JP5548189B2 - X線発生装置のターゲットと、その加工方法 - Google Patents
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Description
ワイヤー張力:350〜400g
ワイヤー速度:150〜10m/分
サーボ電圧:45〜55V
設定送り速度:0.75〜6mm/分
Claims (13)
- 内部を真空可能に構成した管本体内において、電子ビームを発生する電子源と対向して配置され、当該電子源から出射される電子ビームが照射されることにより、X線窓を通して、マルチライン状X線を発生するためのターゲットであって、
前記ターゲットを構成する部材の表面には、複数の微小幅のライン状ターゲットが、微小幅の溝を挟んで、繰り返し形成され、
前記ターゲットは、前記電子源からの電子ビームが、前記溝の延長方向に対して垂直な方向から、所定の角度で傾斜し、かつ、前記溝の複数を跨ぐように照射されるように配置され、もって、当該溝の間に形成される複数のライン状のターゲットからのマルチライン状X線を、所定の取り出し角度から、前記X線窓を通して出射するように構成されており、
前記ターゲットの表面は、そのX線発生平面を、前記X線窓を通して当該取り出し角度で見込んだ時に、発生するX線の強度分布が縞状のコントラストを持つように配置されることを特徴とするX線発生装置のターゲット。 - 前記請求項1に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、前記溝の内部に前記ターゲットを構成する部材の元素より低原子番号の元素で構成された材質を充填したことを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、前記溝の内部側面に前記ターゲットを構成する部材の元素より低原子番号の元素で構成された材質をコーティングしたことを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1から請求項3のいずれか1項に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、当該ターゲットは、静止型のターゲットであることを特徴とするX線発生装置。
- 前記請求項1から請求項3のいずれか1項に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、当該ターゲットは、回転型のターゲットであることを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1から請求項3のいずれか1項に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、当該ターゲットは、その内部に、電子ビームが照射される当該ターゲットを冷却するための配管を設けたことを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1から請求項3のいずれか1項に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、前記ライン状ターゲットは、ターゲット材料の表面に、前記微小幅の溝を、複数、繰り返し形成することにより形成されることを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1から請求項3のいずれか1項に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、前記ライン状ターゲットは、ターゲット材料の表面に、前記微小幅のライン状ターゲットを、複数、繰り返し形成することにより形成されることを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1から請求項3のいずれか1項に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、前記ライン状ターゲットは、複数の溝が形成されたターゲット部材の表面にターゲット金属の層を形成することにより形成されていることを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1から請求項3のいずれか1項に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、前記複数のライン状ターゲットの表面に近い一部が、X線の取り出し方向に突出して形成されていることを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項10に記載したX線発生装置のターゲットにおいて、更に、前記溝の底部が断面湾曲形状に形成されていることを特徴とするX線発生装置のターゲット。
- 前記請求項1に記載したX線発生装置のターゲットの加工方法であって、ダイヤモンド・カッター加工により、前記ターゲット部材の表面に前記複数の溝を形成することを特徴とするターゲットの加工方法。
- 前記請求項1に記載したX線発生装置のターゲットの加工方法であって、ワイヤー放電加工により、前記ターゲット部材の表面に前記複数の溝を形成することを特徴とするターゲットの加工方法。
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