JP5552089B2 - 封止用樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体等の電子部品の封止材料として使用される樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置に関する。

トランジスタ、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体装置における封止材料として、エポキシ樹脂をベースとし、これに硬化剤や硬化促進剤、さらにはシリカ粉末等の無機充填剤、着色剤等を配合した樹脂組成物が広く用いられている。

ところで、このような封止材料においては、半導体装置の長期使用に伴う配線の腐食や半導体の性能低下を防止するため、長期に亘って良好な耐湿信頼性を維持することが要求される。

このため、従来より、原料の精製（高純度化）製造工程のクリーン化等により、耐湿性低下の要因となるイオン性不純物（例えば、ナトリウムイオン、塩素イオン等）の混入を防止したり、シラン系表面処理剤の配合により水分が浸入する空隙部の形成を抑制する等の対策が講じられてきた。

しかしながら、最近の半導体装置の高信頼性化に対する要求はますます厳しくなってきており、従来の対策だけでは要求に十分に応えることが困難になってきた。

そこで、特定のエポキシ樹脂を用いて、成形性や実装信頼性等を損なうことなく組成物中のイオン性不純物を低減した封止用樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

しかしながら、この封止用樹脂組成物には、ハロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物が難燃性を付与するために配合されており、環境・衛生面に問題がある。このため、ハロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物を使用せずに優れた難燃性を備える封止用樹脂組成物が求められている。

このようにハロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物を使用せずに難燃性を付与する技術は、これまでにも種々知られている。その代表的なものが、加熱時に脱水し吸熱することから冷却効果を発揮する金属酸化物の使用であり、特に、単位重量あたりの吸熱量の高い水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等が、エポキシ樹脂に難燃性を付与する目的で多用されている。

しかしながら、水酸化アルミニウムや水酸化マグネシウム等によって従来のハロゲン系難燃剤等に匹敵するような難燃性を付与しようとすると、それらを多量に添加する必要があり、その結果、例えば、水酸化アルミニウムに含まれるナトリウムイオン等のイオン性不純物が増加して、耐湿信頼性の低下を招くおそれがあった。また、安定した難燃性のためには、シリカ等の無機充填剤を高充填する必要があり、その結果、フロー粘度が上昇して成形性が低下するおそれがあった。

特開２００４−３３９２９２号公報

本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、ハロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物の使用なしで優れた難燃性を備えることができ、しかも耐湿信頼性、成形性も良好な封止用樹脂組成物、及びそのような封止用樹脂組成物を用いて封止された高い信頼性を有する半導体装置を提供することを目的としている。

本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、多価アルコール型非イオン性分散剤を使用することにより、難燃性を低下させずに、水酸化アルミニウム及び無機充填剤の添加量を減らすことができ、優れた難燃性とともに、良好な耐湿信頼性、成形性を備える封止用樹脂組成物が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明の一態様に係る封止用樹脂組成物は、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）フェノール樹脂硬化剤、（Ｃ）多価アルコール型非イオン性分散剤、（Ｄ）水酸化アルミニウム、及び（Ｅ）水酸化アルミニウム以外の無機充填剤を必須成分とし、ハロゲン系及びアンチモン系難燃剤を含有しないことを特徴としている。

また、本発明の他の態様に係る半導体装置は、上記封止用樹脂組成物の硬化物によって半導体素子が封止されてなることを特徴としている。

本発明によれば、ハロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物の使用なしで優れた難燃性を備えるとともに、耐湿信頼性、成形性も良好な封止用樹脂組成物、及びそのような封止用樹脂組成物を用いて封止された信頼性の高い半導体装置を得ることができる。

以下、本発明の実施の形態を説明する。

まず、本発明の封止用樹脂組成物に用いられる各成分について説明する。
本発明に用いられる（Ａ）成分のエポキシ樹脂は、１分子中に２個以上のエポキシ樹脂を有するものであれば、分子構造、分子量等に制限されることなく一般に電子部品の封止材料と使用されているものを広く用いることができる。具体的には、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂等の複素環型エポキシ樹脂、ビフェニル型またはスチルベン型二官能エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ樹脂、縮合環芳香族炭化水素変性エポキシ樹脂、脂環型エポキシ樹脂等を使用することができる。これらのエポキシ樹脂は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。

本発明に用いられる（Ｂ）成分のフェノール樹脂硬化剤としては、上記（Ａ）成分のエポキシ樹脂のエポキシ基と反応し得るフェノール性水酸基を分子中に２個以上有するものであれば、特に制限されることなく使用される。具体的には、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂の変性樹脂（例えば、エポキシ化もしくはブチル化したノボラック型フェノール樹脂等）、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、パラキシレン変性フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、フェノール類とベンズアルデヒド、ナフチルアルデヒド等との縮合物、トリフェノールアルカン型フェノール樹脂、多官能型フェノール樹脂等を使用することができる。これらは１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。

この（Ｂ）成分のフェノール樹脂硬化剤の配合量は、上記（Ａ）成分のエポキシ樹脂が有するエポキシ基（ａ）と、（Ｂ）成分のフェノール樹脂硬化剤が有するフェノール性水酸基（ｂ）との比（ａ）／（ｂ）（当量比）が０．１〜１０当量となる範囲が好ましく、０．６〜２当量となる範囲がより好ましい。当量比が０．１未満であるか、または１０を超えると、耐熱性、成形性、硬化物の電気特性等が低下する。

本発明に用いられる（Ｃ）成分の多価アルコール型非イオン性分散剤としては、グリセリンモノステアレート、グリセリンモノオレート、グリセリンモノパルミテート、グリセリンジステアレート、グリセリンジオレート、グリセリンジパルミテート等のグリセリン脂肪酸エステル類；ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタントリステアレート、ソルビタンモノオレート、ソルビタントリオレート、ソルビタンセスキオレート等のソルビタン脂肪酸エステル類；ジグリセリンモノ・ジステアレート、ジグリセリンモノステアレート、ジグリセリンモノ・ジオレート、ヘキサグリセリンモノステアレート、ヘキサグリセリンモノオレート、ヘキサグリセリンモノミリステート、ヘキサグリセリンモノラウレート、ヘキサグリセリンモノ・ジステアレート、ジグリセリンモノ・ジステアレート、ジグリセリンモノ・ジカプレート、ヘキサグリセリンヘキサステアレート、ヘキサグリセリンオクタステアレート、デカグリセリンモノステアレート、デカグリセリンジステアレート、デカグリセリンペンタステアレート、デカグリセリンデカステアレート、デカグリセリンモノオレート、デカグリセリンペンタオレート、デカグリセリンデカオレート、デカグリセリンモノミリステート、デカグリセリンモノラウレート、トリグリセリンモノラウレート、トリグリセリンモノモリステート、トリグリセリンモノオレート、トリグリセリンモノステアレート、ペンタグリセリンモノラウレート、ペンタグリセリンモノミリステート、ペンタグリセリントリミリステート、ペンタグリセリンモノオレート、ペンタグリセリントリオレート、ペンタグリセリンモノステアレート、ペンタグリセリントリステアレート、ペンタグリセリンヘキサステアレート等のポリグリセリン脂肪酸エステル類；テトラグリセリン縮合リシノレート、ヘキサグリセリン縮合リシノレート、パンタグリセリン縮合リシノレート等のポリグリセリン縮合脂肪酸エステル類；リシノレイン酸を２〜６分子縮合させたリシノレイン酸の自己縮合エステル、１２−ヒドロキシステアリン酸を２〜６分子縮合させた１２−ヒドロキシステアリン酸の自己縮合エステル、及びこれらとステアリン酸等を縮合させた縮合脂肪酸エステル類等が挙げられる。

（Ｃ）成分の多価アルコール型非イオン性分散剤としては、水酸化アルミニウムやそれ以外の無機充填剤の分散性を高め、組成物の耐湿信頼性、成形性等を向上させる観点からは、ポリグリセリン脂肪酸エステル、ポリグリセリン縮合脂肪酸エステルが好ましく、特に、ポリグリセリン縮合脂肪酸エステルが好ましい。また、組成物調製時の溶解のしやすさ、作業性の観点から、多価アルコール型非イオン性分散剤は、分子量ポリスチレン換算で重量平均分子量（Ｍｗ）が１０，０００以下であることが好ましい。より好ましくは８，０００以下であり、より一層好ましくは５００〜６，０００であり、２，０００〜５，０００であると特に好ましい。多価アルコール型非イオン性分散剤は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。

この多価アルコール型非イオン性分散剤の配合量は、特に限定されるものではないが、組成物の全量に対して０．０１〜２．００質量％の範囲が好ましく、０．０５〜１．００質量％の範囲がより好ましい。０．０１質量％未満では水酸化アルミニウムの分散性が低下し、難燃性が不十分になるおそれがある。また、２．００質量％を超えると封止した半導体装置の耐熱性や強度等の特性が低下するおそれがある。

本発明に用いられる（Ｄ）成分の水酸化アルミニウムは、全体として、平均粒径が１〜２０μｍであることが好ましく、１〜１５μｍであることがより好ましい。また、最大粒径については７５μｍであることが好ましい。平均粒径が１μｍ未満では、樹脂組成物の粘度が高くなり、また表面積が大きくなって水へのイオン性不純物の溶解が増加しやすくなる。一方、平均粒径が２０μｍを超えると、比表面積が小さくなり、難燃が不十分になるおそれがある。また、最大粒径が７５μｍを超えると、充填性や分散性が低下する。なお、水酸化アルミニウムの平均粒径及び最大粒径は、例えば、（株）堀場製作所製レーザー回折式粒度分布測定装置ＬＡ−９２０により求めることができ、平均粒径については、同装置で測定された粒度分布において積算重量が５０％になる粒径である。

水酸化アルミニウムは、また、２５０℃における重量減少率が２重量％以下のものを使用することが好ましい。このような水酸化アルミニウムは、合成時に高圧力下で結晶化させることにより得ることができる。この水酸化アルミニウムの２５０℃における重量減少率は、示唆熱熱重量同時測定装置ＴＧ／ＤＴＡ６２００型を使用し、昇温速度５℃／分（大気中）で昇温して測定した減量曲線（リファランス：アルミナ）から求めることができ、２５０℃における重量減少率が２重量％未満の水酸化アルミニウムとは、前記減量曲線において２５０℃で重量減少率が２重量％以下のものである。

本発明に用いられる（Ｅ）成分の水酸化アルミニウム以外の無機充填剤としては、溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、ジルコニア、タルク、クレー、マイカ、炭酸カルシウム、水酸化マグネシウム、チタンホワイト、ベンガラ、炭化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミ、窒化ケイ素、マグネシア、マグネシウムシリケート等の粉末、これらを球形化したビーズ、単結晶繊維、ガラス繊維等が挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。水酸化アルミニウム以外の無機充填剤としては、なかでも、溶融シリカ、結晶シリカが好ましい。

（Ｄ）成分の水酸化アルミニウム及び（Ｅ）成分の水酸化アルミニウム以外の無機充填剤の配合量は、特に限定されるものではないが、組成物の全量に対して６０〜９０質量％の範囲が好ましく、６５〜８０質量％の範囲がより好ましい。６０質量％未満では、難燃性、耐熱性、機械的特性、成形性等が低下し、また、９０質量％を超えると、フロー粘度が大きくなり、成形性が低下するおそれがある。

また、（Ｄ）成分の水酸化アルミニウムと（Ｅ）成分の水酸化アルミニウム以外の無機充填剤の配合比は、特に限定されるものではないが、（Ｄ）成分の水酸化アルミニウムの比率が大きくなると難燃性が良好となる。但し、水酸化アルミニウムの配合量が多くなりすぎると、耐湿信頼性が低下するおそれがある。難燃性と耐湿信頼性をバランスさせる観点からは、（Ｄ）水酸化アルミニウムの組成物全体に対する割合をｄ（質量％）、（Ｅ）水酸化アルミニウム以外の無機充填剤の組成物全体に対する割合をｅ（質量％）としたとき、次式（１）を満足するようにすることが好ましい。
（ｄ／１００） ≦ ［０．５×（ｅ／１００）］ ＋ ０．４５ …（１）

本発明の封止用樹脂組成物には、以上の各成分の他、（Ａ）成分のエポキシ樹脂と（Ｂ）成分のフェノール樹脂硬化剤の反応を促進する硬化促進剤を配合することができる。硬化促進剤としては、２−ヘプタデシルイミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、４−メチルイミダゾール、４−エチルイミダゾール、２−フェニル−４−ヒドロキシメチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４−ジアミノ−６−［２′−メチルイミダゾリル−（１′）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２′−ウンデシルイミダゾリル−（１′）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２′−エチル−４′−メチルイミダゾリル−（１′）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２′−メチルイミダゾリル−（１′）］−エチル−ｓ−トリアジン、２−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、２−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、２−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール類；１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］ウンデセン−７（ＤＢＵ）、１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］ノネン、５，６−ジブチルアミノ−１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］ウンデセン−７等のジアザビシクロ化合物及びこれらの塩；トリエチルアミン、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、α−メチルベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等の三級アミン類；トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、ジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリ
（ｐ‐メチルフェニル）ホスフィン、トリ（ノニルフェニル）ホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、ジブチルフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、ビス（ジフェニルホスフィノ）メタン、１，２‐ビス（ジフェニルホスフィノ）エタン等の有機ホスフィン化合物；テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィントリフェニルボラン等のテトラ‐またはトリフェニルボロン塩等が挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。この硬化促進剤の配合量は、組成物全体の０．０１〜５質量％となる範囲が好ましい。配合量が組成物全体の０．０１質量％未満では、硬化性の向上にあまり効果がなく、逆に５質量％を超えると、組成物の流動性、電気特性、耐湿性等が低下する。

本発明の封止用樹脂組成物には、また、充填性、無機充填剤等と樹脂との密着性等を高める目的で、さらにカップリング剤を配合することができる。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、アルミニウムキレート類、アルミニウム／ジルコニウム系化合物等が挙げられるが、なかでもシランカップリング剤が好ましい。

好ましいシランカップリング剤の例としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−（メタクリロプロピル）トリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、、Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、ビス（３−トリエトキシシリルプロピル）テトラスルファン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、イミダゾールシラン等が挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。

カップリング剤の配合量は、組成物全体の０．０１〜５質量％となる範囲が好ましい。配合量が組成物全体の０．０１質量％未満では、成形性の向上にあまり効果がなく、逆に５質量％を超えると、耐湿信頼性が低下する。

本発明の封止用樹脂組成物には、以上の各成分の他、さらに、この種の組成物に一般に配合される、ハロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物以外の難燃剤（例えば、リン酸エステルに代表されるリン系難燃剤、金属水酸化物、ホウ酸亜鉛等）；カーボンブラック、コバルトブルー等の着色剤；合成ワックス、天然ワックス、エステル類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸アミド類等の離型剤；シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力付与剤等を、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて配合することができる。

本発明の封止用樹脂組成物を調製するにあたっては、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）フェノール樹脂硬化剤、（Ｃ）多価アルコール型非イオン性分散剤、（Ｄ）水酸化アルミニウム、（Ｅ）水酸化アルミニウム以外の無機充填剤、及び前述した必要に応じて配合される各種成分をミキサー等によって十分に混合（ドライブレンド）した後、熱ロールやニーダ等の混練装置により溶融混練し、冷却後、適当な大きさに粉砕するようにすればよい。

本発明においては、封止用樹脂組成物中のナトリウムイオン濃度が１５ｐｐｍ以下であることが好ましく、１２ｐｐｍ以下であることがより好ましい。

本発明の半導体装置は、上記封止用樹脂組成物を用いて各種の半導体素子を封止することにより製造することができる。封止を行う半導体素子としては、ＩＣ、ＬＳＩ、ダイオード、サイリスタ、トランジスタ等が例示されるが特にこれらに限定されるものではない。また、封止方法としては、低圧トランスファー法が一般的であるが、射出成形、圧縮成形、注型等による封止も可能である。封止用樹脂組成物で封止後は、加熱して硬化させ、最終的にその硬化物によって封止された半導体装置が得られる。後硬化させる際の温度は、１５０℃以上とすることが好ましい。

次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。なお、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。また、以下の記載において、「部」は「質量部」を示すものとする。

（実施例１）
エポキシ樹脂としてｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂ＣＮＥ−２００ＥＬＤ−７０（長春人造社製 商品名；エポキシ当量２００）１５．０部、フェノール樹脂としてフェノールノボラック樹脂ＢＲＧ−５５７５（昭和電工（株）製 商品名；水酸基当量１０４）９．０部、多価アルコール型非イオン性分散剤としてポリグリセリン縮合リシノレートのチラバゾールＤ−８１８Ｍ（太陽化学（株）製 商品名；グリセリン平均重合度６、Ｍｗ＝３６００）０．２部、水酸化アルミニウムＢＷ−１０３（日本軽金属（株）製 商品名；平均粒径１０μｍ、最大粒径５０μｍ、２５０℃における重量減少率４．２重量％、金属イオン性不純物（ナトリウムイオン）濃度２００ｐｐｍ）９．０部、水酸化アルミニウム以外の無機充填剤として溶融シリカＦＢ−１０５（電気化学工業（株）製 商品名；平均粒径１１μｍ）４０．０部及び溶融シリカＦ−１７５（福島窯業（株）製 商品名；平均粒径１４μｍ）２５．０部、硬化促進剤としてトリフェニルホスフィンＰＰ−２００（北興化学（株）製 商品名）０．９部、シランカップリング剤Ｓ−５１０（チッソ（株）製 商品名）０．３部、着色剤としてカーボンブラックＭＡ−６００（三菱化学（株）製 商品名）０．３部、並びに離型剤としてカルナバワックス１号（東洋ペトロ（株）製）０．３部を常温でドライブレンドした後、樹脂温度９０〜９５℃で加熱混練し、冷却後、粉砕して封止用樹脂組成物を製造した。この組成物における水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

（実施例２）
多価アルコール型非イオン性分散剤としてポリグリセリン縮合リシノレートのチラバゾールＨ−８１８（太陽化学（株）製 商品名；Ｍｗ＝４０００）を０．２部用いた以外は実施例１と同様にして封止用樹脂組成物を製造した。この組成物における水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

（実施例３）
多価アルコール型非イオン性分散剤としてトリグリセリルペンタステアレートのリケマールＡＺ−０１（理研ビタミン（株）製 商品名）を０．２部用いるとともに、水酸化アルミニウムＢＷ−１０３（商品名）の配合量を１０．０部、溶融シリカＦＢ−１０５（商品名）の配合量を３９．５部、溶融シリカＦ−１７５（商品名）の配合量を２４．５部とした以外は実施例１と同様にして封止用樹脂組成物を製造した。この組成物の水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

（実施例４）
水酸化アルミニウムとしてＡＬＨ（河合石灰工業（株）製 商品名；平均粒径８μｍ、最大粒径５０μｍ、２５０℃における重量減少率０．４重量％、金属イオン性不純物（ナトリウムイオン）濃度２００ｐｐｍ）を９．０部用いた以外は実施例１と同様にして封止用樹脂組成物を製造した。この組成物の水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

（実施例５）
ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂ＣＮＥ−２００ＥＬＤ−７０（商品名）を８．０部、フェノールノボラック樹脂ＢＲＧ−５５７５（商品名）を５．０部、水酸化アルミニウムＢＷ−１０３（商品名）を４．０部、溶融シリカＦＢ−１０５（商品名）を６０．０部、溶融シリカＦ−１７５（商品名）を２１．０部、トリフェニルホスフィンＰＰ−２００（商品名）を０．５部とした以外は実施例１と同様にして封止用樹脂組成物を製造した。この組成物の水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

（比較例１）
多価アルコール型非イオン性分散剤を配合しなかった以外は実施例１と同様にして封止用樹脂組成物を製造した。この組成物の水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

（比較例２）
多価アルコール型非イオン性分散剤を配合せず、かつ水酸化アルミニウムＢＷ−１０３（商品名）の配合量を１３．０部、溶融シリカＦＢ−１０５（商品名）の配合量を３８．０部、溶融シリカＦ−１７５（商品名）に配合量を２３．０部とした以外は実施例１と同様にして封止用樹脂組成物を製造した。この組成物の水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

（比較例３）
多価アルコール型非イオン性分散剤に代えて、中性洗剤チャーミーグリーン（ライオン（株）製 商品名；アルキルエーテル硫酸エステルナトリウム及び脂肪酸アルカノールアミド含有）を０．２部用いるとともに、溶融シリカＦＢ−１０５（商品名）を３９．５部、溶融シリカＦ−１７５（商品名）を２４．５部とした以外は実施例１と同様にして封止用樹脂組成物を製造した。この組成物の水酸化アルミニウム含有率は前述した式（１）を満足するものであった。

上記各実施例及び各比較例で得られた封止用樹脂組成物について、下記に示す方法で各種特性を評価した。結果を組成とともに表１に示す。

［ゲルタイム］
封止用樹脂組成物が１７５℃の熱板上でゲル化するまでの時間（秒）を測定した。
［フロー粘度］
高化式フローテスタ（（株）島津製作所製 ＣＦＴ−５００Ｃ）を用い、ノズル長１．０ｍｍ、ノズル径０．５ｍｍ、温度１７５℃、荷重圧力１０ｋｇｆ／ｃｍ^２（約０．９８ＭＰａ）の条件で測定した。
［離型荷重］
封止用樹脂組成物を温度１７５℃、硬化時間４５秒の条件で金型により成形し、その金型から成形品を離型する際の荷重をプッシュ・プル・ゲージにより測定した。
［ガラス転移点］
封止用樹脂組成物を１７５℃、１２０秒間の条件でトランスファー成形し、その後、１７５℃、８時間の後硬化を行って３ｍｍ×３ｍｍ×１７ｍｍの試験片を作製した。この試験片について、この試験片について、熱機械分析装置ＴＭＡ／ＳＳ１５０（セイコーインスツル（株）製）を用いて、昇温速度５℃／分、荷重１０ｇの条件で測定した。
［曲げ強さ］
ＪＩＳ Ｋ ６９１１に準拠して測定した。
［曲げ強さ］
ＪＩＳ Ｋ ６９１１に準拠して測定した。

［難燃性］
封止用樹脂組成物を１７５℃、１２０秒間の条件でトランスファー成形し、その後、１７５℃、８時間の後硬化を行って１２．７ｍｍ×１．２７ｍｍ×０．８ｍｍの硬化物を得、ＵＬ９４垂直燃焼試験を行った。
［ナトリウムイオン濃度］
封止用樹脂組成物を１７５℃、１２０秒間の条件でトランスファー成形し、次いで、１７５℃、８時間の後硬化を行った後、得られた硬化物を粉砕し、１８０℃の純水中で２時間熱水抽出して、原子吸光光度計により測定した。
［耐湿信頼性試験］
２本のアルミ配線を有するシリコンチップ（試験用デバイス）を銅フレームに接着し、封止用樹脂組成物を用いて１７５℃、１２０秒間のトランスファー成形により封止し、その後、１７５℃、８時間の後硬化を行ってＳＯＰ（Small Outline Package）−１４Ｐｉｎの半導体装置を作製した。
得られた半導体装置を温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、１６８時間の吸湿処理を行った後、２６０℃の赤外線リフロー炉に３回通し、次いで、温度１２７℃、圧力２．５気圧（約０．２５ＭＰａ）の飽和水蒸気雰囲気中に４８時間放置して、不良（樹脂硬化物とフレームとの界面、及び樹脂硬化物とシリコンチップとの界面における剥離またはクラックの発生）の発生数を調べた（ｎ＝２０）。
［高温バイアス試験］
２本のアルミ配線を有するシリコンチップ（試験用デバイス）を銅フレームに接着し、封止用樹脂組成物を用いて１７５℃、１２０秒間のトランスファー成形により封止し、その後、１７５℃、８時間の後硬化を行ってＳＯＰ−１４Ｐｉｎの半導体装置を作製した。
得られた半導体装置を温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、１６８時間の吸湿処理を行った後、２６０℃の赤外線リフロー炉に３回通し、次いで、温度１２５℃の環境下で１００ＶのＤＣ電圧を１０００時間印加して、不良（リーク不良、オープン不良）の発生数を調べた（ｎ＝２０）。

表１から明らかなように、本発明の実施例の封止用樹脂組成物は、ハロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物の使用なしで優れた難燃性を備えるとともに、耐湿信頼性及び成形性も良好であった。

Claims (9)

1. （Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）フェノール樹脂硬化剤、（Ｃ）多価アルコール型非イオン性分散剤、（Ｄ）水酸化アルミニウム、及び（Ｅ）水酸化アルミニウム以外の無機充填剤を必須成分とし、ハロゲン系及びアンチモン系難燃剤を含有しないことを特徴とする封止用樹脂組成物。
2. （Ｃ）多価アルコール型非イオン性分散剤は、ポリグリセリン脂肪酸エステルを含むことを特徴とする請求項１記載の封止用樹脂組成物。
3. （Ｃ）多価アルコール型非イオン性分散剤は、ポリグリセリン縮合ヒドロキシ脂肪酸エステルを含むことを特徴とする請求項１記載の封止用樹脂組成物。
4. （Ｄ）水酸化アルミニウムは、２５０℃における重量減少率が２重量％以下のものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の封止用樹脂組成物。
5. ナトリウムイオン濃度が１５ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の封止用樹脂組成物。
6. （Ｅ）多価アルコール型非イオン性分散剤の含有量が組成物全体の０．０１〜２．００質量％であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の封止用樹脂組成物。
7. （Ｄ）水酸化アルミニウム、及び（Ｅ）水酸化アルミニウム以外の無機充填剤の含有量が組成物全体の６０〜９０質量％であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の封止用樹脂組成物。
8. （Ｄ）水酸化アルミニウムの組成物全体に対する割合をｄ（質量％）、（Ｅ）水酸化アルミニウム以外の無機充填剤の組成物全体に対する割合をｅ（質量％）としたとき、次式を満足することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の封止用樹脂組成物。
   （ｄ／１００） ≦ ［０．５×（ｅ／１００）］ ＋ ０．４５
9. 請求項１乃至８のいずれか１項記載の封止用樹脂組成物の硬化物によって半導体素子が封止されてなることを特徴とする半導体装置。