JP5509240B2 - 液体吐出装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
基板1上に、アクチュエータ列Bの各アクチュエータと電気的に導通する多数本の電極20を形成する。この場合、無電解ニッケルメッキおよび電界金メッキを基板1の表面に形成し、それをレーザ光で焼き切って除去する処理(いわゆるサブトラクト法)を行うことにより、その除去後に残った部分が各電極20となる。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板に設けられ、液体が充填される圧力室と、
前記基板に設けられ、前記圧力室に液体導入用および液体吐出用の圧力を加えるアクチュエータと、
前記基板に設けられ、前記アクチュエータと電気的に導通する電極と、
前記アクチュエータに対する駆動電圧を出力する駆動回路と、
前記駆動回路を搭載しその駆動回路の出力電圧を前記電極に供給するための通電路を有する回路基板と、
前記基板上の前記電極の一部と対応する個所をマスクするとともに、前記基板との間に前記回路基板を挟み込んでその回路基板の通電路を前記電極に接触させる絶縁性のマスキング部材と、
前記圧力室、前記アクチュエータ、前記電極の非マスク部分、および前記マスキング部材を被覆する絶縁膜と、
を備えることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記回路基板は、前記絶縁膜が被覆された後で前記マスキング部材と前記回路基板との間に挿入されることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記マスキング部材は、板状であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 基板と、この基板に設けられ液体が充填される圧力室と、前記基板に設けられ前記圧力室に液体導入用および液体吐出用の圧力を加えるアクチュエータと、前記基板に設けられ前記アクチュエータと電気的に導通する電極と、前記アクチュエータに対する駆動電圧を出力する駆動回路と、この駆動回路を搭載しその駆動回路の出力電圧を前記電極に供給するための通電路を有する回路基板とを備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記基板上の前記電極の一部と対応する個所を絶縁性のマスキング部材でマスクし、このマスキング部材、前記圧力室、前記アクチュエータ、前記電極の非マスク部分を絶縁膜で被覆し、この被覆後の前記マスキング部材を前記基板から浮かして同マスキング部材と前記基板との間に前記回路基板を挟み込みその回路基板の通電路を前記電極に接触させることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記マスキング部材は、板状であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
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