を運搬するドラム51と、ドラム51に巻き付けられて巡回するベルト52(図6では一点鎖線で示す)と、主としてドラム51を内部に収容する保温炉53(図5には一点鎖線で示す)と、ドラム51の内部に加熱した空気を送風する高温空気送風機54(本発明における加熱手段に相当、図8参照)とを備えている。
本発明における搬送体に相当するドラム51は、回転軸51kにより枢支された中空の円筒状をなす部材であり、図8に示すように、高温空気送風機54から送られてくる高温高圧の空気を内部に取り入れ、周面51a(搬送面)に内部から連通するように多数形成された吐出口51bから高温高圧の空気を吐出するように形成したものである。
保温炉53は、高温空気送風機54からドラム51を経て噴出する空気によってドラム51を含む周辺部を高温に保つように、ドラム51を含む領域を覆うように設けられる。また、ドラム51の周面51a(搬送面)には、図7、図8及び図10に示すように、ベルト52が螺旋状に巻き付けられるが、このベルト52がドラム51の周面である搬送面51a上で蛇行するのを防止するために、ドラム51の周面51a(搬送面)には多数のピン51cが螺旋状に配列されて突設されている。すなわち、これら多数のピン51cが、ベルト52の搬送をガイドするベルト搬送ガイド部として機能し、ベルト52の蛇行を防止している。
ベルト52は、輪状エンドレスベルト(無端環状ベルト)であり、ドラム51に巻回されて循環する。本実施形態では、ドラム51の搬送面側(表面側)に配置される比較的薄肉で柔軟な金属製のベルト本体521と、このベルトの表面であって且つフィルム基板に対面し得る面に形成した離型性層522とからなる二層状のベルト52を適用している。離型性層522は、例えばベルトの表面にフッ素樹脂コーティング処理を施すことによって形成されている。このベルト52の表面には、フィルム基板8の搬送経路の上流側から送られてくるICチップ83を搭載したフィルム基板8が、ICチップ83をベルト52に対面させる姿勢で重ね合わせられる。
ドラム51の周面51a(搬送面)上におけるベルト52、及びICチップ83を搭載したフィルム基板8の関係は、図9(ドラム51を省略して示す)のようになる。フィルム基板8の搬送経路には、フィルム基板供給部2から供給されるフィルム基板8をドラム51上へ送るモータ5a及びローラ(符号省略)と、ドラム51上から搬送経路の下流側(製品検査・巻取部6側)へ送るモータ5b及びローラ(符号省略)がある。そして、フィルム基板8の搬送方向に沿って設けた複数のモータ5a、5bのうち相対的に下流側に配置したモータ5b(フィルム基板8をドラム51上から製品検査・巻取部6へ送るモータ5b)は低速でローラを回転させるのに対して、相対的に上流側に配置したモータ5a(フィルム基板8をドラム51上へ送るモータ5a)には若干のブレーキ又はアシスト力を発生させることにより、これらのモータ5a、5b間におけるフィルム基板8に対して一定の張力を発生させるようにしている。このようなモータ5a、5bの作動によって張力が付与されたフィルム基板8は、ベルト52側へ付勢され、フィルム基板8状に搭載したICチップ83はベルト52へ押さえつけられて加圧される。なお、フィルム基板8への張力を検知し、モータ5aのトルクを適宜調節するために、フィルム基板案内路53には例えばロードセルのような張力検出器5cを設けている。
以上の構成に基づいて、ICチップ83が搭載されたフィルム基板8への熱圧着方法とICチップ実装体9の形成方法をまとめて説明する。まず、高温空気送風機54から加熱された高圧空気が導入されたドラム51の周面51a(搬送面)にはベルト52が螺旋状に巻回されており、図10に示すように、ドラム51に形成された吐出口51bから吐出する高温高圧の空気によってベルト52が搬送面51a(表面)から浮き上がった状態となっており、またベルト52はその空気によって熱せられている。特に、ベルト52のうちベルト本体521は金属製であるため、効率良く熱せられている。このような加熱状態のベルト52に、搬送経路の上流側から送られてくるフィルム基板8がICチップ83を搭載した面をベルト52に対面させる姿勢で重ね合わされる。
この状態で、ベルト52とフィルム基板8は、互いの間に生じる摩擦力により一体的となり、ドラム51の搬送面(周面51a)を滑りつつ螺旋状に搬送される。そしてこのとき、モータ5a、5bのトルクが適度に調節されることによってフィルム基板8に張力が付与されると、ベルト52との間でICチップ83を搭載したフィルム基板8が加圧されることになる。さらに、フィルム基板8に張力を作用させることによってフィルム基板8がドラム51に巻き付く力が生じるが、この巻き付く力に抗して、ドラム51の吐出口51bから高温高圧の空気を吐出させることにより、図10に示したように、ドラム51の周面51a(搬送面)から一体的となったベルト52とフィルム基板8が浮上した状態に維持され、これらのドラム51による搬送がより滑らかに行われる。また同時に、高温高圧の空気によってベルト52が熱せられており、また保温炉53によりドラム51の周囲が高温に保たれていることから、フィルム基板8も熱せられてフィルム基板8に塗布された接着剤84が硬化・乾燥するため、ICチップ83がフィルム基板8(ベースシート81及びアンテナ回路82)に密着固定されることになる。
このように、本実施形態のICチップ実装体の製造装置1では、ベルト52にフィルム基板8を重ね合わせた状態で、フィルム基板8に塗布された接着剤84を硬化・乾燥させ同時にフィルム基板8に張力を付与してICチップ83をフィルム基板8に密着固定するように構成しているため、装置の小型化やコストダウン、ICチップ実装体9の製造時間の短縮化を図ることが可能である。さらに、フィルム基板8及びICチップ83への加圧は、フィルム基板8の搬送経路に設けられフィルム基板8に張力を付与するモータ5aのトルク調整により実現しているため、その圧力調整が容易であるとともに、ICチップ83の破損を招かない程度の適度な圧力を容易に実現できることから、ICチップ実装体9の歩留まり向上をも図ることができる。加えて、カバーシートを用いてICチップをフィルム基板に固定する態様と比較して、カバーシート自体は勿論のこと、カバーシート供給機構やカバーシート巻取機構が不要であり、構造の簡素化及びコストの削減を図ることができるとともに、カバーシートのセッティング作業や交換作業も不要であるため、取り扱い性に優れたものとなり、またカバーシートの交換時に装置全体を停止する必要もないため、生産性の向上も有効に図ることができる。特に、ベルトのうちフィルム基板に対向する面に離型性を付与し、接着剤84が付着し難い性状としているため、熱圧着時に、ベルトに接着剤が付着することを防止し、ICチップがベルトに貼り付くという不具合を解消し、生産効率のさらなる向上を図ることができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態ではベルトのうちフィルム基板に対向する側の面に離型性層を構成する方法として、フッ素樹脂コーティング処理を施す方法を例示したが、当該方法以外に、シリコーンやフッ素系などの離型剤を塗布する方法などを採用してもよい。これら何れの方法であっても、ベルトのうちフィルム基板に対向する側の面に、耐熱性に優れた離型性層を形成することができる。また、ベルト本体は、耐熱性に優れ所定の剛性を有する素材から形成されるものであればよく、金属製以外のものであっても構わない。
また、図10に示すように接着剤とベルトとが相互に直接接触しない場合には、フィルム基板に対向する側の面に離型性層を有さないベルトを適用してもよい。
その他、ベースシートの両面にアンテナ回路を形成したフィルム基板であってもよい。
また、フィルム基板への加熱方法や、ベルトを添接させる搬送体、熱圧着部やそれ以外の部位などの各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
1…ICチップ実装体の製造装置
5…熱圧着部
51…ドラム(搬送体)
51a…搬送面(周面)
51b…吐出口
52…ベルト
521…ベルト本体
522…離型性層
53…保温炉
54…高温空気送風機(加熱手段)
5a、5b…モータ(張力付与手段)
8…フィルム基板
81…ベースシート
82…アンテナ回路
83…ICチップ
84…接着剤
9…ICチップ実装体
10…ICタグ

Claims (5)

  1. ベースシートの少なくとも一方の面にアンテナ回路が形成されたフィルム基板における所定位置に接着剤を介してICチップを固定してなるICチップ実装体を製造するICチップ実装体の製造装置であって、
    前記フィルム基板の搬送経路上に前記ICチップを前記フィルム基板に熱圧着する熱圧着部を設け、
    当該熱圧着部が、
    前記フィルム基板との間で当該フィルム基板に搭載された前記ICチップを挟み込み得るベルトと、
    前記フィルム基板に張力を付与し、当該フィルム基板と共に前記ICチップを前記ベルト側に押圧する張力付与手段と、
    前記フィルム基板上の前記接着剤を加熱する加熱手段とを備えたものであることを特徴とするICチップ実装体の製造装置。
  2. 前記ベルトのうち前記フィルム基板に対向する側の面が離型性を有している請求項1に記載のICチップ実装体の製造装置。
  3. 前記熱圧着部に、前記ICチップが搭載されたフィルム基板を前記ベルトに重ね合わせて前記搬送経路の下流側へ搬送する搬送体を設け、
    当該搬送体の搬送面上において、搬送面側から順に前記ベルト、前記ICチップが搭載されたフィルム基板を重ね合わせるように構成している請求項1又は2の何れかに記載のICチップ実装体の製造装置。
  4. 前記搬送体に、前記加熱手段により加熱された空気を搬送面から吐出する吐出口を形成し、当該吐出口から吐出される空気によって、前記ICチップが搭載された前記フィルム基板を載せた前記ベルトを前記搬送面から浮上させながら搬送するように構成している請求項3に記載のICチップ実装体の製造装置。
  5. 前記搬送体が、前記ベルト及び前記ICチップが搭載されたフィルム基板を周面に螺旋状に巻き付けた状態で搬送するドラムである請求項3又は4の何れかに記載のICチップ実装体の製造装置。
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