JP4273397B2 - 触覚センサ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、ロボットに適用される触覚センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
介護用などの、人間と環境を共有し、人間と力学的相互作用を行うロボットは、人間およびロボットの安全のため、また、巧みな力学的操作を行うために、表面を柔軟な材料で覆われ、接触の位置および強度を検出できる必要がある。
【0003】
そのためには、柔軟で、曲面状のロボット表面に装着でき、大面積を覆え、必要な空間分解能、測定レンジ、および測定分解能を有する触覚センサが必要である(非特許文献1〜4参照)。
【0004】
【非特許文献1】
日本ロボット学会誌Vol.20 No.4,pp.385〜388,2002 篠田祐介氏「接触センシングの現状と今後の展開」
【非特許文献2】
(社)計測自動制御学会 システムインテグレーション部門 講演会プログラム 河合隆志氏等「把持力制御のための曲面ひずみ分布センサの開発」
【非特許文献3】
IEEE International Conference on Robotics Automation 0-7803-1965/95 S4.00 1995 IEEE Shinoda.et al「Tactile Sensing Using Tensor Cell」
【非特許文献4】
Advanced robotics,Vol.16,No.4,pp.381-397(2002)cVSP and Robotics Society of Japan 2002 Tajima.et.al「Development of Soft and Distributed Tactile sensors and the application to a Humanoid Robot」
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
現在、商業的に利用可能な2次元分布をもつ圧力センサとして感圧導電性ゴムを用いたフィルム状のものがあるが、精度(ヒステリシス特性、クリープ特性)、せん断応力が検出不可能、柔軟性などの点で問題があり、人間共存ロボットでの使用に適したものとなっていない。
【0006】
本発明の目的は、ロボットの接触機能において垂直応力を感度よく検出することが可能な触覚センサを提供することにある。
【0007】
また、本発明の目的は、ロボットの接触機能においてせん断応力を感度よく検出することが可能な触覚センサを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、上記目的を達成するため、触覚センサであって、圧力検出部位を有する感圧素子と、第1の硬度を有し、表面に前記感圧素子の圧力検出部位が露出するように前記感圧素子を埋め込んで固持させる第1層目の弾性体と、第2の硬度を有し、前記感圧素子の圧力検出部位の外側で前記第1層目の弾性体上に積層させる第2層目の弾性体と、第3の硬度を有し、前記感圧素子の圧力検出部位上および前記第2層目の弾性体上に積層させる第3層目の弾性体とを組み合わせて、外部から受ける応力を前記感圧素子の圧力検出部位に誘導させる構造を有した本体と、を備え、前記第3の硬度は、前記第2の硬度に比して高い硬度であることを特徴とする。
【0009】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記感圧素子により検出される圧力に基づいて垂直応力を得ることを特徴とする。
【0010】
請求項3の発明は、請求項1または2の発明において、前記第3層目の弾性体は、前記感圧素子の圧力検出部位から上方かつ当該第3層目の弾性体の外表面に向かって末広がり形状に設けられていることを特徴とする。
【0011】
請求項4の発明に係る触覚センサは、触覚センサであって、圧力検出部位を有する複数の感圧素子と、第1の硬度を有し、表面に前記複数の感圧素子の圧力検出部位が並列に配置され、かつ露出するように前記複数の感圧素子を埋め込んで固持させる第1層目の弾性体と、第2の硬度を有し、前記各感圧素子の圧力検出部位の外側で前記第1層目の弾性体上に積層させる第2層目の弾性体と、第3の硬度を有し、前記各感圧素子の圧力検出部位上および前記第2層目の弾性体上に積層させる第3層目の弾性体とを組み合わせて、外部から受ける応力を前記各感圧素子の圧力検出部位に誘導させる構造を有した本体と、を備え、前記第3の硬度は、前記第2の硬度に比して高い硬度であることを特徴とする。
【0012】
請求項5の発明は、請求項4の発明において、前記各感圧素子の圧力検出部位により検出される圧力に基づいて垂直圧力を得て、当該得られた2つの垂直圧力に基づいてせん断応力を得ることを特徴とする。
【0013】
請求項6の発明は、請求項4または5の発明において、前記第3層目の弾性体は、前記各感圧素子の圧力検出部位から上方かつ当該第3層目の弾性体の外表面に向かって末広がり形状に設けられていることを特徴とする。
【0014】
請求項7の発明は、請求項1〜請求項6のいずれか1つにかかる発明において、前記第1の硬度は、前記第2の硬度に比して高いまたは同じ硬度であることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る好適な実施の形態について詳述する。
【0016】
(実施の形態1)
まず、構成について説明する。図1(A)は本発明の実施の形態1による触覚センサの構成を示す外観斜視図であり、同図(B)は触覚センサの側断面図である。図1において、1は本実施の形態1による触覚センサを示している。
【0017】
触覚センサ1は、所定の硬度をそれぞれ有する第1層、第2層、第3層弾性体3、4、5を組み合わせ、その弾性体中に感圧素子2を埋め込んだ構成であり、外部からセンサ表面にかかった応力を効率よく感圧素子2の圧力検出部位に誘導するものである。この構成により、垂直応力を感度よく検出して、一種の増幅機能を持たせることが可能となる。
【0018】
感圧素子2は、絶対圧を計測できる圧力センサであり、表面において圧力検出部位を有している。この感圧素子2は、たとえばΦ5.8mmの円柱状に設けられている。この感圧素子2として、フジクラ製のFPBS−04A等がある。この場合、ダイアフラム上に抵抗ブリッジをもち、42.6〜434.7kPaの絶対圧力を測定することができる。
【0019】
本実施の形態による触覚センサ1は、人間共存ロボットの表面を覆うことを前提にしており、大面積を覆えるとともに、人間の皮膚のように柔らかく、ロボット外装曲面にフィットする必要がある。したがって、上述の第1層、第2層および第3層弾性体3、4、5に圧力検出部位を有する感圧素子2が埋め込まれた構造となる。実際に、触覚センサ1を人間共存ロボットに適用するためには、触覚センサ1のアレイを多数作り、このアレイをロボット表面にタイル状に並べることにより、ロボットの全身を覆うことが可能となる。なお、人間の手の平の空間分解能が1cm程度なので、最低でも分解能1cmが実現できることが望ましい。
【0020】
第1層弾性体3、第2層弾性体4、第3層弾性体5により本体が構成される。第1層弾性体3、第2層弾性体4、第3層弾性体5において、硬度を高くする場合(硬い硬度の場合)は、シリコンゴム等により構成することができる。シリコンゴムとしては、たとえばHs50 JISAが適用可能である。また、硬度を低くする場合(柔らかい硬度の場合)は、ポリウレタン樹脂等により構成することができる。ポリウレタン樹脂として、たとえばアスカーC硬度15が適用可能である。
【0021】
第1層弾性体3は、表面に感圧素子2の圧力検出部位が露出するように感圧素子2を埋め込んで固持させている。第2層弾性体4は、感圧素子2の圧力検出部位の外側(外周近傍)で第1層弾性体3上に積層されている。第3層弾性体5は、感圧素子2の圧力検出部位上であるとともに第2層弾性体4上に積層されている。
【0022】
第3層弾性体5は、図1(B)に示すように、感圧素子2の圧力検出部位から上方に向かって、当該第3層目の弾性体の外表面に向かって末広がり形状に設けられている。第3層弾性体5は外表面から内部すなわち圧力検出部位に行くに従い徐々に細くした構造なので、外部から触覚センサ1の表面にかかった応力が感圧素子2の圧力検出部位(ダイアフラム)に誘導され、集中することになる。これにより、図示せぬが、感圧素子2により検出された圧力に基づいて垂直応力を得ることが可能となる。本体を所定の硬度をそれぞれ有する第1、第2および第3弾性体3、4、5の組み合わせで構成し、圧力検出部位に応力を集中させる仕組みは、人間の皮膚の構造に相当する。
【0023】
ここで、本体を構成する弾性体のサイズ、硬さの違いによる構造解析結果について述べる。図2、図3、図4はそれぞれ本実施の形態による構造解析結果を説明する図である。図2(A)、図3(A)、図4(A)は、それぞれ構造解析を説明するために図1(A)の触覚センサ1を縦(z)方向に1/4に切断した斜視図を示し、好適な構造をそれぞれタイプ1、タイプ2、タイプ3とする。図2(B)、図3(B)、図4(B)は、それぞれタイプ1、タイプ2、タイプ3の構造解析結果の応力分布を示している。
【0024】
タイプ1、2では、第1層弾性体3と第3層弾性体5は硬度が高く、第2層弾性体4は硬度が低い場合を示し、タイプ3では、第1層弾性体3と第2層弾性体4の硬度が低く、第3層弾性体5は硬度が高い場合を示している。
【0025】
図1(A)の触覚センサ1の外表面における縦(z)方向では、タイプ1の場合には、図2(A)に示すように、第1層弾性体3の厚さを3mm、第3層弾性体5の厚みを1mm、第2層弾性体4の厚みをxmmとしている。タイプ2の場合は、図3(A)に示すように、第1層弾性体3の厚みをタイプ1よりも薄い1mm、第3層弾性体5の厚みをタイプ1よりも薄い1mm、第2層弾性体4の厚みをxmmとしている。タイプ3の場合には、図4(A)に示すように、第3層弾性体3の厚みを1mm、第1層弾性体3と第2層弾性体4の硬度を、第3層弾性体5よりも柔らかい同一硬度としてその厚みをxmmとしている。
【0026】
各タイプ1、2、3において、触覚センサ1に対して第1層弾性体3の外表面から応力がかかると、図2、図3、図4に示したように、応力分布が明らかとなる。図2(A)、図3(A)、図4(A)において、実線の矢印は表面にかかっている応力を示している。破線の矢印は拘束を表している。構造解析結果を示す図2(B)、図3(B)、図4(B)では、感圧素子2の圧力検出部位で赤色系の色が多くなっている。これは、感圧素子2の圧力検出部位に応力が集中していることを示す。また、図2(B)、図3(B)、図4(B)の右側に示すカラーバーにおいて、カラーバー上方から下方に向かって、図1(B)における下向きの垂直応力が増していることを示す。
【0027】
具体的には、触覚センサ1の本体表面に0.1kgf/cm2をかけ、xを変えることで全体の厚さを5.5〜11.5mmまで変化させた時の、圧力検出部位での応力の計算値を図5に示す。縦軸にZ方向応力[kgf/cm2]、横軸にxに対応する全体の厚さ[mm]をとっている。
【0028】
なお、弾性体に3層構造を持たせず均一の硬度にした場合には、当然ながら圧力検出部位で0.100kgf/cm2という計算結果が得られる。また、硬い弾性体の均一構造のタイプ、前述のタイプ1、タイプ3のそれぞれに同じ力をかけ、その後圧力を除いた際の触覚センサ1の出力の大きさの時間変化を図6に示す。縦軸に感度を示すセンサ出力[V]をとっている。圧力をかける時と除く時には不安定な力がかかるため、安定した出力が得られる時のみで比較する。このように構造を持たせた場合には、とくに60×100[ms]〜85×100[ms]のところでタイプ3とタイプ1が0.002[V]近傍のセンサ出力となっていることから、均一構造のタイプに比べて感度が大幅に大きくなっていることが分かる。
【0029】
以上説明したように本実施の形態1によれば、ロボットの接触機能において垂直応力を感度よく検出することが可能な触覚センサを提供できる。また、タイプ1において、第1層弾性体3を第2層弾性体4に比して硬くした場合は、上面から接触したときの凹凸を小さくできる。また、第1層弾性体3と第2層弾性体4とを同じ低い硬度とした場合は、製造が容易でかつ全体的に柔らかくすることが可能となる。なお、上述のタイプ1〜3は、好適な構造の一例であって、本発明はこれに限られるものではない。
【0030】
(実施の形態2)
つづいて、本実施の形態2の触覚センサについて説明する。図7(A)は本発明の実施の形態2による触覚センサの構成を示す外観斜視図であり、同図(B)は触覚センサの側断面図である。図7において、10は本実施の形態2による触覚センサを示している。
【0031】
触覚センサ10は、所定の硬度をそれぞれ有する第1層、第2層、第3層弾性体13、14、15を組み合わせ、その弾性体中に面状の感圧素子11、12を埋め込んだ構成であり、外部からセンサ表面にかかった応力を効率よく感圧素子11、12の各圧力検出部位に誘導するものである。この構成により、垂直応力を感度よく検出して、一種の増幅機能を持たせることが可能となる。
【0032】
第1層弾性体13、第2層弾性体14、第3層弾性体15により本体が構成される。第1層弾性体13は、表面に感圧素子11、12の各圧力検出部位が露出するように感圧素子11、12を並列に埋め込んで固持させている。第2層弾性体14は、感圧素子11、12の圧力検出部位の外側(外周近傍)で第1層弾性体13上に積層されている。第3層弾性体15は、感圧素子11、12の圧力検出部位上であるとともに第2層弾性体14上に積層されている。
【0033】
第3層弾性体15は、図7(B)に示すように、感圧素子11、12の圧力検出部位からそれぞれ上方に向かって、当該第3層目の弾性体の外表面に向かって末広がり形状に設けられている。第3層弾性体15は外表面から内部すなわち感圧素子11、12の各圧力検出部位に行くに従い徐々に細くした構造なので、外部から触覚センサ10の表面にかかった応力が感圧素子11、12の圧力検出部位(ダイアフラム)にそれぞれ誘導され、それぞれに集中することになる。
【0034】
これにより、図示せぬが、感圧素子11、12によりそれぞれ検出された圧力に基づいてそれぞれの垂直応力を得ることが可能となる。所定の硬度をそれぞれ有する第1、第2および第3弾性体13、14、15の組み合わせで圧力検出部位に応力を集中させる仕組みは、前述の実施の形態1と同様に人間の皮膚の構造に相当する。
【0035】
各感圧素子11、12による圧力検出は前述した実施の形態1の通り同様なので、以下にせん断応力についてのみ説明する。外部より触覚センサ10の外表面に2つの感圧素子11、12を結ぶ方向のせん断応力がかかった場合、第3層弾性体15の下方に伸びる部分(第1層弾性体13に向かう部分)には回転の力がかかる。たとえば図7(A)で上方から見て右向きのせん断応力がかかった場合、左の感圧素子11には上向きの垂直応力がかかり、右の感圧素子12には下向きの垂直応力がかかる。したがって、それぞれの垂直応力を検出して左右の感圧素子11、12の応力の差をとることにより、せん断応力を検出することができる。
【0036】
そして、構造解析においては、好適な構造として、第3層弾性体15の高い硬度に対して第1、第2層弾性体13、14はともに柔らかい硬度とした場合(実施の形態1のタイプ3)を図8に示す。図8は、図7(A)の触覚センサ10を縦(z)方向に1/2に切断した斜視図を示している。実線で示す矢印方向にせん断応力をかけるものとする。なお、点線矢印は拘束を示す。
【0037】
構造解析結果を図9に示す。図10は第3層弾性体15部分を取り出したものである。右側に示すカラーバーにおいて、カラーバーの上方が上向きの垂直応力を示し、カラーバーの下方が下向きの垂直応力を示している。図9および図10から左右の感圧素子11、12に異なる垂直応力がかかっていることがわかる。すなわち、上方から見て右向きのせん断応力がかかった場合、左の感圧素子11には上向きの垂直応力がかかり、右の感圧素子12には下向きの垂直応力がかかる。
【0038】
ここで、比較のために、均一構造(硬い弾性体)で同じ解析を行った結果を図11に示す。図12は第3層弾性体15部分を取り出したものである。図10および図12から明らかなように、感圧素子11、12の圧力検出部位にはどちらもほとんど垂直応力がかかっていないことが分かる。感圧素子11、12の圧力検出部位にかかる応力の計算結果を図13に示す。
【0039】
図13において、本実施の形態2による触覚センサ10の構造によれば、左の感圧素子11は上向きのため0.26627[kgf/cm2]の接点応力となり、右の感圧素子12は下向きのため−0.26233[kgf/cm2]の接点応力となっている。これに対して、均一で硬い弾性体による触覚センサの構造によれば、同条件で左の感圧素子は0.03456[kgf/cm2]の接点応力となり、右の感圧素子は−0.03652[kgf/cm2]の接点応力となっている。
【0040】
このように、本実施の形態2の構造と均一で硬い弾性体とでは垂直応力の感度に大きな相違が生じることになり、本実施の形態2による構造が好適であることは明らかとなる。また、このようにして垂直応力を取得できることにより、せん断応力の取得が可能となる。
【0041】
以上説明したように、本実施の形態2によれば、ロボットの接触機能においてせん断応力を感度よく検出することが可能な触覚センサを提供できる。なお、実施の形態2では、第3層弾性体15を高い硬度とし、第1、第2層弾性体13、14をともに低い硬度とした場合(実施の形態1のタイプ3)を説明したが、これは好適な構造の一例であって、本発明はこれに限られるものではない。実施の形態2においても、構造解析結果の説明は省略するが、たとえば、上記実施の形態1のタイプ1、2の硬度とした構造でも好適な結果を得ることができる。
【0042】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更できることは勿論である。たとえば、上記実施の形態1、2では、感圧素子を円柱形の構造としたが、本発明はこれに限られるものではなく、他の形状としても良い。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ロボットの接触機能において垂直応力を感度よく検出することが可能な触覚センサを提供できるという効果を奏する。
【0044】
また、本発明によれば、ロボットの接触機能においてせん断応力を感度よく検出することが可能な触覚センサを提供できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態1による触覚センサの構成を示す図である。
【図2】本実施の形態1による構造解析結果を説明する図である。
【図3】本実施の形態1による構造解析結果を説明する図である。
【図4】本実施の形態1による構造解析結果を説明する図である。
【図5】本実施の形態1による垂直(Z方向)応力を説明する図である。
【図6】本実施の形態1によるセンサ出力を説明する図である。
【図7】本実施の形態2による触覚センサの構成を示す図である。
【図8】本実施の形態2による構造解析結果を説明する図である。
【図9】本実施の形態2による構造解析結果を説明する図である。
【図10】本実施の形態2による構造解析結果を説明する図である。
【図11】本実施の形態2による構造解析結果を説明する図である。
【図12】本実施の形態2による構造解析結果を説明する図である。
【図13】本実施の形態2による応力計算結果を説明する図である。
【符号の説明】
1 触覚センサ
2 感圧素子
3 第1層弾性体
4 第2層弾性体
5 第3層弾性体
10 触覚センサ
11、12 感圧素子
13 第1層弾性体
14 第2層弾性体
15 第3層弾性体

Claims (7)

  1. 触覚センサであって、
    圧力検出部位を有する感圧素子と、
    第1の硬度を有し、表面に前記感圧素子の圧力検出部位が露出するように前記感圧素子を埋め込んで固持させる第1層目の弾性体と、第2の硬度を有し、前記感圧素子の圧力検出部位の外側で前記第1層目の弾性体上に積層させる第2層目の弾性体と、第3の硬度を有し、前記感圧素子の圧力検出部位上および前記第2層目の弾性体上に積層させる第3層目の弾性体とを組み合わせて、外部から受ける応力を前記感圧素子の圧力検出部位に誘導させる構造を有した本体と、
    を備え、
    前記第3の硬度は、前記第2の硬度に比して高い硬度であることを特徴とする触覚センサ。
  2. 前記感圧素子により検出される圧力に基づいて垂直応力を得ることを特徴とする請求項1に記載の触覚センサ。
  3. 前記第3層目の弾性体は、前記感圧素子の圧力検出部位から上方かつ当該第3層目の弾性体の外表面に向かって末広がり形状に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の触覚センサ。
  4. 触覚センサであって、
    圧力検出部位を有する複数の感圧素子と、
    第1の硬度を有し、表面に前記複数の感圧素子の圧力検出部位が並列に配置され、かつ露出するように前記複数の感圧素子を埋め込んで固持させる第1層目の弾性体と、第2の硬度を有し、前記各感圧素子の圧力検出部位の外側で前記第1層目の弾性体上に積層させる第2層目の弾性体と、第3の硬度を有し、前記各感圧素子の圧力検出部位上および前記第2層目の弾性体上に積層させる第3層目の弾性体とを組み合わせて、外部から受ける応力を前記各感圧素子の圧力検出部位に誘導させる構造を有した本体と、
    を備え、
    前記第3の硬度は、前記第2の硬度に比して高い硬度であることを特徴とする触覚センサ。
  5. 前記各感圧素子の圧力検出部位により検出される圧力に基づいて垂直圧力を得て、当該得られた2つの垂直圧力に基づいてせん断応力を得ることを特徴とする請求項4に記載の触覚センサ。
  6. 前記第3層目の弾性体は、前記各感圧素子の圧力検出部位から上方かつ当該第3層目の弾性体の外表面に向かって末広がり形状に設けられていることを特徴とする請求項4または5に記載の触覚センサ。
  7. 前記第1の硬度は、前記第2の硬度に比して高いまたは同じ硬度であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1つに記載の触覚センサ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4876240B2 (ja) * 2005-01-28 2012-02-15 国立大学法人 東京大学 触覚センサ及びその製造方法
JP4724109B2 (ja) * 2005-12-28 2011-07-13 本田技研工業株式会社 ロボットの外被
US8033189B2 (en) * 2005-12-28 2011-10-11 Honda Motor Co., Ltd. Robot skin
JP4896198B2 (ja) 2009-10-14 2012-03-14 国立大学法人東北大学 触覚センサシステム
KR101262978B1 (ko) 2011-12-05 2013-05-08 현대자동차주식회사 보행로봇의 반발력 측정 모듈 및 방법
CN102879135B (zh) * 2012-09-27 2014-08-13 宁波大学 一种围压装置内壁摩擦力分布的测量方法
JP2015045552A (ja) * 2013-08-28 2015-03-12 住友理工株式会社 触覚センサ
CN107238452B (zh) * 2017-04-18 2019-10-01 南京航空航天大学 多功能触觉传感器及测量方法

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