JP5527315B2 - イオン注入分布発生方法及びシミュレータ - Google Patents
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- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims description 301
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 title claims description 160
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 90
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 73
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 48
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 claims 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 claims 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 46
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 7
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 6
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-BJUDXGSMSA-N Boron-10 Chemical compound [10B] ZOXJGFHDIHLPTG-BJUDXGSMSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000005465 channeling Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012821 model calculation Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000342 Monte Carlo simulation Methods 0.000 description 1
- 241000282337 Nasua nasua Species 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 231100000673 dose–response relationship Toxicity 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
- H01L21/26506—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation in group IV semiconductors
- H01L21/26513—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation in group IV semiconductors of electrically active species
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
- H01L21/26586—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation characterised by the angle between the ion beam and the crystal planes or the main crystal surface
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
- H01L29/66575—Lateral single gate silicon transistors where the source and drain or source and drain extensions are self-aligned to the sides of the gate
- H01L29/6659—Lateral single gate silicon transistors where the source and drain or source and drain extensions are self-aligned to the sides of the gate with both lightly doped source and drain extensions and source and drain self-aligned to the sides of the gate, e.g. lightly doped drain [LDD] MOSFET, double diffused drain [DDD] MOSFET
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
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- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
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Description
(i)基板
一定濃度として、
ゲート電極が形成されない状態で前面に打たれるので、下記の式(2)で表わされる。
長さLGのゲート電極が形成されているとして、下記の式(3)で表わされる。
さらに、ゲート電極の両側に厚さLsideのサイドウォールが形成されているとして、下記の式(4)で表わされる。
また、実際の分布はinverse modelingで採用するGauss分布とは異なるため、定性的な指針は与えられても、実プロセス条件と直接結びつけるのは困難である。特に、高チルト角でイオン注入するポケットイオン注入分布に関しては、それに対応する解析モデルがないのに対応して、inverse modelingで利用される分布から実際のプロセス条件へのフィードバックをかけるのが困難である。
したがって、従来においては、プロセスシミュレータやデバイスシミュレータを利用するためには高度の専門知識が必要になると共に、シミュレーションに多大の時間要するという問題があった。
しかし、多数のデバイスやプロセスに携わっている開発者には高度な機能は必要ではなく、開発者の経験や直観的設定を補助するツールとしてのシミュレータの出現が望まれている。この場合のシミュレータは、操作が簡単であること、高速であること、機能は限定されているが扱う機能においては正確であることが要請される。
したがって、本発明は、高チルト角によるイオン注入分布を含めてGauss分布によるモデルを基本にして簡単な操作によりシミュレーションが可能な解析的モデルを提供することを目的とする。
それによって、高次のモーメントγやβの使用が可能になり、inverse modelingで利用される分布を実際の分布に近い解析可能な分布とすることができ、実際のプロセス条件へのフィードバックをかけることが可能になる。
ここで、式(44)と式(42)から下記の式(45)と式(46)とが得られる。
単純な足し合わせ:add
置き換え :replace
というモードを設けるようにしても良い。
・Substrate:Boron 2×1016cm-3
・Channel ion implantation:Boron 10 keV tilt 7° 2×1013cm-2
(Rp=38.4nm, ΔRp=30.9nm, ΔRpt=16.0nm)
・Gate pattern fabrication various gate length LG with dG of 0.1μm.
・Pocket ion implantation
Boron 5 keV tilt 28° 9×1012cm-2
(Rp=9.991nm, ΔRp=20.63nm, ΔRpt=9.088nm)
又は
Boron 10 keV tilt 28° 9×1012cm-2
(Rp=38.41nm, ΔRp=30.9nm, ΔRpt=16nm)
Rotation0°, 90°, 180°,and 270°
・Extension ion implantation: As 3 keV tilt0° rotation 0° 2×1015cm-2
(Rp=4.7nm, ΔRp=1.9nm, ΔRpt=2.0nm)
・Side wall formation 60nm
・Source/drain ion implantation: P 8 keV tilt0° rotation 0° 2×1015cm-2
(Rp =9.2nm, ΔRp=8.4nm, ΔRpt=9.0nm)
この条件で、統合シミュレータHyper Environment for Exploration of Semiconductor Simulation(HyENEXSS)(例えば、非特許文献28及び29参照)に組み込まれているプロセスシミュレータのSyProS(Hyper Synthesized Process Simulator)で計算した不純物濃度分布と、解析モデルで評価した10keVでPocket注入のみの2次元濃度分布を図17(a)及び図17(b)に示す。図17(a)は解析モデルによるMOS構造基板中の2次元不純物濃度分布を示すグラフ図であり、図17(b)は数値計算によるMOS構造基板中の2次元不純物濃度分布を示すグラフ図である。図17(a)に示す解析モデルによる不純物濃度分布17−1と、17−2に示す数値計算による不純物濃度分布17bとが略一致していることがわかる。
2 チャンネルドープ領域
3 ゲート絶縁膜
4 ゲート電極
5 ポケット領域
6 エクステンション領域
7 サイドウォール
8 ソース・ドレイン領域
9 イオンビーム
10 コンピュータ本体部
11 CPU
12 RAM
13 データ・プログラム格納部
14 I/O
15 バス
16 パラメータデータベース
17 イオン注入分布シミュレーションプログラム
20 外部出力・表示部
21 モニター
22 外部記憶装置
31 イオン注入条件
32 分布パラメータ発生部
33 解析モデル作成部
33a 領域a1計算部
33b 領域a2計算部
33c 領域b計算部
34 2次元濃度分布発生部
35 デバイスシミュレーション
36 ボックスモデル作成部
36a 第1矩形領域作成部
36b 第2矩形領域作成部
36c 第3矩形領域作成部
Claims (13)
- コンピュータがイオン注入分布を発生させるイオン注入分布発生方法であって、該コンピュータが、
集積回路装置の基板表面からの垂線に対するチルト角でイオン注入した場合の該集積回路装置のゲート電極へのイオン注入によって形成されるポケット領域のイオン注入分布を発生させる際に、前記ゲート電極の有無によりチャネル領域に与える不純物濃度の影響が異なるイオン注入分布領域毎に、イオン注入方向の軸を基準にした第1座標を該集積回路装置の基板表面を基準にした第2座標に変換したガウス分布を用いることによって、該チャネル領域のイオン注入分布の解析モデルを作成する解析モデル作成手順を実行することを特徴とするイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
前記イオン注入分布領域毎のポケットイオン注入分布を前記第1座標から前記第2座標へ変換したガウス分布関数と該ガウス分布の広がりに係るドーズ量を該第1座標から該第2座標へ変換した値とで表すことによって該ガウス分布の変換後のモーメントを取得し、該変換後のモーメントを適用したピアソン分布をジョインドハーフガウスで近似する近似手順を更に有することを特徴とする請求項1記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
ジョインドハーフガウスの前方ガウス分布の飛程の広がりと後方ガウス分布の飛程の広がりの2つのモーメントの比で第1の高次のモーメントγを表すことを特徴とする請求項2記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
ジョインドハーフガウスの前記第1の高次のモーメントγのチルト角依存性を、チルト角における前記2つのモーメントの比で表すことを特徴とする請求項3記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
前記第1の高次のモーメントγのチルト角依存性に基づいて、前記チルト角における前記2つのモーメントの比を前記第1の高次のモーメントγに適用することを特徴とする請求項4記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
前記チルト角におけるジョインドハーフガウスの第1の高次のモーメントγをピアソン分布の第2の高次のモーメントγに変換する変換手順を更に有することを特徴とする請求項5記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
前記変換手順によって変換された前記ピアソン分布の第2の高次のモーメントγの2乗の線形関数で高次のモーメントβを表すことを特徴とする請求項6記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
前記ピアソン分布の第2の高次のモーメントγが0の場合の高次のモーメントβのチルト角依存性を、チルト角が0及びπ/2での値を満足する式で表すことを特徴とする請求項7記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
デュアルピアソン分布の2つのピアソン分布の各々に対して前記各手順を行ってイオン注入の深さと濃度で示される射影分布を得ることを特徴とする請求項7記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記解析モデル作成手順は、
前記イオン注入の深さと濃度で示される射影分布を前記ポケットイオン注入分布の射影分布に代入して2次元濃度分布を得ることを特徴とする請求項9記載のイオン注入分布発生方法。 - 前記コンピュータは、
前記イオン注入分布の深さと飛程の横方向の広がりとから、ソース領域及びドレイン領域とに夫々に生成した矩形領域で一定濃度としたボックス分布を発生させるボックス分布発生手順を実行することを特徴とする請求項1記載のイオン注入分布発生方法。 - コンピュータがイオン注入分布を発生させてデバイスをシミュレーションするデバイスシミュレータであって、該コンピュータが、
集積回路装置の基板表面からの垂線に対するチルト角でイオン注入した場合の該集積回路装置のゲート電極へのイオン注入によって形成されるポケット領域のイオン注入分布を発生させる際に、前記ゲート電極の有無によりチャネル領域に与える不純物濃度の影響が異なるイオン注入分布領域毎に、イオン注入方向の軸を基準にした第1座標を該集積回路装置の基板表面を基準にした第2座標に変換したガウス分布を用いることによって、該チャネル領域のイオン注入分布の解析モデルを作成する解析モデル作成手段として機能することを特徴とするデバイスシミュレータ。 - コンピュータがイオン注入分布を発生させてデバイスをシミュレーションするインバース・モデリングシミュレータであって、該コンピュータが、
集積回路装置の基板表面からの垂線に対するチルト角でイオン注入した場合の該集積回路装置のゲート電極へのイオン注入によって形成されるポケット領域のイオン注入分布を発生させる際に、前記ゲート電極の有無によりチャネル領域に与える不純物濃度の影響が異なるイオン注入分布領域毎に、イオン注入方向の軸を基準にした第1座標を該集積回路装置の基板表面を基準にした第2座標に変換したガウス分布を用いることによって、該チャネル領域のイオン注入分布の解析モデルを作成する解析モデル作成手段として機能することを特徴とするインバース・モデリングシミュレータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011501529A JP5527315B2 (ja) | 2009-02-27 | 2010-01-08 | イオン注入分布発生方法及びシミュレータ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009046914 | 2009-02-27 | ||
JP2009046914 | 2009-02-27 | ||
PCT/JP2010/050449 WO2010098153A1 (ja) | 2009-02-27 | 2010-01-08 | イオン注入分布発生方法及びシミュレータ |
JP2011501529A JP5527315B2 (ja) | 2009-02-27 | 2010-01-08 | イオン注入分布発生方法及びシミュレータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010098153A1 JPWO2010098153A1 (ja) | 2012-08-30 |
JP5527315B2 true JP5527315B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=42665363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011501529A Active JP5527315B2 (ja) | 2009-02-27 | 2010-01-08 | イオン注入分布発生方法及びシミュレータ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8718986B2 (ja) |
JP (1) | JP5527315B2 (ja) |
WO (1) | WO2010098153A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5625350B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2014-11-19 | 富士通株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム |
JP2011205034A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | イオン注入分布発生方法及びシミュレータ |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010098153A1 (ja) | 2010-09-02 |
US8718986B2 (en) | 2014-05-06 |
JPWO2010098153A1 (ja) | 2012-08-30 |
US20110307229A1 (en) | 2011-12-15 |
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