JP5519614B2 - 光通信装置およびミラー素子 - Google Patents
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Description
ミラー基板200は、互いに平行に配設された一対の支持部201と、この支持部201に一端が接続された可動梁202−1〜202−4と、この可動梁202−1〜202−4の他端に接続されたバネ203−1〜203−4と、このバネ203−1〜203−4を介して可動梁202−1〜202−4の可動端に接続されたミラー204とを備えている。
図1に示すように、本実施の形態に係る光通信装置は、ミラー素子1と、このミラー素子1の状態を検出する検出装置2と、この検出装置2の検出結果に基づいてミラー素子1の動作を制御する制御装置3と、ミラー素子1の状態を外部に送信する通信装置4とを備えている。
ミラー素子1は、図2A、図2Bに示すように、例えばシリコン基板などから構成された電極基板10と、電極基板10から離間して電極基板10と略平行に対向配置され、例えばSOI(Silicon-On-Insulator)基板などから構成されるミラー基板20とを備えている。
検出装置2は、センサ部25−1〜25−4に接続され、これらの電気抵抗の変化を検出する公知のブリッジ回路および電流増幅器等からなる電子機器から構成される。検出部2により検出されたセンサ部25−1〜25−4の抵抗値は、制御装置3に出力される。
制御装置3は、光通信装置全体の動作を制御する電子回路から構成される。このような制御装置3は、駆動部31と、判定部32と、補正部33と、警報部34と、記憶部35とを備えている。
通信装置4は、制御装置3の指示に基づいて、通信回線(図示せず)を介して光通信装置外部と各種情報をやりとりするインターフェース装置から構成される。
次に、図4を参照して、本実施の形態に係る光通信装置におけるミラー素子1の異常判定動作について説明する。
Claims (4)
- 基板、
この基板上に設けられた支持部材、
この支持部材に一端が接続された可動梁、
この可動梁の他端部とバネ部材を介して接続されたミラー、
前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方と対向して前記基板上に配置された電極、および、
前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方に設けられ、変形によって電気抵抗が変化するように形成された金属薄膜を備えたミラー素子と、
前記金属薄膜の電気抵抗を検出する検出部と、
この検出部の検出結果に基づいて前記ミラー素子の状態を判定する判定部と
を備え、
前記金属薄膜は、前記可動梁に設けられ、
前記ミラーは、前記金属薄膜と同じ材料からなる反射膜を備える
ことを特徴とする光通信装置。 - 前記ミラーの傾きと前記電極に印加する駆動電圧との関係を記録したテーブルと、
このテーブルに基づいて前記電極に駆動電圧を印加する駆動部と、
前記判定部の判定結果に基づいて前記テーブルに記録された前記駆動電圧を補正する補正部と
をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の光通信装置。 - 前記判定部の判定結果に基づいて外部にミラー素子に故障が生じている旨の警報を出力する警報部
をさらに備えることを特徴とする請求項1または2記載の光通信装置。 - 基板と、
この基板上に設けられた支持部材と、
この支持部材に一端が接続された可動梁と、
この可動梁の他端部とバネ部材を介して接続されたミラーと、
前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方と対向して前記基板上に配置された電極と、
前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方に設けられ、変形によって電気抵抗が変化するように形成された金属薄膜と
を備え、
前記金属薄膜は、前記可動梁に設けられ、
前記ミラーは、前記金属薄膜と同じ材料からなる反射膜を備える
ことを特徴とするミラー素子。
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JP2011233599A JP5519614B2 (ja) | 2011-10-25 | 2011-10-25 | 光通信装置およびミラー素子 |
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JP2011233599A JP5519614B2 (ja) | 2011-10-25 | 2011-10-25 | 光通信装置およびミラー素子 |
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JP2013092592A JP2013092592A (ja) | 2013-05-16 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005326465A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2009229916A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ |
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