JP5504391B2 - 触覚センサアレイ - Google Patents
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Description
(1−1)触覚センサアレイ
図1は本発明の一実施の形態に係る触覚センサアレイの平面図である。また、図2は図1の触覚センサアレイの側面図である。
図3は触覚センサアレイ100における1つの触覚センサ200の斜視図、図4は図3の触覚センサ200の平面図、図5は図3の触覚センサ200の断面図である。
図6〜図12は本実施の形態に係る触覚センサアレイ100の製造方法の一例を示す工程図であり、(a)は模式的断面図、(b)は模式的平面図である。図6〜図12は、触覚センサアレイ100の1つの触覚センサ200に含まれる1つのセンサ素子201の部分のみが示されるが、他のセンサ素子202,203,204および他の触覚センサ200のセンサ素子201〜204も同時に同様の方法で形成される。
図13はカンチレバーCL1に接続される出力回路の一例を示す回路図である。図13に示すように、カンチレバーCL1の電極104a,104bには、外部抵抗R1,R2,R3が接続され、カンチレバーCL1、外部抵抗R1,R2,R3および直流電源211によりブリッジ回路210が構成されている。ブリッジ回路210の出力電圧は増幅器230に与えられ、増幅器230の出力電圧がAD変換器240に入力される。なお、図3および図4のカンチレバーCL2,CL3,CL4にも、図13の出力回路と同様の出力回路が接続される。
次に、触覚センサ200の突起部205の効果について説明する。
図16は参考形態に係る触覚センサアレイ100における1つの触覚センサ200の断面図である。
図17は本発明の第2の実施の形態に係る触覚センサアレイ100における1つの触覚センサ200の平面図、図18は図17の触覚センサ200の断面図である。
図19は本発明の第3の実施の形態に係る触覚センサアレイ100における1つの触覚センサ200の平面図、図20は図19の触覚センサ200の断面図である。
上記実施の形態では、各触覚センサ200が4つのセンサ素子201,202,203,204を有するが、各触覚センサ200が3つのセンサ素子を有してもよい。この場合には、3つのセンサ素子が互いに約120度の向きに配置されることが好ましい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
101 基板
102 埋め込み酸化膜
103 結晶シリコン膜
103a ノンドープ層
103b ドープ層
104a,104b 電極
105 弾性樹脂層
201,202,203,204 センサ素子
200 触覚センサ
205 突起部
206 板状部材
207 溝部
208 枠部材
210 ブリッジ回路
211 直流電源
230 増幅器
240 AD変換器
300 指
1000 SOI基板
CL1,CL2,CL3,CL4 カンチレバー
R1,R2,R3 外部抵抗
Claims (4)
- 基板と、
前記基板上に配列され、印加された圧力および剪断力を検出する複数の触覚センサとを備え、
前記複数の触覚センサの各々は、
前記基板上に異なる向きに設けられたカンチレバーからなる少なくとも3つ以上のセンサ素子と、
前記少なくとも3つ以上のセンサ素子を被覆するように前記基板上に形成された弾性材料層と、
前記少なくとも3つ以上のセンサ素子の上方における前記弾性材料層の領域上に設けられ、前記弾性材料層よりも硬質または前記弾性材料層と同じ硬さの突起部とを備え、
各触覚センサの前記突起部は、他の触覚センサの前記突起部とは独立して設けられ、凸レンズ形状に形成されるとともに前記基板に平行な下面を有することを特徴とする触覚センサアレイ。 - 基板と、
前記基板上に配列され、印加された圧力および剪断力を検出する複数の触覚センサとを備え、
前記複数の触覚センサの各々は、
前記基板上に異なる向きに設けられたカンチレバーからなる少なくとも3つ以上のセンサ素子と、
前記少なくとも3つ以上のセンサ素子を被覆するように前記基板上に形成された弾性材料層とを備え、
前記弾性材料層に各触覚センサの周囲を取り囲む溝部が設けられ、
前記溝部は、前記少なくとも3つ以上のセンサ素子のカンチレバーの少なくとも先端部を取り囲むように形成されたことを特徴とする触覚センサアレイ。 - 基板と、
前記基板上に配列され、印加された圧力および剪断力を検出する複数の触覚センサとを備え、
前記複数の触覚センサの各々は、
前記基板上に異なる向きに設けられたカンチレバーからなる少なくとも3つ以上のセンサ素子と、
前記少なくとも3つ以上のセンサ素子を被覆するように前記基板上に形成された弾性材料層とを備え、
前記弾性材料層内に各触覚センサの周囲を取り囲む枠部材が設けられ、
前記枠部材は、前記少なくとも3つ以上のセンサ素子のカンチレバーの少なくとも先端部を取り囲むように形成されたことを特徴とする触覚センサアレイ。 - 前記センサ素子の各々は、前記基板上に第1の膜からなる支持部および第2の膜からなる可動部をこの順に備え、前記第2の膜は半導体材料からなり、第1の格子定数を有する第1の層と、前記第1の格子定数よりも小さな第2の格子定数を有する第2の層とを順に含み、前記第1および第2の層の少なくとも一方は、不純物元素の添加により導電性を有し、前記第1の格子定数と前記第2の格子定数との差に起因して前記可動部が湾曲するとともに、前記可動部の一部が前記支持部を介して前記基板に固定されたことを特徴とする請求項1〜3に記載の触覚センサアレイ。
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