JP5511843B2 - 微粒子を吸い上げるためのフッド及び壁の表面層のレーザー・アブレーションを目的とする、当該フッドを含む装置 - Google Patents
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Description
‐壁2の近くに適用される開口部3b;
‐開口部3bに向かい合っている基盤3a
‐開口部3bと基盤3aとの間の収束性中間部分;及び
‐フッド1の中間部分5aにおいて、粒子を吸い払うために設定された吸引出口5;
を備えている。
壁の近くに設けられるように設計された開口部;レーザー・ビームの経路を設けることが可能な窓を含む基盤;その開口部と基盤との間の中間部分;微粒子を吸い払うことを目的としたフッドの上方部分に配置された吸引出口;を含む、微粒子に対する吸引フッドに関する。
‐空気吸入口において、空気がフッドに接線方向に窓に向けて入り、そして、その窓から、その窓に垂直な方向に、フッドにおいて開口部に向かって流れるように設計された先細ノズルを含み;
‐その先細ノズルは、S字型の区分を持つ壁を含み;
‐そのフッドの基盤の周囲に配置された数個の空気吸入口を含み;
‐ある一定の空気吸入口を少なくとも部分的に妨害するように設計された可動フラップを含み;
‐それらの空気吸入口は、縦方向及び/又は円形の開口部であり;
‐開口部と基盤との間の中間部分は収束性である。
‐壁2の近くに配置されるように設計された開口部3b;
‐レーザー・ビーム6の経路を設けることが可能な窓3を含む基盤3a;
‐開口部3bと基盤3aとの間における収束性中間部分;
‐フッドの中間部分5aにおいて配置され、微粒子を吸い払うように設計された吸引出口5;
を含む。
空気吸入口110における先細ノズル12の配置は、図3a及び3bに示されている。
Claims (7)
- 微粒子に対する吸引フードであり、
‐壁の近くに設けられるように設計された開口部;
‐レーザー・ビームの経路を設けることが可能な窓を含む基盤;
‐前記開口部と該基盤との間の中間部分;
‐前記微粒子を吸い払うように設計された、前記フードの該中間部分に位置する吸引出口;
‐前記基盤に位置し、作動中において、該フードの基盤で気流を生成し、前記窓における微粒子の堆積を防ぐことが可能な複数の空気吸入口;及び
前記空気吸入口の近くに、開放位置と閉鎖位置との間に可動に配置された可動フラップを含み、前記可動フラップは、一定の空気吸入口を妨害するか又は少なくとも部分的に制限し、前記出口を通して、少なくとも一時的にその流れの軸対象の性質を破壊するように設計される、フード。 - 空気が、前記窓の接線方向において該フードの中に入り、該窓に垂直な方向において前記開口部に向かって該窓から前記フード内を流れるようにする、前記空気吸入口に位置する先細ノズルを含む、請求項1に記載のフード。
- 前記先細ノズルは、S字型の区分を持つ壁を含む、請求項2に記載のフード。
- 前記フードの基盤の周囲において位置する数個の空気吸入口を含む、請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のフード。
- 前記空気吸入口は、縦方向及び/又は円形の開口部である、請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のフード。
- 前記開口部と前記基盤との間の中間部分は、収束性である、請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載のフード。
- 少なくとも1つのアブレーション・レーザー源を含む、壁の表面層のレーザー・アブレーション用の装置であり、請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の、微粒子を吸い払うためのフードを含むことを特徴とする、装置。
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